運(yùn)算裝置、部件安裝裝置以及程序的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種與部件安裝裝置有關(guān)，能夠降低異常發(fā)生率的技術(shù)。本部件安裝裝置(100)(運(yùn)算裝置150)進(jìn)行以下的處理：取得或計(jì)算表示進(jìn)行取出并保持的動作時的部件保持構(gòu)件和部件之間的相對位置關(guān)系或距離的狀態(tài)參數(shù)值的處理；計(jì)算狀態(tài)參數(shù)的波動的值的處理；在波動的值超過第一閾值的情況下，修正部件保持構(gòu)件的保持位置、停止時間、動作速度、動作加速度的參數(shù)值中的、對波動降低有效并且節(jié)拍時間的增加量小的參數(shù)的處理。
【專利說明】運(yùn)算裝置、部件安裝裝置以及程序
[0001 ] 基于參考的引入
[0002]本申請主張2012年3月7日申請的日本專利申請第2012-049915號的優(yōu)先權(quán)，通過參照將其內(nèi)容引入到本申請中。
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0003]本發(fā)明涉及一種與電子設(shè)備的生產(chǎn)有關(guān)的、將部件(電子部件)安裝到基板(電路基板)上的裝置(部件安裝裝置)等的技術(shù)，特別涉及進(jìn)行用于計(jì)算/決定/修正部件安裝裝置的部位(頭:head、部件保持構(gòu)件等)的動作控制的設(shè)定的參數(shù)值的運(yùn)算(信息處理)的技術(shù)。
【背景技術(shù)】
[0004]部件安裝裝置，通過內(nèi)部被減壓后的吸附嘴(以下也稱為“嘴”)吸附被部件供給裝置(供給器deeder)保持的部件，運(yùn)送到基板的預(yù)定的位置來裝配(以下包含吸附和裝配地稱為“安裝”)。關(guān)于部件安裝裝置，將與重力方向交叉(可以斜著)的方向設(shè)為χ、γ方向(X-Y平面)，將與Χ、Υ方向(X-Y平面)垂直地交叉的方向設(shè)為Z方向。在該情況下，部件安裝裝置在進(jìn)行上述裝配動作時，使嘴(具備嘴的頭等)在χ、γ方向以及Z方向上移動，由此使其移動到被供給器保持的部件(吸附對象)的附近的位置(預(yù)定的X、Y、Z位置)，使其停止預(yù)定的時間，通過將嘴的內(nèi)部減壓來吸附部件，使得在將部件吸附在嘴上的狀態(tài)下以預(yù)定的動作速度在Χ、γ方向以及Z方向上移動，由此將部件裝配到基板的預(yù)定的位置。
[0005]存在日本專利4607820號(專利文獻(xiàn)I)。在專利文獻(xiàn)I中記載了以下的方法，即在部件吸附時的異常的發(fā)生率增加的情況下，增加吸附嘴的停止時間。
[0006]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0007]專利文獻(xiàn)
[0008]專利文獻(xiàn)1:日本專利4607820號
【發(fā)明內(nèi)容】
[0009]發(fā)明要解決的問題
[0010]在上述那樣的部件安裝裝置中，必須與被供給器裝載/保持的部件的位置、部件的形狀/重量等對應(yīng)地，適當(dāng)?shù)卦O(shè)定嘴的吸附時的位置、嘴的吸附時的停止時間、嘴的吸附后的動作速度等。
[0011]例如，在部件的裝載位置相對于Z方向的嘴停止位置(部件的稍上方)向相反側(cè)一方的位置偏離的情況(例如裝載部件的供給器(凹部)在Z方向上稍向下偏離的情況)下，部件和嘴之間的距離變大，難以適當(dāng)?shù)貙⒉考皆谧焐?圖5)。由此，會發(fā)生在傾斜的狀態(tài)下吸附部件這樣的吸附異常、無法吸附部件這樣的吸附異常。在這樣的情況下，例如必須使嘴的吸附位置(停止位置)向Z方向的接近部件的位置移動。
[0012]另外，例如在與嘴有關(guān)的壓力控制機(jī)構(gòu)劣化的情況下，直到嘴的內(nèi)部被減壓為止花費(fèi)時間，因此，嘴會在嘴的內(nèi)部沒有被充分減壓的狀態(tài)下動作，會發(fā)生傾斜地吸附部件這樣的吸附異常、無法吸附部件這樣的吸附異常。在這樣的情況下，例如必須增加嘴的部件吸附時的停止時間，或者與嘴內(nèi)部的減壓狀況對應(yīng)地降低動作速度(嘴/頭等的移動時的速度)、動作加速度，使得嘴內(nèi)部被充分減壓。
[0013]為了降低上述那樣的異常的發(fā)生率，例如必須通過運(yùn)算來計(jì)算出嘴對部件進(jìn)行吸附時的位置、停止時間、動作速度、動作加速度等并適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行設(shè)定(修正)。
[0014]在現(xiàn)有技術(shù)例子中存在以下這樣的2個問題點(diǎn)。在上述專利文獻(xiàn)I的技術(shù)中，在發(fā)生吸附異常后變更參數(shù)，因此無法提前預(yù)防部件異常。另外，在發(fā)生吸附異常時，只變更能夠變更的多個參數(shù)中的嘴的部件吸附時的停止時間，因此例如即使在能夠通過變更嘴的停止位置來抑制吸附異常，并且與變更嘴的停止時間的情況相比，變更嘴的停止位置的情況下與生產(chǎn)相關(guān)的時間(節(jié)拍時間)的增加量小的情況下，也增加停止時間。在該情況下，由于節(jié)拍時間的增加，生產(chǎn)量降低。
[0015]鑒于以上情況，本發(fā)明的主要目的(課題)在于:提供一種技術(shù)，其與部件安裝裝置有關(guān)，通過在考慮到節(jié)拍時間的同時，適當(dāng)?shù)赜?jì)算/決定/修正部件吸附時的部件保持構(gòu)件的包含Z方向的位置、停止時間、動作速度、動作加速度等，能夠預(yù)防異常發(fā)生。
[0016]用于解決問題的手段
[0017]為了達(dá)到上述目的，其特征在于具有以下所示的結(jié)構(gòu)。
[0018]作為一種運(yùn)算裝置，其計(jì)算將部件安裝到基板上的部件安裝裝置的動作控制的設(shè)定，上述部件安裝裝置具備:供給裝置，其供給上述部件；裝配裝置，其包含取出并保持上述部件的部件保持構(gòu)件；整體控制裝置，其對安裝動作中的包含上述供給裝置和裝配裝置的各部位的動作進(jìn)行控制，其中，該安裝動作包括依照上述設(shè)定的信息通過上述部件保持構(gòu)件取出并保持上述部件的動作、以及將通過上述部件保持構(gòu)件取出并保持的部件向基板裝配的裝配動作；檢測裝置，其檢測進(jìn)行上述取出并保持的動作時的與上述部件保持構(gòu)件以及部件有關(guān)的狀態(tài)，上述運(yùn)算裝置具備:運(yùn)算控制部，其進(jìn)行計(jì)算處理；存儲部，其存儲用于該計(jì)算處理的數(shù)據(jù)信息，其中，上述運(yùn)算控制部進(jìn)行以下的處理:(1)利用上述檢測裝置，取得或計(jì)算表示進(jìn)行上述取出并保持的動作時的上述部件保持構(gòu)件和部件之間的距離、或者相對位置的狀態(tài)參數(shù)，將該信息存儲到上述存儲部中的第一處理；(2)計(jì)算所存儲的上述取出并保持的動作的上述狀態(tài)參數(shù)的波動的值，將該信息存儲到上述存儲部中的第二處理；(3)在上述狀態(tài)參數(shù)的波動的值超過第一閾值的情況下，在表示上述部件保持構(gòu)件的保持位置、停止時間、動作速度、動作加速度的參數(shù)值中，根據(jù)進(jìn)行了修正的情況下對上述狀態(tài)參數(shù)的波動降低的有效性、進(jìn)行了修正的情況下的基板生產(chǎn)所花費(fèi)的時間的增加量的信息，選擇應(yīng)該修正的參數(shù)值來進(jìn)行修正的第三處理。
[0019]另外，在上述第三處理中，在上述參數(shù)值的修正前的狀態(tài)參數(shù)的波動的值和上述參數(shù)值的修正后的狀態(tài)參數(shù)的波動的值之間的差高于第二閾值的情況下，判定為該參數(shù)值是對波動降低有效的參數(shù)值。
[0020]另外，使在用于波動的值的計(jì)算的數(shù)據(jù)數(shù)多的情況下使用的上述第二閾值的值比在上述數(shù)據(jù)數(shù)小的情況下使用的第二閾值的值小。另外，計(jì)算出方差值作為上述狀態(tài)參數(shù)的波動的值來利用。另外，在上述部件安裝裝置或運(yùn)算裝置所具備的輸出裝置的畫面中，顯示上述狀態(tài)參數(shù)的波動的值和與上述設(shè)定的參數(shù)有關(guān)的包含上述修正前后的值的修正內(nèi)容信息，在由用戶進(jìn)行確認(rèn)的基礎(chǔ)上執(zhí)行上述修正。
[0021]發(fā)明效果
[0022]根據(jù)本發(fā)明，能夠在抑制節(jié)拍時間的增加量的同時，降低異常發(fā)生率。根據(jù)與附圖相關(guān)的以下的本發(fā)明的實(shí)施例的記載，能夠了解本發(fā)明的其他目的、特征以及優(yōu)點(diǎn)。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0023]圖1是表示作為本發(fā)明的一個實(shí)施方式的部件安裝裝置(包含運(yùn)算裝置)的結(jié)構(gòu)例子的圖。
[0024]圖2是表示本部件安裝裝置中的處理例子的流程圖。
[0025]圖3是示意地表示本部件安裝裝置中的供給器、頭等部位的結(jié)構(gòu)例子、以及部件向基板的安裝的結(jié)構(gòu)例子的圖。
