專利名稱：元件安裝裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種根據(jù)吸嘴的升降動作切換供給該吸嘴的壓力，并且用該吸嘴吸附元件，將該被吸附的元件安裝到基板上的元件安裝裝置。
背景技術(shù)：
作為具有根據(jù)吸嘴的升降動作切換供給該吸嘴壓力的機構(gòu)的元件安裝裝置，已知有例如專利文獻1所述的裝置。在該專利文獻1所述的裝置中，相對于可水平轉(zhuǎn)動的吸嘴座沿其轉(zhuǎn)動方向以指定間隔可上下移動地設(shè)有多個吸嘴。此外，吸嘴座上為每個吸嘴分別設(shè)有負(fù)壓側(cè)滑閥(spool valve)和正壓側(cè)滑閥。向各吸嘴內(nèi)供給負(fù)壓的負(fù)壓通道采用可由各負(fù)壓側(cè)滑閥開閉的結(jié)構(gòu)，且向各吸嘴內(nèi)供給正壓(或大氣壓)的正壓通道采用可由正壓側(cè)滑閥開閉的結(jié)構(gòu)。專利文獻1 日本特開2004-311807號公報(例如圖7)在如上所述的專利文獻1所述的裝置中，為了向吸嘴提供兩種互不相同的壓力必須設(shè)置兩種滑閥，供應(yīng)給吸嘴的壓力的切換結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜。此外，在該裝置中，必須為一個吸嘴設(shè)置兩種滑閥，隨著安裝在吸嘴座上的吸嘴數(shù)量的增加吸嘴座上應(yīng)設(shè)置的滑閥的個數(shù)也增多。從而，在吸嘴座上安裝多個吸嘴的元件安裝裝置中，無法避免吸嘴座的大型化，由此導(dǎo)致元件安裝裝置大型化的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于上述問題，其目的在于提供一種能切換供給吸嘴的壓力并且用該吸嘴在基板上安裝元件的元件安裝裝置，可簡化用于切換供給該吸嘴的壓力的結(jié)構(gòu)。本發(fā)明所涉及的元件安裝裝置，將元件安裝到基板上，其特征在于包括沿上下軸方向設(shè)置、用其前端吸附元件的吸嘴；具有嵌合并保持所述吸嘴的保持孔、一邊沿著所述保持孔的內(nèi)周面與所述吸嘴的側(cè)面滑動接觸一邊在所述上下軸方向上移動自如地保持所述吸嘴的保持部；以及相對于所述保持部向所述上下軸方向移動所述吸嘴的吸嘴移動機構(gòu)，所述吸嘴具有在所述吸嘴的內(nèi)部延伸設(shè)置至所述吸嘴的前端的氣壓(pneumatic pressure)導(dǎo)入通道，以及從所述吸嘴的側(cè)面延伸設(shè)置至所述氣壓導(dǎo)入通道的至少一個以上的流通孔，所述保持部具有與所述保持孔相連通、可向所述保持孔供給第1氣壓的第1連通孔，以及與所述保持孔相連通、可向所述保持孔供給第2氣壓的第2連通孔，所述吸嘴移動機構(gòu)通過所述吸嘴向所述流通孔僅與所述第1連通孔相連通的第1位置的下降以及所述吸嘴向所述流通孔僅與所述第2連通孔相連通的第2位置的上升，調(diào)整經(jīng)由所述氣壓導(dǎo)入通道供給所述吸嘴前端的氣壓。在如此構(gòu)成的發(fā)明中，一方面吸嘴上設(shè)有流通孔，另一方面保持吸嘴的保持部上設(shè)有第1連通孔和第2連通孔，經(jīng)由吸嘴向第1位置的下降以及吸嘴向第2位置的上升，切換第1連通孔及第2連通孔與流通孔的連通連接，調(diào)整經(jīng)由氣壓導(dǎo)入通道供給吸嘴前端的氣壓。從而，與以往技術(shù)相比，可以簡單的結(jié)構(gòu)切換供給吸嘴的壓力。
此外，第1、第2氣壓均為負(fù)壓的情況下，將吸嘴定位在第1位置及第2位置上時， 向吸嘴供給與各位置相對應(yīng)的負(fù)壓。從而，將吸嘴移動至第1位置，在第1負(fù)壓的作用下將元件吸附在吸嘴上。此外，為使所吸附的元件向基板側(cè)移動而將吸嘴上升至第2位置時，由于在該第2位置上向吸嘴供給第2負(fù)壓，可使元件不至從吸嘴上落下，使吸嘴吸附著元件地移動至基板側(cè)。由于采用第1負(fù)壓和第2負(fù)壓分別經(jīng)由第1連通孔和第2連通孔供給的結(jié)構(gòu)，可將第1負(fù)壓和第2負(fù)壓分別設(shè)定為適合吸附元件的值及適合搬送元件的值。此處，第1連通孔呈向上下軸方向延伸的長孔形狀時，第1位置的范圍在上下軸方向很廣泛。即，第1連通孔向上下軸方向延伸多少，可經(jīng)由第1連通孔及流通孔持續(xù)向吸嘴供給第1負(fù)壓的上下軸方向的范圍就有多廣泛，可以獲得如下作用效果。即，用吸嘴吸附元件時的吸附高度位置及將該被吸附的元件安裝到基板上時的安裝高度位置，因各種元件高度尺寸等的差異而有所不同。從而，通過采用長孔形狀的連通孔，即便吸嘴驅(qū)動機構(gòu)使吸嘴在第1位置范圍內(nèi)適當(dāng)?shù)厣舷乱苿?，也可無障礙地用吸嘴吸附保持元件。此外，流通孔的個數(shù)任意，例如作為流通孔設(shè)置第1流通孔和第2流通孔時，可采用第1流通孔、第2流通孔、第1連通孔及第2連通孔的位置關(guān)系如下所述的結(jié)構(gòu)。吸嘴被移動至第1位置時，第1流通孔和第2流通孔至少其中一方僅與第1連通孔相連通，同時第 2連通孔被吸嘴的側(cè)面所堵塞，與任何流通孔都不連通，從而可向吸嘴供給第1負(fù)壓。