專利名稱:用于光學(xué)捕獲和材料檢查的全息顯微系統(tǒng)和方法
用于光學(xué)捕獲和材料檢查的全息顯微系統(tǒng)和方法 交叉參考相關(guān)申請
本發(fā)明針對全息光學(xué)捕獲系統(tǒng),該系統(tǒng)使用由計算機建 立的全息圖所產(chǎn)生的光陷阱,來組織材料,并以三維(3-D)方式應(yīng) 用顯微鏡光學(xué)裝置,來檢查和分析該材料。更具體地說,是一種全息 視頻顯微鏡系統(tǒng),它使用實時分辨的3-D微結(jié)構(gòu)的體積像,完成材料 組合的分析和檢查。
背景技術(shù):
全息光學(xué)捕獲使用計算機產(chǎn)生的全息圖,捕獲微米尺度 的物體并將其組織成任意的三維配置。在用于檢驗光學(xué)捕獲的結(jié)構(gòu)的
現(xiàn)有技術(shù)中,除常規(guī)的兩維顯微術(shù)外,尚沒有補充的方法可供使用。 對各種應(yīng)用,諸如,在把全息組織的系統(tǒng)固定在適當(dāng)位置前,驗證這 些系統(tǒng)的結(jié)構(gòu),三維成像是有用的。對互作用地處理及檢查三維結(jié)構(gòu) 的物體,諸如生物試樣,三維成像也是有用的。綜合三維成像與全息 捕獲,看來是直截了當(dāng)?shù)模驗閮煞N技術(shù)都能使用相同的物鏡,分別 收集和投射激光器的光。但是,常規(guī)的三維成像方法,諸如共焦顯微 術(shù),需要在機械上平移焦平面通過樣品。但是,全息阱是相對于焦平 面定位的,也一樣需要移動。捕獲圖形必需平移,以補償顯微鏡的機 械運動,這樣將大大增加復(fù)雜性,極大地降低成像速度,及可能弄碎 接受檢驗和分析的樣品。
發(fā)明內(nèi)容
[0005]數(shù)字全息顯微術(shù)解決現(xiàn)有技術(shù)的所有問題,給出實時三 維(3-D)成像數(shù)據(jù),無需任何機械運動,包含不必平移焦平面通過 受分析的樣品。同軸全息顯微術(shù)特殊的可兼容的多樣性,用準(zhǔn)直激光 器代替亮場顯微鏡中的常規(guī)照明器。被物體散射出激光束的光,與入 射照明的剩余部分干涉,產(chǎn)生外差散射圖形,該外差散射圖形被物鏡 放大并用視頻攝像機記錄。只要該干涉圖形沒有被許多光散射弄模 糊,那么它就包含有關(guān)該散射體的三維配置的全面信息。在得到的視 頻流中每一幅兩維瞬態(tài)圖,都是對時間分辨體積信息的編碼,該時間 分辨體積信息能夠被直接分析,或數(shù)值解碼為三維表示。該系統(tǒng)和方
法能實現(xiàn)在全息光學(xué)處理系統(tǒng)中的數(shù)字全息顯微術(shù)的迅速商業(yè)利用, 且該系統(tǒng)和方法使用組合的能力,直接評定兩種技術(shù)的精度并建立任 何限制。
本發(fā)明的各種細(xì)節(jié)方面在本文后面描述,而本發(fā)明的這 些和其他改進及特征,則在本文后面詳細(xì)描述,其中包括下面一段中 對附圖的說明。
圖l表明按照本發(fā)明構(gòu)建的系統(tǒng);
圖2A表明,在w平面中捕獲的5個膠體球(標(biāo)尺為5 微米)的常規(guī)亮場像;圖2B表明圖2A繞y軸旋轉(zhuǎn)45。的圖形;圖2C 表明在"平面中看到的圖2B旋轉(zhuǎn)的圖形的亮場像;圖2D表明在w 平面中看到的相同結(jié)構(gòu)的相干像;而圖2E表明,通過該傾斜圖形的 ;cz截片的全息再現(xiàn)(圓圏標(biāo)明所指粒子的坐標(biāo))。