[0026]圖4是表示頭和嘴的結(jié)構(gòu)例子的圖。
[0027]圖5是從側(cè)面看吸附時的部件和嘴的位置的例子的圖。
[0028]圖6是表示側(cè)面檢測部的圖像的例子的圖。
[0029]圖7是從上面看吸附時的部件和嘴的位置的例子的圖。
[0030]圖8是表示下面檢測部的圖像的例子的圖。
[0031]圖9是表示本運(yùn)算裝置的處理例子(動作信息的計(jì)算/修正處理)的流程圖。
[0032]圖10是表示裝配信息的表例子的圖。
[0033]圖11是表示動作信息的表例子的圖。
[0034]圖12是表示吸附結(jié)果信息的表例子的圖。
[0035]圖13是表示波動信息的表例子的圖。
[0036]圖14是表不閾值信息的表例子的圖。
[0037]圖15是表不降低效果信息的表例子的圖。
[0038]圖16是表示節(jié)拍變化量信息的表例子的圖。
[0039]圖17是表示修正內(nèi)容確認(rèn)的畫面例子的圖。
[0040]圖18是表示吸附異常的發(fā)生率和部件把持位置的標(biāo)準(zhǔn)偏差之間的關(guān)系的圖。
【具體實(shí)施方式】
[0041]以下，使用圖1?圖18說明本發(fā)明的一個實(shí)施方式(運(yùn)算裝置、部件安裝裝置等)。此外，在用于說明實(shí)施方式的全部附圖中，原則上向相同部件賦予相同的符號，省略其重復(fù)的說明。作為說明上的記號，例如將供給器設(shè)為F，將嘴設(shè)為N，將部件設(shè)為P。
[0042]在本實(shí)施方式的部件安裝裝置100 (運(yùn)算裝置150)中，基于圖1、圖3、圖4等的硬件/軟件的結(jié)構(gòu)，進(jìn)行圖2、圖9那樣的處理(包含計(jì)算/決定/修正部件安裝裝置100的部件安裝方法(動作控制的設(shè)定信息)的處理)。對圖10?圖16那樣的數(shù)據(jù)信息進(jìn)行管理。用戶(利用/管理包含本部件安裝裝置100的系統(tǒng)的操作者等)能夠在圖17那樣的畫面中進(jìn)行信息輸入輸出。
[0043]作為特征之一，在圖2的處理步驟S109(詳細(xì)內(nèi)容是圖9)中，使用與嘴N對部件P的把持位置(HX、HY)、嘴N和部件P之間的距離(KZ)有關(guān)的波動信息，計(jì)算吸附時的嘴N的停止位置(Z)或停止時間(T)或動作速度(V)等參數(shù)的修正值(適合于謀求降低異常發(fā)生率的修正值)，將其結(jié)果反映到部件安裝裝置100的動作控制的設(shè)定信息。
[0044][部件安裝裝置]
[0045]在圖1中表示作為本發(fā)明的一個實(shí)施方式的部件安裝裝置100和運(yùn)算裝置150的結(jié)構(gòu)。運(yùn)算裝置150被設(shè)置在部件安裝裝置100的內(nèi)部。此外，既可以是運(yùn)算裝置150與部件安裝裝置100的外部連接的形式，也可以是將運(yùn)算裝置150和整體控制裝置140合并為一個的形式等。
[0046]部件安裝裝置100具備供給裝置110、裝配裝置120、部件檢測裝置130、整體控制裝置140、運(yùn)算裝置150、輸入裝置170、輸出裝置171、通信IF裝置172等，經(jīng)由總線173將它們相互連接起來。輸入裝置170是接受用戶操作的信息輸入的例如鼠標(biāo)、鍵盤等。輸出裝置171是向用戶輸出信息的顯示器、打印機(jī)等。通信IF裝置172是用于經(jīng)由總線173、外部網(wǎng)絡(luò)等與其他裝置、系統(tǒng)(也能夠與現(xiàn)存的生產(chǎn)管理系統(tǒng)等連接)連接并進(jìn)行信息收發(fā)的接口。總線173將各部(110?172)連結(jié)起來。各裝置(110?150)的IF部(112?163等)是用于經(jīng)由總線173進(jìn)行信息收發(fā)的接口。
[0047]供給裝置110具備具有多個供給器F的供給器基座IlUIF部112等。詳細(xì)地說，供給裝置110具有圖3內(nèi)所示例的物理結(jié)構(gòu)(此外，這是一個例子，能夠進(jìn)行各種應(yīng)用)。
[0048]裝配裝置120具備頭121、梁122、嘴(吸附嘴)123、驅(qū)動控制部124、壓力控制部125、IF部126等。詳細(xì)地說，裝配裝置120具有圖3所示例的物理結(jié)構(gòu)(此外，這是一個例子，能夠進(jìn)行各種應(yīng)用)。驅(qū)動控制部124與來自整體控制裝置140的指示對應(yīng)地，控制頭121、梁122以及嘴123等部位(圖3?圖5等)，使得將部件裝配到后述的裝配信息142 (圖10)所示的裝配順序、以及基板上的部件裝配位置坐標(biāo)。壓力控制部125與來自整體控制裝置140的指示對應(yīng)地，控制嘴123的內(nèi)部的壓力。例如，壓力控制部125從整體控制裝置140接受指示，使得降低嘴123的內(nèi)部的壓力來使部件P吸附到嘴123上。
[0049]部件檢測裝置130具備側(cè)面檢測部131、下面檢測部132、IF部133等。側(cè)面檢測部131接受整體控制部140的指示，從橫向(側(cè)面)攝像吸附了部件P的嘴123 (N)，使用該圖像，通過圖案匹配(圖像處理)等手段，測定/計(jì)算Z方向(圖5)上的嘴N和部件P之間的距離(KZ)(后述，圖5、圖6等)。側(cè)面檢測部131例如如圖4那樣，具備裝載在頭121上的受光部131a和投光部131b而構(gòu)成，包含上述值(KZ)的計(jì)算處理功能。
[0050]另外，下面檢測部132接受整體控制部140的指示，從下方攝像吸附了部件P的嘴123(N)，使用該圖像，通過圖案匹配(圖像處理)等手段，測定/計(jì)算X、Y方向(圖3)上的嘴N對部件P的把持位置(HX、HY)(后述，圖7、圖8等)。下面檢測部132例如如圖3那樣，被配置在供給器基座111和基板90之間，包含上述值(ΗΧ、ΗΥ)的計(jì)算處理功能。
[0051]此外，在本實(shí)施方式中，上述ΚΖ、ΗΧ、ΗΥ值的計(jì)算處理是通過側(cè)面檢測部131、下面檢測部132進(jìn)行，并由運(yùn)算裝置150取得其結(jié)果的形式，但也可以在運(yùn)算裝置150等其他部位進(jìn)行該計(jì)算處理。在通過運(yùn)算裝置150進(jìn)行的情況下，從側(cè)面檢測部131、下面檢測部132取得各數(shù)據(jù)信息(例如圖像數(shù)據(jù))，通過運(yùn)算裝置150計(jì)算各值。另外，用于得到上述值的手段并不限于攝像、圖案匹配等手段，能夠進(jìn)行各種應(yīng)用。
[0052]整體控制裝置140是部件安裝裝置100的主控制部，具備整體控制部144、存儲部141、IF部145等。在存儲部141的存儲區(qū)域中存儲裝配信息Dl (后述，圖10)、動作信息D2 (后述，圖11)等。
[0053]整體控制部144控制通過供給裝置110、裝配裝置120、部件檢測裝置130、運(yùn)算裝置150、輸入部170、輸出部171以及通信IF部172等進(jìn)行的處理。整體控制裝置140依照裝配信息Dl和動作信息D2控制供給裝置110、裝配裝置120、部件檢測裝置130等各部位(包含供給器F、嘴N等)的動作。整體控制部144依照存儲在裝配信息Dl中的順序，從預(yù)定的供給器F通過預(yù)定的嘴N，依照存儲在動作信息D2中的設(shè)定，吸附部件P。在吸附時，整體控制部144使部件檢測部130計(jì)算部件把持位置HX、HY、距離HZ等。然后，整體控制部144使得將部件P裝配到存儲在裝配信息Dl中的基板的位置。
[0054]裝配信息Dl和動作信息D2 (其存儲信息)是用于控制部件安裝裝置100的各部位的動作(安裝動作)的信息(設(shè)定信息)之一。
[0055][運(yùn)算裝置]
[0056]運(yùn)算裝置150具備運(yùn)算控制部160、存儲部151、輸入部161、輸出部162、IF部163等。在存儲部151的存儲區(qū)域中，存儲吸附結(jié)果信息D3(后述，圖12)、波動信息D4(后述，圖13)、閾值信息D5 (后述，圖14)、降低效果信息D6 (后述，圖15)、節(jié)拍變化量信息D7 (后述，圖16)等。
[0057]能夠通過普通的計(jì)算機(jī)、IC等實(shí)現(xiàn)運(yùn)算裝置150。例如，能夠通過CPU、存儲器(R0M、RAM等)等硬件、以及基于它的軟件程序處理(本實(shí)施方式的程序的處理)等來實(shí)現(xiàn)運(yùn)算控制部160。例如，通過由運(yùn)算控制部160裝載并執(zhí)行存儲在存儲部151或外部等的程序來實(shí)現(xiàn)各處理功能(包含圖2內(nèi)、圖9內(nèi)所示的處理)。能夠通過各種存儲器、HDD等外部存儲裝置、針對CD、DVD等存儲介質(zhì)讀寫信息的讀寫裝置、或?qū)ν獠烤W(wǎng)絡(luò)的數(shù)據(jù)進(jìn)行讀寫的裝置等來實(shí)現(xiàn)存儲部151。能夠通過接受用戶操作的信息輸入的鍵盤、鼠標(biāo)等輸入裝置來實(shí)現(xiàn)輸入部161，通過向用戶輸出信息的顯示器等輸出裝置來實(shí)現(xiàn)輸出部162，通過用于與總線173連接并經(jīng)由總線173進(jìn)行信息的收發(fā)的接口來實(shí)現(xiàn)IF部163。
