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一種60kg藍(lán)寶石晶錠掏棒用定位輔具的制作方法

文檔序號(hào):8104375閱讀:243來(lái)源:國(guó)知局
一種60kg藍(lán)寶石晶錠掏棒用定位輔具的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種60kg藍(lán)寶石晶錠掏棒用定位輔具,其包括由柔性材料制成的基板,基板的中心位置設(shè)置有一直徑為四英寸的第一內(nèi)孔;第一內(nèi)孔的下方設(shè)置有四個(gè)直徑為二英寸且不相干涉的第二內(nèi)孔,第一內(nèi)孔的上方設(shè)置有三個(gè)直徑為二英寸且不相干涉的第三內(nèi)孔;第一內(nèi)孔的左、右兩側(cè),且位于第二內(nèi)孔與第三內(nèi)孔之間的位置,分別設(shè)置有兩個(gè)直徑為二英寸且不相干涉的第四內(nèi)孔;第一內(nèi)孔、第二內(nèi)孔、第三內(nèi)孔、第四內(nèi)孔不相重合。本實(shí)用新型解決了現(xiàn)有60kg級(jí)藍(lán)寶石晶錠掏棒工藝中的晶體利用率不足的問題,使得對(duì)于同一個(gè)晶體折算為2英寸棒后得棒長(zhǎng)度可由1800mm提高至2300mm。比現(xiàn)有的掏棒組合提高300mm~400mm的棒率,直接提高15%的產(chǎn)能,經(jīng)濟(jì)效益非常顯著。
【專利說(shuō)明】-種60kg藍(lán)寶石晶錠掏棒用定位輔具

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型涉及藍(lán)寶石襯底加工【技術(shù)領(lǐng)域】,尤其涉及一種60kg藍(lán)寶石晶錠掏棒 用定位輔具。

【背景技術(shù)】
[0002] 藍(lán)寶石的組成為三氧化二鋁(A1203),是一種重要的光電子材料,具有硬度高、透 過(guò)波段寬、抗熱沖擊性能高以及強(qiáng)度大等特點(diǎn),因此在機(jī)械、電子、光學(xué)、LED照明、半導(dǎo)體器 件以及航空航天和軍工領(lǐng)域都有著廣泛的用途。尤其是藍(lán)寶石晶格結(jié)構(gòu)與氮化鎵相匹配, 是目前使用最廣泛、技術(shù)最成熟的LED襯底材料?,F(xiàn)有生長(zhǎng)藍(lán)寶石晶體較成熟的方法主要 是提拉法、泡生法、導(dǎo)模法,從晶體質(zhì)量來(lái)看泡生法生長(zhǎng)的晶體質(zhì)量最好,具有更小的位錯(cuò) 密度,目前90%的LED襯底材料都是使用的泡生法藍(lán)寶石晶體。
[0003] LED襯底材料制備方法包括晶體生長(zhǎng)、晶棒加工、晶片加工三個(gè)過(guò)程,形成了晶錠、 晶棒及晶片三種物質(zhì)。藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)過(guò)程完成后的產(chǎn)品稱為藍(lán)寶石晶錠或藍(lán)寶石原晶; 由于泡生法藍(lán)寶石晶體的生長(zhǎng)方向?yàn)閍向,而實(shí)際使用的藍(lán)寶石襯底方向沿c向,這就需要 按襯底尺寸對(duì)晶錠進(jìn)行處理,這就是所謂的晶棒加工過(guò)程。該加工過(guò)程包括了掏棒、平磨以 及外圓磨等一系列工序。其中掏棒過(guò)程最為關(guān)鍵,它直接決定了晶體的取材率。對(duì)于同一 個(gè)晶錠不同的掏棒組合方法會(huì)形成完全不同晶體取材率,就60kg級(jí)藍(lán)寶石晶錠而言,其外 形具有以下特點(diǎn):錐柱狀、上部窄、下部寬、直徑在240mm?260mm之間、氣泡主要分布在晶 錠的上部。
[0004] 現(xiàn)有的掏棒加工有以下幾種方式:1、如果完全按2英寸進(jìn)行掏棒,只能加工為4 層,13根晶棒,除最底層為4個(gè)晶棒外,其余三層為3個(gè)晶棒,如果按每根晶棒150mm計(jì)算其 得棒率為1950_。2、如果完全按4英寸進(jìn)行掏棒,則能獲得2根4英寸晶棒及4根2英寸 晶棒,折算為2英寸晶棒的得棒率為1800mm (4英寸按4:1折算為2英寸)。 實(shí)用新型內(nèi)容