捕獲光束40最好用調(diào)諧到捕獲激光器波長的分色鏡50, 中繼到物鏡20。其他波長則通過分色鏡50,并在CCD攝像機60(例 如NECTI-324AI1)上成像。在最可取的實施例中,白織燈照明器與 會聚透鏡62的標(biāo)準(zhǔn)組合,被氦氖激光器代替,該氦氖激光器提供5 mW的相干光準(zhǔn)直光束,空氣中的波長是X=632 nm。該系統(tǒng)10還包 括計算機65,用本領(lǐng)域熟知的常規(guī)軟件,執(zhí)行本文給出的所有方程式 的計算,以處理檢測的像數(shù)據(jù)和分析這些像數(shù)據(jù)。計算機65還可以 包含任何常規(guī)可執(zhí)行的存儲器,諸如ROM、 RAM、或其他能存儲程 序、數(shù)據(jù)、或其他指令的熟知的存儲器,這些指令的執(zhí)行,能夠滿足 本文描述的分析功能。
圖2D表示相同的視場,但用激光照明。因為粒子散射的 激光器的光與輸入激光束30未被衍射部分的相干疊加,每一粒子70 在該像中出現(xiàn)。像中的其他特征,是由系統(tǒng)10的光學(xué)序列中的表面 的反射、折射、和散射而產(chǎn)生的。通過減去視場中沒有粒子或沒有被 捕獲的結(jié)構(gòu)所獲得的參考像,能夠使這些特征減至最小。
對在焦平面上方高度z'處的物體場的Fourier變換的估 算,是通過應(yīng)用適當(dāng)?shù)娜鹄?索莫菲傳播函數(shù),使有效的焦平面平移而 獲得的
方程式(9)能夠從單幅全息瞬態(tài)圖/(r),再現(xiàn)受檢查樣 品中的即時光場的體積表示。圖2E中的該像,就是通過被再現(xiàn)的強
度分布lu(r,z)P的斷面。
當(dāng)物體沿光軸相互遮擋,如圖4A和4B所示時,分析像 變得更具挑戰(zhàn)性。這里,與圖2A-2E相同的球70的圖形,已被轉(zhuǎn)過 90°,于是,4個球70沿光軸80排成一列。圖4A是得到的全息圖的 細(xì)節(jié),而圖4B是沿該結(jié)構(gòu)的豎直平面的全息再現(xiàn)。從圖4B中央觀察, 所有4個球70已被分辨,哪怕它們相互直接遮擋。第5個球70,沒 有被其他球直接遮擋,包含在圖中作為參考,且在圖4A和4B中在其 他球的右側(cè)可以看到。
圖4B最上面的球70,看似比更接近焦平面被捕獲的那些 球顯著更暗;而圖4A和4B通過給出光場的振幅I u(r,z) I而不是強度, 對此作了補償。但是,參考球70不比它鄰近的被遮擋的球更亮,也 不比圖2A-2E中任一球70更暗。說得更確切些,更下面的球70起透 鏡的作用,收集從上面散射的光,并把光會聚到光軸80。結(jié)果是,這 些球70看似比正常的顯著更亮,且它們的像發(fā)生畸變。方程式(9) 在再現(xiàn)光場時,沒有考慮這種多重光散射。
[0030
在解釋這樣的結(jié)果時得到的不確定性,能夠通過從多個 焦平面采集像,或通過從多個角度照亮被研究的樣品,而不是直接的 同軸照明,可以緩解該不確定性。還可以通過更精確的記錄,改善所 得到的結(jié)果。我們的全息像中每一像素,包含約6比特有用的信息, 并且沒有企圖對攝像機的響應(yīng)進行線性化。攝像機60設(shè)在1/2000秒 的快門速度,無論如何,在每次曝光中,這樣的速度允許某個粒子的 運動。更寬的動態(tài)范圍、校準(zhǔn)的強度響應(yīng)、和更快的快門,所有這些 將給出更清晰的、更精確的全息圖,從而給出更清楚的三維再現(xiàn)。
[0031
基于這些告誡,圖4B的像突顯用于三維全息處理的全息 成像的潛在重要性。即使最遠(yuǎn)距離的粒子70和參考粒子兩者,都被 定位在投射到相同高度的光鑷子中,但最遠(yuǎn)距離的粒子70看似沿光 軸相對于參考粒子位移。三維可視性證實被投射的捕獲場的結(jié)構(gòu)。對 傾斜小于約80°,表觀上的軸向位移是不明顯的。由此,表觀軸向位