[0058]運(yùn)算控制部160進(jìn)行以下處理:使用存儲在吸附結(jié)果信息D3中的信息(實(shí)績數(shù)據(jù))，計(jì)算與部件把持位置HX、HY以及距離KZ有關(guān)的波動等，根據(jù)判定來修正存儲在動作信息D2中的信息(設(shè)定信息)(后述，圖2、圖9等)。
[0059]將存儲在運(yùn)算裝置150內(nèi)的吸附結(jié)果信息D3、波動信息D4、閾值信息D5、降低效果信息D6、節(jié)拍變化量信息D7作為在運(yùn)算裝置150的處理中必需的信息來管理。此外，根據(jù)需要，也可以將這些信息與整體控制裝置140內(nèi)的各信息(裝配信息D1、動作信息D2)合并或分離。
[0060][供給裝置/裝配裝置]
[0061]圖3表示與圖1的供給裝置110和裝配裝置120有關(guān)的、供給器基座111、頭
121、梁122以及導(dǎo)軌122a等的概要結(jié)構(gòu)(上面)。在供給器基座111中具備多個供給器Illa(F)0部件供給裝置(供給器基座111)作為一個例子是帶形，例如在每個供給器F上裝載作為供給對象的多個部件P。例如，如果通過頭121的嘴N(圖4)吸附了容納在供給器F中的一個部件P，則與整體控制裝置140的指示對應(yīng)地，該供給器F自動地將剩余的部件P中的下一個運(yùn)送到能夠通過該嘴N吸附的位置(在圖3中為Y方向)。
[0062]與整體控制裝置140的指示對應(yīng)地控制頭121和梁122等的動作。頭121構(gòu)成為能夠沿著梁122在一個坐標(biāo)軸方向(在圖3中是X方向)上移動。梁122構(gòu)成為能夠沿著導(dǎo)軌122a在與頭121移動的坐標(biāo)軸方向交叉的其他坐標(biāo)軸方向(在圖3中是Y方向)上移動。進(jìn)而，構(gòu)成為能夠使頭121(裝載在頭121上的嘴N)在與X、Y方向垂直的方向(Ζ方向)上移動。
[0063]構(gòu)成為能夠使頭121和梁122在X、Y方向上移動，使頭121所具備的嘴N在Z方向上移動，通過預(yù)定的嘴N從預(yù)定的供給器F吸附預(yù)定的部件P (50)，進(jìn)而能夠同樣地使各部在X、Y、Z方向上移動，將部件P (50)裝配到基板90上的預(yù)定的位置。
[0064][頭/ 嘴]
[0065]作為頭121的結(jié)構(gòu)例子，圖4表示下面。本頭121在下面部具備多個嘴123 (N)，進(jìn)而裝載有作為側(cè)面檢測部131的構(gòu)成要素的受光部131a和投光部131b。在本例子中，圓狀地配置有多個(例如12個)嘴N，是能夠通過旋轉(zhuǎn)控制等利用希望的嘴N的機(jī)構(gòu)。另夕卜，是同樣能夠通過旋轉(zhuǎn)控制等用受光部131a攝像希望的嘴N的機(jī)構(gòu)。用編號識別各嘴N的位置。
[0066]除此以外，關(guān)于頭121、嘴N，能夠應(yīng)用各種形式。例如，可以列舉將多個頭121、嘴N裝載在一個單元中的結(jié)構(gòu)。
[0067][側(cè)面檢測部、距離KZ]
[0068]在側(cè)面檢測部131中，受光部131a (圖4)接受從投光部131b發(fā)出的光，根據(jù)成為光的影子的部分制作(攝像)例如圖6所示那樣的圖像。然后，側(cè)面檢測部131根據(jù)該攝像的圖像，計(jì)算部件P相對于嘴N的相對距離KZ。
[0069]圖5表示從側(cè)面看吸附時的供給器F的部件P和嘴N的位置的例子。是將部件50 (P)容納在供給器F的每個凹部520中的情況。(a)例如是設(shè)定上的標(biāo)準(zhǔn)位置(停止位置L)的情況，(b)是從(a)稍微偏離的情況。
[0070]在(a)中，500是頭121移動時的嘴N的停止位置。501是與嘴N的位置(停止位置L)有關(guān)的Z方向的基準(zhǔn)線(Z方向位置(ζ) =0)。例如相對于基準(zhǔn)線501，將下方向(嘴N下降方向)設(shè)為+(正)，將上方向設(shè)為_(負(fù))。500和501之間的距離是LZ。503表不嘴N的前端(下端)的嘴停止位置L的線。502表示與503的停止位置L對應(yīng)的嘴N的Z方向位置(ζ)。504表示部件P的上端的部件位置的線。505表示嘴N下端和部件P上端之間的距離。506表示嘴N下端和部件P下端(凹部520底面)之間的距離。
[0071]供給器F(凹部520)中的部件P的位置在包含Z方向的方向上可能產(chǎn)生偏離、波動。例如可以考慮以下的情況，即在供給器F如上述那樣進(jìn)行運(yùn)送而移動的情況下，凹部520的面在Z方向上稍微偏離。由此，部件P相對于嘴N的相對位置(距離)稍微偏離。
[0072](b)是相對于(a)部件P的位置以相對于嘴N位置向相反側(cè)(+Z方向)遠(yuǎn)離的方式偏離的情況。509表示部件P的上端的部件位置的線。504和509的線之間的距離相當(dāng)于偏離的大小。在該情況下，與(a)相比，嘴N和部件P之間的距離(507或508)大。即，難以通過嘴N吸附部件P，容易產(chǎn)生異常(斜著吸附部件P、吸附部件P的端部、無法吸附部件P、吸附后落下等異常)。
[0073]圖6是側(cè)面檢測部131的攝像的圖像例子，是二值圖像數(shù)據(jù)的情況。在(a)的圖像700a中，711是相當(dāng)于嘴N的部分，712是相當(dāng)于部件P的部分。701是Z方向的測定基準(zhǔn)線，是通過嘴N的前端(下端)的直線。702是部件P的下端的直線。703表示基于701和702的距離KZ。另外，在(b)的圖像700b中，為了容易理解地表示距離KZ的概念，表示出吸附時的部件P的傾斜大的情況。704是部件P的下端的直線。705表示基于701和704的距離KZ。
[0074]在此處定義的距離KZ中具有以下的關(guān)系，即與(a)相比，如(b)那樣通過嘴N進(jìn)行吸附時的部件P的傾斜越大，則KZ值越大。如(b)那樣KZ值越大，則異常發(fā)生率越高。在本實(shí)施方式中，與距離KZ的波動值的大小對應(yīng)地，進(jìn)行與吸附時的嘴N的位置等有關(guān)的修正。
[0075]在本實(shí)施方式中，距離KZ的定義簡單地是Z方向上的從嘴N到部件P的距離。在圖6的例子中，作為距離KZ的計(jì)算方法，是從嘴N前端(701)到部件P下端(702等)的距離。
[0076]距離KZ也可以為其他定義(計(jì)算方法)。例如并不限于下端、上端等，也可以為基準(zhǔn)點(diǎn)之間的距離。進(jìn)而也可以為將距離值等作為輸入而根據(jù)預(yù)定的式子計(jì)算的值等。另夕卜，并不限于Z方向，也可以包含X、Y方向地計(jì)算距離值。
[0077][下面檢測部、部件把持位置HX、HY]
[0078]下面檢測部132從攝像的圖像，根據(jù)X、Y方向上的部件P中心和嘴N中心之間的位置的差，計(jì)算部件把持位置HX、HY。
[0079]圖7表示從上面看吸附時的部件P和嘴N的位置的例子。是在X、Y方向(與圖3相同)上圓形的嘴N的中心重疊在長方形的部件P的中心上的情況。外側(cè)的圓是嘴N的外形，內(nèi)側(cè)的圓是嘴N的內(nèi)徑。CP表示部件P中心點(diǎn)，CN表示嘴N中心點(diǎn)。601、602表示通過CP的X、Y方向的基準(zhǔn)線。在許多部件中，CN和CP —致的情況是理想的吸附狀態(tài)。
[0080]圖8是下面檢測部132的攝像的圖像例子(與圖7對應(yīng)關(guān)系)。在圖8的圖像800中，C是測定基準(zhǔn)點(diǎn)，是與CP —致的點(diǎn)。801、802通過C，不是絕對坐標(biāo)系的基準(zhǔn)線，而是依照以部件P為單位的坐標(biāo)系(例如在圖7、圖8的情況下，與長邊平行的方向是X，與短邊平行的方向是Y)的測定基準(zhǔn)線。作為X、Y方向的測定基準(zhǔn)線的801是與部件的相對關(guān)系與圖7的601相同的直線。例如，在圖7中，601是與部件的短邊平行的直線，但在該情況下，801也為與部件的短邊平行的直線。同樣，802是與部件的相對關(guān)系與圖7的602相同的直線。801、802不是絕對坐標(biāo)系的基準(zhǔn)線，而是依照以部件P為單位的坐標(biāo)系(例如長邊為X，短邊為Y)的基準(zhǔn)線。820是相當(dāng)于部件P的部分。810(用虛線表示的區(qū)域)是相當(dāng)于嘴N的部分。803、804是通過嘴中心CN的與Χ、Υ方向的測定基準(zhǔn)線801、802平行的直線。810是從下面的攝像，因此在圖像800上被部件Ρ(820)遮蓋而沒有顯示，但通過使嘴N移動到預(yù)先確定的位置(例如攝像部位的中心)，能夠掌握嘴中心CN。
[0081 ] 圖7的ΡΧ、ΡΥ和圖8的部件把持位置ΗΧ、ΗΥ對應(yīng)。ΗΧ、ΗΥ是將部件P裝載在供給器F時的、方向與部件P的X、Y方向(絕對坐標(biāo)系中的X、Y方向)一致的對應(yīng)的方向上的差。例如，在將長方形的部件P裝載到供給器F時，部件P的長邊與圖3的X方向平行，短邊與圖3的Y方向平行的情況下，部件把持位置HX表示與部件P的長邊平行的方向上的部件中心CP和嘴中心CN之間的差，同樣，部件把持位置HY表示與部件P的短邊平行的方向上的CP和CN之間的差。
[0082]HX、HY值越大則波動越大，越難以通過嘴N吸附部件P，容易產(chǎn)生異常(斜著吸附部件P、吸附部件P的端部、無法吸附部件P、吸附后落下等異常)。
[0083][處理概要(圖2)]
[0084]圖2表示包含本實(shí)施方式的特征的部件安裝裝置100中的整體處理概要的流程(S101等表示處理步驟)。特別在后面使用圖9說明S109的詳細(xì)的結(jié)構(gòu)例子。
