一種泡生法生長大尺寸藍寶石晶體的退火工藝的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種泡生法生長大尺寸藍寶石晶體的退火工藝，在泡生法生長大尺寸藍寶石晶體完成后，保持單晶爐內真空度，逐步降低加熱器功率，降溫分為五個階段，直至加熱器功率為零；分階段保溫退火可有效降低大尺寸藍寶石的位錯密度，消除晶體內應力，提高晶體質量和利用率；退火時間短，降低了能耗，縮短了大尺寸藍寶石晶體的生長周期；在保溫階段旋轉藍寶石晶體，使藍寶石晶體退火均勻，消除退火時溫度場不均的影響。
【專利說明】一種泡生法生長大尺寸藍寶石晶體的退火工藝
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及晶體材料的加工【技術領域】，尤其是一種降低生產成本的泡生法生長大尺寸藍寶石晶體的退火工藝。
[0002]
【背景技術】
[0003]藍寶石又稱白寶石，是世界上硬度僅次于金剛石的晶體材料，由于具有優(yōu)良的物理、機械、化學及紅外透光性能，一直是微電子、航空航天、軍工等領域急需的材料，尤其是光學級大尺寸藍寶石材料，具有性能穩(wěn)定、市場需求量大、綜合利用率及產品附加值高等特點。目前工業(yè)上比較成熟的產品是利用泡生法生長的35kg級藍寶石，主要用于光學及LED襯底。但是，由于晶體利用率、生產成本等原因，35kg級的藍寶石晶體已逐漸在被行業(yè)淘汰，市場需要75公斤級以上的大尺寸藍寶石晶體，從而降低成本來獲取效益。單晶爐生長出來的藍寶石晶體需要經過掏棒、切片、拋光等一系列的后續(xù)加工才能用于光學及LED襯底，這對晶體的質量要求極高。75kg級以上大尺寸藍寶石晶體生長周期一般都在20天左右，由于生長周期長，晶體尺寸大，晶體內會存在大量的內應力，晶格畸變嚴重，光學均勻性差。實驗證明，對晶體進行合理的退火處理，能夠有效的消除彈性形變和晶體畸變，減小晶體的熱應力，減少晶體缺陷。
[0004]中國專利
【發(fā)明者】熊亮亮, 曾錫強 申請人:曾錫強