此外， 吸嘴被定位于第2位置時，第1流通孔和第2流通孔僅其中一方的流通孔僅與第2連通孔相連通，同時另一流通孔被保持孔的內(nèi)周面所堵塞，與任何連通孔都不連通，從而可向吸嘴供給第2負(fù)壓。另外，吸嘴被定位于第1位置和第2位置之間的第3位置時，第1流通孔和第2流通孔其中一方的流通孔僅與第1連通孔相連通，同時另一流通孔僅與第2連通孔相連通，從而可向吸嘴供給負(fù)壓。從而，即便吸嘴在第1位置和第2位置之間移動時，也可以總是向吸嘴供給負(fù)壓。例如使用負(fù)壓時，吸嘴移動過程中元件也為吸嘴所吸附保持，可以切實防止元件落下。此外，吸嘴被移動至第1位置時，第1流通孔及第2流通孔也可同時僅與第1連通孔相連通，由此，由于第1位置處各流通孔的剖面面積(section area)的總合(有效剖面面積)增大，可以一舉供給吸附元件時的負(fù)壓等，供給與場合相應(yīng)的壓力。此外，第1流通孔和第2流通孔也可在上下軸方向的同一位置上于圍繞上下軸方向的圓周方向上相互分離地設(shè)置，吸嘴被移動至第1位置時，僅第1流通孔僅與第1連通孔相連通，第2流通孔被保持孔的內(nèi)周面所堵塞，與任何連通孔都不連通，這樣的結(jié)構(gòu)可以獲得如下作用效果。即，第1氣壓自與第1流通孔的形成位置相對應(yīng)的方向供給而來，而第2 氣壓自與第2流通孔的形成位置相對應(yīng)的方向供給而來，第1氣壓的供給方向和第2氣壓的供給方向在圍繞上下軸方向的圓周方向上互不相同。從而，可以在吸嘴周圍分散地設(shè)置用于向保持部供給氣壓的氣壓管道及氣壓供給源等，能提高布局的自由度。此外，由于第1 流通孔和第2流通孔設(shè)置在上下軸方向的大致同一位置上，可以縮短上下軸方向上流通孔的間隔，實現(xiàn)上下軸方向上保持部的小型化。另外，與上述間隔的縮小相應(yīng)地，吸嘴和保持部的嵌合范圍也縮小，容易提高嵌合精度，可以降低制造成本。此外，連通孔也可采用流通孔的上述結(jié)構(gòu)。即，第1連通孔和第2連通孔也可在圍繞上下軸方向的圓周方向上相互分離且孔中心位于上下軸方向的同一位置地設(shè)置于保持部中。此時，也由于第1負(fù)壓的供給方向和第2負(fù)壓的供給方向在圍繞上下軸方向的圓周
6方向上互不相同，與上述發(fā)明同樣地，可在吸嘴周圍分散地設(shè)置用于向保持部供給負(fù)壓的氣壓管道及氣壓供給源等，能提高布局的自由度。此外，也可只設(shè)置一個流通孔。此時，較為理想的是，吸嘴被定位于第1位置和第2 位置之間的第3位置時，流通孔跨越第1連通孔和第2連通孔且與各連通孔相連通。此時， 即便吸嘴在第1位置和第2位置之間移動時，也可以總是向吸嘴供給氣壓。從而，例如負(fù)壓的情況下，吸嘴移動過程中元件也為吸嘴所吸附保持，可以切實防止元件落下。此外，通過使流通孔的個數(shù)最小化可以降低制造成本。此外，還可以包括第1切換單元，其與第1連通孔相連，選擇性地通過第1連通孔向保持孔供給作為所述第1氣壓的第1負(fù)壓或第1正壓。此時，通過將施予吸嘴的壓力由負(fù)壓切換為正壓，可以容易地在空氣噴射(air-blow)的作用下使所吸附的元件脫離吸嘴。此外，由于僅通過切換單元的切換即可選擇性地供給正壓和負(fù)壓其中之一，故用于供給正壓、 負(fù)壓的結(jié)構(gòu)簡單。此外，第2連通孔也可采用與第1連通孔同樣的結(jié)構(gòu)。即，還可以包括第2切換單元，其與第2連通孔相連，選擇性地通過第2連通孔向保持孔供給作為所述第2氣壓的第2 負(fù)壓或第2正壓。此時，例如吸嘴在未吸附元件的狀態(tài)下被移動至第2位置時，通過將施予吸嘴的壓力從負(fù)壓切換為正壓，可以氣洗(air purge)的方式對吸嘴的氣壓導(dǎo)入通道和吸嘴前端進行空氣凈化。此外，通過使第1正壓的絕對值小于第2正壓的絕對值，可以獲得如下作用效果。即，在吸嘴驅(qū)動機構(gòu)的作用下使吸嘴下降安裝元件時，作用效果是，使元件脫離吸嘴時空氣噴射的正壓無需不必要地大。此外，還有可以降低產(chǎn)生第1正壓的正壓源的正壓供給能力的效果。此外，元件安裝裝置為了提高安裝效率，可以包括多個吸嘴。此時，保持部具有圍繞上下軸方向相互分離地設(shè)置的多個保持孔，多個吸嘴分別一一嵌合于各保持孔中，一邊使吸嘴的側(cè)面沿著保持孔的內(nèi)周面與之滑動接觸一邊在上下軸方向上移動自如地由保持部加以保持，吸嘴移動機構(gòu)選擇性地使多個吸嘴向上下軸方向移動，從而可以獲得與上述發(fā)明同樣的作用效果。即，可用簡單的結(jié)構(gòu)切換供給多個吸嘴的壓力。另外，如此包含多個吸嘴的元件安裝裝置中，較為理想的是，還包括將保持部嵌合于上下軸方向上貫通的貫通孔中而予以支承的筒狀部件，各保持孔分別與第1連通孔和第 2連通孔相連通，筒狀部件具有可與多個第1連通孔相連通、可向多個第1連通孔供給第1 氣壓的第1氣壓供給孔，和可與多個第2連通孔相連通、可向多個第2連通孔供給第2氣壓的第2氣壓供給孔，貫通孔的內(nèi)周面和保持部的外周面至少一方設(shè)有連通多個第1連通孔和第1氣壓供給孔的第1環(huán)狀槽，貫通孔的內(nèi)周面和保持部的外周面至少一方設(shè)有連通多個第2連通孔和第2氣壓供給孔的第2環(huán)狀槽。