專利名稱：散熱器和用它的半導(dǎo)體激光裝置及半導(dǎo)體激光疊層裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于半導(dǎo)體器件等發(fā)熱元件散熱的散熱器，和使用散熱器的半導(dǎo)體激光裝置及半導(dǎo)體激光疊層裝置。
眾所周知，作為使用于半導(dǎo)體器件等發(fā)熱元件散熱的散熱器，例如象特開平8-139479號(hào)公報(bào)所公開那樣的，具有內(nèi)部循環(huán)冷卻水構(gòu)造的散熱器。上述散熱器由具備供給加壓冷卻水的管狀供給水路、排出冷卻水的排出水路、以及將供向供給水路的冷卻水噴到排出水路內(nèi)的噴出孔而構(gòu)成。從上述噴出孔以高壓噴出的冷卻水，使安裝在噴出孔正上部的發(fā)熱元件進(jìn)行高效率散熱。
可是，上述現(xiàn)有技術(shù)的散熱器中存在著以下所示的問(wèn)題。就是，上述現(xiàn)有技術(shù)的這種散熱器因具有管狀的供給水路，增大散熱器的厚度，就會(huì)使其大型化。也可以認(rèn)為，雖然縮小這種管的直徑能使散熱器薄型化，但是制造卻極其困難。因此，本發(fā)明的目的是提供一種制造比較容易，能夠薄型化的散熱器，和使用該散熱器的半導(dǎo)體激光裝置及半導(dǎo)體激光疊層裝置。
為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明的散熱器，其特征是具備在上表面形成第1槽部的第1平板狀構(gòu)件、在下表面形成第2槽部的第2平板狀構(gòu)件、以及在上述第1平板狀構(gòu)件的上述上表面與上述第2平板狀構(gòu)件的上述下表面之間設(shè)置的隔板，在上述隔板上設(shè)置有連通由上述第1槽部與上述隔板的下表面形成的第1空間和由上述第2槽部與上述隔板的上表面形成的第2空間的孔，還具有向上述第1空間供給流體的供給口和從上述第2空間排出上述流體的排出口。
通過(guò)由設(shè)有槽部的第1、第2平板狀構(gòu)件與設(shè)有孔的隔板構(gòu)成的結(jié)構(gòu)，就可能使之薄型化。另外，可用比較簡(jiǎn)單的形成槽部、形成孔的工序來(lái)制造，即，制造變得比較容易。
并且，本發(fā)明的半導(dǎo)體激光裝置，作為其特征，具備上述散熱器和安裝在上述散熱器的上述第2平板狀構(gòu)件上表面的半導(dǎo)體激光器。
由于使用上述散熱器，使散熱器薄型化并達(dá)到制造容易化，其結(jié)果，可使半導(dǎo)體激光裝置小型化，也變得比較容易制造。
另外，本發(fā)明的半導(dǎo)體激光疊層裝置具備第1、第2散熱器和第1、第2半導(dǎo)體激光器，上述第1和第2散熱器是上述散熱器，上述第1激光器由上述第1散熱器的上述第2平板狀構(gòu)件的上表面與上述第2散熱器的上述第1平板狀構(gòu)件的下表面夾持，上述第2半導(dǎo)體激光器安裝在上述第2散熱器的上述第2平板狀構(gòu)件的上表面。
由于使用上述散熱器，所以達(dá)到散熱器薄型化并達(dá)到制造容易化，其結(jié)果，可使半導(dǎo)體激光裝置小型化，也容易制造。
附圖的簡(jiǎn)單說(shuō)明圖1是半導(dǎo)體激光疊層裝置的立體圖。
圖2A～2C是散熱器的分解立體圖。
圖3是從上方看散熱器的說(shuō)明圖。
圖4是從側(cè)面看散熱器的說(shuō)明圖。
圖5是中間平板構(gòu)件的立體圖。
圖6是中間平板構(gòu)件的立體圖。
圖7是中間平板構(gòu)件的立體圖。
圖8是中間平板構(gòu)件的立體圖。
圖9A～9C是散熱器的分解立體圖。
圖10是從上方看散熱器的說(shuō)明圖。
圖11是從側(cè)面看散熱器的說(shuō)明圖。
圖12A是拉起片的平面圖。
圖12B是沿圖12A的Ⅰ-Ⅰ線的剖面圖。
