保持具、保持具單元及刻劃裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明是關(guān)于一種在玻璃基板等脆性材料基板的分?jǐn)嘀?，于脆性材料基板表面形成刻劃線時(shí)使用的保持具、保持具單元及刻劃裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在將玻璃基板等脆性材料基板分?jǐn)喑伤叽鐣r(shí)，一般使用刻劃裝置。該刻劃裝置，在用于保持刻劃輪的保持具安裝刻劃輪而使用。此外，該刻劃輪，借由在形成于保持具的保持部的銷孔、與形成于刻劃輪的側(cè)面的貫通孔，插入圓柱狀的銷軸，而保持于保持部間(保持槽)。
[0003]而且，安裝于保持具的刻劃輪，被保持成旋轉(zhuǎn)自如，借由一邊在脆性材料基板的表面進(jìn)行旋轉(zhuǎn)一邊前進(jìn)，而于脆性材料基板形成刻劃線。另外，作為如此般的刻劃裝置，例如有專利文獻(xiàn)I中記載般的刻劃裝置。
[0004]專利文獻(xiàn)1:國際專利公開W02007/063979號(hào)公報(bào)。
[0005]安裝于保持具的刻劃輪，如上述般為了形成刻劃線而有必要在保持槽進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。然而，保持槽的寬度稍微較刻劃輪的厚度寬，以在刻劃輪與保持部間確保有余隙(clearance)。具體而言，在刻劃輪的厚度為0.65mm的情形，保持槽的寬度較其寬約0.02mm左右。如此般，借由在刻劃輪與保持部間存在余隙，刻劃輪被保持成旋轉(zhuǎn)自如。
[0006]另一方面，因該余隙，而使刻劃輪在保持槽內(nèi)會(huì)沿著銷軸移動(dòng)0.02mm左右。因此，在形成刻劃線時(shí)，刻劃輪將于銷軸方向移動(dòng)，而使刻劃線的形成位置不穩(wěn)定，在現(xiàn)有習(xí)知的刻劃裝置中，導(dǎo)致有刻劃線從所要的位置偏離的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明是有鑒于因上述的刻劃輪在銷軸方向移動(dòng)而使刻劃線的形成位置偏離的問題點(diǎn)而完成，其目的在于提供一種能使刻劃線的形成位置穩(wěn)定，不會(huì)產(chǎn)生從所要的位置偏離的保持具、保持具單元及刻劃裝置。
[0008]為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明的保持具，具備一對保持部、及位于同軸上且分別形成于該保持部的銷孔，且用于借由貫通于刻劃輪的貫通孔并且插通于該銷孔的銷軸，而將該刻劃輪呈旋轉(zhuǎn)自如地保持在該保持部間，其特征在于:在保持該刻劃輪時(shí)，收容沿該銷軸的方向吸引該刻劃輪的磁鐵的收容部形成于該保持部的一方。
[0009]根據(jù)本發(fā)明的保持具，當(dāng)磁性體的刻劃輪被保持在保持具時(shí)，借由磁鐵而將刻劃輪往一側(cè)吸引。借此，限制了因刻劃輪與保持部間的余隙而使刻劃輪往銷軸方向移動(dòng)的情況。因此，保持具能夠使刻劃線的形成位置穩(wěn)定。
[0010]本發(fā)明的保持具，可構(gòu)成為:該收容部形成于與該銷孔重疊的位置。
[0011]根據(jù)該構(gòu)成，由于能夠借由收容于收容部的磁鐵而吸引刻劃輪的側(cè)面中心，因此保持具能夠使刻劃輪直立。因此，保持具能夠形成鮮少產(chǎn)生所謂裂變(偏斜)的刻劃線。
[0012]此外，本發(fā)明的保持具單元，具備有:強(qiáng)磁性體的刻劃輪、貫通于該刻劃輪的貫通孔的銷軸、以及保持具，該保持具是具有保持該刻劃輪的一對保持部、及位于同軸上且分別形成于該保持部并且供該銷軸插通的銷孔，其特征在于:在該保持部的一方，收容有沿該銷軸的方向吸引該刻劃輪的磁鐵。
