安裝頭及元件安裝裝置制造方法
【專利摘要】提供一種安裝頭及元件安裝裝置，能夠防止由于空氣管長而產(chǎn)生的安裝精度的降低、空氣管與吸嘴發(fā)生干涉而產(chǎn)生的空氣管的損傷。安裝頭(16)設(shè)于元件安裝裝置(1)，向吸嘴(16a)供給真空壓而使吸嘴(16a)吸附元件(3)，所述吸嘴(16a)安裝在相對于固定側(cè)軸(22)升降自如的可動側(cè)軸(23)的下端，所述安裝頭(16)具備供給真空壓的空氣管(28)及將從空氣管(28)供給的真空壓向可動側(cè)軸(23)的內(nèi)部管路(軸內(nèi)管路(23c))導(dǎo)入的真空壓導(dǎo)入部(29)，真空壓導(dǎo)入部(29)由安裝于可動側(cè)軸(23)的基部(塊部件(51)及軸部件(52))和以在上下表面內(nèi)轉(zhuǎn)動自如的方式設(shè)于基部并與空氣管(28)連接的連接部(連接部件53)構(gòu)成。
【專利說明】安裝頭及元件安裝裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及通過吸嘴吸附元件的安裝頭及具備該安裝頭的元件安裝裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]元件安裝裝置是將元件安裝于由搬送基板的基板搬送部定位后的基板上的裝置，具備吸附元件供給部供給的元件的安裝頭。安裝頭在相對于固定側(cè)軸升降自如的可動側(cè)軸的下端具有吸嘴，向吸嘴供給真空壓，由此能夠通過吸嘴吸附元件。向吸嘴導(dǎo)入真空壓的路徑具有供給真空壓的空氣管和安裝于可動側(cè)軸而將從空氣管供給的真空壓向可動側(cè)軸的內(nèi)部管路導(dǎo)入的真空壓導(dǎo)入部，空氣管以相對于真空壓導(dǎo)入部保持一定的角度的狀態(tài)安裝(例如專利文獻I)。
[0003]如上所述，在真空壓導(dǎo)入部與可動側(cè)軸一起升降并以相對于真空壓導(dǎo)入部保持一定的角度的狀態(tài)安裝有空氣管的情況下，可能由于可動側(cè)軸的升降動作而給空氣管帶來過度的變形，空氣管從真空壓導(dǎo)入部脫落或受到損傷。因此，以往，使空氣管的長度足夠長，與可動側(cè)軸的升降動作對應(yīng)地使空氣管的折曲狀態(tài)發(fā)生連動的變化，以避免給管帶來過度的變形。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)文獻
[0005]專利文獻
[0006]專利文獻1:日本特開2010-27855號公報實用新型內(nèi)容
[0007]然而，當空氣管長時，有時伴隨于安裝頭的移動而空氣管整體產(chǎn)生振動，該振動向吸嘴傳遞而使安裝精度惡化。另外，空氣管也可能與吸嘴發(fā)生干涉而使空氣管受到損傷。
[0008]因此，本實用新型的目的在于提供一種安裝頭及元件安裝裝置，其能夠防止由于空氣管長而產(chǎn)生的安裝精度的降低、空氣管與吸嘴發(fā)生干涉而產(chǎn)生的空氣管的損傷。
[0009]技術(shù)方案I記載的安裝頭設(shè)于元件安裝裝置，向吸嘴供給真空壓而使所述吸嘴吸附元件，所述吸嘴安裝在相對于固定側(cè)軸升降自如的可動側(cè)軸的下端，所述安裝頭具備:空氣管，供給真空壓；及真空壓導(dǎo)入部，設(shè)于所述可動側(cè)軸，將從所述空氣管供給的真空壓向所述可動側(cè)軸的內(nèi)部管路導(dǎo)入，所述真空壓導(dǎo)入部由安裝于所述可動側(cè)軸的基部和以在上下表面內(nèi)轉(zhuǎn)動自如的方式設(shè)于所述基部并與所述空氣管連接的連接部構(gòu)成。
[0010]技術(shù)方案2記載的元件安裝裝置具備:基板搬送部，搬送基板并對基板進行定位；元件供給部，供給元件；及技術(shù)方案I記載的安裝頭，以相對于所述基板移動自如的方式設(shè)置，從所述元件供給部真空吸附元件而將該元件安裝于由所述基板搬送部定位了的所述基板。