ii移,要么反映三維成像的贗像,要么最可能是粒子70離開它們的設(shè) 計配置的真實位移。這是合理的,因為從被投射到更靠近焦平面的阱 來的光,對更深入樣品中的被捕獲粒子施加力。這種效應(yīng)由于更靠近 焦平面的被捕獲粒子而變得更嚴(yán)重,這些粒子把光偏折到更遠(yuǎn)的粒子 上,改變它們有效的勢能阱。這種效應(yīng)已經(jīng)被用在沿線狀Bessel光束 捕獲的粒子的同軸光學(xué)結(jié)合中。全息成像為測量這種畸變提供一種手 段,從而為改正這種畸變提供基礎(chǔ)。這對諸如光子異質(zhì)結(jié)構(gòu)的全息組 合的處理過程,至關(guān)重要,光子異質(zhì)結(jié)構(gòu)的全息組合,有賴于對這種 粒子或物體的顯微鏡的準(zhǔn)確放置。
[0032
前面對本發(fā)明實施例的描述,是為演示和說明的目的而 給出。不企圖窮舉或把本發(fā)明限制在所公開的精確形式,因為借鑒上 述教導(dǎo),可以進行修改和變化,或者可以從實施本發(fā)明中進行修改和 變化。實施例的選取和描述,是為了解釋本發(fā)明的原理和它的實際應(yīng) 用,以便使本領(lǐng)域熟練人員能在各種實施例中,并以認(rèn)為適合具體應(yīng) 用的各種修改,利用本發(fā)明。
權(quán)利要求
1.在進行光學(xué)捕獲的結(jié)構(gòu)的3D全息顯微術(shù)的方法中,包含的步驟有提供光學(xué)顯微鏡;產(chǎn)生有輸入到該倒置光學(xué)顯微鏡的相關(guān)聯(lián)的成像波長的激光束;產(chǎn)生多個光陷阱,該改進包括使用有純相位全息圖的捕獲激光束波前,該純相位全息圖對需要的光學(xué)捕獲圖形編碼,且該捕獲激光束有相關(guān)聯(lián)的捕獲波長;為該倒置光學(xué)顯微鏡提供物鏡,該物鏡用于投射該多個光陷阱及收集被捕獲結(jié)構(gòu)的同軸全息像兩者;以及為該被捕獲結(jié)構(gòu)的三維全息顯微術(shù),向CCD攝像機提供該被捕獲結(jié)構(gòu)的像。
2. 按照權(quán)利要求
l的方法,還包含步驟把分色鏡插入物鏡和 CCD攝像機之間,該分色鏡被調(diào)諧到捕獲激光束的捕獲波長。
3. 按照權(quán)利要求
1的方法,其中該像包含重影,該重影能夠借 助使被捕獲結(jié)構(gòu)離開焦平面的平移而減至最小。
4. 按照權(quán)利要求
1的方法,其中該成像激光束由氦氖激光器提 供,該氦氖激光器有準(zhǔn)直光束輸出。
5. 按照權(quán)利要求
1的方法,其中該倒置光學(xué)顯微鏡包含焦平面, 且該方法不包含用于進行對被捕獲結(jié)構(gòu)的三維顯微術(shù)的機械運動。
6. 按照權(quán)利要求
l的方法,還包含步驟從CCD攝像機上形 成的像中減去參考像,從而消除沒有被捕獲的結(jié)構(gòu)存在時的變化的背 景照明。
7. 按照權(quán)利要求
l的方法,其中被捕獲結(jié)構(gòu)的像,包括用于再 現(xiàn)三維復(fù)值光場的兩維實值像。
8. 按照權(quán)利要求
1的方法,包含用瑞利-索莫菲形式體系分析 該像的附加步驟。
9. 按照權(quán)利要求
8的方法,其中該瑞利-索莫菲形式體系,包 含分析被捕獲結(jié)構(gòu)沿倒置光學(xué)顯微鏡光軸的傳播。
10. 按照權(quán)利要求