[0085](SlOl)整體控制裝置140的整體控制部144使用裝配信息Dl (圖10)、動作信息D2(圖11)，向包含供給裝置110、裝配裝置120的各部指示安裝動作。
[0086](S102)根據(jù)SI的指示，供給裝置110使供給器F(Illa)等動作，裝配裝置120使頭121、梁122、嘴N(123)等動作。特別地，使對象的頭121/嘴N在X、Y方向(圖3)上移動，移動到對象的供給器F-部件P (吸附對象)的位置。
[0087](S103)接著，使嘴123 (N)在Z方向(圖5)上移動(下降)，移動到對象的部件P的中心(上)的預(yù)定的位置(嘴N的停止位置Z)而停止。此外，在本實(shí)施方式中，是將S2(X、Y方向移動)和S3 (Z方向移動)分開的形式，但也可以是將S2和S3匯總為一個而同時進(jìn)行控制(X、Y、Z方向移動)的形式。
[0088](S104)使嘴N在停止位置Z停止預(yù)定的時間(停止時間T)，通過壓力控制部125對嘴N內(nèi)部進(jìn)行減壓，從而吸附/把持部件P。
[0089](S105)使嘴N以預(yù)定的動作速度VZ在Z方向(圖5)上從停止位置L移動(上升)到500。
[0090]另外，在本實(shí)施方式中，在S4、S5時使用側(cè)面檢測部131從側(cè)面攝像吸附/把持了部件P的狀態(tài)的嘴N，由此計(jì)算距離KZ。
[0091](S106)進(jìn)而，使頭121/嘴N等在X、Y、Z方向上移動，移動到基板的部件裝配位置，通過解除吸附來裝配部件P (圖3)。
[0092]另外，在本實(shí)施方式中，在S106時使用下面檢測部131從下面攝像吸附/把持了部件P的狀態(tài)的嘴N，由此計(jì)算部件把持位置HX、ΗΥ。
[0093](S107)針對在上述SI?S6中動作的供給器F、嘴N等的組合，制作成為實(shí)績數(shù)據(jù)的吸附結(jié)果信息152，存儲在運(yùn)算裝置150的存儲部151中。在吸附結(jié)果信息152中包含上述距離ΚΖ、部件把持位置ΗΧ、ΗΥ的信息。此外，也可以在其他定時進(jìn)行該存儲。例如，運(yùn)算裝置150也可以根據(jù)需要從外部(整體控制裝置140等)取得吸附結(jié)果信息152等。針對多次的各次部件安裝動作同樣地存儲實(shí)績數(shù)據(jù)。
[0094](S108)在上述部件P的裝配后，整體控制裝置140的整體控制部144針對在上述SI?S7中動作的供給器F、嘴N等的組合，向運(yùn)算裝置150指示動作信息D2的修正(包含其是否需要的判斷)。
[0095](S109)運(yùn)算裝置150的運(yùn)算控制部160根據(jù)指示，使用吸附結(jié)果信息152，進(jìn)行用于動作信息D2的計(jì)算/修正的處理(詳細(xì)的是圖9)。作為修正的對象、候選，包含嘴N的停止位置Z (IIc)、停止時間T (IId)、動作速度VZ (IIe)。
[0096](SllO)運(yùn)算裝置150的運(yùn)算控制部160等例如在畫面中顯示S109的修正內(nèi)容信息，使用戶對修正執(zhí)行進(jìn)行確認(rèn)(后述，圖17)。在確認(rèn)的基礎(chǔ)上，向整體控制裝置140應(yīng)答發(fā)送S109的修正內(nèi)容信息(包含是否需要修正)，由此，整體控制部144更新(再設(shè)定)動作信息143的內(nèi)容。此外，也可以為省略了上述畫面/用戶的確認(rèn)的形式，在該情況下，為自動地更新整體控制裝置140內(nèi)的設(shè)定信息的形式。
[0097][裝配信息]
[0098]圖10表示作為裝配信息Dl的一個實(shí)施方式的裝配信息表例子。本表具有順序10a、部件裝配位置坐標(biāo)10b、供給器編號10c、吸附嘴編號1d等各字段。Dl (其存儲信息)包含在通過嘴N從供給器F吸附部件P時、以及將該部件P裝配到基板上時的順序、位置、供給器F、嘴N等的信息。此外，雖然沒有圖示，但也可以具有部件ID等其他字段。
[0099]順序1a存儲表示部件P向基板的裝配順序的信息、表示嘴N對該部件P的吸附順序的信息。在本實(shí)施方式中，構(gòu)成為裝配順序和吸附順序相同，但也可以不同。部件裝配位置坐標(biāo)10b，作為表示將該部件P裝配到基板(圖3的90)的位置的信息，存儲基板上的X> Y方向的坐標(biāo)的信息。
[0100]供給器編號1c存儲表示保持該部件P的供給器F(位置)的信息。在本實(shí)施方式中，存儲唯一地識別供給器基座111 (圖3)中的該供給器F(Illa)的裝載位置的供給器編號。吸附嘴編號1d存儲表示吸附該部件P的嘴N的信息。在本實(shí)施方式中，作為確定與該嘴N關(guān)聯(lián)的頭121 (圖4)中的該嘴N的位置的信息，使用以唯一地識別該嘴N的裝載位置的方式被分配的吸附嘴編號(例如I?12)。
[0101][動作信息]
[0102]圖11表示作為動作信息D2的一個實(shí)施方式的動作信息表例子。本表具有供給器編號11a、吸附嘴編號lib、停止位置(L)llc{X方向位置(X)、Y方向位置(y)、Z方向位置(z) }、停止時間(T) lid、動作速度(VZ) lie (修正系數(shù))等各字段。D2(其存儲信息)包含通過嘴N從供給器F吸附部件P時的嘴N的停止位置L、停止時間T、動作速度V等信息。
[0103]供給器編號Ila存儲確定相應(yīng)供給器F(裝載對象的部件P)的位置的信息(與1c相同)。吸附嘴編號Ilb存儲確定相應(yīng)嘴N(吸附對象的部件P)的位置的信息(與1d相同)。停止位置llc(L{X、y、Z})存儲確定通過Ilb所示的嘴N吸附裝載在Ila所示的位置(供給器F)的部件P的情況下的、嘴N的停止位置Z (換言之是吸附位置)的信息。停止位置Z表示圖5的Z方向的位置。例如，如圖5所示，使嘴N下降到相對于基準(zhǔn)線501 (z=O)的距離與Ilc的z的存儲值相同的位置而停止。
[0104]停止時間(T) Ild存儲通過相應(yīng)嘴N吸附相應(yīng)位置(供給器F)的部件P時的、Ilc的停止位置Z處的嘴N(對應(yīng)的頭121等)的停止時間T相關(guān)的修正值的信息。在本例子中，使嘴N停止Ild的值的量。例如在Ild的值是I的情況下，T = 0.01秒。
[0105]在動作速度(VZ)Ile(修正系數(shù))中，存儲確定通過相應(yīng)嘴N吸附相應(yīng)位置(供給器)的部件P時的、嘴N的動作速度V的信息。在本實(shí)施方式中，作為動作速度V，至少包含動作速度Tl。動作速度VZ是使吸附了部件P的狀態(tài)的嘴N在Z方向上上升時的動作速度。另外，用修正系數(shù)表示He。將把lie所示的值乘以設(shè)定上的預(yù)定的標(biāo)準(zhǔn)動作速度值所得的值作為實(shí)際使用的動作速度(修正值)。對于Ile(VZ)的控制，也可以應(yīng)用于其他的移動時。例如，也可以應(yīng)用于X、Y方向的移動、以及頭121和梁122等的移動。
[0106][整體控制例子]
[0107]以下是整體控制裝置140 (整體控制部144)使用裝配信息Dl (圖10)和動作信息D2(圖11)進(jìn)行的部件安裝動作的控制例子。整體控制部144向供給裝置110和裝配裝置120等發(fā)出指示，使得按照裝配信息Dl的順序10a，通過吸附嘴編號1d的嘴N(dll)吸附裝載在供給器編號1c的供給器F位置(dlO)的部件P，使其移動到基板上的部件裝配位置坐標(biāo)1b而裝配。dlO等是用于區(qū)別的符號。
[0108]整體控制部144在X方向、Y方向上，將部件定位(停止)于嘴的中心和部件的中心一致的位置，在Z方向上，將嘴N(dll)定位(停止)于動作信息D2的Ilc的停止位置Z(dl2)，向壓力控制部125發(fā)出指示使得對相應(yīng)嘴N(dll)的內(nèi)部進(jìn)行減壓，使嘴N(dll)停止Ild的停止時間T(dl3)，由此吸附部件P。然后，整體控制部144在經(jīng)過停止時間T (dl3)后，使相應(yīng)嘴N (dll)等以lie的動作速度VZ(dl4)移動。
[0109]另外，在上述吸附后，整體控制部144使吸附了部件P的狀態(tài)的嘴N(dll)移動到能夠通過側(cè)面檢測部131 (圖4)進(jìn)行攝像的位置，從側(cè)面進(jìn)行攝像。由此，計(jì)算出上述的距離KZ(dl5)。另外，整體控制部144使吸附了部件P的狀態(tài)的嘴N(dll)移動到能夠通過下面檢測部132 (圖3)進(jìn)行攝像的預(yù)先確定的位置，從下面進(jìn)行攝像。由此，計(jì)算出上述的部件把持位置 HX (dl6)、HY (dl7)。
[0110]整體控制部144將上述動作的1c的供給器位置(dlO)、10d的嘴N(dll)、llc的停止位置Z(dl2)、lld的停止時間T(dl3)、lle的動作速度VZ(dl4)、上述計(jì)算出的距離KZ(dl5)、部件把持位置HX(dl6)、HY(dl7)的值等存儲在吸附結(jié)果信息D3 (圖12)的最終行的相應(yīng)字段(12a?12h)中。
[0111]然后，整體控制部144使嘴N(dll)在X、Y、Z方向上移動到基板上的部件裝配位置坐標(biāo)10b，向壓力控制部125指示使得解除嘴N(dll)的內(nèi)部的減壓，由此使得將部件P裝配在該位置。
[0112][吸附結(jié)果信息]
