專利名稱：藍寶石晶體生長爐的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種晶體生長爐主要構(gòu)成機構(gòu)布局設計結(jié)構(gòu)，屬于藍寶石單晶生長爐領域。
背景技術：
藍寶石是一種簡單配位型氧化物晶體。具有優(yōu)異的光學性能、機械性能和化學穩(wěn)定性，被廣泛的應用于民用航天、半導體襯底、紅外軍事裝置、衛(wèi)星空間技術、高強度激光的窗口材料等，同時晶體生長設備_單晶生長爐也隨之得到了飛速的發(fā)展。通常藍寶石晶體生長設備從外部構(gòu)成主要包括爐體機械組成、真空系統(tǒng)、電源柜、 控制操作柜及鈑金外觀件。這幾部分是晶體生長爐根據(jù)工藝要求必需的結(jié)構(gòu)組成。而且形狀外形各不相同，根據(jù)各結(jié)構(gòu)的功能，如何合理的安排各組成機構(gòu)的位置，便于操作者使用，同時獲得最經(jīng)濟的占地空間，也是各生產(chǎn)單位一直所追求和探索的。

實用新型內(nèi)容為解決上述技術問題，本實用新型提供了一種晶體生長爐整體機構(gòu)合理、成本低廉的藍寶石晶體生長爐。本實用新型藍寶石晶體生長爐，包括機械組成，所述機械組成的底座的外側(cè)為規(guī)則的四面；電源柜，所述電源柜與所述機械組成的一側(cè)連接；控制操作柜，所述控制操作柜與所述機械組成的一側(cè)連接；真空獲得系統(tǒng)，所述真空獲得系統(tǒng)通過真空法蘭與所述機械組成連接。所述機械組成通過螺栓與地面固定。所述機械組成通過鈑金骨架與所述電源柜連接。在所述機械組成、所述電源柜、所述真空獲得系統(tǒng)及所述控制操作柜的外側(cè)設有鈑金件。本實用新型藍寶石晶體生長爐通過合理地安排各組成機構(gòu)的位置，便于操作者使用，同時獲得最經(jīng)濟的占地空間，同時在外側(cè)設置的鈑金件能對整體的結(jié)構(gòu)進行有效地保護，可以拆卸或打開部分空間，便于開爐裝料、取晶體和檢修使用，而且，也防止了意外事故的發(fā)生幾率。

圖1為本實用新型藍寶石晶體生長爐結(jié)構(gòu)俯視圖；圖2為本實用新型藍寶石晶體生長爐結(jié)構(gòu)示意圖；本實用新型藍寶石晶體生長爐附圖中附圖標記說明1-機械組成2-電源柜3-鈑金骨架4-真空獲得系統(tǒng) 5-控制操作柜 6-鈑金件7-真空法蘭具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用新型藍寶石晶體生長爐作進一步詳細說明。如圖1、圖2所示，本實用新型藍寶石晶體生長爐，包括機械組成1為整機的核心部分，底部支撐件留有地腳螺栓安裝孔(圖中未示出)，固定在地面上。機械組成1的兩個直邊側(cè)面放置電源柜2和控制操作柜5。中間置有鈑金骨架3，通過并柜孔，采用螺栓連接緊固。在電源柜2與控制操作柜5的直角間隔區(qū)內(nèi)放置真空獲得系統(tǒng)4，與機械組成1連接，通過真空法蘭7與0型密封圈，使真空腔體相通。連接部分采用外六角螺栓緊固。在藍寶石晶體生長爐外側(cè)采用鈑金件6包裝成一個柜體，根據(jù)工藝和使用要求，可以拆卸或打開部分空間，便于開爐裝料、取晶體和檢修使用。本實用新型藍寶石晶體生長爐通過合理地安排各組成機構(gòu)的位置，便于操作者使用，同時獲得最經(jīng)濟的占地空間，同時在外側(cè)設置的鈑金件能對整體的結(jié)構(gòu)進行有效地保護，可以拆卸或打開部分空間，便于開爐裝料、取晶體和檢修使用，而且，也防止了意外事故的發(fā)生幾率。以上已對本實用新型創(chuàng)造的較佳實施例進行了具體說明，但本實用新型創(chuàng)造并不限于實施例，熟悉本領域的技術人員在不違背本發(fā)明創(chuàng)造精神的前提下還可作出種種的等同的變型或替換，這些等同的變型或替換均包含在本申請權(quán)利要求所限定的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.藍寶石晶體生長爐，其特征在于，包括機械組成，所述機械組成的底座的外側(cè)為規(guī)則的四面； 電源柜，所述電源柜與所述機械組成的一側(cè)連接； 控制操作柜，所述控制操作柜與所述機械組成的一側(cè)連接； 真空獲得系統(tǒng)，所述真空獲得系統(tǒng)通過真空法蘭與所述機械組成連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍寶石晶體生長爐，其特征在于，所述機械組成通過螺栓與地面固定。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍寶石晶體生長爐，其特征在于，所述機械組成通過鈑金骨架與所述電源柜連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍寶石晶體生長爐，其特征在于，在所述機械組成、所述電源柜、所述真空獲得系統(tǒng)及所述控制操作柜的外側(cè)設有鈑金件。
專利摘要本實用新型藍寶石晶體生長爐，包括機械組成，所述機械組成的底座的外側(cè)為規(guī)則的四面；電源柜，所述電源柜與所述機械組成的一側(cè)連接；控制操作柜，所述控制操作柜與所述機械組成的一側(cè)連接；真空獲得系統(tǒng)，所述真空獲得系統(tǒng)通過真空法蘭與所述機械組成連接。本實用新型藍寶石晶體生長爐通過合理地安排各組成機構(gòu)的位置，便于操作者使用，同時獲得最經(jīng)濟的占地空間，同時在外側(cè)設置的鈑金件能對整體的結(jié)構(gòu)進行有效地保護，可以拆卸或打開部分空間，便于開爐裝料、取晶體和檢修使用，而且，也防止了意外事故的發(fā)生幾率。
文檔編號C30B15/00GK202226965SQ20112035589
公開日2012年5月23日 申請日期2011年9月21日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月21日
發(fā)明者呂立強 申請人:上海朗兆機電設備有限公司