一種區(qū)熔爐下軸旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及非金屬晶體的制造設(shè)備，旨在一種區(qū)熔爐下軸旋轉(zhuǎn)機構(gòu)；本實用新型包括托盤、下軸、直驅(qū)電機和連接盤；所述直驅(qū)電機包括電機座和旋轉(zhuǎn)軸，旋轉(zhuǎn)軸安裝于電機座內(nèi)，旋轉(zhuǎn)軸內(nèi)設(shè)有貫通孔，所述下軸位于旋轉(zhuǎn)軸的貫通孔內(nèi)；所述托盤與電機座之間、旋轉(zhuǎn)軸與連接盤之間以及連接盤與下軸之間固定連接；其有益效果是：直驅(qū)電機通電后，通過旋轉(zhuǎn)軸直接帶動下軸旋轉(zhuǎn)，避免了鍵槽和皮帶的間隙，從根本上解決了傳統(tǒng)區(qū)熔爐中正反轉(zhuǎn)拉晶時的停頓問題，可實現(xiàn)穩(wěn)定的下軸正反轉(zhuǎn)，滿足正反轉(zhuǎn)拉晶技術(shù)要求。
【專利說明】一種區(qū)熔爐下軸旋轉(zhuǎn)機構(gòu)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及非金屬晶體的制造設(shè)備，尤其涉及一種區(qū)熔爐下軸旋轉(zhuǎn)機構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]在區(qū)熔爐單晶生長中，下軸帶動單晶完成旋轉(zhuǎn)和升降運動，其穩(wěn)定性很大程度關(guān)系到區(qū)熔單晶生長的質(zhì)量。隨著大直徑摻雜區(qū)熔技術(shù)的發(fā)展，為提高單晶的徑向電阻率一致性，通常采用正反轉(zhuǎn)拉晶技術(shù)，這對下軸旋轉(zhuǎn)運動提出更高的要求。
[0003]傳統(tǒng)的區(qū)熔爐中，如中國專利CN202968741U等，下軸旋轉(zhuǎn)機構(gòu)都是采用電機一減速機一皮帶帶動下軸旋轉(zhuǎn)。在傳統(tǒng)的區(qū)熔硅單晶生產(chǎn)過程中，單晶只做單個方向的旋轉(zhuǎn)運動，不存在正反轉(zhuǎn)的切換，傳統(tǒng)下軸旋轉(zhuǎn)機構(gòu)是可以滿足生產(chǎn)要求的。但隨著正反轉(zhuǎn)拉晶技術(shù)的應(yīng)用，對下軸旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的要求更高:傳統(tǒng)的下軸旋轉(zhuǎn)機構(gòu)中，正反轉(zhuǎn)切換時，皮帶的自由邊變換為張緊邊，且電機與減速機、皮帶輪與下軸之間鍵槽均有一定間隙，正反轉(zhuǎn)切換過程中必然存在一定停頓，對單晶質(zhì)量造成影響。
實用新型內(nèi)容
[0004]本實用新型要解決的技術(shù)問題是，克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種區(qū)熔爐下軸旋轉(zhuǎn)機構(gòu)。
[0005]為解決技術(shù)問題，本實用新型的解決方案是:
[0006]提供一種區(qū)熔爐下軸旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，包括托盤、下軸、直驅(qū)電機和連接盤；所述直驅(qū)電機包括電機座和旋轉(zhuǎn)軸，旋轉(zhuǎn)軸安裝于電機座內(nèi)，旋轉(zhuǎn)軸內(nèi)設(shè)有貫通孔，所述下軸位于旋轉(zhuǎn)軸的貫通孔內(nèi)；所述托盤與電機座之間、旋轉(zhuǎn)軸與連接盤之間以及連接盤與下軸之間固定連接。
[0007]作為一種改進，所述托盤與電機座之間、旋轉(zhuǎn)軸與連接盤之間以及連接盤與下軸之間均采用4個或8個均勻分布的鉸制孔螺釘固定連接。
[0008]作為一種改進，所述下軸、電機座、旋轉(zhuǎn)軸和托盤的橫截面均為以下軸的軸心為圓心的同心圓。
[0009]作為一種改進，所述托盤為具有升降功能的托盤。
[0010]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是:
[0011]本實用新型中，直驅(qū)電機通電后，通過旋轉(zhuǎn)軸直接帶動下軸旋轉(zhuǎn)，避免了鍵槽和皮帶的間隙，從根本上解決了傳統(tǒng)區(qū)熔爐中正反轉(zhuǎn)拉晶時的停頓問題，可實現(xiàn)穩(wěn)定的下軸正反轉(zhuǎn)，滿足正反轉(zhuǎn)拉晶技術(shù)要求。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]附圖標記為:下軸1、直驅(qū)電機2、連接盤3、托盤4、旋轉(zhuǎn)軸2a、電機座2b?！揪唧w實施方式】
[0014]以下的實施例可以使本專業(yè)【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員更全面的了解本實用新型，但不以任何方式限制本實用新型。
[0015]如圖1所示，本實用新型中一種區(qū)熔爐下軸旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，包括具有升降功能的托盤
4、下軸1、直驅(qū)電機2和連接盤3 ;所述直驅(qū)電機2包括電機座2b和旋轉(zhuǎn)軸2a，旋轉(zhuǎn)軸2a安裝于電機座2b內(nèi)，電機座2b與托盤4固定連接，旋轉(zhuǎn)軸2a設(shè)有貫通孔，直驅(qū)電機2通電后旋轉(zhuǎn)軸2a可繞其軸線做旋轉(zhuǎn)運動；所述下軸I位于旋轉(zhuǎn)軸2a的貫通孔內(nèi)，并通過連接盤3實現(xiàn)旋轉(zhuǎn)軸2a與下軸I的固定；所述托盤4與電機座2b之間、旋轉(zhuǎn)軸2a與連接盤3之間以及連接盤3與下軸I之間的固定連接均采用4個或8個均勻分布的鉸制孔螺釘固定連接；所述托盤4與電機座2b之間、旋轉(zhuǎn)軸2a與連接盤3之間以及連接盤3與下軸I之間均采用鉸制孔螺釘固定連接。
[0016]其中，所述直驅(qū)電機2為伺服直驅(qū)電機；所述下軸1、電機座2b、旋轉(zhuǎn)軸2a和托盤4的橫截面均為以下軸I的軸心為圓心的同心圓。
[0017]因此，本實用新型的實際范圍不僅包括所公開的實施例，還包括在權(quán)利要求書之下實施或者執(zhí)行本實用新型的所有等效方案。
【權(quán)利要求】
1.一種區(qū)熔爐下軸旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，包括托盤，其特征在于，還包括下軸、直驅(qū)電機和連接盤；所述直驅(qū)電機包括電機座和旋轉(zhuǎn)軸，旋轉(zhuǎn)軸安裝于電機座內(nèi)，旋轉(zhuǎn)軸內(nèi)設(shè)有貫通孔，所述下軸位于旋轉(zhuǎn)軸的貫通孔內(nèi)；所述托盤與電機座之間、旋轉(zhuǎn)軸與連接盤之間以及連接盤與下軸之間固定連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的區(qū)熔爐下軸旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，其特征在于，所述托盤與電機座之間、旋轉(zhuǎn)軸與連接盤之間以及連接盤與下軸之間均采用4個或8個均勻分布的鉸制孔螺釘固定連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2中所述的區(qū)熔爐下軸旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，其特征在于，所述下軸、電機座、旋轉(zhuǎn)軸和托盤的橫截面均為以下軸的軸心為圓心的同心圓。
【文檔編號】C30B13/32GK203741452SQ201420053570
【公開日】2014年7月30日 申請日期:2014年1月27日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月27日
【發(fā)明者】傅林堅, 曹建偉, 王丹濤, 陳明杰, 石剛, 湯承偉, 歐陽鵬根, 邱敏秀, 蔣慶良 申請人:浙江晶盛機電股份有限公司