[0113]圖12表示作為吸附結(jié)果信息152的一個實(shí)施方式的吸附結(jié)果信息表例子。吸附結(jié)果信息D3存儲包含使用部件檢測裝置130檢測/計(jì)算出的信息的部件吸附結(jié)果的信息(實(shí)績數(shù)據(jù))。本表具有供給器編號(12a)、吸附嘴編號(12b)、停止位置(Z) (12c)、停止時間(T) (12d)、動作速度(VZ) (12e)、部件把持位置HX(12f)、部件把持位置HY(12g)、距離KZ(12h)等各字段。12a?12e是與圖11的Ila?Ile對應(yīng)的字段，如在上述S7和[整體控制例子]中說明的那樣，將上述那樣的值(dlO?dl7)存儲在這些各字段中。
[0114]在部件把持位置HX (12f)、HY (12g)中，存儲確定通過上述(圖7、圖8)的下面檢測部132檢測/計(jì)算出的部件把持位置HX、HY的信息。在本例子中，是將圖7的CP = CN時設(shè)為O的值。在距離KZ(12h)中存儲確定通過上述(圖5、圖6)的側(cè)面檢測部131檢測/計(jì)算出的距離KZ的信息。在本例子中，是嘴N前端和部件P前端之間的Z方向的距離。
[0115][波動信息]
[0116]圖13表不作為波動信息D4的一個實(shí)施方式的波動信息表例子。本表具有供給器編號(13a)、吸附嘴編號(13b)、修正前部件把持位置方差VarXY(B) (13c)、修正前距離方差VarZ(B) (13d)、修正前數(shù)據(jù)數(shù)M(B) (13e)、修正后部件把持位置方差VarXY (A) (13f)、修正前距離方差VarZ(A) (130、修正后數(shù)據(jù)數(shù)11(4) (13h)等各字段。在波動信息D4中存儲通過圖9的處理計(jì)算出的信息。
[0117]供給器編號13a存儲供給器F位置的信息(與1c相同)。吸附嘴編號13b存儲嘴N位置的信息(與1d相同)。
[0118]另外，在修正前部件把持位置方差VarXY(B) (13c)中，存儲根據(jù)動作信息修正前的部件把持位置HX(12f)、HY(12g)計(jì)算出的方差值(為VarXY(B))的信息。修正前距離方差VarZ(B) (13d)存儲根據(jù)動作信息修正前的距離KZ(12h)計(jì)算出的方差值(為VarZ(B))的信息。這些方差(VarXY、VarZ)表示波動程度。此外，以上述供給器F-部件P嘴N的單位(組合)取得13c、13d的方差(也可以與嘴N無關(guān)地，取得與同一供給器F有關(guān)的方差，另外也可以與供給器F無關(guān)地，取得與同一嘴N有關(guān)的方差)。另外，取得基于過去多次的安裝動作的實(shí)績數(shù)據(jù)的方差。
[0119]修正前數(shù)據(jù)數(shù)M(B) (13e)存儲用于計(jì)算VarXY(B)、VarZ(B)的部件把持位置HX、HY、距離KZ的數(shù)據(jù)數(shù)的信息。
[0120]在修正后部件把持位置方差VarXY(A) (13f)中，存儲根據(jù)動作信息修正后的部件把持位置HX(12f)、HY(12g)計(jì)算出的方差值(為VarXY(A))的信息。修正后距離方差VarZ(A) (13g)存儲根據(jù)動作信息修正后的距離KZ (12h)計(jì)算出的方差值(為VarZ (A))的信息。這些方差(VarXY、VarZ)表示波動程度。此外，以上述供給器F-部件P嘴N的單位(組合)取得13f、13g的方差(也可以與嘴N無關(guān)地，取得與同一供給器F有關(guān)的方差。另外也可以與供給器F無關(guān)地，取得與同一嘴N有關(guān)的方差)。另外，取得基于過去多次的安裝動作的實(shí)績數(shù)據(jù)的方差。
[0121]修正后數(shù)據(jù)數(shù)M(A) (13h)存儲用于計(jì)算VarXY(A)、VarZ(A)的部件把持位置HX、HY、距離KZ的數(shù)據(jù)數(shù)的信息。
[0122][閾值信息]
[0123]圖14表不作為閾值信息D5的一個實(shí)施方式的閾值信息表例子。本表具有執(zhí)行判定閾值Thl (14a)、效果判定閾值(數(shù)據(jù)數(shù)20)ThE20(14b)、效果判定閾值(數(shù)據(jù)數(shù)40)ThE40(14c)、效果判定閾值(數(shù)據(jù)數(shù)60)ThE60(14d)等各字段。閾值信息D5是與吸附時的嘴N的動作的修正有關(guān)的、在圖9的判定(s203、s210)中使用的設(shè)定信息，能夠由用戶對各字段值進(jìn)行設(shè)定變更。
[0124]執(zhí)行判定閾值Thl (14a)存儲用于判定(s203)是否實(shí)施嘴N的Z方向位置(Z)、停止時間(T)、動作速度(VZ)等的修正處理的信息。
[0125]在效果判定閾值(數(shù)據(jù)數(shù)20)ThE20(14b)、效果判定閾值(數(shù)據(jù)數(shù)40)ThE40(14c)、效果判定閾值(數(shù)據(jù)數(shù)60)ThE60(14d)中，存儲判定動作信息的修正是否有波動降低效果的信息。如果用于計(jì)算動作信息修正前的方差的數(shù)據(jù)數(shù)M(B) (13e)為20以上不滿40，則利用效果判定閾值(數(shù)據(jù)數(shù)20)ThE20(14b)，如果為40以上不滿60，則利用效果判定閾值(數(shù)據(jù)數(shù)40)ThE40(14c)，如果為60以上，則利用效果判定閾值(數(shù)據(jù)數(shù)60)ThE60(14d)。如果數(shù)據(jù)數(shù)M(B)的值變大，則效果判定用閾值的值變小。這表示在數(shù)據(jù)數(shù)大的情況下，即使動作修正前和動作修正后的波動的大小的差小，也判定為有波動降低效果。此外，在本實(shí)施例中，在切換所利用的閾值時使用了動作修正前的數(shù)據(jù)數(shù)M(B)，但在使用了動作修正后的數(shù)據(jù)數(shù)M(A)的情況下，也可以同樣地設(shè)定如果數(shù)據(jù)數(shù)M(A)變大則值變小的閾值。
[0126][降低效果信息]
[0127]圖15表不作為降低效果信息D6的一個實(shí)施方式的降低效果信息表例子。本表具有停止位置(Z)效果(15a)、停止時間(T)效果(15b)、動作速度(VZ)效果15c等字段。降低效果信息D6存儲在圖9的處理中用于判定的信息。
[0128]停止位置(Z)效果(15a)存儲表示作為動作信息之一的停止位置(Z)的修正的波動降低效果的有無的信息。停止時間⑴效果(15b)存儲表示作為動作信息之一的停止時間(T)的修正的波動降低效果的有無的信息。動作速度(VZ)效果(15c)存儲表示作為動作信息之一的動作速度(VZ)的修正的波動降低效果的有無(對波動降低的有效性)的信肩、O
[0129]在降低效果信息D6的各字段中，在啟動了安裝裝置等情況下，作為初始值存儲表示未實(shí)施效果有無的判定的_。另外，降低效果信息D6的字段，在圖9的處理中將值修正為表示有降低效果的O、或表示沒有降低效果的X。
[0130][節(jié)拍變化量信息]
[0131]圖16表示作為節(jié)拍變化量信息D7的一個實(shí)施方式的節(jié)拍變化量信息表例子。本表具有停止位置(Z)節(jié)拍變化量(16a)、停止時間(T)節(jié)拍變化量(16b)、動作速度(VZ)節(jié)拍變化量(16c)等字段。節(jié)拍變化量信息D7在圖9的處理中存儲值，另外在圖9的處理中將其存儲的值用于判定。
[0132]停止位置(Z)節(jié)拍變化量(16a)存儲表示作為動作信息之一的停止位置(Z)的修正時的每一次吸附動作的節(jié)拍時間增加量的信息。停止時間(T)節(jié)拍變化量(16b)存儲表示作為動作信息之一的停止時間(T)的修正時的每一次吸附動作的節(jié)拍時間增加量的信息。存儲表示作為動作信息之一的動作速度(VZ)的修正時的每一次吸附動作的節(jié)拍時間的增加量的信息。各字段的節(jié)拍時間增加量，正表示增加，負(fù)表示減少。在本實(shí)施例中，存儲表示每一次吸附動作的節(jié)拍時間增加量的信息，但也可以存儲表示每生產(chǎn)一枚基板的節(jié)拍時間增加量的信息。
[0133][處理詳細(xì)(圖9)]
[0134]圖9表示與圖2的S109有關(guān)的用于通過運(yùn)算裝置150 (主要是運(yùn)算控制部160)計(jì)算/修正動作信息D2的處理例子(s201等表示處理步驟)。運(yùn)算控制部160例如如果從整體控制裝置140 (整體控制部144)經(jīng)由IF部163等接收到指定成為動作信息D2 (表)的修正的對象的供給器F(供給器位置)(d201)和嘴N(嘴位置)(d202)的組合等的信息、動作信息D2的修正處理的指示，則執(zhí)行圖9的處理。
[0135](s201)運(yùn)算控制部160計(jì)算部件把持位置HX的平均值(AveX)、部件把持位置HY的平均值(AveY)、距離KZ的平均值(AveZ)。此外，取得以供給器F、嘴N、部件P等為單位的平均(Ave)。
[0136]首先，運(yùn)算控制部160在動作信息D2的表中，確定供給器編號(Ila)與d201相等、并且吸附嘴編號(Ilb)與d202相等的行，讀入存儲在該行中的停止位置(Z)(Ilc)(M1ldl)、停止時間(T) (lid) (M1ld2)、動作速度(VZ) (lie) (M1ld3)。進(jìn)而，運(yùn)算控制部160在吸附結(jié)果信息D3的表中檢索全部的行，確定符合下述的條件I的行，讀入符合條件I的行中的部件把持位置HX(12f)、HY(12g)、距離KZ(12h)的信息。