圖12C是沿圖12A的Ⅱ-Ⅱ線的剖面圖。
圖13A和圖13B是下部平板構(gòu)件的分解立體圖。
參照


本發(fā)明的半導(dǎo)體激光疊層裝置。另外，本發(fā)明的半導(dǎo)體激光裝置及散熱器包含在本實(shí)施例的半導(dǎo)體激光疊層裝置內(nèi)。
首先，說(shuō)明在本實(shí)施例的半導(dǎo)體激光疊層裝置。圖1是本實(shí)施例的半導(dǎo)體激光疊層裝置的立體圖。本實(shí)施例的半導(dǎo)體激光疊層裝置1，如圖1所示，由配備3個(gè)半導(dǎo)體激光器2a～2c、2個(gè)銅板3a和3b、2個(gè)引線板4a和4b、供給管5、排出管6、4個(gè)絕緣構(gòu)件7a～7d以及3個(gè)散熱片10a～10c而構(gòu)成。以下，說(shuō)明有關(guān)各構(gòu)成要素。另外，為說(shuō)明方便起見，將圖1的Z軸正方向叫做上，Z軸負(fù)方向叫做下。
半導(dǎo)體激光器2a～2c是排列在規(guī)定方向(y軸方向)具有多個(gè)激光出射點(diǎn)的半導(dǎo)體激光器。半導(dǎo)體激光器2a由散熱器10a的上表面(后述的上部平板構(gòu)件16的上表面，以下同樣)和散熱片10b(后述的下部平板構(gòu)件12的下表面，以下同樣)夾持，半導(dǎo)體激光器2b由散熱器10b的上表面和散熱片10c夾持，半導(dǎo)體激光器2c安裝在散熱片10c的上表面。在這里，分別將半導(dǎo)體激光器2a～2c配置成為激光出射點(diǎn)的排列方向與散熱片10a～10c的上表面平行，并且，各個(gè)半導(dǎo)體激光器2a～2c的出射面與各個(gè)散熱片10a～10c的一個(gè)側(cè)面大體上配置在同一平面上。
半導(dǎo)體激光器2a的下表面經(jīng)由銅板3a與引線板4a電連接，半導(dǎo)體激光器2c的上表面經(jīng)由銅板3b與引線板4b電連接。在這里，通過(guò)在引線板4a與引線板4b之間施加電壓，就能從半導(dǎo)體激光器2a～2c輸出激光。
供給管5和排出管6分別貫通散熱片10a～10c而設(shè)。更詳細(xì)一點(diǎn)說(shuō)，供給管5與分別形成于散熱片10a～10c的供給口44(以后詳細(xì)敘述)連接，排出管6與分別形成于散熱片10a～10c的供給口46(以后詳細(xì)敘述)連接。因此，可從供給管5對(duì)散熱片10a～10c供給冷卻水等的液體，而且，可從散熱片10a～10c向排出管6排出上述冷卻水。
在散熱片10a的下表面一側(cè)、散熱片10a的上表面與散熱片10b的下表面之間的間隙、散熱片10b的上表面與散熱片10c的下表面之間的間隙、以及散熱片10c的上表面一側(cè)，分別設(shè)置有橡膠制成的絕緣構(gòu)件7a、7b、7c、7d，以包圍供給管5和排出管6。
散熱片10a～10c成為如以下所示的構(gòu)成。另外，由于各個(gè)散熱片10a～10c都具有同樣的構(gòu)成，所以下表面只對(duì)散熱片10a做說(shuō)明。圖2A～2C是散熱片10a的分解立體圖，圖3是從上方看散熱片10a的說(shuō)明圖，圖4是從側(cè)面看散熱片10a的說(shuō)明圖。
如圖2A～2C所示，散熱片10是由依次層疊下部平板構(gòu)件12(第1平板構(gòu)件)、中間平板構(gòu)件14(隔板)和上部平板構(gòu)件16(第1平板構(gòu)件)，采用擴(kuò)散接合法、釬焊或粘接劑進(jìn)行接合而形成。
