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導(dǎo)流筒的制作方法

文檔序號:8116254閱讀:1084來源:國知局
導(dǎo)流筒的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提出一種導(dǎo)流筒,用于單晶爐,包括內(nèi)筒、外筒以及夾在內(nèi)筒和外筒之間的固化氈夾層,所述內(nèi)筒和外筒具有倒錐形的環(huán)壁,內(nèi)筒的環(huán)壁與其軸線的夾角為12°至13°,外筒的環(huán)壁與其軸線的夾角為2°至4°,在外筒的下部設(shè)有與內(nèi)筒相接的水平環(huán)底,所述水平環(huán)底與外筒的環(huán)壁之間為圓角過渡,所述固化氈夾層具有與內(nèi)筒配合的內(nèi)壁面以及與外筒配合的外壁面。本實(shí)用新型導(dǎo)流筒,通過將內(nèi)筒和外筒環(huán)壁設(shè)為不同角度,能夠提高氬氣流經(jīng)過導(dǎo)流筒時(shí)的速度,并能夠保證單晶爐液面處熱場梯度均勻向上均勻降低,同時(shí)增強(qiáng)了導(dǎo)流筒的保溫效果,有效加強(qiáng)了氬氣對單晶棒的冷卻效果,因而能夠有效地降低單晶棒中的氧含量。
【專利說明】導(dǎo)流筒

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種用于單晶爐中的導(dǎo)流筒。

【背景技術(shù)】
[0002]影響電池片衰減的主要因素之一是硅單晶中B-O的存在。因而,降低太陽能級硅單晶的氧含量成了各個(gè)硅單晶制造企業(yè)奮斗的方向,各個(gè)廠商相應(yīng)陸續(xù)采取了很多措施來降低單晶棒中氧含量如:降低堝轉(zhuǎn)、增加氬氣流量、降低單晶生長時(shí)的功率等措施。目前結(jié)果是太陽能級硅單晶頭部氧含量的控制水平大都在18-20ppm左右。進(jìn)一步降低氧含量顯得舉步維艱,傳統(tǒng)導(dǎo)流筒包括內(nèi)筒、外筒以及夾在內(nèi)筒和外筒之間的固化氈夾層,導(dǎo)流筒呈倒錐形,氬氣在經(jīng)過導(dǎo)流筒時(shí),由于外筒外壁面的阻擋作用,流速會(huì)降低,不利于降低氧含量。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型的目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足,提供一種能夠有效降低單晶爐中的單晶棒的氧含量的導(dǎo)流筒。
[0004]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)方面,一種導(dǎo)流筒,用于單晶爐,包括內(nèi)筒、外筒以及夾在內(nèi)筒和外筒之間的固化氈夾層,所述內(nèi)筒和外筒具有倒錐形的環(huán)壁,內(nèi)筒的環(huán)壁與其軸線的夾角為12°至13°,外筒的環(huán)壁與其軸線的夾角為2°至4°,在外筒的下部設(shè)有與內(nèi)筒相接的水平環(huán)底,所述水平環(huán)底與外筒的環(huán)壁之間為圓角過渡,所述固化氈夾層具有與內(nèi)筒配合的內(nèi)壁面以及與外筒配合的外壁面。
[0005]根據(jù)本實(shí)用新型的一實(shí)施方式,所述內(nèi)筒的環(huán)壁與其軸線的夾角為12.5°,外筒的環(huán)壁與其軸線的夾角為3°。
[0006]根據(jù)本實(shí)用新型的一實(shí)施方式,所述固化氈夾層的內(nèi)壁面與其自身軸線的夾角為12.6°,其外壁面與其自身軸線的夾角為3.5°。
[0007]根據(jù)本實(shí)用新型的一實(shí)施方式,所述外筒的最小壁厚為11mm。
[0008]根據(jù)本實(shí)用新型的一實(shí)施方式,所述內(nèi)筒的最小壁厚為8mm。
[0009]根據(jù)本實(shí)用新型的一實(shí)施方式,所述水平環(huán)底上設(shè)有上凸的環(huán)形凸緣,在內(nèi)筒下方設(shè)有與所述環(huán)形凸緣扣合的環(huán)槽。