[0005] 本實(shí)用新型的目的是提供一種60kg級(jí)藍(lán)寶石晶錠掏棒用定位輔具,解決了現(xiàn)有 60kg級(jí)藍(lán)寶石晶錠掏棒工藝中的晶體利用率不足的問題,使得對(duì)于同一個(gè)晶體折算為2英 寸棒后得棒長(zhǎng)度可由1800mm提高至2300mm。
[0006] 本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種60kg藍(lán)寶石晶錠掏棒用 定位輔具,該定位輔具包括由柔性材料制成的基板,基板的中心位置設(shè)置有一直徑為四英 寸的第一內(nèi)孔。
[0007] 第一內(nèi)孔的下方設(shè)置有四個(gè)直徑為二英寸且不相干涉的第二內(nèi)孔;優(yōu)選的,第二 內(nèi)孔在第一內(nèi)孔的下方呈直線排列,且位于中間位置的兩第二內(nèi)孔分別與第一內(nèi)孔相切。 第一內(nèi)孔的上方設(shè)置有三個(gè)直徑為二英寸且不相干涉的第三內(nèi)孔;優(yōu)選的,第三內(nèi)孔在第 一內(nèi)孔的上方呈V形排列,且位于中間位置的第三內(nèi)孔與第一內(nèi)孔相切。
[0008] 在第一內(nèi)孔的左、右兩側(cè)位于第二內(nèi)孔與第三內(nèi)孔之間的位置,分別設(shè)置有兩個(gè) 直徑為二英寸且不相干涉的第四內(nèi)孔。優(yōu)選的,第四內(nèi)孔與第一內(nèi)孔相切。
[0009] 進(jìn)一步的,第一內(nèi)孔、第二內(nèi)孔、第三內(nèi)孔、第四內(nèi)孔不相重合。
[0010] 為了方便將該定位輔具固定在藍(lán)寶石晶錠上,基板的背面設(shè)有粘膠。
[0011] 本實(shí)用新型的有益效果:
[0012] 通過(guò)對(duì)60kg藍(lán)寶石晶錠形態(tài)的大量分析,并基于實(shí)際的掏棒數(shù)據(jù)的總結(jié),采用11 根2英寸晶棒和1根4英寸晶棒的掏棒組合(最下層為4根2英寸晶棒,中間一層為1根4 英寸晶棒和4根2英寸晶棒,最上一層為3根2英寸晶棒),并通過(guò)本實(shí)用新型所述掏棒用 定位輔具進(jìn)行定位,使得得棒率可高達(dá)2300mm。比現(xiàn)有的掏棒組合提高300mm?400mm的 棒率,直接提高15%的產(chǎn)能,經(jīng)濟(jì)效益非常顯著。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0013] 以下將結(jié)合附圖和實(shí)施例,對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行較為詳細(xì)的說(shuō)明。
[0014] 圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0015] 下面結(jié)合具體的實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步展開說(shuō)明,但需要指出的是,本實(shí) 用新型所要求保護(hù)的形狀、結(jié)構(gòu)并不限于實(shí)施例及說(shuō)明書附圖中的具體形狀、結(jié)構(gòu)。對(duì)于本 領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以推知的其他形式,亦屬于本實(shí)用新型所要求保護(hù)的范圍之內(nèi)。
[0016] 實(shí)施例,
[0017] 請(qǐng)一并參閱圖1,一種60kg藍(lán)寶石晶錠掏棒用定位輔具,該定位輔具包括基板1, 該基板1由柔性材料制成的,以方便將該輔具靠在待加工的藍(lán)寶石晶錠的表面上?;? 的背面設(shè)有用于將該定位輔具固定在藍(lán)寶石晶錠上的粘膠。
[0018] 基板1的中心位置設(shè)置有一個(gè)直徑為四英寸的第一內(nèi)孔2。
