一種硬玻璃封裝用三層復(fù)合材料及其制備方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于復(fù)合材料技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種硬玻璃封裝用三層復(fù)合材料及其制備方法。尤其涉及一種與硬玻璃封接的定膨脹合金夾銅復(fù)合材料。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,尤其是真空電子技術(shù)、微電子技術(shù)的飛速進(jìn)步,器件的小型化、結(jié)構(gòu)元件的精密化程度不斷提高,對(duì)于與硬玻璃封接的材料要求越來越高。既要與硬玻璃進(jìn)行匹配封接,又要具有較高的導(dǎo)電、導(dǎo)熱、拉伸性能。由于硬玻璃的封接溫度為550?560°C,膨脹系數(shù)a (2Q?5Q(rc)為5X10_6/°C。目前常用的金屬材料是4J29合金(FeNi29Co18),此合金雖能與硬玻璃理想匹配,其膨脹系數(shù)a (2Q?45crc)為5.1?5.5X10_6/°C,但其導(dǎo)電、導(dǎo)熱性能較差,導(dǎo)電率為37% IACS,導(dǎo)熱率為19.26ff/m.k ;而且Co含量高,價(jià)格昂貴,原料成本高。么1-51(:復(fù)合材料的熱膨脹系數(shù)6.4?12.4\10_6/°〇,導(dǎo)熱率150?220W/m.Κ,但它是采用粉末冶金的方法模壓、燒結(jié)而成,工藝復(fù)雜,一致性差。為此研制一種綜合性能優(yōu)良、成本低、加工工藝簡(jiǎn)單的復(fù)合封接材料應(yīng)用于電真空硬玻璃封接領(lǐng)域是目前的當(dāng)務(wù)之急。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0003]本發(fā)明的目的在于提供一種硬玻璃封裝用三層復(fù)合材料及其制備方法,解決了4J29合金、復(fù)合材料Al-SiC等一致性差,導(dǎo)電率偏低的問題。
[0004]一種硬玻璃封裝用三層復(fù)合材料,包括上表面層、下表面層和中間層,將原料帶材固相復(fù)合軋制成一體的三層復(fù)合材料結(jié)構(gòu)。上表面層和下表面層是定膨脹合金4J29材料,中間層是純銅材料,三層的厚度比:4J29:Cu:4J29 = 10?20%:60?80%:10?20%。
[0005]一種硬玻璃封裝用三層復(fù)合材料的制備方法,具體步驟及參數(shù)如下:
[0006]1、將0.4?0.8mm厚4J29帶材在1050?1080°C條件下連續(xù)退火;
[0007]2、將4J29帶材和純銅帶材的結(jié)合面進(jìn)行修磨,除去表面的氧化膜;
[0008]3、將打磨好的帶材送入復(fù)合軋機(jī)上,進(jìn)行常溫連續(xù)復(fù)合固相軋制為三層復(fù)合帶材,三層的厚度比:4J29:Cu:4J29 = 10?20%:60?80%:10?20% ;復(fù)合軋機(jī)速度在L O ?2.0m/min ;
[0009]4、經(jīng)過軋制后的三層復(fù)合材料進(jìn)行合金層的擴(kuò)散退火,退火方式采用罩式緩冷,爐內(nèi)氣氛為氮?dú)猓嘶饻囟葹?50?850°C,保溫時(shí)間2?3小時(shí)后緩慢冷卻;
[0010]5、將經(jīng)擴(kuò)散退火后的三層復(fù)合材料在開坯軋機(jī)下進(jìn)行軋制,乳制變形率控制在10%?30% ;
[0011]6、將上述軋制后的三層復(fù)合材料進(jìn)行中間軟化連續(xù)退火,退火溫度為950?1050°C,連續(xù)走帶速度為1.0?4.5m/min ;
[0012]7、將上述三層復(fù)合材料根據(jù)客戶要求軋制成不同厚度的成品,成品變形率控制在40 ?60%。