此時，通過經(jīng)由第1氣壓供給孔供給第1 氣壓，可以向所有的吸嘴供給第1氣壓，另外通過經(jīng)由第2氣壓供給孔供給第2氣壓，可以向所有的吸嘴供給第2氣壓。從而，即使具有多個吸嘴，也可以通過分別只設(shè)置一個第1氣壓和第2氣壓的供給源，以簡單的結(jié)構(gòu)切換供給多個吸嘴的壓力。此外，作為具備多個吸嘴的結(jié)構(gòu)，例如保持部具有在與上下軸方向相垂直的水平方向上相互分離地排列的多個保持孔，多個吸嘴分別一一嵌合于各保持孔中，一邊使吸嘴的側(cè)面沿著保持孔的內(nèi)周面與之滑動接觸一邊在上下軸方向上移動自如地由保持部對多個吸嘴加以保持，吸嘴移動機構(gòu)選擇性地使多個吸嘴向上下軸方向移動也可，可以起到與上述發(fā)明同樣的作用效果。此外，第1連通孔也可使多個保持孔相互連通地形成于保持部中，第2連通孔與第 1連通孔分離，使多個保持孔相互連通地形成于保持部中。此時，通過經(jīng)由第1連通孔供給第1氣壓，可以向所有的吸嘴供給第1氣壓，另外通過經(jīng)由第2連通孔供給第2氣壓，可以向所有的吸嘴供給第2氣壓。從而，即使具有多個吸嘴，也可以通過分別只設(shè)置一個第1氣壓和第2氣壓的供給源，以簡單的結(jié)構(gòu)切換供給多個吸嘴的壓力。另外，保持部具有在上下軸方向的第1高度位置上分別與多個保持孔一一連通地設(shè)置的多個第1連通室部，和在與第1高度位置相異的上下軸方向的第2高度位置上分別與多個保持孔一一連通地設(shè)置的多個第2連通室部，第1連通孔經(jīng)由多個第1連通室部使多個保持孔相互連通，第2連通孔經(jīng)由多個第2連通室部使多個保持孔相互連通。另外，第1氣壓和第2氣壓的關(guān)系雖然任意，但有時較為理想的是，兩氣壓均為負(fù)壓的情況下，吸嘴被移動至下方在第1位置上開始用吸嘴的頂端吸附元件時，第1負(fù)壓的絕對值大于第2負(fù)壓的絕對值。這一方面是因為，吸附元件時，用較大的負(fù)壓吸附元件可以切實地吸附元件，另一方面有時用吸嘴前端吸附元件后使吸嘴上升移動至第2位置，則無需元件吸附開始時那樣大的吸附力。此外，采用這樣的結(jié)構(gòu)還有可以降低產(chǎn)生第2負(fù)壓的負(fù)壓源的負(fù)壓供給能力的效果。另外，有時較為理想的是，兩氣壓均為負(fù)壓，在吸嘴的前端吸附著元件的狀態(tài)下吸嘴向上方移動后的第2位置上，高度水平移動停止時，第2負(fù)壓的絕對值大于第1負(fù)壓的絕對值。這是因為，水平移動的吸嘴急速停止時，元件受到較大的慣性力作用，有元件脫落的可能性。此外，采用這樣的結(jié)構(gòu)還有可以降低產(chǎn)生第1負(fù)壓的負(fù)壓源的負(fù)壓供給能力的效^ ο此外，在包含多個吸嘴的元件安裝裝置中，有時較為理想的是，兩氣壓均為負(fù)壓時，第1負(fù)壓的絕對值等于第2負(fù)壓的絕對值。即，在能夠提供充分的負(fù)壓，足夠吸附元件并且在水平移動緊急停止時也可防止元件脫落的情況下，采用這樣的結(jié)構(gòu)具有可以減少負(fù)壓源個數(shù)的效果。如上所述，氣壓導(dǎo)入通道延伸設(shè)置至吸嘴前端，且流通孔從吸嘴側(cè)面延伸設(shè)置至氣壓導(dǎo)入通道。此外，在用保持孔保持該吸嘴的保持部中，設(shè)有與保持孔相連通可向保持孔供給第1負(fù)壓的第1連通孔，和設(shè)有與保持孔相連通可向保持孔供給第2負(fù)壓的第2連通孔。若吸嘴被下降至第1位置，則流通孔僅與第1連通孔相連通，另一方面若吸嘴被上升至第2位置，則流通孔僅與第2連通孔相連通?？梢酝ㄟ^這樣簡單的結(jié)構(gòu)調(diào)整供給吸嘴頂端的氣壓。


圖1是表示本發(fā)明所涉及的元件安裝裝置的第1實施方式的概略結(jié)構(gòu)的俯視圖。圖2是圖1所示的元件安裝裝置所包含的頭部單元的局部等角投影圖。圖3是圖1所示的元件安裝裝置所包含的頭部單元的局部側(cè)視圖。圖4A是表示向安裝在安裝頭上的各吸嘴供給氣壓的機構(gòu)的立體圖。圖4B是表示向安裝在安裝頭上的各吸嘴供給氣壓的機構(gòu)的分解圖。圖5是安裝頭的局部剖視圖。
圖6A是表示吸嘴位于第2位置時流通孔與設(shè)置于保持部的連通孔的連接關(guān)系的模式圖。圖6B是表示吸嘴位于第3位置時流通孔與設(shè)置于保持部的連通孔的連接關(guān)系的模式圖。圖6C是表示吸嘴在吸附元件時位于第1位置時流通孔與設(shè)置于保持部的連通孔的連接關(guān)系的模式圖。圖6D是表示吸嘴在搭載元件時位于第1位置時流通孔與設(shè)置于保持部的連通孔的連接關(guān)系的模式圖。圖7A是表示本發(fā)明所涉及的元件安裝裝置的第2實施方式中，吸嘴位于第2位置時流通孔與連通孔的連接關(guān)系的模式圖。圖7B是表示本發(fā)明所涉及的元件安裝裝置的第2實施方式中，吸嘴位于第3位置時流通孔與連通孔的連接關(guān)系的模式圖。圖7C是表示本發(fā)明所涉及的元件安裝裝置的第2實施方式中，吸嘴位于第1位置時流通孔與設(shè)置于保持部的連通孔的連接關(guān)系的模式圖。