直接生長(zhǎng)藍(lán)寶石整流罩的設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種直接生長(zhǎng)藍(lán)寶石整流罩的設(shè)備，包括機(jī)架、爐體、坩堝、以及毛細(xì)管導(dǎo)模，在機(jī)架的下方設(shè)有一旋轉(zhuǎn)組件，所述旋轉(zhuǎn)組件包括固定架、旋轉(zhuǎn)電機(jī)以及傳動(dòng)桿，通過該旋轉(zhuǎn)電機(jī)能夠帶動(dòng)坩堝轉(zhuǎn)動(dòng)；在爐體上方設(shè)有一支架，在支架上設(shè)有一縱向移動(dòng)機(jī)構(gòu)和橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)與縱向移動(dòng)機(jī)構(gòu)相連，在橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)上設(shè)有一力矩電機(jī)，在力矩電機(jī)的輸出軸上設(shè)有一籽晶桿固定架，所述毛細(xì)管導(dǎo)模豎直設(shè)于爐體內(nèi)，并通過固定夾具安裝于坩堝上，其下端伸入坩堝內(nèi)；在爐體頂部設(shè)有一供籽晶桿穿過的通孔，且籽晶桿能夠在該通孔內(nèi)橫向移動(dòng)。本實(shí)用新型能夠有效降低加工難度，提高生產(chǎn)效率。
【專利說明】直接生長(zhǎng)藍(lán)寶石整流罩的設(shè)備

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種整流罩生產(chǎn)【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種直接生長(zhǎng)藍(lán)寶石整流罩的設(shè)備。

【背景技術(shù)】
[0002]藍(lán)寶石作為光學(xué)材料，基于其在0.2-5 μ m波段具有良好透光性及其優(yōu)良的物理、化學(xué)、機(jī)械性能，使其越來廣泛應(yīng)用于紅外軍事裝備、衛(wèi)星的窗口材料。與其他同應(yīng)用材料(MgF2、ZnS等)相比，藍(lán)寶石有著極高的機(jī)械強(qiáng)度、耐熱性能好、耐化學(xué)腐蝕性好、在較寬波段(可見光、紅外、微波)擁有良好的透波能，因此其應(yīng)用越來越廣。特別是近年來導(dǎo)彈技術(shù)的飛速發(fā)展，藍(lán)寶石作為整流罩和窗口材料的優(yōu)勢(shì)體現(xiàn)得愈加明顯，也對(duì)藍(lán)寶石整流罩的品質(zhì)要求越來越高，尺寸要求越來越大。但是，由于晶體習(xí)性、生長(zhǎng)手段、成品率等原因的限制，高品質(zhì)藍(lán)寶石的生長(zhǎng)難度較大，特別體現(xiàn)在大尺寸晶體方面。
[0003]目前，主流藍(lán)寶石整流罩的制備流程是先利用不同的晶體生長(zhǎng)單晶爐如泡生爐、提拉爐、毛細(xì)管導(dǎo)模法生長(zhǎng)爐等生長(zhǎng)出藍(lán)寶石晶坯，然后將藍(lán)寶石晶坯加工出半球形或錐形等形狀的整流罩，這樣制備藍(lán)寶石整流罩不僅加工難度極高，加工量極大，坯料的浪費(fèi)嚴(yán)重，而且成本也很高。所以低成本高質(zhì)量地生長(zhǎng)大尺寸藍(lán)寶石整流罩單晶是當(dāng)前面臨的迫切任務(wù)。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的上述不足，本實(shí)用新型的目的在于怎樣解決現(xiàn)有藍(lán)寶石整流罩加工難度大，加工精確度低，材料浪費(fèi)多，并且生產(chǎn)成本高的問題，提供一種直接生長(zhǎng)藍(lán)寶石整流罩的設(shè)備，能夠有效降低加工難度，提高生產(chǎn)效率。
[0005]為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是這樣的:一種直接生長(zhǎng)藍(lán)寶石整流罩的設(shè)備，其特征在于:包括機(jī)架、爐體、坩堝、以及毛細(xì)管導(dǎo)模，所述爐體安裝在機(jī)架上，坩堝安裝在爐體內(nèi)；在機(jī)架的下方設(shè)有一旋轉(zhuǎn)組件，所述旋轉(zhuǎn)組件包括固定架、旋轉(zhuǎn)電機(jī)以及傳動(dòng)桿，所述傳動(dòng)桿豎直設(shè)置，其一端與旋轉(zhuǎn)電機(jī)輸出軸相連，另一端穿過爐體后與坩堝底部相連，通過該旋轉(zhuǎn)電機(jī)能夠帶動(dòng)坩堝轉(zhuǎn)動(dòng)；