[0013]根據(jù)本發(fā)明的保持具單元，由于借由磁鐵而將刻劃輪往一側(cè)吸引，因此限制了因刻劃輪與保持部間的余隙而使刻劃輪往銷軸方向移動(dòng)的情況。因此，保持具單元能夠使刻劃線的形成位置穩(wěn)定。
[0014]本發(fā)明的保持具單元，可構(gòu)成為:該磁鐵收容于與該銷軸重疊的位置。
[0015]根據(jù)該構(gòu)成，由于能夠借由磁鐵而吸引刻劃輪的側(cè)面中心，因此保持具單元能夠使刻劃輪直立。因此，保持具單元能夠形成鮮少產(chǎn)生碎肩的刻劃線。
[0016]此外，本發(fā)明的保持具單元，可構(gòu)成為:該磁鐵，收容于該刻劃輪的側(cè)面與該保持部重疊的位置。
[0017]根據(jù)該構(gòu)成，由于能夠借由磁鐵而均等地吸引刻劃輪的側(cè)面與保持部重疊的區(qū)域整體，因此保持具單元能夠使刻劃輪確實(shí)地直立。因此，保持具單元能夠形成鮮少產(chǎn)生裂變(偏斜)的刻劃線。
[0018]此外，本發(fā)明的保持具單元，可構(gòu)成為:該銷軸，在該磁鐵側(cè)成為較短。
[0019]根據(jù)該構(gòu)成，由于刻劃輪與磁鐵間的距離變近，因此保持具單元，能夠使限制因刻劃輪與保持部間的余隙所產(chǎn)生的刻劃輪往銷軸方向移動(dòng)的情況的效果更加提高。因此，保持具單元能夠使刻劃線的形成位置更穩(wěn)定。
[0020]此外，本發(fā)明的刻劃裝置，其特征在于具備上述的保持具。此外，本發(fā)明的刻劃裝置，其特征在于具備上述的保持具單元。
[0021 ] 根據(jù)本發(fā)明的刻劃裝置，能夠限制因刻劃輪與保持部間的余隙而使刻劃輪往銷軸方向移動(dòng)的情況。因此，刻劃裝置能夠使刻劃線的形成位置穩(wěn)定。
【附圖說明】
[0022]圖1是實(shí)施例1的刻劃裝置的概略圖。
[0023]圖2 (A)是實(shí)施例1的保持具單元的前視圖；圖2 (B)是左側(cè)視圖；圖2 (C)是右側(cè)視圖；圖2(D)是仰視圖。
[0024]圖3(A)是實(shí)施例1的保持具單元的除去止擋件后的狀態(tài)的右側(cè)視圖；圖3(B)是圖3 (A)的IIIB-1IIB線的剖面圖。
[0025]圖4是表示實(shí)施例1的保持具單元的組裝步驟；圖4(A)是保持具單元的右側(cè)視圖；圖4(B)是左側(cè)視圖;圖4(C)是圖4(A)的IVC-1VC線的剖面圖。
[0026]圖5 (A)是實(shí)施例2的保持具單元及安裝有該保持具單元的保持具接頭的側(cè)視圖；圖5(B)是保持具單元的立體圖；圖5(C)是保持具單元的前視放大圖。
[0027]圖6 (A)是實(shí)施例3的保持具單元的側(cè)視圖；圖6 (B)是圖6 (A)的VIB-VIB線的剖面圖。
[0028]【主要元件符號(hào)說明】
[0029]1:刻劃裝置10:移動(dòng)臺(tái)
[0030]11:滾珠螺桿12:導(dǎo)引軌條
[0031]13:馬達(dá)14:平臺(tái)
[0032]15:脆性材料基板16: CCD攝影機(jī)
[0033]17:橋架18a、18b:支柱
[0034]19:導(dǎo)引件20:刻劃頭
[0035]30、130、230:保持具單元40、140、240:刻劃輪
[0036]41:貫通孔42、142、242:圓板側(cè)面
[0037]43:刀刃50、150、250:銷軸
[0038]51:尖頭部60、160、260:保持具
[0039]61、161、261:保持具基體
[0040]62a、62b、l62a、l62b、262a、262b:保持部
[0041]63、163、263:保持槽
[0042]64a、64b、264a、264b:圓柱體