[0137](條件I)供給器編號12a的存儲值與d201相等、吸附嘴編號12b的存儲值與d202相等、停止位置(z)的存儲值與M1ldl相等、停止時間(T)的存儲值與M1ld2相等、動作速度(VZ)的存儲值與M1ld3相等。
[0138]在此，將符合條件I的行中的從上數(shù)第i行中的部件把持位置HX(12f)的信息稱為Xi，將部件把持位置HY (12g)的信息稱為Yi，將距離KZ (12h)的信息稱為Zi，將符合條件I的行的個數(shù)稱為η。
[0139]進(jìn)而，運(yùn)算控制部160計(jì)算部件把持位置HX的平均值(AveX)、部件把持位置HY的平均值(AveY)、以及距離KZ的平均值(AveZ)。在數(shù)據(jù)的個數(shù)η為預(yù)定的閾值ThO (例如20)以下的情況下，為數(shù)據(jù)數(shù)少，前進(jìn)到隨后的S202，結(jié)束處理。在η比ThO大的情況下，運(yùn)算控制部160依照以下的式(I)、式(2)以及式(3)計(jì)算AveX、AveY、AveZ。
[0140][式I]
[0141]AveX - {tAin …⑴
〈1-l //
[0142][式2]
[0143]AveY^ h …⑵
V ^ Jf
[0144][式3]
^ η Λ /
[0145]AveZ =In …⑶
、μ Jj
[0146](S202)運(yùn)算控制部160在數(shù)據(jù)的個數(shù)η為預(yù)定的閾值ThO (例如20)以下的情況下，為數(shù)據(jù)數(shù)少，結(jié)束處理。在η比ThO大的情況下，前進(jìn)到隨后的S203。
[0147](s203)運(yùn)算控制部160計(jì)算出HX、HY的方差(VarXY)作為表示部件把持位置HX、HY的波動的值，計(jì)算出KZ的方差(VarZ)作為表示距離KZ的波動的值。運(yùn)算控制部160依照以下的式⑷、式(5)計(jì)算VarXY、VarZ。
[0148][式4]
[0149]VarXY-.^{(X^AveXf -AveY)2^\j{n~\) …⑷
\Ji
[0150][式5]
f ? \ /
[0151]VarZ =-AveZ] Kn-?)…(5)
\ /=1Jf
[0152]運(yùn)算控制部160將上述VarXY存儲在波動信息D4的表的13c中，將VarZ存儲在13d中。另外，將數(shù)據(jù)的個數(shù)η存儲在波動信息D4的表的13e中。
[0153](s204)運(yùn)算控制部160使用在s203中計(jì)算出的HX、HY的波動(方差VarXY)、距離KZ的波動(方差VarZ)的數(shù)據(jù)、以及閾值信息D5的執(zhí)行判定閾值Thl (14a)，進(jìn)行用于決定接著要進(jìn)行的處理的判定。運(yùn)算控制部160在VarXY或VarZ比執(zhí)行判定閾值Thl (14a)大的情況下，接著進(jìn)行s205以后的處理，在VarXY以及VarZ都為執(zhí)行判定閾值Thl (14a)以下的情況下，不需要進(jìn)行波動降低，結(jié)束處理。
[0154](s205)運(yùn)算控制部160使用降低效果信息D6進(jìn)行用于決定接著要進(jìn)行的處理的判定。運(yùn)算控制部160在降低效果信息D6的表中在全部字段(15a、15b、15c)中存儲有表示沒有效果的X的情況下，即使變更任意的動作信息也無法預(yù)見波動降低效果，而結(jié)束處理。在任意的字段中存儲有表示有效果的〇、或表示未實(shí)施效果判定的-的情況下，執(zhí)行s206以后的處理。在s206以后的處理中，修正嘴N的停止位置Z、或停止時間T、或動作速度VZ。
[0155](s206)運(yùn)算控制部160計(jì)算變更了各動作信息的情況下的節(jié)拍時間的變化量，更新節(jié)拍變化量信息D7。運(yùn)算控制部160使用由用戶設(shè)定的動作信息的修正量即IVl (表示停止位置(Z)的修正量)、IV2 (表示停止時間(T)的修正量)、IV3 (表示動作速度(VZ)的修正量)，通過以下的式(6)、式(7)、式(8)計(jì)算變更了各動作信息的情況下的節(jié)拍時間變化量。在本實(shí)施例中，IVl = 0.1, IV2 = 0.5，IV3 = -0.1。
[0156][式6]
[0157]TCl = IVl/M1ldl...(6)
[0158][式7]
[0159]TC2 = IV2...(7)
[0160][式8]
[0161]TC3 = (LZ+M1ldl)/{VMaxX (M1ld3+IV3)}
[0162]-(LZ+M1ldl)/(VMaxXM1ld3)...(8)
[0163]在式(6)、式(7)、式⑶中，TCl表示因停止位置(Z)的修正產(chǎn)生的節(jié)拍時間的變化量，TC2表示因停止時間⑴的修正產(chǎn)生的節(jié)拍時間的變化量，TC3表示因動作速度(VZ)的修正產(chǎn)生的節(jié)拍時間的變化量。Vmax表示動作速度的最大值。
[0164]進(jìn)而，運(yùn)算控制部160將TCl存儲在16a中，將TC2存儲在16b中，將TC3存儲在16c 中。
[0165](s207)運(yùn)算控制部160使用降低效果信息D6和節(jié)拍變化量信息D7，確定要進(jìn)行修正的動作信息。運(yùn)算控制部160將在停止位置(Z)、停止時間(T)、動作速度(VZ)中、在降低效果信息的字段15a、15b、15c中存儲有〇或_、在節(jié)拍變化量信息的字段15a、16b、16c中存儲有最小的值的動作信息選擇為要進(jìn)行修正的動作信息。在圖16、圖17的例子中，選擇動作速度(T)。
[0166](s208)運(yùn)算控制部160計(jì)算動作信息的修正值。使用以下的式(9)計(jì)算在s207中選擇出的動作信息。Minewi表示各動作信息的修正值。在式(9)中，在選擇了停止位置(Z)的情況下向i輸入1，在選擇了停止時間(T)的情況下向i輸入2，在選擇了動作速度(VZ)的情況下向i輸入3。
[0167][式9]
[0168]MInewi = M1ldi+IVi …(9)
[0169]此外，作為上述修正方法，也可以不是加法運(yùn)算而是乘法運(yùn)算等。
[0170](s209)運(yùn)算控制部160使用動作信息的修正值，進(jìn)行部件吸附和部件把持位置的測量。運(yùn)算控制部160根據(jù)在s207中選擇出的動作信息為MInew1、在s207中沒有選擇出的動作信息為M1ldi的設(shè)定值，用d202的嘴從d201的供給器進(jìn)行吸附動作，測量部件把持位置HX、HY和距離KZ。本動作是與sl02、sl03、sl04、sl05以及sl06的測量動作相同的處理。根據(jù)測量出的結(jié)果，制作成為實(shí)績數(shù)據(jù)的吸附結(jié)果信息152，存儲在運(yùn)算裝置150的存儲部151中。在吸附結(jié)果信息152中包含上述距離KZ、部件把持位置HX、HY的信息。此夕卜，也可以在其他定時進(jìn)行該存儲。執(zhí)行預(yù)定次數(shù)(在本實(shí)施例中為20次)的該吸附動作和測量動作。此外，在本實(shí)施例中，廢棄在此吸附的部件，但也可以安裝到基板上、還可以回收。
[0171](s210)運(yùn)算控制部160計(jì)算動作信息修正后的設(shè)定值下的部件把持位置的方差VarXY、距離的方差VarZ。此處的處理是與s201和s203相同的處理。
[0172]運(yùn)算控制部160在吸附結(jié)果信息D3的表中檢索全部的行,確定符合下述的條件I的行，讀入符合條件2的行中的部件把持位置HX (12f)、HY (12g)、距離KZ (12h)的信息。
[0173](條件2)供給器編號12a的存儲值與d201相等、吸附嘴編號12b的存儲值與d202相等、停止位置(z)的存儲值與M1ldl (在s207中選擇出的情況下是MInewl)相等、停止時間(T)的存儲值與M1ld2(在s207中選擇出的情況下是MInew2)相等、動作速度(VZ)的存儲值與M1ld3(在s207中選擇出的情況下是MInew3)相等。
[0174]在此，將符合條件2的行中的從上數(shù)第i行中的部件把持位置HX(12f)的信息設(shè)為Xi，將部件把持位置HY(12g)的信息設(shè)為Yi，將距離KZ(12h)的信息設(shè)為Zi，而更新X1、Y1、Zi的值。另外，將符合條件2的數(shù)據(jù)的個數(shù)設(shè)為n，而更新η的值。
[0175]運(yùn)算控制部160計(jì)算部件把持位置HX的平均值(AveX)、部件把持位置HY的平均值(AveY)以及距離KZ的平均值(AveZ)。運(yùn)算控制部160依照式(I)、式(2)以及式(3)計(jì)算 AveX、AveY、AveY。
[0176]進(jìn)而，運(yùn)算控制部160依照式(4)、式(5)計(jì)算HX、HY的方差(VarXY)作為表示部件把持位置HX、HY的波動的值，計(jì)算KZ的方差(VarZ)作為表示距離KZ的波動的值。
[0177]運(yùn)算控制部160將上述的VarXY存儲在波動信息D4的表的13f中，將VarZ存儲在13g中。另外，將數(shù)據(jù)的個數(shù)η存儲在波動信息D4的表的13h中。