[0006]在爐體上方設(shè)有一支架,在支架上設(shè)有一縱向移動(dòng)機(jī)構(gòu)和橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)與縱向移動(dòng)機(jī)構(gòu)相連，通過該縱向移動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠帶動(dòng)橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)上下移動(dòng)，在橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)上設(shè)有一力矩電機(jī)，在力矩電機(jī)的輸出軸上設(shè)有一籽晶桿固定架，通過該力矩電機(jī)能夠帶動(dòng)籽晶桿固定架旋轉(zhuǎn)；
[0007]所述毛細(xì)管導(dǎo)模豎直設(shè)于爐體內(nèi)，并通過固定夾具安裝于坩堝上，其下端伸入坩堝內(nèi)，其中，所述毛細(xì)管導(dǎo)模的軸心線與傳動(dòng)桿的軸心線之間具有間距；在爐體頂部設(shè)有一供籽晶桿穿過的通孔，且籽晶桿能夠在該通孔內(nèi)橫向移動(dòng)。
[0008]進(jìn)一步地，還包括一稱重裝置，所述稱重裝置與橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)相連，通過橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠帶動(dòng)稱重裝置橫向移動(dòng)；所述力矩電機(jī)安裝于該稱重裝置下方，所述稱重裝置能夠?qū)α仉姍C(jī)、籽晶桿固定架及安裝在籽晶桿固定架上的籽晶桿稱重。
[0009]進(jìn)一步地，所述縱向移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括一縱向移動(dòng)電機(jī)和縱向設(shè)置于支架上的滑軌，所述縱向移動(dòng)電機(jī)設(shè)于支架上方，其輸出軸與一縱移絲桿相連，該縱移絲桿從上至下穿過支架；所述橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括橫向移動(dòng)電機(jī)，該橫向移動(dòng)電機(jī)通過一連桿與縱向移動(dòng)機(jī)構(gòu)相連，其中，所述連桿中部開設(shè)有一與縱移絲桿相匹配的螺孔，該連桿的一端與橫向移動(dòng)電機(jī)相連，另一端通過一滑塊與支架上的滑軌配合相連；
[0010]所述橫向移動(dòng)電機(jī)的輸出軸與一橫移絲桿相連，該橫移絲桿上套設(shè)有一絲桿套筒，所述稱重裝置與該絲桿套筒相連；通過該橫向移動(dòng)電機(jī)能夠帶動(dòng)稱重裝置橫向移動(dòng)。[0011 ] 進(jìn)一步地，在爐體頂部的通孔處設(shè)有動(dòng)密封結(jié)構(gòu)。
[0012]進(jìn)一步地，所述固定架由一豎桿以及與該豎桿兩端相連的橫桿構(gòu)成，在豎桿上沿其長(zhǎng)度方向設(shè)有一導(dǎo)軌，在固定架的下方設(shè)有一縱向位移電機(jī)，該縱向位移電機(jī)的輸出軸與一豎直設(shè)置且從下至上穿過固定架的位移絲桿相連；所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)通過一位移拉桿與固定架相連，其中，所述位移拉桿中部開設(shè)有一與位移絲桿相匹配的螺孔，該位移拉桿的一端與旋轉(zhuǎn)電機(jī)相連，另一端通過一滑塊與固定架上的滑軌配合相連。
[0013]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有如下優(yōu)點(diǎn):
[0014]1、通過縱向移動(dòng)機(jī)構(gòu)、橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)以及旋轉(zhuǎn)電機(jī)的配合，從而直接成型藍(lán)寶石整流罩，從而降低加工難度，使加工更加方便、快捷。
