絲網(wǎng)印刷用網(wǎng)板、光刻方法及其應(yīng)用
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種絲網(wǎng)印刷用的網(wǎng)板、光刻方法、以及他們的應(yīng)用，尤其涉及一種在太陽能電池板制造過程中可便捷的光刻進行制作槽線的網(wǎng)板、光刻方法以及他們的應(yīng)用。
【背景技術(shù)】
[0002]晶硅太陽能電池的制造工藝中，需要在硅片表面制作柵線以收集硅片中光電轉(zhuǎn)換產(chǎn)生的電流，現(xiàn)有技術(shù)采用如下工藝制作柵線:首先在掩膜版上制作柵線圖形，利用該圖形在網(wǎng)板上對涂覆的光敏膠進行曝光和顯影進行光刻，制作出中空線槽，然后通過絲網(wǎng)印刷將導(dǎo)線金屬漿料(如銀漿)透過網(wǎng)板的槽線印刷在硅片上，燒結(jié)制成柵線?，F(xiàn)有的網(wǎng)板包括網(wǎng)布和光敏膠層，光敏膠層涂覆在網(wǎng)布上，網(wǎng)板的經(jīng)線和瑋線之間相互交叉。掩膜版上制備有柵線圖形，將掩膜版緊貼于網(wǎng)板上有光敏膠層的一面，用紫外光照射，沒有被掩膜版柵線圖形遮擋的部分，在紫外光條件下固化，而遮擋的部分可沖洗掉，形成槽線。這些形成的槽線，與經(jīng)瑋線之間并未固定的位置關(guān)系，往往是交叉的，如圖1和圖2所示，絲網(wǎng)10中經(jīng)線101和瑋線102形成的交叉點103大量的出現(xiàn)在槽線20中。
[0003]為了提高電池片的光電轉(zhuǎn)換效率，需要盡可能減小硅片上柵線的寬度，以增大光照面積，但是，當(dāng)柵線寬度過窄時，因為這些交叉點103的存在，會阻礙金屬導(dǎo)線漿料順利的從槽線漏印在硅片上；同時印刷漿料時，在經(jīng)線101和瑋線102交叉點位置與經(jīng)紫外光固化后顯影時在槽線部位形成的光敏膠的邊沿構(gòu)成的三角形區(qū)域內(nèi)，具有一定粘度的漿料會不斷累積，導(dǎo)致金屬漿料能夠在槽線中有效滲透通過絲網(wǎng)的面積不斷減少，因此，造成硅片上導(dǎo)電柵線出現(xiàn)低點或斷點，從而導(dǎo)致柵線的導(dǎo)電性能較差，影響了晶硅電池片的光電轉(zhuǎn)化效率。
[0004]申請人之前的中國專利申請CN204367550U公開了一種用于太陽能電池制造的網(wǎng)板，如圖3和圖4所示，其網(wǎng)布10由若干經(jīng)線101和瑋線102織成，槽線20位于經(jīng)線或瑋線之間。這樣，經(jīng)線和瑋線之間的交叉點103不會出現(xiàn)在槽線20中，從而解決了金屬漿料不能很好的滲透通過交叉點三角形區(qū)域的問題。
[0005]但是在實際上述專利的生產(chǎn)制造的應(yīng)用過程中，申請人發(fā)現(xiàn)，因為絲網(wǎng)在編織的制造過程中、以及制造網(wǎng)板過程中，并不能確保經(jīng)線和瑋線完全處于理想的位置，比如可能會出現(xiàn)傾斜、彎曲等現(xiàn)象，而且用于太陽能電池制造的網(wǎng)板中的絲網(wǎng)的絲線間距僅為微米級，如此狹窄的空間內(nèi)要設(shè)置幾十根或上百根槽線時，需要在顯微鏡下借助計算機逐一單獨確定每一根槽線的位置，以避免交叉點出現(xiàn)在槽線內(nèi)，制造過程耗時較長，而且，因絲網(wǎng)中經(jīng)線和瑋線的位置對應(yīng)與硅片上所要求的柵線的位置因每個網(wǎng)板不同而不同，這樣，在大規(guī)模生產(chǎn)網(wǎng)板時，不得不給每一張網(wǎng)板制備一張掩模版，使得制造成本增加。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]針對現(xiàn)有技術(shù)絲網(wǎng)印刷過程中制作槽線不便的問題，本發(fā)明提供了一種新的絲網(wǎng)印刷用的網(wǎng)板、光刻方法及其應(yīng)用。
[0007]本發(fā)明第一個方面提供一種光刻方法，包括:
[0008]提供絲網(wǎng)，絲網(wǎng)包括第一方向的絲線和第二方向的絲線；其中，第一方向上設(shè)有多個間隔區(qū)和絲線區(qū)，多個間隔區(qū)之間按照一種或多種距離設(shè)置，并且間隔區(qū)內(nèi)不設(shè)有第一方向的絲線；間隔區(qū)與絲線區(qū)間隔設(shè)置，其中，第一方向上，間隔區(qū)寬度大于第一方向絲線區(qū)絲線之間距離；絲網(wǎng)上涂布有光敏膠層；
[0009]提供掩膜版，掩膜版上設(shè)有制作槽線的圖形，將掩膜版貼靠在絲網(wǎng)上，使制作槽線的圖形位于間隔區(qū)上方；
[0010]光照，未被圖形遮擋的部分的光敏膠固化，移除掩膜版，去除未固化光敏膠，形成槽線。
[0011 ] 在本發(fā)明的一種優(yōu)選實施例中，所述光刻方法，包括:
[0012]提供絲網(wǎng)，絲網(wǎng)包括第一方向的絲線和第二方向的絲線，其中在第一方向上，等間距形成具有一寬度的間隔區(qū)；