[0019] 第一內(nèi)孔2的下方設(shè)置有四個(gè)呈直線排列且不相干涉的第二內(nèi)孔3,第二內(nèi)孔3的 直徑為二英寸。位于中間位置的兩個(gè)第二內(nèi)孔3分別與第一內(nèi)孔2相切。
[0020] 第一內(nèi)孔2的上方設(shè)置有三個(gè)呈V形排列且不相干涉的第三內(nèi)孔4,第三內(nèi)孔4的 直徑為二英寸。位于中間位置的第三內(nèi)孔4與第一內(nèi)孔2相切。
[0021] 在第二內(nèi)孔3與第三內(nèi)孔4之間,圍繞第一內(nèi)孔2的左、右兩側(cè)分別設(shè)置有兩個(gè)直 徑為二英寸且不相干涉的第四內(nèi)孔5。所述第四內(nèi)孔5與第一內(nèi)孔2相切。
[0022] 進(jìn)一步的,第一內(nèi)孔2、第二內(nèi)孔3、第三內(nèi)孔4、第四內(nèi)孔5不相重合。
[0023] 操作時(shí),首先將60kg藍(lán)寶石晶錠固定在掏棒機(jī)上,然后將本實(shí)用新型粘在晶錠 表面,只需保證第二內(nèi)孔盡量靠近錐柱狀晶錠的下方,然后按照定位輔具上的內(nèi)孔依次掏 棒即可。通過(guò)對(duì)60kg藍(lán)寶石晶錠形態(tài)的大量分析,并基于實(shí)際的掏棒數(shù)據(jù)的總結(jié),采用 本實(shí)用新型所述的掏棒用定位輔具,使得得棒率可1?達(dá)2300mm,比現(xiàn)有的掏棒組合提1? 300_?400_的得棒率,直接提高15%的產(chǎn)能,經(jīng)濟(jì)效益非常顯著。
【權(quán)利要求】
1. 一種60kg藍(lán)寶石晶錠掏棒用定位輔具,其特征在于:所述定位輔具包括由柔性材料 制成的基板(1),基板(1)的中心位置設(shè)置有一直徑為四英寸的第一內(nèi)孔(2); 所述第一內(nèi)孔(2)的下方設(shè)置有四個(gè)直徑為二英寸且不相干涉的第二內(nèi)孔(3),第一 內(nèi)孔(2)的上方設(shè)置有三個(gè)直徑為二英寸且不相干涉的第三內(nèi)孔(4); 所述第一內(nèi)孔(2)的左、右兩側(cè),且位于第二內(nèi)孔(3)與第三內(nèi)孔(4)之間的位置,分別 設(shè)置有兩個(gè)直徑為二英寸且不相干涉的第四內(nèi)孔(5); 所述第一內(nèi)孔(2)、第二內(nèi)孔(3)、第三內(nèi)孔(4)、第四內(nèi)孔(5)不相重合。
2. 如權(quán)利要求1所述的60kg藍(lán)寶石晶錠掏棒用定位輔具,其特征在于:所述第二內(nèi)孔 (3) 在第一內(nèi)孔(2)的下方呈直線排列,且位于中間位置的兩第二內(nèi)孔(3)分別與第一內(nèi)孔 (2)相切。
3. 如權(quán)利要求1所述的60kg藍(lán)寶石晶錠掏棒用定位輔具,其特征在于:所述第三內(nèi)孔 (4) 在第一內(nèi)孔(2)的上方呈V形排列,且位于中間位置的第三內(nèi)孔(4)與第一內(nèi)孔(2)相 切。
4. 如權(quán)利要求1所述的60kg藍(lán)寶石晶錠掏棒用定位輔具,其特征在于:所述第四內(nèi)孔 (5) 與第一內(nèi)孔(2)相切。
5. 如權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的60kg藍(lán)寶石晶錠掏棒用定位輔具,其特征在于:所 述基板(1)的背面設(shè)有用于將該定位輔具固定在藍(lán)寶石晶錠上的粘膠。
【文檔編號(hào)】C30B29/20GK203878233SQ201420170481
【公開日】2014年10月15日 申請(qǐng)日期:2014年4月9日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月9日
【發(fā)明者】方偉峰, 李凱, 李慶躍, 承剛, 俞尚東, 張會(huì)選, 汪東東 申請(qǐng)人:黃山市東晶光電科技有限公司
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