[0015]2、整個(gè)生產(chǎn)過程采用自動(dòng)化加工，從而極大的降低了工作量，并且能使加工精度更高，從而減少后續(xù)處理工作量，并使成品率更高。
[0016]3、整流罩直接成型，能夠有效避免采用成型柱狀晶體加工產(chǎn)生的浪費(fèi)，并且通過稱重裝置對(duì)整流罩的重量進(jìn)行監(jiān)控，從而能進(jìn)一步提高整流罩的加工精確度，降低整流罩的生產(chǎn)成本。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018]圖中:1一機(jī)架,2—爐體,3—樹±呂,4一毛細(xì)管導(dǎo)模，51—籽晶桿固定架，52—旋轉(zhuǎn)電機(jī)，53一傳動(dòng)桿，6一支架,7一縱向移動(dòng)電機(jī)，8一縱移絲桿，9一橫向移動(dòng)電機(jī)，10一連桿，11一稱重裝置，12一桿晶桿，13一動(dòng)密封結(jié)構(gòu)，14一位移電機(jī)，15一位移拉桿。

【具體實(shí)施方式】
[0019]下面將結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。
[0020]實(shí)施例:參見圖1，一種直接生長(zhǎng)藍(lán)寶石整流罩的設(shè)備，包括機(jī)架1、爐體2、坩堝3、以及毛細(xì)管導(dǎo)模4，所述爐體2安裝在機(jī)架I上，坩堝3安裝在爐體2內(nèi)。具體實(shí)施時(shí)，該設(shè)備還包括一控制系統(tǒng)，通過該控制系統(tǒng)能夠控制爐體2的爐膛溫度，橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)和縱向移動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)速度，以及力矩電機(jī)和旋轉(zhuǎn)組件的轉(zhuǎn)速，從而使成型的整流罩坯料更加接近整流罩，以減少后續(xù)加工處理，從而提高藍(lán)寶石整流罩的生產(chǎn)速度與生產(chǎn)效率。
[0021]在機(jī)架I的下方設(shè)有一旋轉(zhuǎn)組件，所述旋轉(zhuǎn)組件包括固定架51、旋轉(zhuǎn)電機(jī)52以及傳動(dòng)桿53,所述傳動(dòng)桿53豎直設(shè)置,其一端與旋轉(zhuǎn)電機(jī)52輸出軸相連,另一端穿過爐體2后與坩堝3底部相連，通過該旋轉(zhuǎn)電機(jī)52能夠帶動(dòng)坩堝3轉(zhuǎn)動(dòng)。所述固定架51由一豎桿以及與該豎桿兩端相連的橫桿構(gòu)成，在豎桿上沿其長(zhǎng)度方向設(shè)有一導(dǎo)軌，在固定架51的下方設(shè)有一縱向位移電機(jī)14,該縱向位移電機(jī)14的輸出軸與一豎直設(shè)置且從下至上穿過固定架51的位移絲桿相連。所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)52通過一位移拉桿15與固定架51相連，其中，所述位移拉桿15中部開設(shè)有一與位移絲桿相匹配的螺孔，該位移拉桿15的一端與旋轉(zhuǎn)電機(jī)52相連，另一端通過一滑塊與固定架51上的滑軌配合相連。通過該位移電機(jī)14能夠調(diào)整旋轉(zhuǎn)電機(jī)52的位置，從而調(diào)整坩堝3的位置，進(jìn)而調(diào)整毛細(xì)管導(dǎo)模4與籽晶桿12之間的間距，以能夠進(jìn)行有效地生長(zhǎng)藍(lán)寶石晶體。