下部平板構(gòu)件12是具有大約400μm厚度的銅制平板，并具有2個(gè)貫通口18、20。在下部平板構(gòu)件12的上表面(與中間平板構(gòu)件14接觸的面)一側(cè)，形成深度約200μm的供給水路用槽部22(第1槽部)。供給水路用槽部22，一方的端部側(cè)面與上述貫通口18連接，另一方的端部側(cè)面向下部平板構(gòu)件12的寬度方向(圖1的y軸方向)擴(kuò)大。為了使供給水路用槽部22降低流入散熱片10a內(nèi)的冷卻水的流動(dòng)阻力并減少滯留，所以角部22a作成曲面形狀。在這里，采用蝕刻法，將供給水路用槽部22形成在下部平板構(gòu)件12的上表面。
上部平板構(gòu)件16也是具有大約400μm厚度的銅制平板，并在分別與下部平板構(gòu)件12的貫通口18、20對(duì)應(yīng)的位置，具有2個(gè)貫通口26、28。在上部平板構(gòu)件16的下表面(與中間平板構(gòu)件14接觸的面)一側(cè)，形成深度約200μm的排出水路用槽部30(第2槽部)。排出水路用槽部30，一方的端部側(cè)面與上述貫通口28連接，另一方的端部側(cè)面向上部平板構(gòu)件16的寬度方向擴(kuò)大。在這里，至少排出水路用槽部30的一部分形成為與下部平板構(gòu)件12上所形成的供給水路用槽部22重疊的部分(圖2的斜線部分)。另外，為了使排出水路用槽部30降低流入散熱片10a內(nèi)的冷卻水的流動(dòng)阻力并減少滯留，所以角部22a作成曲面形狀。在這里，采用蝕刻法，將排出水路用槽部30形成在上部平板構(gòu)件16的下表面。
中間平板構(gòu)件14是大約具有100μm厚度的銅制平板，并在與下部平板構(gòu)件12的貫通口18、20對(duì)應(yīng)的位置，具有2個(gè)貫通口34、36。并且，在形成于下部平板構(gòu)件12的供給水路用槽部22與形成于上部平板構(gòu)件16的排出水路用槽部30重疊的部分，形成多個(gè)導(dǎo)水孔38。在這里，采用從兩邊蝕刻中間平板構(gòu)件14的辦法來(lái)形成導(dǎo)水孔38。
在這里，特別是上部平板構(gòu)件16的上表面具有半導(dǎo)體激光器裝配區(qū)域100用以裝配作為要冷卻發(fā)熱元件的半導(dǎo)體激光器2a，并將多個(gè)導(dǎo)水孔38設(shè)置在與該半導(dǎo)體激光器裝配區(qū)域100對(duì)置的位置。就是，因?yàn)榘雽?dǎo)體激光器2a具有大致正方體形狀，所以半導(dǎo)體激光器裝配區(qū)域100成為長(zhǎng)方形，并相對(duì)于該長(zhǎng)方形的長(zhǎng)邊方向(圖1的y軸方向)排列成一列來(lái)形成多個(gè)導(dǎo)水孔38。
通過(guò)使下部平板構(gòu)件12的上表面與中間平板構(gòu)件14的下表面、中間平板構(gòu)件14的上表面與上部平板構(gòu)件16的下表面接合，如圖3或圖4所示，由形成于下部平板構(gòu)件12的供給水路用槽部22與中間平板構(gòu)件14的下表面形成供給冷卻水的供給水路40(第1空間)，同樣，由形成于上部平板構(gòu)件16的排出水路用槽部30與中間平板構(gòu)件14的上表面形成排出冷卻水的排出水路42(第2空間)。在這里，為了讓供向供給水路40的冷卻水噴到排出水路42中，所以上述導(dǎo)水孔38具有充分小的剖面面積。
把在下部平板構(gòu)件12中形成的貫通口18、中間平板構(gòu)件14中形成的溝通口34和上部平板構(gòu)件16中形成的貫通口26連接起來(lái)，形成用于向供給水路40供給冷卻水的供給口44，并把在下部平板構(gòu)件12中形成的貫通口20、中間平板構(gòu)件14中形成的溝通口36和上部平板構(gòu)件16中形成的貫通口28連接起來(lái)，形成從排出水路42排出冷卻水的排出口46。
接著，說(shuō)明本實(shí)施例的半導(dǎo)體激光疊層裝置的作用和效果。半導(dǎo)體激光疊層裝置10由下部平板構(gòu)件12、中間平板構(gòu)件14和上部平板構(gòu)件16這樣的3塊平板構(gòu)件構(gòu)成了散熱片10a～10c。因此，能夠構(gòu)成散熱片10a～10c極其之薄，其結(jié)果，可以構(gòu)成極其小型的半導(dǎo)體激光疊層裝置10。