[0011]實用新型效果
[0012]在本實用新型中，將從空氣管供給的真空壓向可動側(cè)軸的內(nèi)部管路導(dǎo)入的真空壓導(dǎo)入部中的、連接空氣管的連接部在上下表面內(nèi)轉(zhuǎn)動自如，在與可動側(cè)軸相對于固定側(cè)軸的升降動作對應(yīng)地空氣管發(fā)生變形時，追隨于此而連接部進行轉(zhuǎn)動，因此不會給空氣管帶來過度的變形。因此，無需如以往那樣為了與可動側(cè)軸的升降動作對應(yīng)地使空氣管的折曲狀態(tài)連動地發(fā)生變化而采取延長空氣管這樣的措施，能夠相對地縮短空氣管，因此能夠防止由于空氣管長而產(chǎn)生的安裝精度的降低、空氣管與吸嘴發(fā)生干涉而產(chǎn)生的空氣管的損傷。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1是本實用新型的一實施方式中的元件安裝裝置的立體圖。
[0014]圖2是本實用新型的一實施方式中的元件安裝裝置具備的安裝頭的側(cè)視圖。
[0015]圖3是本實用新型的一實施方式中的安裝頭的局部放大圖。
[0016]圖4(a) (b)是本實用新型的一實施方式中的安裝頭的局部分解側(cè)視圖。
[0017]圖5(a) (b)是本實用新型的一實施方式中的安裝頭的局部下方立體圖。
[0018]圖6(a) (b)是本實用新型的一實施方式中的安裝頭的局部俯視圖。
[0019]圖7是本實用新型的一實施方式中的安裝頭的圖，(a)是所述安裝頭的局部剖視主視圖，(b)是所述安裝頭的剖視圖。
[0020]圖8是本實用新型的一實施方式中的安裝頭的圖，(a)是所述安裝頭的局部立體圖，(b)是所述安裝頭的局部分解立體圖。
[0021]圖9是表示本實用新型的一實施方式中的元件安裝裝置的控制系統(tǒng)的框圖。
[0022]圖10(a) (b) (C)是本實用新型的一實施方式中的安裝頭的動作說明圖。
[0023]標號說明
[0024]I 元件安裝裝置
[0025]2 基板
[0026]3 元件
[0027]12基板搬送部
[0028]13元件供給部
[0029]16安裝頭
[0030]16a 吸嘴
[0031]22固定側(cè)軸
[0032]23可動側(cè)軸
[0033]23c軸內(nèi)管路(內(nèi)部管路)
[0034]28空氣管
[0035]29真空壓導(dǎo)入部
[0036]51塊部件(基部)
[0037]52軸部件(基部)
[0038]53連接部件(連接部)

【具體實施方式】
[0039]以下，參照附圖對本實用新型的實施方式進行說明。圖1所示的元件安裝裝置I是將元件3安裝于基板2上的裝置，在基臺11上具有基板搬送部12、元件供給部13及元件安裝部14。
[0040]基板搬送部12通過被同步驅(qū)動的一對輸送機12a而在水平面內(nèi)的一個方向(設(shè)為X軸方向，從操作員OP觀察的左右方向)上搬送基板2并對基板2進行定位。元件供給部13由裝卸自如地設(shè)于基臺11的多個元件供料器13a(例如帶式供料器)構(gòu)成，各元件供料器13a向元件供給口 13p連續(xù)地供給元件3。
[0041]元件安裝部14由設(shè)于基臺11上的頭移動機構(gòu)15和通過頭移動機構(gòu)15而移動的安裝頭16構(gòu)成。頭移動機構(gòu)15具有:Y軸臺15a，在基臺11的上方沿與X軸方向正交的水平面內(nèi)方向(設(shè)為Y軸方向。從操作員OP觀察的前后方向)延伸；及X軸臺15b，沿X軸方向延伸；安裝頭16安裝于X軸臺15b。頭移動機構(gòu)15通過Y軸臺15a而在Y軸方向上驅(qū)動X軸臺15b，通過X軸臺15b而向X軸方向驅(qū)動安裝頭16，由此使安裝頭16在水平面內(nèi)移動。安裝頭16具備用于吸附各元件供料器13a供給的元件3的多個吸嘴16a。