[0022]在爐體2上方設(shè)有一支架6,在支架6上設(shè)有一縱向移動(dòng)機(jī)構(gòu)和橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu),所述橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)與縱向移動(dòng)機(jī)構(gòu)相連，通過該縱向移動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠帶動(dòng)橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)上下移動(dòng)，在橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)上設(shè)有一力矩電機(jī)，在力矩電機(jī)的輸出軸上設(shè)有一籽晶桿固定架51,通過該力矩電機(jī)能夠帶動(dòng)籽晶桿固定架51旋轉(zhuǎn)；安裝時(shí)，籽晶桿12能夠豎直安裝于籽晶桿固定架51上，且力矩電機(jī)的輸出軸軸心線與籽晶桿12軸心線重合，即能夠使籽晶桿12繞其軸心線旋轉(zhuǎn)。具體實(shí)施時(shí)，還包括一稱重裝置11，所述稱重裝置11與橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)相連，通過橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠帶動(dòng)稱重裝置11橫向移動(dòng)；所述力矩電機(jī)安裝于該稱重裝置11下方，所述稱重裝置11能夠?qū)α仉姍C(jī)、籽晶桿固定架51及安裝在籽晶桿固定架51上的籽晶桿12稱重。將籽晶桿12固定在籽晶桿固定架51上后，通過橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)，能使籽晶桿12的軸心線與毛細(xì)管導(dǎo)模4的軸心線重合。
[0023]所述毛細(xì)管導(dǎo)模4豎直設(shè)于爐體2內(nèi)，并通過固定夾具安裝于坩堝3上，其下端伸入坩堝3內(nèi)，其中，所述毛細(xì)管導(dǎo)模4的軸心線與傳動(dòng)桿53的軸心線之間具有間距；在爐體2頂部設(shè)有一供籽晶桿12穿過的通孔，且籽晶桿12能夠在該通孔內(nèi)橫向移動(dòng)。
[0024]所述縱向移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括一縱向移動(dòng)電機(jī)7和縱向設(shè)置于支架6上的滑軌，所述縱向移動(dòng)電機(jī)7設(shè)于支架6上方，其輸出軸與一縱移絲桿8相連，該縱移絲桿8從上至下穿過支架6。所述橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括橫向移動(dòng)電機(jī)9,該橫向移動(dòng)電機(jī)9通過一連桿10與縱向移動(dòng)機(jī)構(gòu)相連，其中，所述連桿10中部開設(shè)有一與縱移絲桿8相匹配的螺孔，該連桿10的一端與橫向移動(dòng)電機(jī)9相連,另一端通過一滑塊與支架6上的滑軌配合相連。所述橫向移動(dòng)電機(jī)9的輸出軸與一橫移絲桿相連，該橫移絲桿上套設(shè)有一絲桿套筒，所述稱重裝置11與該絲桿套筒相連；通過該橫向移動(dòng)電機(jī)9能夠帶動(dòng)稱重裝置11橫向移動(dòng)。
[0025]在爐體2頂部的通孔處設(shè)有動(dòng)密封結(jié)構(gòu)13，具體實(shí)施時(shí)，所述通孔為一條形孔，且其長(zhǎng)度方向與橫向移動(dòng)電機(jī)9的輸出軸軸向一致；在該通孔處設(shè)有密封圈，使籽晶桿12在旋轉(zhuǎn)及橫移過程中仍然保持爐體2內(nèi)的真空度。
[0026]在生產(chǎn)過程中，將籽晶桿12豎直固定在稱重裝置11下方的籽晶桿固定架51上，然后控制橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)和縱向移動(dòng)機(jī)構(gòu)，使籽晶桿12的下端與毛細(xì)管導(dǎo)模4的上端正對(duì)，并且籽晶桿12與毛細(xì)管導(dǎo)模4上端之間具有30— 50mm的間隙。在坩堝3內(nèi)加入藍(lán)寶石晶體原料，控制爐體2對(duì)坩堝3進(jìn)行加熱，直至坩堝3內(nèi)的籽晶熔化，當(dāng)坩堝3內(nèi)的籽晶熔化后，藍(lán)寶石熔液隨毛細(xì)管導(dǎo)模4向上移動(dòng)，直至與籽晶桿12下端接觸；在仔晶熔液向上移動(dòng)的過程中，通過控制系統(tǒng)控制爐體2的爐膛溫度，使?fàn)t膛的溫度從下至上逐漸降低，從而使藍(lán)寶石熔液在與耔晶桿接觸后能夠快速形成結(jié)晶。