一種區(qū)熔用原料晶棒夾持裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種區(qū)熔用原料晶棒夾持裝置，包括：一夾持主體，一與夾持主體固定連接的變徑盤，以及一與變徑盤下端可拆卸連接的夾持套，所述夾持套用于夾持原料晶棒，在所述夾持套端部還設(shè)置一纏繞鉬絲的凹槽，該鉬絲對夾持完畢的原料晶棒進(jìn)一步捆綁固定?？梢杂行ПＷC小直徑原料晶棒的夾持以及節(jié)省刻槽等的加工成本與時間；其設(shè)計(jì)方法合理，方法步驟簡單，實(shí)現(xiàn)方便易于掌握，使用效果好。
【專利說明】
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體領(lǐng)域，具體涉及一種區(qū)熔用原料晶棒夾持裝置。 -種區(qū)熔用原料晶棒夾持裝置

【背景技術(shù)】
[0002] 單晶硅作為一種半導(dǎo)體材料，不僅能用來做太陽能電池片，而且可以用于集成電 路和電子元器件的生產(chǎn)。近年來，隨著市場的生產(chǎn)需要，大直徑單晶硅片的需求量越來越 大。
[0003] 目前單晶硅的生產(chǎn)方式主要有兩種，一種是直拉法（CZ)，一種是區(qū)熔法（FZ)。直 拉單晶主要用于大規(guī)模集成晶圓，區(qū)熔單晶主要是用作大功率電器元件。目前區(qū)熔法生長 的單晶的需求量越來越大，因此區(qū)熔法拉制拉晶具有很大的經(jīng)濟(jì)效益和社會效益。
[0004] 現(xiàn)在使用的區(qū)熔爐配套夾持原料晶棒夾持裝置，通過卡盤的三個可以調(diào)節(jié)的卡 柱，旋緊原料晶棒從而保證原料晶棒的夾持穩(wěn)定。由于卡盤的尺寸限制和承載力的要求，配 套卡盤最小可以夾持直徑為90mm的原料晶棒，由于在實(shí)際拉晶過程中要用到直徑為80mm 甚至最小到20mm的原料晶棒，因此配套夾持裝置不能夾持小區(qū)熔原料晶棒。 實(shí)用新型內(nèi)容
[0005] 本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種區(qū)熔用原料晶棒夾持裝置，主要應(yīng)用于 PVA T印la FZ-30區(qū)熔爐制備的多晶原料晶棒，可以有效保證小直徑原料晶棒的夾持以及 節(jié)省刻槽等的加工成本與時間；其設(shè)計(jì)方法合理，方法步驟簡單，實(shí)現(xiàn)方便易于掌握，使用 效果好。
[0006] 為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下：
[0007] -種區(qū)熔用原料晶棒夾持裝置，包括：
[0008] 一夾持主體，
[0009] 一與夾持主體固定連接的變徑盤，
[0010] 以及一與變徑盤下端可拆卸連接的夾持套，所述夾持套用于夾持原料晶棒，在所 述夾持套端部還設(shè)置一纏繞鑰絲的凹槽，該鑰絲對夾持完畢的原料晶棒進(jìn)一步捆綁固定。
[0011] 在本實(shí)用新型的一個優(yōu)選實(shí)施例中，所述變徑盤包括一盤體，一設(shè)置于盤體兩側(cè) 的卡槽，以及一設(shè)置于盤體下方的螺紋塊。
[0012] 在本實(shí)用新型的一個優(yōu)選實(shí)施例中，所述夾持套包括一鏤空套筒，一設(shè)置于鏤空 套筒上端的螺紋槽，所述螺紋槽與變徑盤的螺紋塊旋緊連接。
[0013] 在本實(shí)用新型的一個優(yōu)選實(shí)施例中，所述鏤空套筒包括一筒身和一筒底，所述筒 身由若干個并列排布的金屬板構(gòu)成，該金屬板具有伸縮力。
[0014] 通過上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型的有益效果是：
[0015] 1、設(shè)計(jì)合理、投入成本低且實(shí)現(xiàn)方便；
[0016] 2、采用增加變徑盤方式，不僅能保證不破壞原有設(shè)備部件，而且擴(kuò)展性大，利用度 商；
[0017] 3、原料晶棒不再需要刻槽便可以完成夾持，節(jié)省了大量的加工時間和成本；
[0018] 4、夾持套可以設(shè)計(jì)成多種尺寸，能保證適應(yīng)各種直徑的原料晶棒夾持，對原料晶 棒的加工要求降低。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0019] 為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例 或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅 是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提 下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0020] 圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0021] 為了使本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解，下 面結(jié)合具體圖示，進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型。