[0042]在安裝頭16設(shè)有將拍攝視場朝向下方的基板攝像機17，在基臺11上的基板搬送部12與元件供給部13之間的位置設(shè)有將拍攝視場朝向上方的元件攝像機18。
[0043]在圖1及圖2中，安裝頭16在安裝于X軸臺15b的板狀的移動基座20上具備軸保持部21，通過該軸保持部21而將多個固定側(cè)軸22分別以沿著上下方向延伸的狀態(tài)保持。在各固定側(cè)軸22的下部收容有可動側(cè)軸23，可動側(cè)軸23由設(shè)于軸保持部21的上方的升降電動機24驅(qū)動而單獨地相對于固定側(cè)軸22進行升降?？蓜觽?cè)軸23由不相對于固定側(cè)軸22繞上下軸(設(shè)為Z軸)相對旋轉(zhuǎn)的非旋轉(zhuǎn)部23a和相對于非旋轉(zhuǎn)部23a (即相對于固定側(cè)軸22)繞Z軸相對旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)部23b構(gòu)成，旋轉(zhuǎn)部23b由設(shè)于軸保持部21內(nèi)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部25驅(qū)動而相對于非旋轉(zhuǎn)部23a旋轉(zhuǎn)。此外，在本實施方式中，固定側(cè)軸22及可動側(cè)軸23設(shè)為在X軸方向上排列四列、在Y軸方向上排列兩列(參照圖1等)。
[0044]在圖2及圖3中，在各固定側(cè)軸22設(shè)有構(gòu)成向吸嘴16a的真空供給路徑的一部分的接頭部26。在接頭部26的上部安裝有與未圖示的真空源相連的真空壓供給管路27的下端部，在接頭部26的下部安裝有空氣管28的上端。
[0045]在圖3及圖4(a)、(b)中，接頭部26具有殼體部件31、管連接件32及過濾部件33。殼體部件31內(nèi)設(shè)成相對于固定側(cè)軸22相對固定，在其內(nèi)部設(shè)有沿著傾斜方向延伸并向下方開口的插入孔31a。管連接件32在下端側(cè)具有安裝空氣管28的上端的管上端連接部32a，在上端側(cè)具有用于安裝過濾部件33的突起部32b。過濾部件33由向下方開口的有底圓筒狀的部件構(gòu)成，圓筒狀的側(cè)面成為過濾面。過濾部件33使下方開口部33a與形成于管連接件32的突起部32b嵌合而安裝于管連接件32 (圖4 (b)中所示的箭頭A)，管連接件32在安裝有過濾部件33的狀態(tài)下從下方插入安裝于殼體部件31的插入孔31a (圖4 (a)中所示的箭頭B)。
[0046]在圖3中，殼體部件內(nèi)管路34沿著上下方向延伸而設(shè)于殼體部件31的內(nèi)部。殼體部件內(nèi)管路34的下端與插入孔31a相連，殼體部件內(nèi)管路34的上端向從殼體部件31的上表面突出的管路連接部31b開口。上述的真空壓供給管路27的下端部與管路連接部31b連接。
[0047]在圖3及圖4(a)、(b)中，在管連接件32內(nèi)形成有沿著軸向貫通而延伸的管連接件內(nèi)管路32c。當安裝有過濾部件33的狀態(tài)的管連接件32插入于殼體部件31的插入孔31a且空氣管28的上端與管上端連接部32a連接時，真空壓供給管路27經(jīng)由殼體部件內(nèi)管路34、插入孔31a、過濾部件33及管連接件內(nèi)管路32c而與空氣管28相連。
[0048]如圖4(a)、(b)所示，在各管連接件32的外周面上外嵌有O形環(huán)32e。該O形環(huán)32e起到將插入于插入孔31a的狀態(tài)的管連接件32固定于插入孔31a內(nèi)的作用和保持管連接件32與插入孔31a之間的氣密性的作用。
[0049]如圖3及圖5(a)、(b)所示，在接頭部26的殼體部件31安裝有沿著X軸方向延伸的形狀的滑動件35。滑動件35具有在X軸方向上排列的多個突出片35a，在各突出片35a設(shè)有由沿著X軸方向延伸的長孔構(gòu)成的導(dǎo)向槽35b，在殼體部件31安裝有位于各導(dǎo)向槽35b內(nèi)的導(dǎo)向用螺栓31c。