另外，散熱片10a～10c采用形成供給水路用槽部22和排出水路用槽部30這樣的槽部及形成導(dǎo)水孔38所謂的孔等比較簡(jiǎn)單的工序就可以制造，所以制造比較容易。其結(jié)果，半導(dǎo)體激光疊層裝置10的制造也變得比較容易。
另外，本實(shí)施例的半導(dǎo)體激光疊層裝置10，因?yàn)樵谏崞?0a～10c中把導(dǎo)水孔38設(shè)置在與半導(dǎo)體激光器裝配區(qū)域100對(duì)置的位置，所以能夠有效地冷卻要冷卻的半導(dǎo)體激光器2a～2c。其結(jié)果，就能夠從半導(dǎo)體激光器2a～2c輸出穩(wěn)定的激光。
而且，本實(shí)施例的半導(dǎo)體激光疊層裝置10，因?yàn)樵谏崞?0a～10c中具有多個(gè)導(dǎo)水孔38。結(jié)果，可以大范圍均勻地冷卻半導(dǎo)體激光器2a～2c。結(jié)果，就能輸出空間上分布均勻的激光。
進(jìn)而，本實(shí)施例的半導(dǎo)體激光疊層裝置10的散熱片10a～10c的導(dǎo)水孔38具有充分小的剖面面積，以便將供給供給水路40的冷卻水噴入排出水路42。因此，能夠突破排出水路42內(nèi)壁的界面層，增加半導(dǎo)體激光器2a～2c的冷卻效率，其結(jié)果，可以分別從半導(dǎo)體激光器2a～2c輸出更穩(wěn)定的激光。
進(jìn)而，本實(shí)施例的半導(dǎo)體激光疊層裝置10，因?yàn)榕鋫溆信c各個(gè)散熱片10a～10c的供給口44連接的一個(gè)供給管5和與各個(gè)散熱片10a～10c的排出口46連接的一個(gè)排出管6，所以不需要連接供給管5與供給口44的其它連接管或連接排出管6與排出口46的其它連接管等，而達(dá)到更進(jìn)一步的小型化。
本實(shí)施例的半導(dǎo)體激光疊層裝置10的散熱片10a～10c中，雖然對(duì)于半導(dǎo)體激光器裝配區(qū)域100的長(zhǎng)邊方向排成一列而形成多個(gè)導(dǎo)水孔38，但是如圖5所示，也可以對(duì)于半導(dǎo)體激光器裝配區(qū)域100的長(zhǎng)邊方向排成兩列而形成之。并且，如圖6所示，雖然在半導(dǎo)體激光器裝配區(qū)域100的短邊方向延伸的狹縫狀的導(dǎo)水孔38，但是也可以對(duì)半導(dǎo)體激光器裝配區(qū)域100的長(zhǎng)邊方向排成一列來(lái)形成。另外，在半導(dǎo)體激光器裝配區(qū)域100的長(zhǎng)邊方向延伸的狹縫狀的導(dǎo)水孔38，如圖7所示也可以形成一個(gè)，如圖8所示也可以形成兩個(gè)并排。
散熱片10a也可以是如圖9A～9B的分解立體圖所示的樣子。即，就下部平板構(gòu)件12和上部平板構(gòu)件16來(lái)說(shuō)，與用圖2A～圖2B說(shuō)過(guò)的構(gòu)件同樣，但是在中間平板構(gòu)件14上形成多個(gè)，按U字形切入該中間平板構(gòu)件14的局部再把該U字形的部分上升在上部平板構(gòu)件16側(cè)的拉起片37和隨該拉起片37的上升而形成孔的導(dǎo)水孔38。即，導(dǎo)水孔38變成把供給供給水路40的冷卻水噴出到排出水路42內(nèi)的孔，同時(shí)，拉起片37設(shè)置在導(dǎo)水孔38的排出水路42側(cè)緣部，又成為約束冷卻水從導(dǎo)水孔38送向排出水路42方向的導(dǎo)向片。在這樣的散熱片10a中，當(dāng)大約以2～4gf/cm2的水壓將加壓的冷卻水從供給口44供給供給水路40時(shí)，冷卻水在供給水路40內(nèi)流向?qū)?8，并通過(guò)導(dǎo)水孔38噴出到排出水路42內(nèi)。