[0178](s211)運(yùn)算控制部160使用以下的式(10)判定在s207中選擇出的動作信息的修正是否有波動降低效果。
[0179][式10]
[0180]VarB/VarA > ThE...(10)
[0181]在式(10)中，VarB輸入存儲在13c或13d中的信息，VarA輸入存儲在13f或13g中的信息，如果用于計(jì)算動作信息修正前的方差的數(shù)據(jù)數(shù)M(B) (13e)為20以上不滿40，則ThE輸入14b，如果為40以上不滿60則ThE輸入14c，如果為60以上則ThE輸入14d。運(yùn)算控制部160在13c和13f的組合、或13d和13g的組合中式(10)成立的情況下，判定為有波動降低效果，在任意的組合中都不成立的情況下，判定為沒有波動降低效果。在判定為有波動降低效果的情況下，將降低效果信息D6的字段15a、15b、15c中的相當(dāng)于在s207中選擇出的動作信息的字段更新為表示有效果的〇。在判定為沒有波動降低效果的情況下，將降低效果信息D6的字段15a、15b、15c中的相當(dāng)于在s207中選擇出的動作信息的字段更新為表示沒有效果的X。在降低效果信息D6的字段15a、15b、15c中的相當(dāng)于在s207中選擇出的動作信息的字段以外，將存儲了表示有效果的〇的字段更新為表示未實(shí)施的_。
[0182]在此，判定波動降低效果的理由是用于防止由于變更沒有波動降低效果的動作信息造成的節(jié)拍時間的降低。
[0183](s212)運(yùn)算控制部160在s211中判定為有波動降低效果的情況下，接著執(zhí)行s213的處理，在判定為沒有波動降低效果的情況下，再次進(jìn)行s205的處理。
[0184](s213)運(yùn)算控制部160根據(jù)到slO為止的處理結(jié)果，輸出Z方向位置(Z)的修正值、停止時間T的修正值、動作速度VZ的修正值等信息(修正內(nèi)容信息)。在本實(shí)施方式中，進(jìn)行將修正內(nèi)容信息顯示在畫面中的處理，能夠由用戶進(jìn)行修正內(nèi)容的確認(rèn)、以及修正執(zhí)行(圖17)。通過部件安裝裝置100的輸出部171 (或運(yùn)算裝置150的輸出部162)顯示畫面。
[0185]圖17表示在s213中顯示的畫面例子。在本畫面中顯示:成為修正對象的供給器F的編號(gll)、嘴N的編號(gl2)、動作信息修正前的部件把持位置HX、HY的波動(方差值)(gl3)、距離KZ的波動(方差值)(gl4)、修正前的動作信息D2 {停止位置(Z) (gl5)、停止時間(T) (gl6)、動作速度(VZ) (gl7)等}、修正后的動作信息D2{停止位置(Z) (gl8)、停止時間(T) (gl9)、動作速度(VZ) (g20)等}、因動作信息的修正造成的部件把持位置HX、HY的波動的變化量(g21)、距離KZ的波動的變化量(g22)、節(jié)拍時間的變化量(g23)、停止位置(Z)的修正的波動降低效果的有無(g24)、停止時間(T)的修正的波動降低效果的有無(g25)、動作速度(VZ)的修正的波動降低效果的有無(g26)的信息、以及可否執(zhí)行修正的按鍵(g27、g28)等。
[0186]運(yùn)算控制部160在gll中顯示d201，在gl2中顯示d202，在gl3中顯示13c，在gl4中顯示13d，在修正前的gl5中顯示M1ldl，在gl6中顯示M1ld2，在gl7中顯示M1ldl3，在修正后的gl8中，在15&是〇的情況下顯示Mlnewl，在15a是X或-的情況下顯示M1ldl，在gl9中，在15b是〇的情況下顯示MInew2，在15b是X或-的情況下顯示M1ld2，在g20中，在15(:是〇的情況下顯示MInew3，在15c是X或-的情況下顯示M1ld3，在修正的變化的g21中顯示將13f除以13c所得的值，在g22中顯示將13g除以13d所得的值，在g23中，在15a中存儲了〇的情況下顯示16a，在15b中存儲了〇的情況下顯示16b，在15c中存儲了〇的情況下顯示16c，在修正效果的g24中顯示15a，在g25中顯示15b，在g26中顯不16c。
[0187](s214)運(yùn)算控制部160接受用戶通過s213(圖17的畫面)的輸入結(jié)果(通過“是”按鍵(g27)產(chǎn)生的可執(zhí)行修正等)。在可執(zhí)行修正(是)的情況下(Y)，進(jìn)行s215的處理，在不可執(zhí)行修正(否)的情況下，不進(jìn)行s215而結(jié)束。此外，如上述那樣，也可以省略s213、s214而自動地執(zhí)行s215的修正(例如能夠預(yù)先設(shè)定自動執(zhí)行)。
[0188](s215)運(yùn)算控制部160使用上述處理結(jié)果(修正內(nèi)容信息)，修正動作信息D2 (Z、T、VZ等)。例如，確定動作信息D2的表中的供給器編號Ila的存儲值與d201相等、吸附嘴編號Ilb的存儲值與d202相等的行，在15&是〇的情況下，將該行中的Ilc的停止位置(Z)的數(shù)據(jù)修正為Mlnewl，在15b是〇的情況下，將該行中的停止時間(T)(Ild)的數(shù)據(jù)修正為MInew2，在15c是〇的情況下，將該行中的動作速度(VZ) (He)的數(shù)據(jù)修正為MInew3，結(jié)束處理。
[0189]此外，也可以設(shè)定控制S105中的Z方向的嘴上升的加速度(動作加速度)的參數(shù)(AZ)，在圖9的處理中，代替動作速度VZ，或與動作速度VZ —起降低參數(shù)(AZ)。
[0190]另外，在圖9的處理中即使修正停止位置(Z)、停止時間(T)、動作速度(VZ)、動作加速度(AZ)等也產(chǎn)生吸附異常的情況下，再次執(zhí)行圖9的處理，進(jìn)一步修正停止位置(Z)、停止時間(T)、動作速度(VZ)、動作加速度(AZ)等。
[0191][效果等]
[0192]將一定時間內(nèi)進(jìn)行的多個吸附動作設(shè)為I組，考慮該組中的發(fā)生吸附異常的比例(吸附異常的發(fā)生率)、吸附動作中的部件把持位置的標(biāo)準(zhǔn)偏差。如果在多個組中計(jì)算吸附異常的發(fā)生率和部件把持位置的標(biāo)準(zhǔn)偏差，并將部件把持位置的標(biāo)準(zhǔn)偏差設(shè)為X軸的值，將吸附異常的發(fā)生率設(shè)為Y軸的值，在XY平面上描繪各組，則得到圖18那樣的圖表。如在圖18的圖表中可以看到的那樣，如果部件把持位置的標(biāo)準(zhǔn)偏差小，則吸附異常的發(fā)生率也小。
[0193]因此，如以上說明的那樣，在本實(shí)施方式的部件安裝裝置100(運(yùn)算裝置150)中，將基于實(shí)績數(shù)據(jù)(吸附結(jié)果信息D3)的吸附部件P后的嘴N的部件把持位置HX、HY、吸附時的嘴N的Z方向位置(z)等作為輸入信息，適當(dāng)?shù)赜?jì)算/修正吸附時的嘴N的停止位置(Z)、停止時間(T)、動作速度(VZ)等，由此能夠在抑制節(jié)拍時間的增加的基礎(chǔ)上，降低部件把持位置的標(biāo)準(zhǔn)偏差，能夠降低吸附異常的發(fā)生率。
[0194]此外，在上述實(shí)施方式中，作為取出并保持部件的部件保持構(gòu)件而以嘴為例子進(jìn)行了說明，但對于除了嘴以外而使用了夾住并取出部件的卡盤等的情況，也能夠應(yīng)用本發(fā)明。
[0195]以上，根據(jù)實(shí)施方式具體說明了由本發(fā)明人提出的發(fā)明，但本發(fā)明并不限于上述實(shí)施方式，在不脫離其主要內(nèi)容的范圍內(nèi)當(dāng)然能夠進(jìn)行各種變更。
[0196]符號說明
[0197]50:部件⑵；90:基板；100:部件安裝裝置；110:供給裝置；111:供給器基座；Illa:供給器(F) ;112、125、133、145、163:1F部；120:裝配裝置；121:頭；122:梁；122a:導(dǎo)軌；123 -M (吸附嘴)(N) ；124:驅(qū)動控制部；125:壓力控制部；130:部件檢測裝置；131:側(cè)面檢測部；132:下面檢測部；140:整體控制裝置；141:存儲部；144:整體控制部；150:運(yùn)算裝置;151:存儲部；D1:裝配信息；D2:動作信息；D3:吸附結(jié)果信息；D4:波動信息；D5:閾值信息；160:運(yùn)算控制部；161:輸入部；162:輸出部；170:輸入裝置；171:輸出裝置；172:通信IF裝置；173:總線。
【權(quán)利要求】