[0050]在滑動件35的一端部設(shè)有操作部35c，在該操作部35c與殼體部件31之間壓縮設(shè)置有回位彈簧36。當操作員OP將操作部35c向回位彈簧36的壓縮方向按壓時，滑動件35使各導(dǎo)向槽35b沿著導(dǎo)向用螺栓31c移動，在殼體部件31上沿著X軸方向滑動。另外，當從該狀態(tài)起操作員OP停止操作部35c的按壓(從操作部35c放開手)時，滑動件35通過回位彈簧36的作用力而返回到原來的位置。
[0051]在圖5(a)、(b)及圖6(a)、(b)中，在滑動件35上以與多個(在此為四個)插入孔31a的排列對應(yīng)的排列(個數(shù)及間隔)設(shè)有多個爪部35d，所述多個插入孔31a沿著X軸方向排列而設(shè)于殼體部件31。在各管連接件32的外周面設(shè)有環(huán)繞狀的卡定用槽32d(圖3及圖4(a)、(b))，各爪部35d能夠從橫向(X軸方向)進入到插入于插入孔31a的狀態(tài)的管連接件32的卡定用槽32d。
[0052]滑動件35在操作部35c未由操作員OP進行按壓操作的狀態(tài)下使爪部35d與向殼體部件31的各插入孔31a插入的管連接件32的卡定用槽32d卡定，而將管連接件32保持于插入孔31a內(nèi)(將此時的滑動件35的位置稱為“保持位置”。圖5(a)及圖6(a))。另一方面，在處于保持位置的滑動件35的操作部35c由操作員OP進行按壓操作后的狀態(tài)下(圖5(b)及圖6(b)。這些圖中所示的箭頭C)，設(shè)于滑動件35的各爪部35d從各管連接件32的卡定用槽32d脫出，因此操作員OP能夠?qū)⒏鞴苓B接件32從殼體部件31的插入孔31a向下方拔出(將此時的滑動件35的位置稱為“非保持位置”)。
[0053]如此，在本實施方式中，滑動件35設(shè)于殼體部件31而在保持位置與非保持位置之間被進行滑動操作，所述保持位置是使爪部35d與插入于插入孔31a的管連接件32卡定而將管連接件32保持于插入孔31a內(nèi)的位置，所述非保持位置是解除爪部35d相對于管連接件32的卡定而能夠?qū)⒐苓B接件32從插入孔31a拔出的位置。
[0054]在圖2中，在各可動側(cè)軸23的中間部(非旋轉(zhuǎn)部23a的下端部)設(shè)有真空壓導(dǎo)入部29。該真空壓導(dǎo)入部29具有將從上述的空氣管28供給的真空壓向與吸嘴16a相連的可動側(cè)軸23 (詳細而言是旋轉(zhuǎn)部23b)的內(nèi)部管路即軸內(nèi)管路23c導(dǎo)入的功能。
[0055]如圖7(a)、圖7(b)(該圖7(b)是從圖7(a)的向視V-V觀察到的剖視圖)及圖8(a)所示，真空壓導(dǎo)入部29具有:塊部件51，外嵌于可動側(cè)軸23 (詳細而言是供可動側(cè)軸23的旋轉(zhuǎn)部23b插通)而安裝；軸部件52，安裝于從塊部件51沿著Y軸方向突出而設(shè)置的突出部51a ;及連接部件53，安裝于軸部件52。
[0056]如圖7(b)及圖8(b)所示，連接部件53具有在X軸方向上貫通的圓筒狀的貫通孔53a，在該貫通孔53a設(shè)有環(huán)狀的兩個密封部件(連接部件內(nèi)密封部件53b)。關(guān)于軸部件52，中央胴部52a插入于連接部件53的貫通孔53a之后，中央主體部52a的外周面由上述兩個連接部件內(nèi)密封部件53b支承，外徑比中央胴部52a小的端部胴部52b嵌入于在塊部件51的突出部51a形成的收容孔51b。因此，連接部件53繞軸部件52的中央胴部52a(繞軸部件52的中心軸52J)轉(zhuǎn)動自如(參照圖7 (a)及圖8 (a)中所示的箭頭D)。