隨著從導(dǎo)水孔38噴出的冷卻水，使半導(dǎo)體激光器裝配區(qū)域100上安裝的半導(dǎo)體激光器2a散熱。在這里，在導(dǎo)水孔38的正上部不設(shè)半導(dǎo)體激光器2a的情況下，一般，不可能使從導(dǎo)水孔38以高壓噴出動(dòng)冷卻水噴啉半導(dǎo)體激光器裝配區(qū)域100的正下部，散熱效率就降低了。因此，通過(guò)采取上述構(gòu)成，如圖10和圖11所示，雖然半導(dǎo)體激光器2a不是安裝在導(dǎo)水孔38正上方的位置，但是借助于拉起片37把從導(dǎo)水孔38噴出的冷卻水噴出方向約束半導(dǎo)體激光器裝配區(qū)域100的方向，可使高壓噴出的冷卻水噴啉半導(dǎo)體激光器裝配區(qū)域100的正下部。結(jié)果，提高了散熱效率。
而且，通過(guò)采用切入板狀的中間平板構(gòu)件14的一部分并抬起的辦法形成作為導(dǎo)向片的拉起片37，就不用制造別的導(dǎo)向用構(gòu)件等，而很容易形成導(dǎo)向片。
而且，因?yàn)樾纬砂鍫钭鳛閷?dǎo)向片的拉起片37，并在使半導(dǎo)體激光器2a散熱后，防止因該拉起片37妨礙從排出水路42的上部向排出口46流動(dòng)冷卻水的情況，可確保由拉起片37帶來(lái)的排出水路42的流動(dòng)阻力很小。結(jié)果，可進(jìn)一步提高散熱效果。
進(jìn)而，相對(duì)于供給供給水路40的冷卻水壓力大約為2～4gf/cm2的高壓，由于形成拉起片37的厚度大約為100μm的薄片，所以拉起片37的張開程度隨供給供給水路40中冷卻水水壓進(jìn)行變化，并且導(dǎo)水孔38的實(shí)際上的面積也變化。更具體一點(diǎn)說(shuō)，冷卻水的水壓若增大，則拉起片37抬高，導(dǎo)水孔38的實(shí)際面積增加，另一方面，若冷卻水的水壓減小，則拉起片37倒下來(lái)，導(dǎo)水孔38的實(shí)際面積縮小。因此，冷卻水的噴出速度大致維持恒定，而與水壓變化無(wú)關(guān)。結(jié)果，可使冷卻水的噴出速度大致維持恒定，就能使半導(dǎo)體激光器2a均勻散熱。
在上述實(shí)施例的散熱器10中，拉起片37為平坦的板狀，但它如圖12A～12C所示，也可以是剖面呈v字形狀的拉起片37。另外，圖12A是拉起片37的平面圖，圖12B是沿圖12A的Ⅰ-Ⅰ線的剖面圖，圖12C是沿圖12A的Ⅱ-Ⅱ線的剖面圖。
通過(guò)將拉起片37制成V字形狀，冷卻水會(huì)從拉起片37的兩側(cè)部分噴出，可使冷卻水噴出范圍廣，同時(shí)能使冷卻半導(dǎo)體激光器2a的冷卻水流向排出口46時(shí)的流動(dòng)阻力變得更小。
而且，在上述實(shí)施例的半導(dǎo)體激光疊層裝置的散熱片10a中，下部平板構(gòu)件12的供給水路用槽部22是采用蝕刻下部平板構(gòu)件12的上表面來(lái)形成的，但是也可以如圖13A和圖13B所示，采用重疊粘接具有形成供給水路用槽部22側(cè)面的孔穴12c的第1平板12a和形成供給水路用槽部22底面的第2平板12b而形成。還有，至于上部平板構(gòu)件16與上述同樣，也可以采用重疊粘接2片平板來(lái)形成。
本發(fā)明可用作作為光源的半導(dǎo)體激光裝置、半導(dǎo)體激光疊層裝置、以及半導(dǎo)體器件等發(fā)熱元件的散熱使用的散熱器。
權(quán)利要求
1．一種散熱器，其特征是包括在其上表面形成第1槽部的第1平板狀構(gòu)件，在其下表面形成第2槽部的第2平板狀構(gòu)件，以及在上述第1平板狀構(gòu)件的上述上表面與上述第2平板狀構(gòu)件的上述下表面之間設(shè)置的隔板；在上述隔板上設(shè)置有連通由上述第1槽部與上述隔板的下表面形成的第1.空間和由上述第2槽部與上述隔板的上表面形成的第2空間的孔，并且，具有向上述第1空間供給流體的供給口和從上述第2空間排出上述流體的排出口。