[0013]所述純銅帶材為工業(yè)純銅帶材,銅含量為99.7%,執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)GB/T20254.1-2006。所述純銅帶材厚度為2.4?3.2mm,寬度為150?300mm。
[0014]所述的4J29材料為國(guó)產(chǎn)帶材,執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)YB/T5231-2005。所述4J29材料厚度為0.4 ?0.8mm,寬度為 150 ?300mm。
[0015]所述三層復(fù)合4J29-CU-4J29材料,經(jīng)上述工藝制造,其抗拉強(qiáng)度彡430MPa,導(dǎo)熱率彡120ff/m k,導(dǎo)電率彡43% IACSo
[0016]本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于:該材料可以和硬玻璃理想匹配,導(dǎo)熱率高、導(dǎo)電率高、成本低、加工工藝簡(jiǎn)單,易于實(shí)現(xiàn)產(chǎn)量化,保證材料的性能一致性,且生產(chǎn)效率高,滿足市場(chǎng)需求。
【附圖說明】
[0017]圖1為硬玻璃封裝用三層復(fù)合材料的結(jié)構(gòu)示意圖。其中,中間層1,下表面層2,上表面層3。
【具體實(shí)施方式】
[0018]實(shí)施例1:
[0019]選用厚度比為4J29:Cu:4J29 = 15%:70%:15%的4J29帶材和純銅帶材,其中4J29帶材厚度為0.6mm,純銅帶材厚度為2.8mm。將4J29帶材在1080°C條件下連續(xù)退火;修磨4J29帶材和純銅帶材的結(jié)合面,去除氧化膜;以.1.5m/min的乳制速度,室溫連續(xù)復(fù)合固相軋制為厚度1.4mm三層復(fù)合帶材;復(fù)合帶材進(jìn)行擴(kuò)散退火,加熱溫度為750°C,保溫時(shí)間為2小時(shí),氮?dú)獗Wo(hù),罩式緩冷;以28.6%的變形率開坯軋制至1.0mm ;以退火溫度為1000°C,走帶速度為3.5m/min進(jìn)行中間軟化退火;以50%變形率乳制成0.2mm成品。性能如下:
[0020]抗拉強(qiáng)度:458MPa、導(dǎo)熱率139W/mk、導(dǎo)電率70% IACS。
[0021]實(shí)施例2:
[0022]選用厚度比為4J29:Cu:4J29 = 10%:80%:10%的4J29帶材和純銅帶材,其中4J29帶材厚度為0.5mm,純銅帶材厚度為4.0mm。將4J29帶材在1080°C條件下連續(xù)退火;修磨4J29帶材和純銅帶材的結(jié)合面,去除氧化膜;以.1.0m/min的乳制速度,室溫連續(xù)復(fù)合固相軋制為厚度1.5mm三層復(fù)合帶材;復(fù)合帶材進(jìn)行擴(kuò)散退火,加熱溫度為750°C,保溫時(shí)間為2小時(shí),氮?dú)獗Wo(hù),罩式緩冷;以30%的變形率開坯軋制至1.05mm ;以退火溫度為1050°C,走帶速度為2.5m/min進(jìn)行中間軟化退火;以40%變形率乳制成0.15mm成品。性能如下:
[0023]抗拉強(qiáng)度:430MPa、導(dǎo)熱率160W/m k、導(dǎo)電率80% IACS。
[0024]實(shí)施例3:
[0025]選用厚度比為4J29:Cu:4J29 = 20%:60%:20%的4J29帶材和純銅帶材,其中4J29帶材厚度為0.6mm,純銅帶材厚度為1.8mm。將4J29帶材在1080°C條件下連續(xù)退火;修磨4J29帶材和純銅帶材的結(jié)合面,去除氧化膜;以.2.0m/min的乳制速度,室溫連續(xù)復(fù)合固相軋制為厚度1.4mm三層復(fù)合帶材;復(fù)合帶材進(jìn)行擴(kuò)散退火,加熱溫度為750°C,保溫時(shí)間為2小時(shí),氮?dú)獗Wo(hù),罩式緩冷;以28.6%的變形率開坯軋制至1.0mm ;以退火溫度為980°C,走帶速度為4.0m/min進(jìn)行中間軟化退火;以60%變形率乳制成0.15mm成品。性能如下:
[0026]抗拉強(qiáng)度:520MPa、導(dǎo)熱率120W/m k、導(dǎo)電率43% IACS。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種硬玻璃封裝用三層復(fù)合材料,其特征在于,包括上表面層、下表面層和中間層,上表面層和下表面層是定膨脹合金4J29材料,中間層是純銅材料,三層的厚度比:4J29:Cu:4J29 = 10 ?20%:60 ?80%:10 ?20%。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的復(fù)合材料,其特征在于,所述的純銅帶材為工業(yè)純銅帶材,銅含量為99.7%,執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)GB/T20254.1-2006 ;純銅帶材厚度為2.4?3.2mm,寬度為150?300mmo
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的復(fù)合材料,其特征在于,所述的4J29材料為國(guó)產(chǎn)帶材,執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn) YB/T5231-2005,厚度為 0.4 ?0.8mm,寬度為 150 ?300mm。
4.一種權(quán)利要求1所述的復(fù)合材料的制備方法,其特征在于,具體步驟及參數(shù)如下: 1)將0.4?0.8mm厚4J29帶材在1050?1080°C條件下連續(xù)退火; 2)將4J29帶材和純銅帶材的結(jié)合面進(jìn)行修磨,除去表面的氧化膜; 3)將打磨好的帶材送入復(fù)合軋機(jī)上,進(jìn)行常溫連續(xù)復(fù)合固相軋制為三層復(fù)合帶材,三層的厚度比:4J29:Cu:4J29 = 10?20%:60?80%:10?20% ;復(fù)合軋機(jī)速度在1.0?.2.0m/min ; 4)經(jīng)過軋制后的三層復(fù)合材料進(jìn)行合金層的擴(kuò)散退火,退火方式采用罩式緩冷,爐內(nèi)氣氛為氮?dú)?,退火溫度?50?850°C,保溫時(shí)間2?3小時(shí)后緩慢冷卻; 5)將經(jīng)擴(kuò)散退火后的三層復(fù)合材料在開坯軋機(jī)下進(jìn)行軋制,乳制變形率在10%?30% ; 6)將上述軋制后的三層復(fù)合材料進(jìn)行中間軟化連續(xù)退火,退火溫度為950?1050°C,連續(xù)走帶速度為1.0?4.5m/min ; 7)將上述三層復(fù)合材料根據(jù)客戶要求軋制成不同厚度的成品,成品變形率在40?60%。
【專利摘要】一種硬玻璃封裝用三層復(fù)合材料及其制備方法,屬于復(fù)合材料技術(shù)領(lǐng)域。包括上表面層、下表面層和中間層,上表面層和下表面層是定膨脹合金4J29材料,中間層是純銅材料,三層的厚度比:4J29:Cu:4J29=10~20%:60~80%:10~20%。優(yōu)點(diǎn)在于,該材料可以和硬玻璃理想匹配,導(dǎo)熱率高、導(dǎo)電率高、成本低、加工工藝簡(jiǎn)單,易于實(shí)現(xiàn)產(chǎn)量化,保證材料的性能一致性,且生產(chǎn)效率高,滿足市場(chǎng)需求。
【IPC分類】C21D8-00, B32B15-01
【公開號(hào)】CN104553134
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201410852372
【發(fā)明人】于敏, 張 榮, 蔡凱洪, 彭偉峰, 張樂
【申請(qǐng)人】北京北冶功能材料有限公司
【公開日】2015年4月29日
【申請(qǐng)日】2014年12月31日