一種自動清除廢液排放管路堵塞的裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中廢液的排放設(shè)備，具體地說是一種自動清除廢液排放管路堵塞的裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中會產(chǎn)生大量化學(xué)廢液，化學(xué)廢液需要通過排廢管路系統(tǒng)排放。在廢液排放管路中經(jīng)常會有沉積物附著在廢液排放管的管壁上，積累的沉積物會使排廢不順暢。管道中沉積物長時(shí)間積累會造成排廢管道堵塞，排廢系統(tǒng)無法正常排放化學(xué)廢液。管路系統(tǒng)的拆除清洗或更換會延誤生產(chǎn)時(shí)間，也會增加生產(chǎn)成本。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于提供一種自動清除廢液排放管路堵塞的裝置。當(dāng)排放管路堵塞時(shí)，該裝置可以自動清洗排廢管路，清除堵塞物，防止管路堵塞。
[0004]本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的:
[0005]本發(fā)明包括廢液收集箱、清洗液供給泵、清洗液控制閥、清洗液槽、廢液排放箱、排液控制閥、廢液收集槽及清洗廢液收集槽，其中廢液收集箱的一個(gè)入口通過所述清洗液供給泵與清洗液槽連通，并在所述清洗液槽與清洗液供給泵之間設(shè)有清洗液控制閥，所述廢液收集箱的另一個(gè)入口為廢液入口，該入口處設(shè)有可開關(guān)的廢液收集箱密封擋板，所述廢液收集箱的出口通過廢液排放管與所述廢液排放箱的入口相連通；所述廢液排放箱的一個(gè)出口為廢液出口，該出口處設(shè)有可開關(guān)的廢液排放箱密封擋板，由該出口流出的廢液通過所述廢液收集槽收集，所述廢液排放箱的另一個(gè)出口與所述排液控制閥連通，所述清洗液槽內(nèi)的清洗液經(jīng)該排液控制閥、由所述清洗廢液收集槽收集。
[0006]其中:所述廢液收集箱的一個(gè)入口與清洗液供給泵的出口相連通，該清洗液供給泵的入口通過所述清洗液控制閥與所述清洗液槽連通，所述清洗液控制閥通過清洗液閥控制氣缸控制開關(guān)；所述排液控制閥通過排液閥控制氣缸控制開關(guān)；所述廢液排放箱的另一個(gè)出口與排液控制閥的入口相連通，該排液控制閥出口連接的管路位于所述清洗廢液收集槽的上方；
[0007]所述廢液收集箱密封擋板鉸接于廢液收集箱另一個(gè)入口處，并通過收集箱擋板控制氣缸控制開關(guān)；所述廢液收集箱S封擋板的中部欽接于廢液收集箱另Iv入口處，廢液收集箱密封擋板的一端與所述收集箱擋板控制氣缸的輸出端鉸接，另一端在關(guān)閉時(shí)密封所述廢液收集箱另一個(gè)入口；
[0008]所述廢液排放箱密封擋板鉸接于廢液排放箱一個(gè)出口處，并通過排放箱擋板控制氣缸控制開關(guān)；所述廢液排放箱密封擋板的中部鉸接于廢液排放箱一個(gè)出口處，廢液排放箱密封擋板的一端與所述排放箱擋板控制氣缸的輸出端鉸接，另一端在關(guān)閉時(shí)密封所述廢液排放箱一個(gè)出口 ；所述廢液排放箱位于廢液收集槽的上方。
[0009]本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)與積極效果為:
[0010]本發(fā)明可自動清洗廢液排放管路，防止管路堵塞；當(dāng)排放管路堵塞時(shí)，本發(fā)明可自動清除堵塞物，無需將管路拆除進(jìn)行清洗，節(jié)省工作時(shí)間，提高工作效率。
【附圖說明】
[0011]圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]圖2為本發(fā)明清除堵塞、排放生產(chǎn)廢液時(shí)的工作狀態(tài)圖；
[0013]其中:I為廢液排放箱密封擋板，2為廢液收集箱，3為排放箱擋板控制氣缸，4為廢液排放管，5為廢液收集箱，6為收集箱擋板控制氣缸，7為廢液收集箱密封擋板，8為清洗液供給泵，9為清洗液控制閥，10為清洗液閥控制氣缸，11為清洗液槽，12為廢液排放箱，13為排廢控制閥，14為排廢閥控制氣缸，15為清洗廢液收集槽。