9的方法,其中該被捕獲結(jié)構(gòu)在光學(xué)顯微鏡焦 平面的上游距離z處引起散射場w(r,z),且該散射場"(r,z)用下式再現(xiàn)<formula>formula see original document page 3</formula>
11. 按照權(quán)利要求
l的方法,還包含步驟通過求解下面的方程 式,再現(xiàn)該像的3D光場i;(r, z):y(/",z)s|D(r,z)| exp(昧z))-A廠5(《)i/. p(/^>^
12. 按照權(quán)利要求
ll的方法,其中該光場u (r, z)是從該像的單 幅全息瞬態(tài)圖再現(xiàn)的。
13. 按照權(quán)利要求
12的方法,還包含步驟跟蹤被捕獲結(jié)構(gòu)的運動o
14. 按照權(quán)利要求
12的方法,其中,該被捕獲結(jié)構(gòu)包括多個被 遮擋的物體,而該三維像被再現(xiàn),且在該再現(xiàn)光場中物體全部被分辨。
15. 按照權(quán)利要求
l的方法,還包含步驟從光學(xué)顯微鏡的多個 焦平面獲取像數(shù)據(jù),從而提高該被捕獲結(jié)構(gòu)像的精度。
16. 在用于進行光學(xué)捕獲的結(jié)構(gòu)的三維全息顯微術(shù)的系統(tǒng)中,包 含光學(xué)顯微鏡;用于產(chǎn)生捕獲激光束的激光光源;為在捕獲激光束 上打上印記而提供純相位全息圖的空間光調(diào)制器;用于產(chǎn)生成像激光 束的激光光源,該改進包括捕獲激光束,該捕獲激光束有對需要的光 捕獲圖形進行編碼的純相位全息圖;與包括倒置顯微鏡的該光學(xué)顯微 鏡相關(guān)聯(lián)的物鏡;用于檢測由于被捕獲結(jié)構(gòu)成像而產(chǎn)生的激光的CCD 攝像機,且該CCD攝像機輸出像數(shù)據(jù);以及用計算機可執(zhí)行的計算 機軟件,分析該像數(shù)據(jù)的計算機。
17. 按照權(quán)利要求
16的系統(tǒng),其中該激光光源,包括產(chǎn)生相干 光的準(zhǔn)直光束的激光器。
18. 按照權(quán)利要求
16的系統(tǒng),還包括置于物鏡和CCD攝像機 之間的分色鏡。
19. 按照權(quán)利要求
16的系統(tǒng),其中該計算機軟件包括數(shù)學(xué)形式體系,這些數(shù)學(xué)形式體系,包含對由CCD攝像機接收的激光束光場u (r, z)的瑞利-索莫菲確定。
20.按照權(quán)利要求
16的系統(tǒng),其中該瑞利-索莫菲確定,包括由計算機執(zhí)行的被嵌入計算機的軟件,用于計算 y(r, z) s
z〗exp(W(r, z》<formula>formula see original document page 4</formula>
專利摘要
一種用于進行光學(xué)捕獲的結(jié)構(gòu)的三維全息顯微術(shù)的方法和系統(tǒng)。該方法和系統(tǒng)使用倒置光學(xué)顯微鏡,使用產(chǎn)生捕獲激光束的激光光源,其中該激光束被物鏡聚焦成多個光陷阱。該方法和系統(tǒng)還使用成像波長上的準(zhǔn)直激光器,照明由光陷阱建立的結(jié)構(gòu)。由光學(xué)捕獲的結(jié)構(gòu)散射的成像光形成全息圖,該全息圖由視頻攝像機成像并用光學(xué)形式體系進行分析,以確定光場,再現(xiàn)3-D像,供分析和評估。
文檔編號G21K1/00GKCN101632134SQ200880003125
公開日2010年1月20日 申請日期2008年1月25日
發(fā)明者D·G·格瑞爾, 李相赫 申請人:紐約大學(xué)導(dǎo)出引文BiBTeX, EndNote, RefMan