1.一種運(yùn)算裝置，其計(jì)算將部件安裝到基板上的部件安裝裝置的動作控制的設(shè)定，該運(yùn)算裝置的特征在于， 上述部件安裝裝置具備:供給裝置，其供給上述部件；裝配裝置，其包含取出并保持上述部件的部件保持構(gòu)件；整體控制裝置，其對安裝動作中的包含上述供給裝置和裝配裝置的各部位的動作進(jìn)行控制，其中，該安裝動作包括依照上述設(shè)定的信息通過上述部件保持構(gòu)件取出并保持上述部件的動作、以及將通過上述部件保持構(gòu)件取出并保持的部件向基板裝配的裝配動作；檢測裝置，其檢測進(jìn)行上述取出并保持的動作時的與上述部件保持構(gòu)件以及部件有關(guān)的狀態(tài)， 上述運(yùn)算裝置具備:運(yùn)算控制部，其進(jìn)行計(jì)算處理；存儲部，其存儲用于該計(jì)算處理的數(shù)據(jù)信息，其中， 上述運(yùn)算控制部進(jìn)行以下的處理: (1)利用上述檢測裝置，取得或計(jì)算表示進(jìn)行上述取出并保持的動作時的上述部件保持構(gòu)件和部件之間的距離、或者相對位置的狀態(tài)參數(shù)，將該信息存儲到上述存儲部中的第一處理； (2)計(jì)算所存儲的上述取出并保持的動作的上述狀態(tài)參數(shù)的波動的值，將該信息存儲到上述存儲部中的第二處理；以及 (3)在上述狀態(tài)參數(shù)的波動的值超過第一閾值的情況下，在表示上述部件保持構(gòu)件的保持位置、停止時間、動作速度、動作加速度的參數(shù)值中，根據(jù)進(jìn)行了修正的情況下對上述狀態(tài)參數(shù)的波動降低的有效性、以及進(jìn)行了修正的情況下的基板生產(chǎn)所花費(fèi)的時間的增加量的信息，選擇應(yīng)該修正的參數(shù)值來進(jìn)行修正的第三處理。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的運(yùn)算裝置，其特征在于， 在上述第三處理中，在上述參數(shù)值的修正前的狀態(tài)參數(shù)的波動的值和上述參數(shù)值的修正后的狀態(tài)參數(shù)的波動的值之間的差高于第二閾值的情況下，判定為該參數(shù)值是對波動降低有效的參數(shù)值。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的運(yùn)算裝置，其特征在于， 使在用于波動的值的計(jì)算的數(shù)據(jù)數(shù)多的情況下使用的上述第二閾值的值比在上述數(shù)據(jù)數(shù)小的情況下使用的第二閾值的值小。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的運(yùn)算裝置，其特征在于， 計(jì)算出方差值作為上述狀態(tài)參數(shù)的波動的值來利用。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的運(yùn)算裝置，其特征在于， 在上述部件安裝裝置或運(yùn)算裝置所具備的輸出裝置的畫面中，顯示上述狀態(tài)參數(shù)的波動的值和與上述設(shè)定的參數(shù)有關(guān)的包含上述修正前后的值的修正內(nèi)容信息，在由用戶進(jìn)行確認(rèn)的基礎(chǔ)上執(zhí)行上述修正。
6.一種部件安裝裝置，其將部件安裝到基板上，該部件安裝裝置的特征在于，具備: 供給裝置，其供給上述部件；裝配裝置，其包含取出并保持上述部件的部件保持構(gòu)件；整體控制裝置，其對安裝動作中的包含上述供給裝置和裝配裝置的各部位的動作進(jìn)行控制，其中，該安裝動作包括依照上述設(shè)定的信息通過上述部件保持構(gòu)件取出并保持上述部件的動作、以及將通過上述部件保持構(gòu)件取出并保持的部件向基板裝配的裝配動作；檢測裝置，其檢測進(jìn)行上述取出并保持的動作時的與上述部件保持構(gòu)件以及部件有關(guān)的狀態(tài)；運(yùn)算裝置，其計(jì)算上述部件安裝裝置的動作控制的設(shè)定， 上述運(yùn)算裝置具備:運(yùn)算控制部，其進(jìn)行計(jì)算處理；存儲部，其存儲用于該計(jì)算處理的數(shù)據(jù)信息， 上述運(yùn)算控制部進(jìn)行以下的處理: (1)利用上述檢測裝置，取得或計(jì)算表示進(jìn)行上述取出并保持的動作時的上述部件保持構(gòu)件和部件之間的距離、或者相對位置的狀態(tài)參數(shù)，將該信息存儲到上述存儲部中的第一處理； (2)計(jì)算所存儲的上述取出并保持的動作的上述狀態(tài)參數(shù)的波動的值，將該信息存儲到上述存儲部中的第二處理；以及 (3)在上述狀態(tài)參數(shù)的波動的值超過第一閾值的情況下，在表示上述部件保持構(gòu)件的保持位置、停止時間、動作速度、動作加速度的參數(shù)值中，根據(jù)進(jìn)行了修正的情況下對上述狀態(tài)參數(shù)的波動降低的有效性、進(jìn)行了修正的情況下的基板生產(chǎn)所花費(fèi)的時間的增加量的信息，選擇應(yīng)該修正的參數(shù)值來進(jìn)行修正的第三處理。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的部件安裝裝置，其特征在于， 在上述第三處理中，在上述參數(shù)值的修正前的狀態(tài)參數(shù)的波動的值和上述參數(shù)值的修正后的狀態(tài)參數(shù)的波動的值之間的差高于第二閾值的情況下，判定為該參數(shù)值是對波動降低有效的參數(shù)值。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的部件安裝裝置，其特征在于， 使在用于波動的值的計(jì)算的數(shù)據(jù)數(shù)多的情況下使用的上述第二閾值的值比在上述數(shù)據(jù)數(shù)小的情況下使用的第二閾值的值小。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的部件安裝裝置，其特征在于， 計(jì)算出方差值作為上述狀態(tài)參數(shù)的波動的值來利用。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的部件安裝裝置，其特征在于， 在上述部件安裝裝置或運(yùn)算裝置所具備的輸出裝置的畫面中，顯示上述狀態(tài)參數(shù)的波動的值和與上述設(shè)定的參數(shù)有關(guān)的包含上述修正前后的值的修正內(nèi)容信息，在由用戶進(jìn)行確認(rèn)的基礎(chǔ)上執(zhí)行上述修正。
11.一種程序，其使運(yùn)算裝置執(zhí)行以下的信息處理，即計(jì)算將部件安裝到基板上的部件安裝裝置的動作控制的設(shè)定，該程序的特征在于， 上述部件安裝裝置具備:供給裝置，其供給上述部件；裝配裝置，其包含取出并保持上述部件的部件保持構(gòu)件；整體控制裝置，其對安裝動作中的包含上述供給裝置和裝配裝置的各部位的動作進(jìn)行控制，其中，該安裝動作包括依照上述設(shè)定的信息通過上述部件保持構(gòu)件取出并保持上述部件的動作、以及將通過上述部件保持構(gòu)件取出并保持的部件向基板裝配的裝配動作；檢測裝置，其檢測進(jìn)行上述取出并保持的動作時的與上述部件保持構(gòu)件以及部件有關(guān)的狀態(tài)， 上述運(yùn)算裝置具備:運(yùn)算控制部，其進(jìn)行上述計(jì)算處理；存儲部，其存儲用于該計(jì)算處理的數(shù)據(jù)信息,其中， 作為根據(jù)上述程序執(zhí)行的處理，上述運(yùn)算控制部進(jìn)行以下的處理: (I)利用上述檢測裝置，取得或計(jì)算表示進(jìn)行上述取出并保持的動作時的上述部件保持構(gòu)件和部件之間的距離、或者相對位置的狀態(tài)參數(shù)，將該信息存儲到上述存儲部中的第一處理； (2)計(jì)算所存儲的上述取出并保持的動作的上述狀態(tài)參數(shù)的波動的值，將該信息存儲的第二處理；以及 (3)在上述狀態(tài)參數(shù)的波動的值超過第一閾值的情況下，在表示上述部件保持構(gòu)件的保持位置、停止時間、動作速度、動作加速度的參數(shù)值中，根據(jù)進(jìn)行了修正的情況下對上述狀態(tài)參數(shù)的波動降低的有效性、進(jìn)行了修正的情況下的基板生產(chǎn)所花費(fèi)的時間的增加量的信息，選擇應(yīng)該修正的參數(shù)值來進(jìn)行修正的第三處理。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的程序，其特征在于， 在上述第三處理中，在上述參數(shù)值的修正前的狀態(tài)參數(shù)的波動的值和上述參數(shù)值的修正后的狀態(tài)參數(shù)的波動的值之間的差高于第二閾值的情況下，判定為該參數(shù)值是對波動降低有效的參數(shù)值。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的程序，其特征在于， 使在用于波動的值的計(jì)算的數(shù)據(jù)數(shù)多的情況下使用的上述第二閾值的值比在上述數(shù)據(jù)數(shù)小的情況下使用的第二閾值的值小。
14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的程序，其特征在于， 計(jì)算出方差值作為上述狀態(tài)參數(shù)的波動的值來利用。
15.根據(jù)權(quán)利要求11所述的程序，其特征在于， 在上述部件安裝裝置或運(yùn)算裝置所具備的輸出裝置的畫面中，顯示上述狀態(tài)參數(shù)的波動的值和與上述設(shè)定的參數(shù)有關(guān)的包含上述修正前后的值的修正內(nèi)容信息，在由用戶進(jìn)行確認(rèn)的基礎(chǔ)上執(zhí)行上述修正。
【文檔編號】H05K13/04GK104285509SQ201380023748
【公開日】2015年1月14日 申請日期:2013年1月9日 優(yōu)先權(quán)日:2012年3月7日
【發(fā)明者】朝倉涼次, 玉置研二, 星野正浩, 關(guān)口裕人, 小山富圣 申請人:株式會社日立高新技術(shù)儀器