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一種單晶硅副爐室清理器的制作方法

文檔序號(hào):8175712閱讀:330來源:國知局
專利名稱:一種單晶硅副爐室清理器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型屬于清理器,特別涉及一種單晶硅副爐室清理器。二、技術(shù)背景制備單晶硅的時(shí)候,清理副爐室是很重要的一環(huán),在生產(chǎn)過程中,爐內(nèi)都會(huì)產(chǎn)生揮發(fā)物和一些雜質(zhì)附著到副爐室內(nèi)壁上,在高溫下易形成二次揮發(fā),使拉晶的環(huán)境純度不高,容易造成拉晶環(huán)節(jié)效率低下。因此仔細(xì)清理副爐室是很重要的一環(huán),不能小覷。單晶爐副爐室為①320mmX 2500mm的細(xì)長筒體,清理副爐室的老辦法是用一根約2.8m長的長桿,一端纏毛巾和無塵擦爐紙,然后噴無水乙醇,由人員握另一端,伸入副爐室后上下、旋轉(zhuǎn)擦拭清理,這樣的清理方式耽誤時(shí)間,影響效率,且此種方法為點(diǎn)式操作,從而使副爐室清理不徹底,影響產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。三、發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是要解決現(xiàn)有技術(shù)存在的問題,提供一種能夠徹底清理單晶爐副爐室內(nèi)雜物的工具。本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的:一種單晶硅副爐室清理器,其特征在于在一個(gè)略小于副爐室內(nèi)徑的圓環(huán)(I)上垂直固定一根長于副爐室的直桿(3),在直桿(3)的另一端安裝手柄保護(hù)套(4),在圓環(huán)(I)上纏繞清潔布(2)。本實(shí)用新型是這樣工作的:在本實(shí)用新型清潔布(2)表面噴灑擦洗溶劑,手握手柄保護(hù)套(4),使圓環(huán)(I)上的清潔布(2)緊貼副爐室內(nèi)壁,進(jìn)行往復(fù)擦拭即可。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是:清潔布(2)緊貼副爐室內(nèi)壁,可充分清理副爐室內(nèi)壁上的雜物,清理速度快,效率高,操作方便,實(shí)用簡單,副爐室清理徹底,提聞拉晶的環(huán)境純度、單晶娃廣品質(zhì)量和生廣效率。四
圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為圖1右視圖圖中:1、圓環(huán) 2、清潔布3、直桿4、手柄保護(hù)套。五具體實(shí)施方式
實(shí)施例1:一種單晶硅副爐室清理器,在一個(gè)略小于副爐室內(nèi)徑的圓環(huán)(I)上垂直固定一根長于副爐室的直桿(3),在直桿(3)的另一端安裝手柄保護(hù)套(4),在圓環(huán)(I)上纏繞清潔布(2)。
權(quán)利要求1.一種單晶硅副爐室清理器,其特征在于在一個(gè)略小于副爐室內(nèi)徑的圓環(huán)(I)上垂直固定一根長于副爐室的直桿(3),在直桿(3)的另一端安裝手柄保護(hù)套(4),在圓環(huán)(I)上纏繞清潔布(2)。
專利摘要本實(shí)用新型屬于清理器,特別涉及一種單晶硅副爐室清理器。本實(shí)用新型特征在于在一個(gè)略小于副爐室內(nèi)徑的圓環(huán)(1)上垂直固定一根長于副爐室的直桿(3),在直桿(3)的另一端安裝手柄保護(hù)套(4),在圓環(huán)(1)上纏繞清潔布(2)。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是清潔布(2)緊貼副爐室內(nèi)壁,可充分清理副爐室內(nèi)壁上的雜物,清理速度快,效率高,操作方便,實(shí)用簡單,副爐室清理徹底,提高拉晶的環(huán)境純度、單晶硅產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。
文檔編號(hào)C30B29/06GK202925150SQ20122057044
公開日2013年5月8日 申請日期2012年11月1日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月1日
發(fā)明者閆衛(wèi)東, 李櫟 申請人:陽光能源(青海)有限公司
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