[0057]在圖7(a)、(b)及圖8(b)中，在連接部件53突出地設(shè)有連接空氣管28的下端的管下端連接部54。由上述的兩個連接部件內(nèi)密封部件53b、連接部件53的貫通孔53a的內(nèi)周面及軸部件52的外周面形成的空間成為環(huán)繞狀的槽部(連接部件內(nèi)環(huán)繞槽53c)，將管下端連接部54沿著管下端連接部54的軸向貫通而延伸的空氣管路54a與該連接部件內(nèi)環(huán)繞槽53c連通。如此，在本實施方式中，真空壓導(dǎo)入部29由安裝于可動側(cè)軸的基部(塊部件51及軸部件52)和以在上下表面內(nèi)轉(zhuǎn)動自如的方式設(shè)于該基部并與空氣管28連接的連接部(連接部件53)構(gòu)成。
[0058]在圖7(b)中，在軸部件52內(nèi)設(shè)置沿著軸部件52的軸向(X軸方向)延伸而形成的軸向通路52c，并且設(shè)有在中央胴部52a內(nèi)將軸向通路52c橫穿并沿著軸部件52的半徑方向貫通而延伸的中央胴部貫通路52d(也參照圖8(b))和在端部胴部52b內(nèi)將軸向通路52c橫穿并沿著徑向貫通而延伸的端部胴部貫通路52e (也參照圖8(b))。中央胴部貫通路52d的兩端向上述的連接部件內(nèi)環(huán)繞槽53c開口，端部胴部貫通路52e與在塊部件51內(nèi)沿著Y軸方向延伸而設(shè)置的塊部件內(nèi)通路51c(圖7(a)、(b))連通。
[0059]在圖7(a)中，在塊部件51內(nèi)，供可動側(cè)軸23的旋轉(zhuǎn)部23b插通的軸插通孔51d沿著上下方向貫通而延伸，在該軸插通孔51d的中間部沿著上下配置有環(huán)狀的兩個密封部件(塊部件內(nèi)密封部件51e)。可動側(cè)軸23的旋轉(zhuǎn)部23b在沿著上下貫通塊部件51的軸插通孔51d的狀態(tài)下,旋轉(zhuǎn)部23b的外周面由上述兩個塊部件內(nèi)密封部件51e支承。由兩個塊部件內(nèi)密封部件51e、軸插通孔51d的內(nèi)周面及可動側(cè)軸23的旋轉(zhuǎn)部23b的外周面包圍的空間成為環(huán)繞狀的槽部(塊部件內(nèi)環(huán)繞槽51f)，上述的塊部件內(nèi)通路51c與該塊部件內(nèi)環(huán)繞槽51f連通(圖7(b))。
[0060]在圖7(a)、(b)中，在可動側(cè)軸23的旋轉(zhuǎn)部23b設(shè)有穿過可動側(cè)軸23的內(nèi)部管路即軸內(nèi)管路23c而沿著半徑方向貫通的軸連通路23d，軸連通路23d向上述的塊部件內(nèi)環(huán)繞槽51f內(nèi)開口。因此，在連接部件53的管下端連接部54安裝的空氣管28經(jīng)由空氣管路54a、連接部件內(nèi)環(huán)繞槽53c、中央胴部貫通路52d、軸向通路52c、端部胴部貫通路52e、塊部件內(nèi)通路51c、塊部件內(nèi)環(huán)繞槽51f、及軸連通路23d而與軸內(nèi)管路23c相連。軸內(nèi)管路23c與在可動側(cè)軸23的旋轉(zhuǎn)部23b的下端安裝的吸嘴16a的內(nèi)部管路(未圖示)相連，因此，來自上述的未圖示的真空源的真空壓從真空壓供給管路27、接頭部26、空氣管28、及真空壓導(dǎo)入部29經(jīng)由軸內(nèi)管路23c而向吸嘴16a供給。
[0061]此外，如上所述，設(shè)于軸部件52的中央胴部貫通路52d與環(huán)繞狀的連接部件內(nèi)環(huán)繞槽53c連通，因此即使在連接部件53相對于軸部件52轉(zhuǎn)動的情況下，也保持連接部件內(nèi)環(huán)繞槽53c與軸向通路52c的連通狀態(tài)。另外，同樣地，設(shè)于可動側(cè)軸23的旋轉(zhuǎn)部23b的軸連通路23d與環(huán)繞狀的塊部件內(nèi)環(huán)繞槽51f連通，因此即使在可動側(cè)軸23的旋轉(zhuǎn)部23b相對于非旋轉(zhuǎn)部23a (即相對于固定于非旋轉(zhuǎn)部23a的塊部件51)旋轉(zhuǎn)的情況下，也保持塊部件內(nèi)環(huán)繞槽5If與軸內(nèi)管路23c的連通狀態(tài)。