[0043]65a、65b、165a、165b、265a、265b:銷孔
[0044]66a、66b、l66a、266a、266b:保持壁
[0045]67、167、267:收容部68、268:安裝孔
[0046]69、269:螺栓安裝孔70a、70b、270a、270b:螺孔
[0047]71、73a、73b:固定螺栓72、74:止擋件
[0048]75、175、275:磁鐵76:圓柱體安裝孔
[0049]170:安裝部170a:傾斜部
[0050]170b:平坦部200:保持具接頭
[0051]201:旋轉(zhuǎn)軸部202:接頭部
[0052]203a、203b:軸承204:隔片
【具體實(shí)施方式】
[0053]以下，使用圖式說明本發(fā)明的實(shí)施例。但是，以下所示的實(shí)施例，是表示用于具體化本發(fā)明的技術(shù)思想的一例，并無意圖將本發(fā)明特定于該實(shí)施例。本發(fā)明亦可適用于專利要求保護(hù)范圍所包含的其他實(shí)施例。
[0054][實(shí)施例1]
[0055]圖1是本發(fā)明的實(shí)施例的刻劃裝置I的概略圖?？虅澭b置1，具備有移動(dòng)臺(tái)10。移動(dòng)臺(tái)10，與滾珠螺桿11螺合，借由馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)而該滾珠螺桿11進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，借此可沿一對導(dǎo)引軌條12而于Y軸方向移動(dòng)。
[0056]在移動(dòng)臺(tái)10的上面，設(shè)置有馬達(dá)13。馬達(dá)13，使位于上部的平臺(tái)14在xy平面旋轉(zhuǎn)而定位于既定角度。借由馬達(dá)13而可水平旋轉(zhuǎn)的平臺(tái)14，具備有未圖示的真空吸附手段，將載置于平臺(tái)14上的脆性材料基板15借由該真空吸附手段而保持。
[0057]該脆性材料基板15，是玻璃基板、由低溫?zé)商沾苫蚋邷責(zé)商沾蓸?gòu)成的陶瓷基板、硅基板、化合物半導(dǎo)體基板、藍(lán)寶石基板、石英基板等。此外，脆性材料基板15，亦可為在基板表面或內(nèi)部附著、或包含有薄膜或半導(dǎo)體材料。此外，脆性材料基板15，亦可在其表面附著有不屬于脆性材料的薄膜等。
[0058]刻劃裝置1，在載置于平臺(tái)14的脆性材料基板15的上方，具備有對形成于該脆性材料基板15表面的對準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行拍攝的2臺(tái)CCD攝影機(jī)16。以跨越移動(dòng)臺(tái)10與其上部的平臺(tái)14的方式，將橋架17架設(shè)于支柱18a、18b。
[0059]在橋架17安裝有導(dǎo)引件19，而將刻劃頭20設(shè)置成由該導(dǎo)引件19引導(dǎo)而于x軸方向移動(dòng)。在刻劃頭20的下端，安裝有保持具單元30，該保持具單元30是在保持具60保持有刻劃輪40。
[0060]此處，概略地說明使用刻劃裝置I對脆性材料基板15形成刻劃線的步驟。首先，在安裝于刻劃頭20的保持具60安裝刻劃輪40。然后，刻劃裝置1，借由一對CCD攝影機(jī)16而進(jìn)行脆性材料基板15的定位。接著，刻劃裝置I，使刻劃頭20移動(dòng)于既定位置，對刻劃輪40施加既定的負(fù)載，并使其往脆性材料基板15接觸。然后，刻劃裝置1，借由使刻劃頭20于X軸方向移動(dòng)，而于脆性材料基板15表面形成既定的刻劃線。另外，刻劃裝置1，可根據(jù)需要而旋動(dòng)平臺(tái)14并于Y軸方向移動(dòng)，與上述情形同樣地