當(dāng)藍(lán)寶石熔液在籽晶桿12下端結(jié)晶后，通過縱向移動(dòng)機(jī)構(gòu)和橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)逐漸向上移動(dòng)并逐漸橫向移動(dòng)，控制力矩電機(jī)帶動(dòng)仔晶桿固定架51帶動(dòng)籽晶桿12旋轉(zhuǎn)；這樣，通過控制橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)和縱向移動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)速度，以及力矩電機(jī)的轉(zhuǎn)速；使籽晶熔液在籽晶桿12下端的結(jié)晶體邊緣逐漸形成結(jié)晶，直至結(jié)晶體的形狀、重量與預(yù)設(shè)整流罩的形狀、重量一致，即整流罩坯料成型?；蛘?，通過縱向移動(dòng)機(jī)構(gòu)逐漸向上移動(dòng)，控制力矩電機(jī)帶動(dòng)仔晶桿固定架51帶動(dòng)籽晶桿12旋轉(zhuǎn)，同時(shí)控制旋轉(zhuǎn)電機(jī)52帶動(dòng)坩堝3轉(zhuǎn)動(dòng)；這樣，通過控制縱向移動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)速度，力矩電機(jī)轉(zhuǎn)速以及旋轉(zhuǎn)組件的轉(zhuǎn)速，使籽晶熔液在籽晶桿12下端的結(jié)晶體邊緣逐漸形成結(jié)晶，直至結(jié)晶體的形狀、重量與預(yù)設(shè)整流罩的形狀、重量一致，即整流罩坯料成型。
[0027]在整流罩成型過程中，通過稱重機(jī)構(gòu)，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)結(jié)晶體的重量，并與預(yù)設(shè)值進(jìn)行實(shí)時(shí)對(duì)比，從而使控制系統(tǒng)實(shí)時(shí)對(duì)橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)和縱向移動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)速度，以及力矩電機(jī)和旋轉(zhuǎn)組件的轉(zhuǎn)速進(jìn)行調(diào)整，以成型出最佳的整流罩坯料。
[0028]最后需要說明的是，以上實(shí)施例僅用以說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案而非限制技術(shù)方案，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，那些對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行修改或者等同替換，而不脫離本技術(shù)方案的宗旨和范圍，均應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的權(quán)利要求范圍當(dāng)中。
【權(quán)利要求】
1.一種直接生長(zhǎng)藍(lán)寶石整流罩的設(shè)備，其特征在于:包括機(jī)架、爐體、坩堝、以及毛細(xì)管導(dǎo)模，所述爐體安裝在機(jī)架上，坩堝安裝在爐體內(nèi)；在機(jī)架的下方設(shè)有一旋轉(zhuǎn)組件，所述旋轉(zhuǎn)組件包括固定架、旋轉(zhuǎn)電機(jī)以及傳動(dòng)桿，所述傳動(dòng)桿豎直設(shè)置，其一端與旋轉(zhuǎn)電機(jī)輸出軸相連，另一端穿過爐體后與坩堝底部相連，通過該旋轉(zhuǎn)電機(jī)能夠帶動(dòng)坩堝轉(zhuǎn)動(dòng)； 在爐體上方設(shè)有一支架，在支架上設(shè)有一縱向移動(dòng)機(jī)構(gòu)和橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)與縱向移動(dòng)機(jī)構(gòu)相連，通過該縱向移動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠帶動(dòng)橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)上下移動(dòng)，在橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)上設(shè)有一力矩電機(jī)，在力矩電機(jī)的輸出軸上設(shè)有一籽晶桿固定架，通過該力矩電機(jī)能夠帶動(dòng)籽晶桿固定架旋轉(zhuǎn)； 