專利名稱：寶石爐真空系統(tǒng)的制作方法
技術領域：
本實用新型屬于物質生長爐技術領域，具體涉及一種寶石爐真空系統(tǒng)。
背景技術：
LED用藍寶石晶體材料化學式為a-Al2O3，屬六方晶體，在室溫下密度為3. 98g/cm3，屬于熔點很高的難熔氧化物晶體。Al2O3晶體具有寬的透光范圍，從真空紫外、可見光、遠紅外，一直到中紅外均具有較高的光透過性，具有高機械強度，高溫耐熔性，膨脹系數(shù)小，導熱率大，良好的化學穩(wěn)定性，耐輻射性及低摩擦系數(shù)等綜合性能，是優(yōu)良的激光基質材料及各種光學元件和紅外軍事裝置、衛(wèi)星空間技術、高強度激光的窗口材料，在微電子學、光學、量子電子學、計算機、照明設施、發(fā)光二極管以及其他科學技術領域得到廣泛應用。制備LED用藍寶石晶體有多種方法，微拉旋轉泡生法因其能綜合泡生法和微拉法的優(yōu)點，因此優(yōu)先在工業(yè)上應用。該方法是晶體在寶石爐(單晶爐)內完成晶體長晶制備過程。本實用新型是寶石爐的組件之一，它主要是將爐內工作室抽到高真空狀態(tài)。
發(fā)明內容本實用新型提供一種寶石爐真空系統(tǒng)，其操作方便，結構緊湊，占用空間小，便于安裝、維修。本實用新型采用的具體技術方案是一種寶石爐真空系統(tǒng)，包括真空泵，其特征是，真空泵依次連接第二連接管、第一電磁閥、第一連接管和連接彎頭，連接彎頭一端與寶石爐連接，連接彎頭另一端連接擴散泵；連接彎頭和擴散泵之間設置電動閘板閥，擴散泵上還設有第三連接管通過第二電磁閥與第二連接管連接。連接彎頭上還設有真空表。本實用新型的優(yōu)點是操作方便，結構緊湊，占用空間小，便于安裝、維修。

圖I是本實用新型的結構示意圖；圖中，I-第一電磁閥，2-第一連接管，3-連接彎頭，4-真空表，5-電動閘板閥，
6-第二電磁閥，7-第二連接管，8-真空泵，9-第三連接管，10-擴散泵。
具體實施方式
如圖I所示，一種寶石爐真空系統(tǒng)，包括真空泵8，真空泵8依次連接第二連接管7、第一電磁閥I、第一連接管2和連接彎頭3，連接彎頭3 —端與寶石爐連接，連接彎頭3另一端連接擴散泵10 ;連接彎頭3和擴散泵10之間設置電動閘板閥5，擴散泵10上還設有第三連接管9通過第二電磁閥6與第二連接管7連接。連接彎頭3上還設有真空表4。本實用新型在使用時，首先將第二電磁閥6和電動閘板閥5關閉，開啟真空泵8，通過連接彎頭3和第一連接管2、第二連接管7，將寶石爐內抽到低真空狀態(tài)，達到設定數(shù)值后，再將第一電磁閥I關閉，開啟第二電磁閥6和電動閘板閥5，啟動擴散泵10，經過連接彎 頭3、電動閘板閥5、第二連接管7、真空泵8將寶石爐內抽到高真空狀態(tài)，達到工藝要求。
權利要求1.一種寶石爐真空系統(tǒng)，包括真空泵，其特征是，真空泵依次連接第二連接管、第一電磁閥、第一連接管和連接彎頭，連接彎頭一端與寶石爐連接，連接彎頭另一端連接擴散泵；連接彎頭和擴散泵之間設置電動閘板閥，擴散泵上還設有第三連接管通過第二電磁閥與第二連接管連接。
2.根據(jù)權利要求I所述的寶石爐真空系統(tǒng)，其特征是，連接彎頭上還設有真空表。
專利摘要一種寶石爐真空系統(tǒng)，屬于物質生長爐技術領域，包括真空泵，其特征是，真空泵依次連接第二連接管、第一電磁閥、第一連接管和連接彎頭，連接彎頭一端與寶石爐連接，連接彎頭另一端連接擴散泵；連接彎頭和擴散泵之間設置電動閘板閥，擴散泵上還設有第三連接管通過第二電磁閥與第二連接管連接。本實用新型操作方便，結構緊湊，占用空間小，便于安裝、維修。
文檔編號C30B15/00GK202430336SQ20112053416
公開日2012年9月12日 申請日期2011年12月20日 優(yōu)先權日2011年12月20日
發(fā)明者于愛東, 周磊, 李瑞蓮, 沈春艷, 陳衛(wèi)國 申請人:山東紫晶光電新材料有限公司