圖8A是表示本發(fā)明所涉及的元件安裝裝置的第3實施方式中，吸嘴位于第2位置時流通孔與連通孔的連接關(guān)系的模式圖。圖8B是表示本發(fā)明所涉及的元件安裝裝置的第3實施方式中，吸嘴位于第3位置時流通孔與連通孔的連接關(guān)系的模式圖。圖8C是表示本發(fā)明所涉及的元件安裝裝置的第3實施方式中，吸嘴位于第1位置時流通孔與設(shè)置于保持部的連通孔的連接關(guān)系的模式圖。圖9A是表示本發(fā)明所涉及的元件安裝裝置的第4實施方式中，吸嘴位于第2位置時流通孔與連通孔的連接關(guān)系的模式圖。圖9B是表示本發(fā)明所涉及的元件安裝裝置的第4實施方式中，吸嘴位于第3位置時流通孔與連通孔的連接關(guān)系的模式圖。圖9C是表示本發(fā)明所涉及的元件安裝裝置的第4實施方式中，吸嘴位于第1位置時流通孔與設(shè)置于保持部的連通孔的連接關(guān)系的模式圖。圖IOA是表示本發(fā)明所涉及的元件安裝裝置的第5實施方式中，吸嘴位于第2位置時流通孔與連通孔的連接關(guān)系的模式圖。圖IOB是表示本發(fā)明所涉及的元件安裝裝置的第5實施方式中，吸嘴位于第3位置時流通孔與連通孔的連接關(guān)系的模式圖。圖IOC是表示本發(fā)明所涉及的元件安裝裝置的第5實施方式中，吸嘴位于第1位置時流通孔與設(shè)置于保持部的連通孔的連接關(guān)系的模式圖。圖11是表示本發(fā)明所涉及的元件安裝裝置的第8實施方式的側(cè)視圖。圖12是第8實施方式所采用的頭部單元的正視圖。圖13是圖12所示的頭部單元的局部剖視圖。圖14是表示托架結(jié)構(gòu)的局部剖視圖。圖15是從圖14中的A-A線箭頭方向觀察的剖視圖。圖16是從圖15中的B-B線箭頭方向觀察的剖視圖。圖17是從圖15中的C-C線箭頭方向觀察的剖視圖。
圖18是負(fù)壓發(fā)生裝置及切換閥相對于連通孔的連接狀態(tài)的示意圖。圖19是本發(fā)明所涉及的元件安裝裝置的第9實施方式的負(fù)壓發(fā)生裝置及切換閥相對于連通孔的連接狀態(tài)的示意圖。圖20是表示元件安裝裝置的另一實施方式的模式圖。圖21是說明圖20的要部的說明圖。
具體實施例方式圖1是表示本發(fā)明所涉及的元件安裝裝置的第1實施方式的概略結(jié)構(gòu)的俯視圖。 另外，在圖1及稍后說明的附圖中，為了明確各圖的方向關(guān)系，標(biāo)有CTZ直角坐標(biāo)軸。在該 X^直角坐標(biāo)中，以基板的搬送方向為X方向，用(+)表示搬送方向下游側(cè)，用(-)表示上游側(cè)。另外，以俯視時與X方向垂直的方向為Y方向，用⑴表示前方，用㈠表示后方。進而，以上下方向為Z方向，用(+)表示上方，用(-)表示下方。在該元件安裝裝置1中，基臺11上設(shè)有基板搬送機構(gòu)2，可在指定的搬送方向X上搬送基板3。更詳細(xì)而言，基板搬送機構(gòu)2具有在基臺11上將基板3從圖1的右側(cè)向左側(cè)搬送的一對搬送帶21、21。搬送帶21、21搬入基板3，在指定的安裝作業(yè)位置使基板3 (本圖所示的基板3的位置)停止，用圖略的保持裝置來固定保持基板3。頭部單元6在頭部移動機構(gòu)的作用下在基臺11的指定范圍內(nèi)向X軸方向及Y軸方向(X軸及與Z軸垂直的方向) 移動，并且元件供給部4所供給的電子元件由頭部單元6所搭載的安裝頭8移載至基板3。 然后，當(dāng)應(yīng)安裝到基板3上的所有元件的安裝處理完成后，基板搬送機構(gòu)2搬出基板3。另外，基臺11上設(shè)有元件識別用攝像機7。該元件識別用攝像機7包括照明部和(XD(Charge Coupled Device)攝像機等，從下側(cè)對頭部單元6的各安裝頭8所保持的電子元件進行拍攝。在如此構(gòu)成的基板搬送機構(gòu)2的前方側(cè)(Y方向⑴側(cè))以及后方側(cè)(Y方向㈠ 側(cè))，設(shè)置有上述元件供給部4。這些元件供給部4具備多個帶式送料器41。而且，在各帶式送料器41上，設(shè)置有對收納、保持電子元件的帶進行卷繞的卷軸(省略圖示)，可將電子元件供應(yīng)給頭部單元6。即，在各帶上，隔開指定間隔而收納、保持有集成電路(IC)、晶體管、電容器等小片狀的芯片式電子元件。并且，帶式送料器41從卷軸向頭部單元6側(cè)送出帶，該帶內(nèi)的電子元件由此被間歇性地陸續(xù)送出，其結(jié)果，可實現(xiàn)頭部單元6的安裝頭8對電子元件的吸附。該頭部單元6在保持由安裝頭8在元件供給部4吸附的電子元件的狀態(tài)下將該電子元件搬送至基板3，并且移載到由使用者指示的搭載位置。接著，用圖2至圖5對該頭部單元6以及頭部單元6所包含的安裝頭8的結(jié)構(gòu)予以說明。在此，圖2是頭部單元的局部等角投影圖，圖3是頭部單元的局部側(cè)視圖。此外，圖4A、圖4B是向安裝在安裝頭上的各吸嘴供給氣壓的機構(gòu)的示意圖。此外，圖5是安裝頭的局部剖視圖。頭部單元6的4個安裝頭8在X方向(水平方向)上排成一列，并包括從后方(Y 方向(_)側(cè))由支承框架61對其予以支承的概略結(jié)構(gòu)。具體而言，這些安裝頭8由從支承框架61向前方(Y方向(+)側(cè))延伸的兩條臂部61a、61b予以支承。另外，由于4個安裝頭8具有大致共同的結(jié)構(gòu)，以下安裝頭8的說明基本以一個安裝頭8為代表進行，為其他的安裝頭8付予相當(dāng)?shù)姆枺m當(dāng)省略說明。