所述毛細(xì)管導(dǎo)模豎直設(shè)于爐體內(nèi)，并通過固定夾具安裝于坩堝上，其下端伸入坩堝內(nèi)，其中，所述毛細(xì)管導(dǎo)模的軸心線與傳動(dòng)桿的軸心線之間具有間距；在爐體頂部設(shè)有一供籽晶桿穿過的通孔，且籽晶桿能夠在該通孔內(nèi)橫向移動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種直接生長(zhǎng)藍(lán)寶石整流罩的設(shè)備，其特征在于:還包括一稱重裝置，所述稱重裝置與橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)相連，通過橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠帶動(dòng)稱重裝置橫向移動(dòng)；所述力矩電機(jī)安裝于該稱重裝置下方，所述稱重裝置能夠?qū)α仉姍C(jī)、籽晶桿固定架及安裝在籽晶桿固定架上的籽晶桿稱重。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種直接生長(zhǎng)藍(lán)寶石整流罩的設(shè)備，其特征在于:所述縱向移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括一縱向移動(dòng)電機(jī)和縱向設(shè)置于支架上的滑軌，所述縱向移動(dòng)電機(jī)設(shè)于支架上方，其輸出軸與一縱移絲桿相連，該縱移絲桿從上至下穿過支架；所述橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括橫向移動(dòng)電機(jī)，該橫向移動(dòng)電機(jī)通過一連桿與縱向移動(dòng)機(jī)構(gòu)相連，其中，所述連桿中部開設(shè)有一與縱移絲桿相匹配的螺孔，該連桿的一端與橫向移動(dòng)電機(jī)相連，另一端通過一滑塊與支架上的滑軌配合相連； 所述橫向移動(dòng)電機(jī)的輸出軸與一橫移絲桿相連，該橫移絲桿上套設(shè)有一絲桿套筒，所述稱重裝置與該絲桿套筒相連；通過該橫向移動(dòng)電機(jī)能夠帶動(dòng)稱重裝置橫向移動(dòng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種直接生長(zhǎng)藍(lán)寶石整流罩的設(shè)備，其特征在于:在爐體頂部的通孔處設(shè)有動(dòng)密封結(jié)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種直接生長(zhǎng)藍(lán)寶石整流罩的設(shè)備，其特征在于:所述固定架由一豎桿以及與該豎桿兩端相連的橫桿構(gòu)成，在豎桿上沿其長(zhǎng)度方向設(shè)有一導(dǎo)軌，在固定架的下方設(shè)有一縱向位移電機(jī)，該縱向位移電機(jī)的輸出軸與一豎直設(shè)置且從下至上穿過固定架的位移絲桿相連；所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)通過一位移拉桿與固定架相連，其中，所述位移拉桿中部開設(shè)有一與位移絲桿相匹配的螺孔，該位移拉桿的一端與旋轉(zhuǎn)電機(jī)相連，另一端通過一滑塊與固定架上的滑軌配合相連。
【文檔編號(hào)】C30B29/20GK203960392SQ201420427928
【公開日】2014年11月26日 申請(qǐng)日期:2014年7月31日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月31日
【發(fā)明者】何曄, 佘建軍, 李金 , 何根華, 陳川貴, 劉建軍, 付昌祿, 武歡, 李海林, 宋曉佳, 母江東, 鄧力, 許華勝, 王璐 申請(qǐng)人:中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第二十六研究所