技術(shù)編號：8953055
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中會產(chǎn)生大量化學(xué)廢液，化學(xué)廢液需要通過排廢管路系統(tǒng)排放。在廢液排放管路中經(jīng)常會有沉積物附著在廢液排放管的管壁上，積累的沉積物會使排廢不順暢。管道中沉積物長時間積累會造成排廢管道堵塞，排廢系統(tǒng)無法正常排放化學(xué)廢液。管路系統(tǒng)的拆除清洗或更換會延誤生產(chǎn)時間，也會增加生產(chǎn)成本。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種自動清除廢液排放管路堵塞的裝置。當(dāng)排放管路堵塞時，該裝置可以自動清洗排廢管路，清除堵塞物，防止管路堵塞。本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的本...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。