安裝頭8包括在上下軸(Z軸)方向上延伸的較長的軸體81。在該軸體81的上下軸方向(Z方向)的下部設(shè)有吸嘴座51。該吸嘴座51如圖4A、圖4B及圖5所示，具有在上下軸方向(Z方向)上延伸設(shè)置的圓柱形狀，在沿其軸芯從上方穿設(shè)的凹部511中插入軸體 81的下端部，并將其從吸嘴座51的下方側(cè)以螺釘、螺栓等緊固部件固定在吸嘴座51上。如此在吸嘴座51固定于軸體81的下端部的狀態(tài)下，為了用臂部61a對它們進行支承，本實施方式使用了筒狀部件52。該筒狀部件52具有與臂部61a上設(shè)置的4個貫通孔 61al的內(nèi)徑相同程度的外徑，并且具有在上下軸方向(Z方向)上貫通的貫通孔521。如圖 4A所示，筒狀部件52嵌入臂部61a的貫通孔61al中支承于臂部61a上。進而，吸嘴座51 嵌入該筒狀部件52的貫通孔521中由筒狀部件52予以支承。這樣，吸嘴座51在軸體81 的下端部受到臂部61a的支承。另外，在本實施方式中，臂部61a不僅作為單純的支承部件發(fā)揮作用，在前方(Y方向(+)側(cè))的側(cè)面具有連接第1氣壓供給部53(圖幻用的連接部CPl和連接第2氣壓供給部M(圖5)用的連接部CP2，并且具有通過形成于內(nèi)部的歧管(省略圖示)向后述吸嘴供給氣壓的功能。此外，為了將如此供給的氣壓供應(yīng)給吸嘴，在吸嘴座51及筒狀部件52中設(shè)置槽、孔部等，形成導(dǎo)向吸嘴83的氣壓供給機構(gòu)。就其結(jié)構(gòu)及動作稍后予以詳細(xì)說明。如圖4A所示，吸嘴座51中以上述凹部511為中心，圍繞上下軸(Z軸)空出一定間隔而圓周狀地設(shè)有8個上下軸方向(Z方向)上貫通的保持孔512。各保持孔512中分別插入一個吸嘴83。更為具體地，沿著保持孔512的內(nèi)周面使吸嘴83的側(cè)面與之滑動接觸，并且吸嘴83在上下軸方向上移動自如地由吸嘴座51加以保持。此外，各保持孔512分別各設(shè)有一彈簧等構(gòu)成的施力部件82，吸嘴83受到各施力部件82向上升方向(Z方向(+) 側(cè))的施力，在未有下面說明的按下機構(gòu)的按下力作用時，如圖5中右側(cè)的吸嘴那樣，吸嘴 83被定位于上升端位置。該按下機構(gòu)是設(shè)置在上述8個吸嘴83的上下軸方向(Z方向)的上方、選擇性地按下上述吸嘴83其中之一以吸附元件的機構(gòu)。具體而言，該按下機構(gòu)包括引導(dǎo)部件84、相對于引導(dǎo)部件84移動自如的移動部件85、與移動部件85成一體移動的吸嘴按壓部件86和將吸嘴按壓部件86結(jié)合在移動部件85上的連桿部件87。S卩，在軸體81的上下軸方向(Z方向)的上部，固定有中心軸與上下軸方向(Z方向)平行的圓筒形狀的引導(dǎo)部件84。該引導(dǎo)部件84以其中心軸與軸體81的中心軸保持一致的方式安裝，并且在其周面上，與吸嘴83的個數(shù)相應(yīng)地在圓周方向上相隔等間距地形成有上下延伸的槽C。槽C的上部形成有將相鄰接的槽C予以連通的連通槽。連通槽的一端側(cè)與另一端側(cè)在軸體81的徑向上的高度(徑向深度)不同，引導(dǎo)后述移動部件85的滑塊 851使其僅可單向移動導(dǎo)。此外，連通槽在Z軸方向上一端側(cè)與另一端側(cè)的位置不同，進入相鄰接的另一槽C的滑塊851被送到該槽C內(nèi)時，可以防止其移動過度進入下一槽C。引導(dǎo)部件84的上下軸方向(Z方向)的下方(圖5)設(shè)有相對于引導(dǎo)部件84在上下軸方向(Z方向)上移動自如的移動部件85。該移動部件85呈其中心軸與上下軸方向(Z 方向)相平行的圓筒形狀，且作為中空部形成上下軸方向(Z方向)上貫通的圓柱狀的孔。 移動部件85的中空部的直徑略大于引導(dǎo)部件84的直徑，移動部件85在引導(dǎo)部件84嵌于其中空部中的狀態(tài)下，相對于引導(dǎo)部件84在上下軸方向(Z方向)上移動自如。此外，從移動部件85 (的中空部)的內(nèi)壁向內(nèi)突出的銷形狀的兩個滑塊851以移
11動部件85的中心軸為中心，設(shè)置在相互錯開180°的位置上。具體而言，對應(yīng)于各滑塊851， 形成有從移動部件85的外壁至內(nèi)壁貫通的小徑孔，各滑塊851移動自如地嵌于對應(yīng)的小徑孔中。進而，各滑塊851的兩端中移動部件85外壁側(cè)的一端，與對該滑塊851施力的板簧相抵接。即，板簧的下端部固定于移動部件85的外壁，而板簧的上端為自由端，滑塊851與該自由端相抵接。由該板簧向內(nèi)(引導(dǎo)部件84側(cè))對滑塊851施力，將其向槽C內(nèi)引導(dǎo)。如此構(gòu)成的移動部件85的滑塊851在嵌入引導(dǎo)部件84的槽C中的狀態(tài)下，被板簧的作用力按壓于槽C中。移動部件85在該狀態(tài)下相對于引導(dǎo)部件84在上下軸方向(Z 方向)上移動。