[0010]根據(jù)本實(shí)用新型的一實(shí)施方式,所述內(nèi)筒和外筒頂部設(shè)有連接法蘭,所述內(nèi)筒和外筒的連接法蘭通過螺釘連接,在外筒的連接法蘭上設(shè)有可供所述螺釘穿過的沉孔,在內(nèi)筒的連接法蘭上設(shè)有與所述螺釘結(jié)合的螺紋孔。
[0011]由上述技術(shù)方案可知,本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和積極效果在于:
[0012]本實(shí)用新型導(dǎo)流筒,通過將內(nèi)筒和外筒環(huán)壁設(shè)為不同角度,能夠提高氬氣流經(jīng)過導(dǎo)流筒時(shí)的速度,并能夠保證單晶爐液面處熱場梯度均勻向上均勻降低,同時(shí)增強(qiáng)了導(dǎo)流筒的保溫效果,有效加強(qiáng)了氬氣對單晶棒的冷卻效果,因而能夠有效地降低單晶棒中的氧含量。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]通過參照附圖詳細(xì)描述其示例實(shí)施方式,本實(shí)用新型的上述和其它特征及優(yōu)點(diǎn)將變得更加明顯。
[0014]圖1是本實(shí)用新型導(dǎo)流筒的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0015]圖2是本實(shí)用新型內(nèi)筒的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0016]圖3是本實(shí)用新型外筒的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0017]圖4是本實(shí)用新型固化氈夾層的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0018]現(xiàn)在將參考附圖更全面地描述示例實(shí)施方式。然而,示例實(shí)施方式能夠以多種形式實(shí)施,且不應(yīng)被理解為限于在此闡述的實(shí)施方式;相反,提供這些實(shí)施方式使得本實(shí)用新型將全面和完整,并將示例實(shí)施方式的構(gòu)思全面地傳達(dá)給本領(lǐng)域的技術(shù)人員。圖中相同的附圖標(biāo)記表示相同或類似的結(jié)構(gòu),因而將省略它們的詳細(xì)描述。
[0019]如圖1所示,本實(shí)施例公開了一種導(dǎo)流筒,它用于單晶爐中。本導(dǎo)流筒包括內(nèi)筒1、外筒2和固化氈夾層3。內(nèi)筒I套在外筒2之中,兩者之間形成一個(gè)封閉的空腔,固化氈夾層3被夾在該空腔之中。
[0020]參見圖1及圖2,內(nèi)筒I是上下開口的筒形,它具有一個(gè)倒錐形的環(huán)壁11,在制造單晶硅時(shí),該環(huán)壁11能夠引導(dǎo)氬氣流從上方吹向坩堝的液面處。外筒2同樣是上下開口的筒形,它具有一個(gè)倒錐形的環(huán)壁21。在外筒2的下部設(shè)有與內(nèi)筒I相接的水平環(huán)底12,該水平環(huán)底12與外筒2的環(huán)壁21之間為圓角過渡。固化氈夾層3由于被加載外筒2和內(nèi)筒I之間,因而具有一個(gè)用于與內(nèi)筒I配合的內(nèi)壁面31以及一個(gè)用于與外筒2配合的外壁面32。水平環(huán)底12上設(shè)有上凸的環(huán)形凸緣,在內(nèi)筒下方設(shè)有與所述環(huán)形凸緣扣合的環(huán)槽,該環(huán)形凸緣和環(huán)槽能夠?qū)?nèi)筒I和外筒2的下部封閉起來。內(nèi)筒I和外筒2頂部設(shè)有連接法蘭,所述內(nèi)筒I和外筒2的連接法蘭通過螺釘連接,在外筒2的連接法蘭上設(shè)有可供所述螺釘穿過的沉孔,在內(nèi)筒I的連接法蘭上設(shè)有與所述螺釘結(jié)合的螺紋孔。