2．根據(jù)權(quán)利要求1所述的散熱器，其特征是上述第2平板狀構(gòu)件的上表面具有裝配要冷卻發(fā)熱元件的發(fā)熱元件裝配區(qū)域，以及上述孔設(shè)置在與上述發(fā)熱元件裝配區(qū)域?qū)χ玫奈恢谩?br> 3．根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的散熱器，其特征是上述孔設(shè)置有多個(gè)。
4．根據(jù)權(quán)利要求1～3任一項(xiàng)所述的散熱器，其特征是上述孔具有充分小的剖面面積，使上述流體噴出到上述第2空間中。
5．根據(jù)權(quán)利要求1～4任一項(xiàng)所述的散熱器，其特征是在上述孔的上述第2空間側(cè)的邊緣部分設(shè)置有約束上述流體從上述孔輸出到上述第2空間的方向的導(dǎo)向片。
6．一種半導(dǎo)體激光裝置，其特征是包括有根據(jù)權(quán)利要求1～5任一項(xiàng)所述的散熱器和安裝在上述散熱器的上述第2平板狀構(gòu)件上表面的半導(dǎo)體激光器。
7．根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體激光裝置，其特征是上述半導(dǎo)體激光器具有在規(guī)定方向排列的多個(gè)激光出射點(diǎn)，并且配置成為上述規(guī)定方向與上述第2平板狀構(gòu)件的上表面大致平行。
8．一種半導(dǎo)體激光疊層裝置，其特征是包括第1、第2散熱器和第1、第2半導(dǎo)體激光器，上述第1和第2散熱器是根據(jù)權(quán)利要求1～5任一項(xiàng)射述散熱器，上述第1激光器是由上述第1散熱器的上述第2平板狀構(gòu)件的上表面與上述第2散熱器的上述第1平板狀構(gòu)件的下表面夾持，上述第2半導(dǎo)體激光器安裝在上述第2散熱器的上述第2平板狀構(gòu)件的上表面。
9．根據(jù)權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體激光疊層裝置，其特征是上述第1和第2半導(dǎo)體激光器具有在規(guī)定方向排列的多個(gè)激光出射點(diǎn)，并配置成為上述規(guī)定方向與上述第1和第2平板狀構(gòu)件的上表面大致平行。
10．根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的半導(dǎo)體激光疊層裝置，其特征是還包括連接上述第1散熱器的上述供給口和上述第2散熱器的上述供給口雙方的供給管，和上述第1散熱器的上述排出口和上述第2散熱器的上述排出口雙方的排出管。
全文摘要
半導(dǎo)體激光疊層式裝置1包括3個(gè)半導(dǎo)體激光器2a～2c、2個(gè)銅板3a和3b、2個(gè)引線板4a和4b、供給管5、排出管6、4個(gè)絕緣構(gòu)件7a～7d以及散熱片10a～10c。其中,散熱片10a～10c每個(gè)包括在其上表面形成有供水用槽部22的下部平板構(gòu)件12、形成有多個(gè)導(dǎo)水孔38的中間平板構(gòu)件14和在其下表面形成排水用槽部30的上部平板構(gòu)件16,這三塊平板構(gòu)件堆疊在一起并焊接其接觸面。
文檔編號(hào)H05K7/20GK1305640SQ99807437
公開日2001年7月25日 申請(qǐng)日期1999年3月29日 優(yōu)先權(quán)日1998年8月18日
發(fā)明者宮島博文, 菅博文, 內(nèi)藤壽夫, 太田浩一, 神崎武司 申請(qǐng)人:浜松光子學(xué)株式會(huì)社