此時，在指定的按下行程范圍內(nèi)，滑塊851沿槽C移動，從而移動部件85的移動為引導(dǎo)部件84所引導(dǎo)。由此，下面說明的吸嘴按壓部件86通過隨著該移動部件85的移動而在上下軸方向(Z方向)上進行直線下降動作，執(zhí)行按下多個吸嘴83之一的按下動作。此外，若在設(shè)定于按下行程范圍上方的切換行程范圍內(nèi)升降，則移動部件85通過與槽 C相連通的連通槽的引導(dǎo)在圓周方向上移動，向相鄰接的另一槽C內(nèi)移動。通過該移動，執(zhí)行對進行按下動作的吸嘴83切換的切換動作。在移動部件85的上下軸方向(Z方向)的下端，通過連桿部件87固定有吸嘴按壓部件86。該吸嘴按壓部件86為在上下軸方向(Z方向)上延伸的棒狀部件，與移動部件85 成一體地移動。從而，除與移動部件85成一體地在上下軸方向(Z方向)上下降的動作外， 還可執(zhí)行與移動部件85成一體地繞上下軸(Z軸)轉(zhuǎn)動的動作。然后，由該吸嘴按壓部件 86選擇性地將8個吸嘴83之一在上下軸方向(Z方向)上按下，以便吸附元件。即，8個吸嘴83分別在不用于吸附元件時，在施力部件82的作用力下被拉向上下軸方向的上方(Z方向(+)側(cè))，另一方面用于吸附元件時，被吸嘴按壓部件86逆該作用力而向上下軸方向的下方(Z方向(_)側(cè))按下。此時，吸嘴按壓部件86通過繞上下軸(Z軸) 轉(zhuǎn)動，可在8個吸嘴83的上方的分別與8個吸嘴83相對應(yīng)地圍繞上下軸(Z軸)排列的8 個吸嘴上方位置(在此為各吸嘴83的上下軸方向(Z方向)正上方的位置)上選擇性地移動。然后，吸嘴按壓部件86從與被選擇的吸嘴83相對應(yīng)的吸嘴上方位置下降，按下該吸嘴 83。如此按下的吸嘴83用其前端部吸附元件。在圖2中，從該圖的左側(cè)數(shù)第3個安裝頭8 所包含的8個吸嘴83之一被按下。以上為安裝頭8的結(jié)構(gòu)。接著，對驅(qū)動安裝頭8的兩種驅(qū)動機構(gòu)(Z軸驅(qū)動機構(gòu) 62、R軸驅(qū)動機構(gòu)63)進行說明。如上所述，安裝頭8通過移動部件85與吸嘴按壓部件86 成一體地在指定的按下行程范圍內(nèi)在上下軸方向(Z方向)上移動，執(zhí)行吸嘴83的按下動作，并通過移動部件85與吸嘴按壓部件86成一體地在指定的切換行程范圍內(nèi)在上下軸方向(Z方向)上移動，執(zhí)行對作為按下動作的對象的吸嘴83予以切換的切換動作。為此，Z 軸驅(qū)動機構(gòu)62作為在上下軸方向(Z方向)上驅(qū)動該移動部件85的單元而設(shè)置。該Z軸驅(qū)動機構(gòu)62設(shè)置于支承框架61和安裝頭8之間，由從支承框架61向前方(Y軸方向(+) 側(cè))延伸的兩條臂部61b、61c予以支承。更為具體地，在Z軸驅(qū)動機構(gòu)62中設(shè)有，在上下軸方向(Z方向)上延伸的滾珠絲杠621，設(shè)置在滾珠絲杠621上下軸方向(Z方向)的上方驅(qū)動滾珠絲杠621轉(zhuǎn)動的Z軸電動機622，以及螺合滾珠絲杠621的可動部件623。Z軸電動機622使?jié)L珠絲杠621繞上下軸(Z軸)正逆向轉(zhuǎn)動，從而可動部件623在上下軸方向(Z方向)上升降。該可動部件623 通過球軸承88對結(jié)合移動部件85和吸嘴按壓部件86的連桿部件87予以支承。這樣，可動部件623圍繞上下軸(Z軸)轉(zhuǎn)動自如地支承移動部件85、吸嘴按壓部件86以及連桿部件87，且隨著可動部件623在上下軸方向(Z方向)上的升降，移動部件85、吸嘴按壓部件 86、球軸承88及連桿部件87在上下軸方向(Z軸方向)上升降。如此，可通過Z軸驅(qū)動機構(gòu)62，使移動部件85和吸嘴按壓部件86成一體地在上下軸方向(Z方向)上移動。此外，如上所述，在安裝頭8中，軸體81隨著移動部件85、連桿部件87、吸嘴按壓部件86及多個吸嘴83圍繞上下軸(Z軸)轉(zhuǎn)動。R軸驅(qū)動機構(gòu)63為驅(qū)動軸體81繞上下軸 (Z軸)轉(zhuǎn)動而設(shè)。具體而言，R軸驅(qū)動機構(gòu)63具備安裝于軸體81上端的R軸電動機631， 在R軸電動機631的轉(zhuǎn)動驅(qū)動力作用下軸體81可繞上下軸(Z軸)正逆向轉(zhuǎn)動。此外，在頭部單元6中，4個安裝頭8在水平方向(X方向)上排成一列，且分別為上述安裝頭8設(shè)置有Z軸驅(qū)動機構(gòu)62和R軸驅(qū)動機構(gòu)63。此時，4個Z軸驅(qū)動機構(gòu)62也在水平方向(X方向)上排成一列，且4個R軸驅(qū)動機構(gòu)63也在水平方向(X方向)上排成一列。并且，4個Z軸驅(qū)動機構(gòu)62的列和4個R軸驅(qū)動機構(gòu)63的列從上下軸方向(Z方向) 上觀察相互并列地設(shè)置。采用這樣的結(jié)構(gòu)，可以緊湊地設(shè)置元件安裝裝置1的各結(jié)構(gòu)部件 (安裝頭8、Z軸驅(qū)動機構(gòu)62、R軸驅(qū)動機構(gòu)63)，可使元件安裝裝置1小型化。