[0062]如圖3所示，在與接頭部26相鄰的位置設(shè)有真空壓供給控制用的由閥等構(gòu)成的吸附控制機構(gòu)61。該吸附控制機構(gòu)61能夠通過信號線62而動作，由此，除了能夠進行向吸嘴16a的真空壓的供給控制之外,還能夠進行向吸嘴16a的正壓的供給控制。
[0063]在圖9中，基于基板搬送部12 (輸送機12a)的基板2的搬送及定位動作控制、基于元件供給部13 (元件供料器13a)的元件3的供給動作控制、基于頭移動機構(gòu)15的安裝頭16的移動動作控制、基于升降電動機24的各可動側(cè)軸23的升降動作控制、基于旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部25的各可動側(cè)軸23的旋轉(zhuǎn)部23b繞Z軸的旋轉(zhuǎn)動作控制、及基于吸附控制機構(gòu)61的向各吸嘴16a的真空壓(或正壓)的供給控制由元件安裝裝置I具備的控制裝置70進行。另外，基于基板攝像機17的拍攝動作控制和基于元件攝像機18的拍攝動作控制由控制裝置70進行，通過基板攝像機17的拍攝動作而得到的圖像數(shù)據(jù)和通過基于元件攝像機18的拍攝動作而得到的圖像數(shù)據(jù)向控制裝置70傳送，在控制裝置70具備的圖像識別部70a中進行圖像識別。
[0064]接著，對控制裝置70執(zhí)行的元件3向基板2的安裝作業(yè)步驟進行說明?？刂蒲b置70首先通過基板搬送部12搬送從元件安裝裝置I的上游側(cè)的其他裝置輸送來的基板2并將基板2定位于規(guī)定的作業(yè)位置(圖1)。然后，通過頭移動機構(gòu)15使安裝頭16在水平面內(nèi)移動，使基板攝像機17位于基板2的上方，進行設(shè)于基板2的位置識別標記(未圖示)的拍攝。然后，在圖像識別部70a中對得到的位置識別標記的圖像進行圖像識別，從而檢測出基板2距離標準的作業(yè)位置的位置偏差。
[0065]控制裝置70在檢測出基板2的位置偏差之后，進行頭移動機構(gòu)15的動作控制而使安裝頭16向元件供給部13的上方移動，使各元件供料器13a進行元件3的供給動作，并且進行升降電動機24、旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部25及吸附控制機構(gòu)61的動作控制，使吸嘴16a吸附元件3而拾取元件3。而且，以由吸嘴16a拾取的元件3通過元件攝像機18的上方的方式使安裝頭16移動，進行基于元件攝像機18的元件3的拍攝和由此得到的圖像數(shù)據(jù)的圖像識別，而求出元件3相對于吸嘴16a的位置偏差(吸附偏差)。
[0066]控制裝置70在求出元件3相對于吸嘴16a的位置偏差之后，以元件3位于基板2的上方的方式使安裝頭16移動。而且，使吸嘴16a下降，而將元件3安裝于基板2 (圖10(a)—圖10(b)—圖10(c))。在該元件3的安裝時，控制裝置70進行吸嘴16a相對于基板2的位置校正(包括旋轉(zhuǎn)校正)，以修正已求出的基板2的位置偏差和元件3的吸附偏差?？刂蒲b置70在應(yīng)安裝于基板2的全部元件3的安裝結(jié)束之后，使基板搬送部12動作，而將基板2向元件安裝裝置I的外部搬出。
[0067]在如上所述的元件3的安裝作業(yè)中，在將吸附于吸嘴16a的元件3安裝于基板2時，可動側(cè)軸23相對于固定側(cè)軸22升降，但當可動側(cè)軸23從圖10(a)所示的初始位置下降時，安裝于可動側(cè)軸23的真空壓導(dǎo)入部29也一體地下降(圖10(a)—圖10(b)—圖10 (c))。此時，與真空壓導(dǎo)入部29連接的空氣管28的下端向下方移動，但安裝有空氣管28的下端的真空壓導(dǎo)入部29的連接部件53追隨空氣管28的變形而繞軸部件52轉(zhuǎn)動，即在上下表面內(nèi)轉(zhuǎn)動，因此不會給空氣管28帶來過度的變形。