[0021]內(nèi)筒I的環(huán)壁11與該內(nèi)筒I的軸線的夾角為12°至13°,外筒2的環(huán)壁21與其軸線的夾角為2°至4°。通過這樣的設(shè)置,使得環(huán)壁21的錐度小于環(huán)壁11的錐度。氬氣流沿著環(huán)壁11到達(dá)液面后,由于環(huán)壁21的錐度較小,使得氬氣能夠沿著環(huán)壁21快速上升流走。本導(dǎo)流筒與現(xiàn)有技術(shù)相比,能夠大大地加快氬氣的流動(dòng)速度,使得單晶爐中氣態(tài)的氧化物能夠被快速的帶走。本實(shí)施例中,內(nèi)筒I的環(huán)壁11與其軸線的夾角為12.5°,外筒2的環(huán)壁21與其軸線的夾角為3°。而固化氈夾層3的內(nèi)壁面31與其自身軸線的夾角為12.6°,其外壁面32與其自身軸線的夾角為3.5°,這樣使得固化氈夾層3能夠恰好被放置在內(nèi)筒I和外筒2之間,在安裝固化氈夾層3時(shí)不會(huì)發(fā)生干涉。
[0022]由于內(nèi)筒I和外筒2的環(huán)壁錐度不同,使得固化氈夾層3的下部較粗,而上部較細(xì),這樣能夠使得單晶爐熱場梯度從液面處一直向上能夠均勻性地逐步地降低,這樣也能夠降低液面處氧含量。
[0023]本實(shí)施例的外筒2的最小壁厚為11_,內(nèi)筒I的最小壁厚為8_,這樣能夠有效地提高內(nèi)筒I和外筒2的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度,增加內(nèi)筒I和外筒2的使用壽命。
[0024]以上具體地示出和描述了本實(shí)用新型的示例性實(shí)施方式。應(yīng)該理解,本實(shí)用新型不限于所公開的實(shí)施方式,相反,本實(shí)用新型意圖涵蓋包含在所附權(quán)利要求的精神和范圍內(nèi)的各種修改和等效布置。
【權(quán)利要求】
1.一種導(dǎo)流筒,用于單晶爐,包括內(nèi)筒、外筒以及夾在內(nèi)筒和外筒之間的固化氈夾層,其特征在于:所述內(nèi)筒和外筒具有倒錐形的環(huán)壁,內(nèi)筒的環(huán)壁與其軸線的夾角為12。至13。,外筒的環(huán)壁與其軸線的夾角為2°至4°,在外筒的下部設(shè)有與內(nèi)筒相接的水平環(huán)底,所述水平環(huán)底與外筒的環(huán)壁之間為圓角過渡,所述固化氈夾層具有與內(nèi)筒配合的內(nèi)壁面以及與外筒配合的外壁面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)流筒,其特征在于:所述內(nèi)筒的環(huán)壁與其軸線的夾角為12.5°,外筒的環(huán)壁與其軸線的夾角為3°。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的導(dǎo)流筒,其特征在于:所述固化氈夾層的內(nèi)壁面與其自身軸線的夾角為12.6°,其外壁面與其自身軸線的夾角為3.5°。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)流筒,其特征在于:所述外筒的最小壁厚為111^。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的導(dǎo)流筒,其特征在于:所述內(nèi)筒的最小壁厚為8臟。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)流筒,其特征在于:所述水平環(huán)底上設(shè)有上凸的環(huán)形凸緣,在內(nèi)筒下方設(shè)有與所述環(huán)形凸緣扣合的環(huán)槽。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)流筒,其特征在于:所述內(nèi)筒和外筒頂部設(shè)有連接法蘭,所述內(nèi)筒和外筒的連接法蘭通過螺釘連接,在外筒的連接法蘭上設(shè)有可供所述螺釘穿過的沉孔,在內(nèi)筒的連接法蘭上設(shè)有與所述螺釘結(jié)合的螺紋孔。
【文檔編號】C30B35/00GK204111931SQ201420602050
【公開日】2015年1月21日 申請日期:2014年10月17日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月17日
【發(fā)明者】李長營, 陸榮 申請人:包頭市山晟新能源有限責(zé)任公司
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