特別是，由于使4個Z軸驅(qū)動機構(gòu)62的列和4個R軸驅(qū)動機構(gòu)63的列并列設(shè)置地布局(與Z軸驅(qū)動機構(gòu)62和R軸驅(qū)動機構(gòu)63相互間隔地排成一列的串聯(lián)設(shè)置相比)，可以縮短水平方向(X方向)上相鄰的安裝頭8之間的距離，進而縮短各安裝頭8所包含的吸嘴組(由8個吸嘴83 構(gòu)成的組)之間的距離。下面，參照圖4A至圖4B乃至圖6A至圖6D對向各吸嘴83供給氣壓的氣壓供給機構(gòu)的結(jié)構(gòu)及動作進行說明。圖6A至圖6D是設(shè)置于吸嘴中的流通孔與設(shè)置于保持部的連通孔的連接關(guān)系的模式圖。各吸嘴83如圖5所示在上下軸方向(Z方向)上延伸設(shè)置，吸嘴內(nèi)部沿著吸嘴83的軸芯設(shè)有氣壓導(dǎo)入通道831，其下端延伸設(shè)置至吸嘴前端部。此外，如圖6A至圖6D所示，兩個流通孔ΠΠ、Π12從吸嘴83的側(cè)面在水平方向上延伸設(shè)置至氣壓導(dǎo)入通道831。另外，在該第1實施方式中，流通孔rai、H12與氣壓導(dǎo)入通道831的上端部相連，在上下軸方向上流通孔rai位于流通孔的下方而成上下一列地設(shè)置。如此構(gòu)成的吸嘴83，吸嘴側(cè)面沿著保持孔512的內(nèi)周面與之滑動接觸，并且在上下軸方向(ζ方向)上升降移動。此外，為了伴隨各吸嘴83的升降，如后所述地經(jīng)由流通孔 FHUFH2向氣壓導(dǎo)入通道831供給負(fù)壓或正壓，吸嘴座51的側(cè)面上兩種連通孔CH1、CH2成一組地分別與各保持孔512相連通，與流通孔FH1、FH2同樣地，在各保持孔512中的上下軸方向(Z方向)上，連通孔CHl位于連通孔CH2的下方成上下一列地設(shè)置。這樣，在第1實施方式中，吸嘴83中設(shè)有兩個流通孔ΠΠ、Π12，且吸嘴座51中設(shè)有兩個連通孔CH1、CH2，其設(shè)置位置與吸嘴83的升降移動相關(guān)聯(lián)地滿足如下關(guān)系。在此，著眼于一個吸嘴83對上述關(guān)系進行說明。吸嘴83若被上升移動至上升端， 則如圖6A所示，上側(cè)流通孔 2與上側(cè)連通孔CH2完全相對置，上側(cè)連通孔CH2經(jīng)由上側(cè)流通孔FH2與氣壓導(dǎo)入通道831相連，從而可以供給氣壓。另一方面，下側(cè)流通孔FHl被保持孔512的內(nèi)周面所堵塞，且下側(cè)連通孔CHl被吸嘴83的側(cè)面所堵塞，不進行使用下側(cè)連通孔CHl的氣壓供給。另外，稱此時相對于吸嘴座51的吸嘴83的位置為“上升端位置”，它相當(dāng)于本發(fā)明的“第2位置”。此外，吸嘴83若從上升端位置下降移動，則伴隨吸嘴下降，上側(cè)流通孔 2相對于上側(cè)連通孔CH2的對置范圍漸漸變窄，如圖6B所示，下降途中上側(cè)流通孔 2相對于上側(cè)連通孔CH2局部對置，下側(cè)流通孔ΠΠ相對于下側(cè)連通孔CHl局部對置。因此，在該位置上， 可通過兩連通孔CHI、CH2供給氣壓。如下所述，吸嘴83若進一步下降，則氣壓的供給路徑即氣流線路進一步被切換。這樣，圖6B所示的位置用作氣流線路的切換位置，在本說明書中，稱此時相對于吸嘴座51的吸嘴83的位置為“線路切換位置”，它相當(dāng)于本發(fā)明的“第3 位置”。進而，吸嘴83若從線路切換位置下降移動，移動至從元件供給部4吸附元件或向基板3載置元件的高度位置(上下軸方向的位置)，則如圖6C及圖6D所示，兩流通孔冊1、 FH2都與下側(cè)連通孔CHl完全相對置，下側(cè)連通孔CHl經(jīng)由流通孔Π11、FH2與氣壓導(dǎo)入通道831相連，從而可以供給氣壓。另一方面，上側(cè)連通孔CH2被吸嘴83的側(cè)面所堵塞，不進行使用上側(cè)連通孔CH2的氣壓供給。另外，稱如圖6C所示進行元件吸附時相對于吸嘴座51 的吸嘴83的位置為“元件吸附位置”，并稱如圖6D所示進行元件搭載時相對于吸嘴座51的吸嘴83的位置為“元件搭載位置”，它們相當(dāng)于本發(fā)明的“第1位置”。此外，由于元件吸附位置、元件搭載位置根據(jù)元件尺寸等而在上下軸方向(Z方向)上多少有所差異，本實施方式中，下側(cè)連通孔CHl采用在上下軸方向上延伸設(shè)置的長孔形狀。而且，其上下軸方向的長度可基于元件安裝裝置1能夠安裝的最大元件的尺寸等予以設(shè)定。此外，如上所述，由于在元件吸附位置、元件搭載位置上流通孔rai、ra2同時相對于下側(cè)連通孔CHl完全對置，較為理想的是，長孔形狀長于上下軸方向(Z方向)上流通孔rai、ra2的間隔。在此，雖以一個吸嘴83從上升端下降至元件吸附位置、元件搭載位置的情況為例進行了說明，從元件吸附位置、元件搭載位置上升至上升端的情況下，與相對于吸嘴座51 的吸嘴83的位置相應(yīng)地，連通孔CH1、CH2與連通孔rai、ra2的連接關(guān)系為與下降時相反的順序。此外第1實施方式中，由于8個吸嘴83分別相對于1個吸嘴座51 —一交互升降移動，吸嘴座51上設(shè)有8個連通孔CHl和8個連通孔CH2。在此，為了能夠經(jīng)由各連通孔 CHl、CH2向吸嘴側(cè)供給氣壓，如圖4A、4B所示，在吸嘴座51的外周面設(shè)有兩條圓環(huán)狀的槽 LT1、LT2。