[0013]將光敏膠涂覆在絲網(wǎng)上制作網(wǎng)板；
[0014]提供掩膜版，根據(jù)所述間距和寬度，在掩膜版上設(shè)置制作槽線的圖形，使制作槽線圖形間距多間隔區(qū)間距、并且制作槽線圖形寬度<間隔區(qū)寬度；將掩膜版覆蓋在網(wǎng)板上，使制作槽線的圖形位于間隔區(qū)；
[0015]光照，未被圖形遮擋的部分的光敏膠固化，移除掩膜版，去除未固化光敏膠，形成槽線。
[0016]本發(fā)明第二個方面是提供一種網(wǎng)板，包括絲網(wǎng)，絲網(wǎng)包括第一方向的絲線和第二方向的絲線；其中，第一方向上設(shè)有多個間隔區(qū)和絲線區(qū)，多個間隔區(qū)之間按照一種或多種距離設(shè)置，并且間隔區(qū)內(nèi)不設(shè)有第一方向的絲線；間隔區(qū)與絲線區(qū)間隔設(shè)置，其中，第一方向上，間隔區(qū)寬度大于第一方向絲線區(qū)絲線之間距離；絲網(wǎng)上涂布有光敏膠層；光敏膠層內(nèi)設(shè)有鏤空的槽線，槽線位于間隔區(qū)內(nèi)。
[0017]其中，所述網(wǎng)板優(yōu)選為采用本發(fā)明第一個方面所述方法制作。
[0018]本發(fā)明第三個方面是提供一種所述網(wǎng)板的應(yīng)用，其中，所述網(wǎng)板應(yīng)用于絲網(wǎng)印刷，更優(yōu)選為應(yīng)用于制造太陽能電池板柵線過程中的絲網(wǎng)印刷，更優(yōu)選為應(yīng)用于制造晶硅太陽能電池板柵線過程中的絲網(wǎng)印刷。
[0019]本發(fā)明上述內(nèi)容中，第一方向和第二方向之間相交，并形成一個角度，更優(yōu)選為第一方向和第二方向相互垂直。
[0020]本發(fā)明上述內(nèi)容中，所述多個間隔區(qū)的寬度之間可以相同或不同，并優(yōu)選為相同。
[0021]本發(fā)明上述內(nèi)容中，所述絲線區(qū)內(nèi)絲線間距之間、以及各絲線區(qū)絲線間距之間可以相同或不同，并優(yōu)選為相同。
[0022]本發(fā)明上述內(nèi)容中，第一方向絲線區(qū)內(nèi)的絲線間距與第二方向絲線間距可以相同或不同。
[0023]在本發(fā)明的一種優(yōu)選實施例中，所述間隔區(qū)的寬度與第一方向絲線區(qū)絲線之間距離之比優(yōu)選為(1.2-5): 1，更優(yōu)選為 1.3-4.7: 1，如 1.5: 1,1.8: 1,2.0: 1,2.2:
1、2.5: 1、2.7: 1、3.0: 1、2.3: 1、3.5: 1、4.0:1、4.5:1.4.7:1
[0024]在本發(fā)明的一種優(yōu)選實施例中，所述第一方向絲線區(qū)網(wǎng)的目數(shù)優(yōu)選為80-700目(其中，所謂“目數(shù)”，按照行業(yè)的習(xí)慣，是指每英寸絲網(wǎng)里的絲線的根數(shù))，更優(yōu)選為200-650 目，如 220 目、250 目、280 目、300 目、330 目、350 目、380 目、400 目、480 目、500 目、540 目、580 目、600 目、640 目。
[0025]在本發(fā)明的一種優(yōu)選實施例中，所述第一方向絲線區(qū)中絲線間距優(yōu)選為15-150 μπι，更優(yōu)選為 20-120 μπι，更優(yōu)選為 30-100 μπι，如 40 μηι、45 μηι、50 μηι、55 μπι、60 μ m、65 μ m、70 μ m、75 μ m、80 μ m、85 μ m、90 μ m、95 μ m0
[0026]在本發(fā)明的一種優(yōu)選實施例中，所述絲線直徑優(yōu)選為10-30 μπκ更優(yōu)選為12-30 μ m，更優(yōu)選為 13-25 μ m，如 15 μ m、18 μ m、20 μ m、22 μ m、23 μ m。
[0027]在本發(fā)明的更優(yōu)選實施例中，間隔區(qū)寬度=第一方向絲線區(qū)絲線之間距離Xa+第一方向絲線區(qū)的絲線直徑Xb，其中，a優(yōu)選為1.2-5，更優(yōu)選為1.3-4.7如1.5、1.8,2.0、
2.2、2.5、2.7、3.0、2.3、3.5、4、4.3、4.5、4.7 ;其中 b 優(yōu)選為 0-4，更優(yōu)選為 1-3。
[0028]在本發(fā)明的一種優(yōu)選實施例中，其中，任意兩相鄰間隔區(qū)之間距離為1.0mm-2.0mm。更優(yōu)選為 1.2mm-1.8mm,更優(yōu)選為 1.3mm-1.7mm,如 1.35mm、1.40mm、1.47mm、
1.5mm、1.62mm、1.68mm。并且多個間隔區(qū)優(yōu)選為等間距設(shè)置。
[0029]本發(fā)明所述的絲線可以是不銹鋼絲線、也可以是其他金屬絲線，但優(yōu)選為不銹鋼絲線。
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