8]在透光性板2c和透光性板2d之間的規(guī)定區(qū)域，形成有吸光膜16，該吸光膜16具有吸收光的性質(zhì)。吸光膜16由黑抗蝕劑、CrO、含CrO的層疊膜形成，具有用于使入射光LI通過的狹縫16a、以及用于使衍射光L2通過的開口部16b。
[0039]吸光層11具有吸收光的性質(zhì)，由與吸光膜16相同的材質(zhì)形成。該吸光層11的表面(配線12側(cè)的面)形成為粗糙面。另外，吸光層11具有用于使來自外部的入射光LI通過的狹縫11a、以及用于使從透光性板2c、2d向光檢測元件7行進(jìn)的衍射光L2通過的開口部lib。
[0040]狹縫Ila在本體部2的長邊方向上的與光檢測元件7鄰接的位置沿著與長邊方向大致正交的方向延伸。另外，開口部Ilb形成在本體部2的大致中央部，與光檢測元件7的光檢測面相對。
[0041 ]另外，吸光膜16的狹縫16a和開口部16b分別與狹縫I Ia和開口部11b相對。另外，從表面2a側(cè)看時(shí)，狹縫16a為包圍狹縫11 a的程度的大小，開口部16b為包圍開口部11 b的程度的大小。利用狹縫16a，能夠?qū)⑷肷涔釲I限制于向衍射層4入射的范圍。另外，即使入射光LI向不必要的地方行進(jìn)并在不必要的地方產(chǎn)生反射光(雜散光)，也能夠利用開口部16b來限制光通過的范圍，因而能夠防止雜散光向光檢測元件7入射。于是，能夠提高分光模塊I的精度。
[0042]配線12，由與光檢測元件7電連接的多個(gè)端子部12a、與柔性基板8電連接的多個(gè)端子部12b、以及將對應(yīng)的端子部12a和端子部12b電連接的配線部12c構(gòu)成。另外，端子部12a、端子部12b、以及配線部12c由鋁或金的單層膜，或者T1-Pt-Au、T1-N1-AU、Cr-AU等的層疊膜構(gòu)成。端子部12a以包圍開口部Ilb的緣部的方式配置，端子部12b以沿著表面2a的長邊方向上的端部的方式配置。
[0043]光檢測元件7形成為長方形薄板狀，配置于本體部2的表面2a的與開口部Ilb相對的位置。光檢測元件7通過倒裝芯片接合(flip chip bonding)而安裝于本體部2的表面2a偵U，形成于光檢測元件7的表面7a的端子部(圖中未顯示)和端子部12a電連接。在表面7a的大致中央部，形成有用于接受通過開口部Ilb的衍射光L2的光檢測面7b。另外，光檢測元件7，例如使用光電二極管陣列或C-MOS影像傳感器、CXD影像傳感器。而且，在光檢測元件7和本體部2的表面2a之間，填充有底填充樹脂5。
[0044]柔性基板8是具有柔軟性的印刷基板，通過引線接合(wirebonding)而與端子部12b連接。
[0045]透鏡部3設(shè)在本體部2的背面2b的與狹縫Ila相對的位置。透鏡部3是接近于半球的形狀的透鏡，其表面為具有規(guī)定的曲率的凸曲面3a。另外，透鏡部3以凸曲面3a的透鏡中心和狹縫Ila的中央部大致重疊的方式配置。此外，凸曲面3a也可以為非球面。
[0046]衍射層4沿著透鏡部3的凸曲面3a形成。在該衍射層4，例如使用圖3(a)所示的截面為鋸齒狀的閃耀光柵(blazed grating)、圖(b)所示的截面為矩形狀的二元光柵(binarygrating)、或者圖(c)所示的截面為正弦波狀的全息光柵(holographic grating)等類型的光柵。光檢測元件7的光檢測面沿著因該衍射層4而產(chǎn)生的衍射光L2的分散方向延伸。另外，通過蒸鍍鋁及金等，從而在衍射層4的表面，形成有反射層6。
[0047]對上述的分光模塊I的制造方法進(jìn)行說明。
[0048]首先，在透光性板2c的表面，以形成有狹縫Ila和開口部Ilb的圖案的方式圖案化形成(patterning)吸光層11，同時(shí)，在其表面圖案化形成配線12和對準(zhǔn)標(biāo)記13、14。通過與晶圓工藝相同的配線形成工藝來進(jìn)行這些圖案化。
[0049]在透光性板2c的表面，通過倒裝芯片接合來安裝光檢測元件7。這時(shí)，以對準(zhǔn)標(biāo)記14為基準(zhǔn)進(jìn)行定位。如此，由于以在與狹縫Ila相同的工藝中形成的對準(zhǔn)標(biāo)記14為基準(zhǔn)，因而能夠高精度地將狹縫Ila和光檢測元件7的光檢測面7b定位。
