彩色濾光膜24包括對應(yīng)于顯示區(qū)20a的第三色阻圖案24a和對應(yīng)于非顯示區(qū)20b的第三周邊色組24b,由于該光罩在曝光制作第三彩色濾光膜24時的曝光位置相對于曝光制作第一彩色濾光膜22的基準位置向右側(cè)移動了一個子像素的寬度,且通過該光罩曝光制作的色阻圖案中,上下相鄰兩行中的色阻圖案在橫向X和豎向Y上均具有重疊尺寸Wbm(如圖6所示),因此第三色阻圖案24a與第一色阻圖案22a、第二色阻圖案23a在橫向X和豎向Y上均存在有邊緣重疊,同時第三周邊色組24b與第一周邊色組22b、第二周邊色組23b也存在有重疊部分,具體如圖5c所示。
[0047]請參圖2至圖5c,在經(jīng)過上述步驟一至步驟三之后,即實現(xiàn)了共用一張光罩進行三次曝光后在襯底基板21上制作形成第一彩色濾光膜22、第二彩色濾光膜23和第三彩色濾光膜24,且在制作第一彩色濾光膜22、第二彩色濾光膜23和第三彩色濾光膜24的同時,通過這三種顏色的濾光膜22、23、24相互重疊形成所需的黑矩陣BM和隔墊物PS。具體地,每個色阻圖案22a、23a、24a的上下左右四側(cè)邊緣(如圖2的C處)通過兩種色阻重疊形成所需的黑矩陣BM,以起到防止漏光的作用;每個色阻圖案22a、23a、24a的四個邊角(如圖2的D處)通過三種色阻重疊形成所需的隔墊物PS,以起到支撐液晶盒厚的作用。由于該三種顏色的濾光膜22、23、24共用同一張光罩制作形成,且在制作該三種顏色的濾光膜22、23、24的同時,通過該三種顏色的濾光膜22、23、24相互重疊形成所需的黑矩陣和隔墊物,省去了制作黑矩陣和隔墊物所需的光罩和制程時間,即通過一張光罩實現(xiàn)了三種顏色的濾光膜22、23、24以及黑矩陣和隔墊物的制程,簡化了彩色濾光片20的制程,大大減少了彩色濾光片20的制作時間和生產(chǎn)成本。
[0048]圖5a至圖5c的實施例中,在步驟二中曝光制作第二彩色濾光膜23時,將該同一張光罩在步驟一的基準位置基礎(chǔ)上向左側(cè)移動一個子像素的寬度,在步驟三中曝光制作第三彩色濾光膜24時,將該同一張光罩在步驟一的基準位置基礎(chǔ)上向右側(cè)移動一個子像素的寬度??梢岳斫獾?,也可以選擇在步驟二中將該同一張光罩在步驟一的基準位置基礎(chǔ)上向右側(cè)移動一個子像素的寬度,而在步驟三中將該同一張光罩在步驟一的基準位置基礎(chǔ)上向左側(cè)移動一個子像素的寬度,同樣可以實現(xiàn)本發(fā)明的目的。
[0049]請參圖5a至圖5c,在彩色濾光片20的非顯示區(qū)20b,通過第一周邊色組22b、第二周邊色組23b和第三周邊色組24b的重疊,也形成有黑矩陣BM和隔墊物PS。具體地,在非顯示區(qū)20b,通過色阻重疊同時形成有黑矩陣和隔墊物,其中兩種色阻重疊的區(qū)域形成黑矩陣,三種色阻重疊的區(qū)域形成隔墊物,從而在非顯示區(qū)20b起到防止漏光和支撐液晶盒厚的作用。
[0050]在面板設(shè)計上,外圍非顯示區(qū)20b的隔墊物高度優(yōu)選不高于顯示區(qū)20a的隔墊物高度,否則面板在外界壓力下易出現(xiàn)一些顯示不良。本實施例中,優(yōu)選地,用于曝光制作該三種濾光膜22、23、24的光罩選用半色調(diào)光罩(half-tone mask),該光罩在對應(yīng)于非顯不區(qū)20b的位置設(shè)置半透射膜,通過該半透射膜減小對非顯示區(qū)20b的色阻的曝光能量,即在制作該三種濾光膜22、23、24時,對非顯示區(qū)20b上的色阻通過該半透射膜采取半曝光,這樣在曝光顯影后,在非顯示區(qū)20b留下的色阻厚度小于在顯示區(qū)20a留下的色阻厚度,即利用半色調(diào)光罩對外圍非顯示區(qū)20b采取半曝光方式,通過控制透光量的強度實現(xiàn)非顯示區(qū)20b與顯示區(qū)20a的隔墊物具有一定的高度差(使非顯示區(qū)20b的隔墊物高度低于顯示區(qū)20a的隔墊物高度),以避免產(chǎn)品出現(xiàn)顯示不良。