[0022] 參照圖1，一種區(qū)熔用原料晶棒夾持裝置，包括：
[0023] 一夾持主體100，
[0024] 一與夾持主體100固定連接的變徑盤200,該變徑盤200包括一盤體210, 一設(shè)置 于盤體兩側(cè)的卡槽220,以及一設(shè)置于盤體下方的螺紋塊230，
[0025] 以及一與變徑盤下端可拆卸連接的夾持套300,所述夾持套300用于夾持原料晶 棒，在所述夾持套300端部還設(shè)置一纏繞鑰絲320的凹槽310,該鑰絲320對夾持完畢的原 料晶棒進(jìn)一步擁綁固定；
[0026] 該夾持套300包括一鏤空套筒330, 一設(shè)置于鏤空套筒上端的螺紋槽340,所述螺 紋槽340與變徑盤的螺紋塊230旋緊連接，其中鏤空套筒330包括一筒身331和一筒底332， 所述筒身331由若干個并列排布的金屬板333構(gòu)成，該金屬板333具有伸縮力，該金屬板具 有伸縮力。其中夾持套通常采用不銹鋼夾持套。
[0027] 在變徑盤上接上不銹鋼夾持套，從而保證區(qū)熔原料晶棒的夾持穩(wěn)定；
[0028] 不銹鋼夾持套通過鑰絲捆綁原料晶棒，原料晶棒不再需要刻槽便可以完成夾持， 而且可以設(shè)計(jì)成多重尺寸適用于多重直徑的原料晶棒，節(jié)省了大量的加工時間和成本；
[0029] 本實(shí)用新型通過調(diào)節(jié)卡盤的三個卡柱，旋緊變徑盤從而保證夾持穩(wěn)定，變徑盤下 端開螺紋，以便旋緊不銹鋼夾持套；不銹鋼夾持套中間開口開螺紋可以旋緊到變徑盤上，從 而可以保證原料晶棒夾持的穩(wěn)定。
[0030] 通過設(shè)計(jì)不同直徑的不銹鋼夾持套，可以通過更換夾持套來適應(yīng)各種直徑的原料 晶棒夾持。
[0031] 現(xiàn)在使用的配套夾持裝置所需原料晶棒需要對原料晶棒進(jìn)行開槽處理，而且在實(shí) 際使用過程中，由于原料晶棒的不致密會出現(xiàn)開槽斷裂的情況出現(xiàn)；而本實(shí)用新型號提供 的夾持裝置所需原料晶棒不用開槽，利用鑰絲捆綁通過夾持套和原料晶棒的摩擦力來穩(wěn)定 原料晶棒，節(jié)省了大量的加工成本和加工時間。
[0032] 以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理和主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行 業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說明書中描述 的只是說明本實(shí)用新型的原理，在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下，本實(shí)用新型還 會有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。本實(shí)用新型 要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。
【權(quán)利要求】
1. 一種區(qū)熔用原料晶棒夾持裝置，其特征在于，包括： 一夾持主體， 一與夾持主體固定連接的變徑盤， 以及一與變徑盤下端可拆卸連接的夾持套，所述夾持套用于夾持原料晶棒，在所述夾 持套端部還設(shè)置一纏繞鑰絲的凹槽，該鑰絲對夾持完畢的原料晶棒進(jìn)一步捆綁固定。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種區(qū)熔用原料晶棒夾持裝置，其特征在于，所述變徑盤包 括一盤體，一設(shè)置于盤體兩側(cè)的卡槽，以及一設(shè)置于盤體下方的螺紋塊。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種區(qū)熔用原料晶棒夾持裝置，其特征在于，所述夾持套包 括一鏤空套筒，一設(shè)置于鏤空套筒上端的螺紋槽，所述螺紋槽與變徑盤的螺紋塊旋緊連接。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種區(qū)熔用原料晶棒夾持裝置，其特征在于，所述鏤空套筒 包括一筒身和一筒底，所述筒身由若干個并列排布的金屬板構(gòu)成，該金屬板具有伸縮力。
【文檔編號】C30B13/00GK203904500SQ201420310385
【公開日】2014年10月29日 申請日期:2014年6月12日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月12日
【發(fā)明者】路偉, 楊志宏, 王真, 王曉婧, 陸迪, 石春梅 申請人:陜西天宏硅材料有限責(zé)任公司