[0050]其次，在透光性板2d的背面，形成透鏡部3、衍射層4、以及反射層6。由于該工藝使大量生產(chǎn)成為可能，因而能夠通過晶圓工藝進(jìn)行。即，如圖4(a)和(b)所示，在玻璃晶圓上設(shè)有按照透光性板2d的大小進(jìn)行區(qū)分的切割線(dicing line)。而且，如圖5(b)所示，在各個(gè)區(qū)域，通過光蝕刻工藝，同時(shí)形成透鏡安裝部15和對準(zhǔn)標(biāo)記17。
[0051]透鏡安裝部15通過在透光性板2d設(shè)置圓形的凹部而形成。另外，對準(zhǔn)標(biāo)記17，在貼合透光性板2c和透光性板2d的情況下，設(shè)于在厚度方向上與圖5(a)所示的表面2a側(cè)的對準(zhǔn)標(biāo)記13相對的位置。
[0052]而且，在玻璃晶圓的各透鏡安裝部15，通過用光學(xué)樹脂等進(jìn)行貼附而安裝小型透鏡，從而形成透鏡部3。而且，在透鏡部3形成衍射層4和反射層6后，通過沿著切割線進(jìn)行切割而分割成各個(gè)透光性板2d。
[0053]在此，參照圖6至圖8，說明在玻璃晶圓安裝透鏡部3等的工藝。
[0054]如圖6(a)?(c)所示，通過在玻璃晶圓18的表面形成感光性樹脂圖案19，從而設(shè)置透鏡安裝部15和對準(zhǔn)標(biāo)記17。另外，這時(shí)，透鏡安裝部15可以通過對玻璃晶圓18本身進(jìn)行蝕刻加工或者通過圖案化形成金屬膜而形成。在如此形成的透鏡安裝部15，涂布有用于貼附透鏡的光學(xué)樹脂21。
[0055]其次，如圖7 (a)和(b)所示，通過在透鏡安裝部15安裝透鏡22而形成透鏡部3。在安裝的透鏡22的曲面，涂布用于形成衍射層部4的光硬化性樹脂25。
[0056]如圖8(a)和(b)所示，使由石英等形成的光透過性模具24接觸于涂布的光硬化性樹脂25。通過在該狀態(tài)下從光透過性模具24的上方向光硬化性樹脂25照射紫外線，從而進(jìn)行UV硬化處理，在透鏡22的曲面形成衍射層4。另外，優(yōu)選通過在UV硬化處理之后進(jìn)行加熱固化，從而使衍射層4穩(wěn)定化。形成衍射層4后，通過向其外面蒸鍍鋁或金，從而形成反射層
6。另外，衍射層4能夠由感光性的樹脂或玻璃、有機(jī)和無機(jī)的混合素材，或者遇熱變形的樹脂或玻璃、有機(jī)和無機(jī)的混合素材等形成。
[0057]在此，透鏡22的曲面的曲率半徑大于衍射層4的曲率半徑，衍射層4的曲率半徑反映了光透過性模具24的曲率半徑。另外，衍射層4的形成位置反映了接觸于光透過性模具24的位置。
[0058]所以，即使在透鏡22的曲率半徑有公差的情況下，或者在透鏡22對玻璃晶圓18的安裝位置發(fā)生誤差的情況下，也能夠使衍射層4的形成位置(XYZ方向)為一定。
[0059]如上所述，將設(shè)有各構(gòu)成構(gòu)件的透光性板2c和透光性板2d貼合。通過在透光性板2c、2d之間夾入吸光膜16，涂布光學(xué)樹脂并使其硬化，從而進(jìn)行貼合。吸光膜16，通過光蝕刻等而形成于透光性板2c、2d的某一個(gè)的面上。另外，貼合時(shí)，如圖9所示，以透光性板2c的對準(zhǔn)標(biāo)記13和透光性板2d的對準(zhǔn)標(biāo)記17為基準(zhǔn)而進(jìn)行。于是，能夠精度良好地將狹縫11a、衍射層4以及光檢測元件7定位。
[0060]對上述的分光模塊I的作用效果進(jìn)行說明。
[0061 ]在該分光模塊I中，由于本體部2為板狀，因而能夠通過本體部2的薄型化來謀求小型化。并且，由于本體部2為板狀，因而例如能夠利用晶圓工藝，制造分光模塊。即，對于作為多個(gè)本體部2的玻璃晶圓，通過以矩陣狀設(shè)置透鏡部3、衍射層4、反射層6以及光檢測元件7，并切割該玻璃晶圓，從而能夠制造多個(gè)分光模塊I。如此，能夠容易地大量生產(chǎn)分光模塊I。
[0062]另外，由于在本體部2的表面2a形成有配線12，因而不直接連接外部的配線和光檢測元件7，而能夠經(jīng)由設(shè)在本體部2的配線12將外部的配線和光檢測元件7電連接。于是，在處理分光模塊I時(shí)和與外部裝置連接時(shí)，抑制了局部的應(yīng)力施加于光檢測元件7，因而即使在謀求分光模塊I的小型化的情況下，也能夠防止光檢測元