[0051]圖7a至圖7c為本發(fā)明第二實施例的彩色濾光片的非顯示區(qū)的制作過程局部平面示意圖。請參圖7a,為利用光罩在襯底基板上曝光制作形成的第一彩色濾光膜22(此時光罩曝光的位置為基準位置),圖中僅示出該第一彩色濾光膜22對應(yīng)于非顯示區(qū)20b的第一周邊色組22b的結(jié)構(gòu),與圖5a中所示對應(yīng)于非顯示區(qū)20b的第一周邊色組22b為整塊色阻不同,第二實施例中對應(yīng)于非顯示區(qū)20b的第一周邊色組22b為圖案化結(jié)構(gòu)且包括多個第一周邊色組圖案22b’,每個第一周邊色組圖案22b’的寬度相當于兩個子像素的寬度,每一行中相鄰的兩個第一周邊色組圖案22b’相互間隔一個子像素的寬度。請參圖7b,為將該同一張光罩在基準位置的基礎(chǔ)上朝向左側(cè)移動一個子像素的寬度,在襯底基板上曝光制作形成的第二周邊色組23b疊加于第一周邊色組22b的結(jié)構(gòu),第二周邊色組23b的多個第二周邊色組圖案23b’與第一周邊色組22b的多個第一周邊色組圖案22b’具有重疊部分。請參圖7c,為將該同一張光罩在基準位置的基礎(chǔ)上朝向右側(cè)移動一個子像素的寬度,在襯底基板上曝光制作形成的第三周邊色組24b疊加于第一周邊色組22b和第二周邊色組23b的結(jié)構(gòu),第三周邊色組24b的多個第三周邊色組圖案24b’與第一周邊色組22b的多個第一周邊色組圖案22b’和第二周邊色組23b的多個第二周邊色組圖案23b’具有重疊部分。這樣在襯底基板上制作完成第一彩色濾光膜22、第二彩色濾光膜23和第三彩色濾光膜24之后,這三種濾光膜22、23、24在彩色濾光片20的非顯示區(qū)20b僅會出現(xiàn)最多兩種色阻重疊而形成黑矩陣BM,不會出現(xiàn)三種色阻重疊的情況(即在非顯示區(qū)20b不會出現(xiàn)隔墊物PS),而在非顯示區(qū)20b通過兩種色阻重疊能夠?qū)崿F(xiàn)黑矩陣的遮光功能即可。本實施例中針對顯示區(qū)20a的濾光膜制作可以參照圖5a至圖5c所示的實施例,在此省略不再贅述。
[0052]圖8是本發(fā)明的用于制作彩色濾光片的第一光罩的局部平面示意圖,請參圖8,該第一光罩30具有與圖5a中曝光制作得到的第一彩色濾光膜22相同的圖案,或者該第一光罩30具有與圖7a中曝光制作得到的第一彩色濾光膜22相同的圖案(圖8所示為與圖5a中曝光制作得到的第一彩色濾光膜22相同的圖案),但不限于此。該第一光罩30包括與顯示區(qū)20a對應(yīng)的第一光罩圖案30a和與非顯不區(qū)20b對應(yīng)的第一邊框部分30b,第一光罩圖案30a用于曝光制作該彩色濾光片的顯不區(qū)20a,每一行中相鄰的兩個第一光罩圖案30a沿著第一光罩30的橫向X相互間隔,上下相鄰兩行中的第一光罩圖案30a沿著第一光罩30的豎向Y相互錯開一個子像素的寬度且通過一個邊角相連,其中橫向X與豎向Y相互垂直。位于奇數(shù)行的第一光罩圖案30a在豎向Y上相互對齊,位于偶數(shù)行的第一光罩圖案30a在豎向Y上也相互對齊,但位于奇數(shù)行的第一光罩圖案30a和位于偶數(shù)行的第一光罩圖案30a在豎向Y上相互錯開一個子像素的寬度,使上下相鄰兩行中的第一光罩圖案30a在豎向Y上相互錯開一個子像素的寬度且通過一個邊角相連。上下相鄰兩行中的第一光罩圖案30a在橫向X和豎向Y上均具有重疊,且重疊尺寸均為Wbm(即黑矩陣的寬度)。假設(shè)該第一光罩圖案30a的尺寸為W*L(寬度為W,長度為U,則W=Wo+2Wbm,L = Lo+2Wbm0
[0053]利用該第一光罩30在襯底基板21上曝光制作第一彩色濾光膜22、第二彩色濾光膜
23和第三彩色濾光膜24時,第一彩色濾光膜22、第二彩色濾光膜23和第三彩色濾光膜24均選用正性色阻材料(被曝光區(qū)域的色阻材料被移除,未被曝光區(qū)域的色阻材料留下形成濾光膜的圖案)。亦即,通過搭配使用正性色阻材料,利用同一張光罩(該第一光罩30)即可在襯底基板21上曝光制作形成該三種顏色的濾光膜22、23、24,且同時通過這三種顏色的濾光膜22、23、24相互重疊形成所需的黑矩陣BM和隔墊物PS。
[0054]該第一光罩30可以為半色調(diào)光罩(half-tone mask),該第一光罩30在第一邊框部分30b(即對應(yīng)于非顯示區(qū)20b的位置)設(shè)置半透射膜,通過該半透射膜減小對非顯示區(qū)20b上色阻的曝光能量,即在制作該三種濾光膜22、23、24時,對非顯示區(qū)20b上的色阻通過該半透射膜采取半曝光,這樣在曝光顯影后,在非顯示區(qū)20b留下的色阻厚度小于在顯示區(qū)20a留下的色阻厚度,使最終形成在外圍非顯示區(qū)20b的隔墊物不高于形成在顯示區(qū)20a的隔墊物,以避免產(chǎn)品出現(xiàn)顯示不良。
[0055]圖9是本發(fā)明的用于制作彩色濾光片的第二光罩的局部平面示意圖,請參圖9,該第二光罩40包括與顯示區(qū)20a對應(yīng)的第二光罩圖案40a和與非顯示區(qū)20b對應(yīng)的第二邊框部分40b