【具體實(shí)施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步詳述。
[0015]如圖1、圖2所本發(fā)明包括廢液收集箱5、收集箱擋板控制氣缸6、廢液收集箱密封擋板7、清洗液供給泵8、清洗液控制閥9、清洗液閥控制氣缸10、清洗液槽11、廢液排放箱12、排液控制閥13、排液閥控制氣缸14、廢液排放箱密封擋板1、廢液收集槽2、排放箱擋板控制氣缸3及清洗廢液收集槽15，其中廢液收集箱)的一個(gè)入口通過管路與清洗液供給泵8的出口相連通，該清洗液供給泵8的入口通過管路與清洗液槽11相連通，并在清洗液供給泵8與清洗液槽11之間的管路上設(shè)有控制管路開關(guān)的清洗液控制閥9，該清洗液控制閥9通過安裝在基礎(chǔ)上的清洗液閥控制氣缸10控制開關(guān)。廢液收集箱5的另一個(gè)入口為廢液入口，排放半導(dǎo)體生產(chǎn)中產(chǎn)生的廢液由該入口進(jìn)入；廢液收集箱5的另一個(gè)入口鉸接有可開關(guān)的廢液收集箱密封擋板7，并通過安裝在基礎(chǔ)上的收集箱擋板控制氣缸6控制開關(guān)；廢液收集箱密封擋板7的中部鉸接于廢液收集箱5另一個(gè)入口處，廢液收集箱密封擋板7的一端與收集箱擋板控制氣缸6的輸出端鉸接，另一端在處于關(guān)閉狀態(tài)時(shí)密封廢液收集箱5另一個(gè)入口。
[0016]廢液排放箱12位于廢液收集槽2的上方，廢液收集箱5的出口與廢液排放管4的入口相連，廢液排放管4的出口與廢液排放箱12的入口連接；廢液排放箱12的一個(gè)出口為廢液出口，由該出口流出的廢液通過廢液收集槽2收集。廢液排放箱12的一個(gè)出口處鉸接可開關(guān)的廢液排放箱密封擋板1，并通過安裝在基礎(chǔ)上的排放箱擋板控制氣缸3控制開關(guān)；廢液排放箱密封擋板I的中部鉸接于廢液排放箱12 —個(gè)出口處，廢液排放箱密封擋板I的一端與排放箱擋板控制氣缸3的輸出端鉸接，另一端在處于關(guān)閉狀態(tài)時(shí)密封廢液排放箱12一個(gè)出口。廢液排放箱12的另一個(gè)出口通過管路與排液控制閥13的入口相連通，該排液控制閥13出口連接的管路位于清洗廢液收集槽15的上方，清洗液槽11內(nèi)的清洗液經(jīng)該排液控制閥13、由清洗廢液收集槽15收集，排液控制閥13通過安裝在基礎(chǔ)上的排液閥控制氣缸14控制開關(guān)。
[0017]本發(fā)明的工作原理為:
[0018]排放半導(dǎo)體生產(chǎn)中產(chǎn)生的廢液時(shí):如圖2所示，收集箱擋板控制氣缸6控制廢液收集箱密封擋板7，使廢液收集箱密封擋板7打開；廢液排放箱密封擋板I由排放箱擋板控制氣缸3控制開啟；清洗液控制閥9由清洗液閥控制氣缸10控制關(guān)閉，排液控制閥13由排液閥控制氣缸14控制關(guān)閉；產(chǎn)生的廢液依次通過廢液收集箱5、廢液排放管4、廢液排放箱12排放到廢液收集槽2。
[0019]清洗廢液排放管時(shí)或清除排廢管堵塞物時(shí):如圖1所示，廢液排放箱密封擋板I可由排放箱擋板控制氣缸3控制關(guān)閉，廢液收集箱密封擋板7可由收集箱擋板控制氣缸6控制關(guān)閉；清洗液控制閥9由清洗液閥控制氣缸10控制開啟，排液控制閥13由排液閥控制氣缸14控制開啟；清洗液槽11中的清洗液可通過清洗液供給泵8加壓流入廢液收集箱5內(nèi)，再經(jīng)廢液排放管4流向廢液排放箱12，清除管路中堵塞物并可對管路進(jìn)行清洗，清洗廢液可通過排液控制閥13流入清洗廢液收集槽15中。