[0068]另外，在反復(fù)執(zhí)行如上所述的元件3的安裝作業(yè)的期間，真空空氣中所含的異物附著于在接頭部26的殼體部件31內(nèi)收容的過濾部件33，因此操作員OP需要定期地從殼體部件31拆卸過濾部件33而進行更換等。在從殼體部件31拆卸過濾部件33的情況下，操作員OP對安裝于殼體部件31的滑動件35的操作部35c進行按壓操作而使滑動件35從“保持位置”位于“非保持位置”。由此，滑動件35的各爪部35d從插入于各插入孔31a內(nèi)的管連接件32的卡定用槽32d脫離，操作員OP能夠從插入孔31a拔出管連接件32。而且，從拔出后的管連接件32拆卸過濾部件33，與新部件進行更換等而再次安裝于管連接件32之后，對滑動件35進行操作的同時使管連接件32返回到插入孔31a。
[0069]此外，在將滑動件35從“保持位置”設(shè)為“非保持位置”時，爪部35d對于多個管連接件32的卡定同時地脫離，但各管連接件32如上所述地由O形環(huán)32e固定于插入孔31a內(nèi)，因此只要操作員OP不有意地拔出管連接件32，管連接件32就不會從插入孔31a脫落。因此，操作員OP能夠僅選擇作為拔出對象的管連接件而從插入孔31a拔出，然后進行過濾部件33的更換等作業(yè)。
[0070]如以上說明的那樣，在本實施方式的元件安裝裝置I中，將從空氣管28供給的真空壓向可動側(cè)軸23的內(nèi)部管路(軸內(nèi)管路23c)導(dǎo)入的真空壓導(dǎo)入部29中的、作為連接空氣管28的連接部的連接部件53在上下表面內(nèi)轉(zhuǎn)動自如，在與可動側(cè)軸23相對于固定側(cè)軸22的升降動作對應(yīng)地空氣管28發(fā)生變形時，追隨于此而連接部件53進行轉(zhuǎn)動，因此不會給空氣管28帶來過度的變形。因此，無需如以往那樣為了與可動側(cè)軸23的升降動作對應(yīng)地使空氣管28的折曲狀態(tài)連動地發(fā)生變化而采取延長空氣管28這樣的措施，能夠相對地縮短空氣管28，因此能夠防止由于空氣管28長而產(chǎn)生的振動等導(dǎo)致的安裝精度的降低、空氣管28與吸嘴16a發(fā)生干涉而產(chǎn)生的空氣管28的損傷。
[0071]產(chǎn)業(yè)實用性
[0072]提供一種安裝頭及元件安裝裝置，其能夠防止由于空氣管長而產(chǎn)生的安裝精度的降低、空氣管與吸嘴發(fā)生干涉而產(chǎn)生的空氣管的損傷。
【權(quán)利要求】
1.一種安裝頭，設(shè)于元件安裝裝置，向吸嘴供給真空壓而使所述吸嘴吸附元件，所述吸嘴安裝在相對于固定側(cè)軸升降自如的可動側(cè)軸的下端，所述安裝頭的特征在于，具備: 空氣管，供給真空壓；及 真空壓導(dǎo)入部，設(shè)于所述可動側(cè)軸，將從所述空氣管供給的真空壓向所述可動側(cè)軸的內(nèi)部管路導(dǎo)入， 所述真空壓導(dǎo)入部由安裝于所述可動側(cè)軸的基部和以在上下表面內(nèi)轉(zhuǎn)動自如的方式設(shè)于所述基部并與所述空氣管連接的連接部構(gòu)成。
2.—種元件安裝裝置，其特征在于，具備: 基板搬送部，搬送基板并對基板進行定位； 元件供給部，供給元件；及 權(quán)利要求1所述的安裝頭，以相對于所述基板移動自如的方式設(shè)置，從所述元件供給部真空吸附元件而將該元件安裝于由所述基板搬送部定位了的所述基板。
【文檔編號】H05K13/04GK203934280SQ201420312845
【公開日】2014年11月5日 申請日期:2014年6月12日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月13日
【發(fā)明者】中井伸弘, 大田博, 山崎登 申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社