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種自動清除廢液排放管路堵塞的裝置，其特征在于:包括廢液收集箱(5)、清洗液供給泵(8)、清洗液控制閥(9)、清洗液槽(11)、廢液排放箱(12)、排液控制閥(13)、廢液收集槽(2)及清洗廢液收集槽(15)，其中廢液收集箱(5)的一個(gè)入口通過所述清洗液供給泵(8)與清洗液槽(11)連通，并在所述清洗液槽(11)與清洗液供給泵(8)之間設(shè)有清洗液控制閥(9)，所述廢液收集箱(5)的另一個(gè)入口為廢液入口，該入口處設(shè)有可開關(guān)的廢液收集箱密封擋板(7)，所述廢液收集箱(5)的出口通過廢液排放管(4)與所述廢液排放箱(12)的入口相連通；所述廢液排放箱(12)的一個(gè)出口為廢液出口，該出口處設(shè)有可開關(guān)的廢液排放箱密封擋板(I)，由該出口流出的廢液通過所述廢液收集槽(2)收集，所述廢液排放箱(12)的另一個(gè)出口與所述排液控制閥(13)連通，所述清洗液槽(11)內(nèi)的清洗液經(jīng)該排液控制閥(13)、由所述清洗廢液收集槽(15)收集。2.按權(quán)利要求1所述自動清除廢液排放管路堵塞的裝置，其特征在于:所述廢液收集箱(5)的一個(gè)入口與清洗液供給泵(8)的出口相連通，該清洗液供給泵(8)的入口通過所述清洗液控制閥(9)與所述清洗液槽(11)連通，所述清洗液控制閥(9)通過清洗液閥控制氣缸(10)控制開關(guān)。3.按權(quán)利要求1所述自動清除廢液排放管路堵塞的裝置，其特征在于:所述排液控制閥(13)通過排液閥控制氣缸(14)控制開關(guān)。4.按權(quán)利要求1或3所述自動清除廢液排放管路堵塞的裝置，其特征在于:所述廢液排放箱(12)的另一個(gè)出口與排液控制閥(13)的入口相連通，該排液控制閥(13)出口連接的管路位于所述清洗廢液收集槽(15)的上方。5.按權(quán)利要求1所述自動清除廢液排放管路堵塞的裝置，其特征在于:所述廢液收集箱密封擋板(7)鉸接于廢液收集箱(5)另一個(gè)入口處，并通過收集箱擋板控制氣缸(6)控制開關(guān)。6.按權(quán)利要求5所述自動清除廢液排放管路堵塞的裝置，其特征在于:所述廢液收集箱密封擋板(7)的中部鉸接于廢液收集箱(5)另一個(gè)入口處，廢液收集箱密封擋板(7)的一端與所述收集箱擋板控制氣缸￠)的輸出端鉸接，另一端在關(guān)閉時(shí)密封所述廢液收集箱(5)另一個(gè)入口。7.按權(quán)利要求1所述自動清除廢液排放管路堵塞的裝置，其特征在于:所述廢液排放箱密封擋板(I)鉸接于廢液排放箱(12) —個(gè)出口處，并通過排放箱擋板控制氣缸(3)控制開關(guān)。8.按權(quán)利要求7所述自動清除廢液排放管路堵塞的裝置，其特征在于:所述廢液排放箱密封擋板(I)的中部鉸接于廢液排放箱(12) —個(gè)出口處，廢液排放箱密封擋板(I)的一端與所述排放箱擋板控制氣缸(3)的輸出端鉸接，另一端在關(guān)閉時(shí)密封所述廢液排放箱(12) 一個(gè)出口。9.按權(quán)利要求1所述自動清除廢液排放管路堵塞的裝置，其特征在于:所述廢液排放箱(12)位于廢液收集槽(2)的上方。
【專利摘要】本發(fā)明涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中廢液的排放設(shè)備，具體地說是一種自動清除廢液排放管路堵塞的裝置，包括廢液收集箱、清洗液供給泵、清洗液控制閥、清洗液槽、廢液排放箱、排液控制閥、廢液收集槽及清洗廢液收集槽，廢液收集箱的一個(gè)入口依次與清洗液供給泵、清洗液控制閥、清洗液槽連通，另一個(gè)入口處設(shè)有可開關(guān)的廢液收集箱密封擋板，廢液收集箱的出口通過廢液排放管與廢液排放箱的入口相連通；廢液排放箱的一個(gè)出口處設(shè)有可開關(guān)的廢液排放箱密封擋板，另一個(gè)出口與排液控制閥連通，清洗液槽內(nèi)的清洗液由清洗廢液收集槽收集，廢液由廢液收集槽收集。本發(fā)明可自動清洗廢液排放管路，防止管路堵塞，無需將管路拆除進(jìn)行清洗，節(jié)省工作時(shí)間。
【IPC分類】F16L55/24, B08B9/032
【公開號】CN105170578
【申請?zhí)枴?br>【發(fā)明人】門恩國, 王繼周
【申請人】沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司
【公開日】2015年12月23日
【申請日】2014年5月30日