即，槽LTl設(shè)置于吸嘴座51的外周面而連接8個下側(cè)連通孔CHl，且在槽LTl的上方側(cè)，槽LT2設(shè)置于吸嘴座51的外周面而連接8個上側(cè)連通孔CH2。由于吸嘴座51嵌入筒狀部件52的貫通孔521中，形成夾在貫通孔521的內(nèi)周面與下側(cè)槽LTl之間的圓環(huán)狀空間，可通過該圓環(huán)狀空間向各下側(cè)連通孔CHl供給氣壓。關(guān)于這點，上側(cè)槽LT2也完全相同。即，可通過形成于貫通孔521的內(nèi)周面與上側(cè)槽LT2之間的圓環(huán)狀空間向各上側(cè)連通孔CH2供給氣壓。筒狀部件52上設(shè)有兩個氣壓供給孔SHl、SH2。上述氣壓供給孔SHl、SH2在吸嘴座51嵌入貫通孔521中時分別與圓環(huán)狀槽LT1、LT2相對置，并且在筒狀部件52嵌入臂部 61a的貫通孔61a中時分別與連接部CP1、CP2相連接地設(shè)置。上述兩個連接部中連接部CPl如圖5所示連接有氣壓供給部53，其中氣壓供給部 53包括產(chǎn)生負(fù)壓(P1-)的負(fù)壓源531、產(chǎn)生正壓(Pl+)的正壓源532以及切換閥533。該氣壓供給部53中負(fù)壓源531和正壓源532與切換閥533相連接，切換閥533可根據(jù)控制整個裝置的控制單元(省略圖示)發(fā)出的切換指令選擇性地向吸嘴側(cè)供給負(fù)壓(pi-)或正壓 (Pl+)。從而，如下所述進行元件搭載時切換閥533切換為供給正壓，除此以外的情況下切換閥533切換為供給負(fù)壓(另外，圖5中顯示的是負(fù)壓供給狀態(tài))。另一方面，連接部CP2 與具有產(chǎn)生負(fù)壓(P2-)的負(fù)壓源541的氣壓供給部M相連接，總是經(jīng)由氣壓供給孔SH2向上側(cè)連通孔CH2供給負(fù)壓(P2-)。下面，參照圖6A至6D對上述結(jié)構(gòu)的裝置1的氣壓切換動作與元件安裝動作(主要是吸嘴83的升降動作)相關(guān)聯(lián)地進行說明。圖1所示的元件安裝裝置1在控制單元的存儲部中存儲有服務(wù)器等外部控制裝置(省略圖示)所輸出的生產(chǎn)程序，控制單元從存儲部中讀出生產(chǎn)程序，基于該生產(chǎn)程序?qū)ρb置各部分進行驅(qū)動控制，如下地使吸嘴升降移動， 且與該升降移動相應(yīng)地進行氣壓的供給路徑即氣流線路的切換動作。另外，在此，為了方便理解與吸嘴83的升降移動相關(guān)聯(lián)的氣流線路的切換動作，對安裝頭8所安裝的8個吸嘴83 中被選中的吸嘴83的動作進行重點說明。頭部單元6向元件供給部4的上方移動，以使安裝頭8的吸嘴83位于被送出至元件供給部4的元件吸附位置的元件的正上方位置。另外，此時整個吸嘴83如圖6A所示被移動至上升端位置，連通孔CH2與流通孔 2相連通，從氣壓供給部M向氣壓導(dǎo)入通道831 供給指定的負(fù)壓(P2-)。另外，氣壓供給部53的切換閥533雖呈負(fù)壓供給狀態(tài)，執(zhí)行向連通孔CHI的負(fù)壓供給，并滿足大于氣壓供給部M的負(fù)壓(P1-)，即IPI-I > |P2-|，但由于連通孔CHl被吸嘴83的側(cè)面所堵塞，故氣壓供給部53不向氣壓導(dǎo)入通道831供給負(fù)壓。隨后，若吸嘴83為吸附保持元件而開始下降，下降至線路切換位置，則在維持連通孔CH2和流通孔 2的連通的狀態(tài)下，連通孔CHl與流通孔ΠΠ流通，從氣壓供給部53 和氣壓供給部M兩處向氣壓導(dǎo)入通道831供給負(fù)壓(圖6B)。但是，吸嘴83若從線路切換位置下降，則吸嘴下降的同時流通孔 2向下方移動，連通孔CH2被吸嘴側(cè)面所堵塞，停止由氣壓供給部M向氣壓導(dǎo)入通道831供給負(fù)壓。因此，僅由氣壓供給部53經(jīng)由流通孔 FHl向氣壓導(dǎo)入通道831供給負(fù)壓。此外，吸嘴83若進一步下降，移動至元件吸附位置，則如圖6C所示，相對于連通孔 CHl不僅流通孔冊1，流通孔FH2也與連通孔CHl相對置而連通。其結(jié)果，各流通孔ΠΠ、 2 的剖面面積的總合(有效剖面面積)增大，元件吸附時的負(fù)壓一舉供應(yīng)給吸嘴83的氣壓導(dǎo)入通道831，可以更加切實地用吸嘴前端部進行元件吸附。如上所述地完成元件吸附后，吸嘴83上升至原先的上升端位置。該上升移動的過程中，執(zhí)行與下降移動中的氣流線路切換相反的切換動作。從而，即便在上升移動中，也由氣壓供給部53及/或氣壓供給部M向氣壓導(dǎo)入通道831供給負(fù)壓，由此在吸嘴前端吸附保持元件的狀態(tài)下吸嘴83移動至上升端。在上升端位置上，維持由氣壓供給部M供給負(fù)壓而吸附保持元件的狀態(tài)，在上升端位置上待機直至其他吸嘴83完成元件吸附。接著，各吸嘴83完成元件吸附后，頭部單元6從元件供給部4的上方向基板3的元件搭載位置上方移動。此時，頭部單元6通過元件識別用攝像機7的上方，由元件識別用攝像機7對各吸嘴83所保持的元件從其下側(cè)予以拍攝，用以往眾所周知的方法進行元件識別。頭部單元6在元件搭載位置上的定位完成后，吸嘴83開始為搭載元件而下降。如此為向基板3搭載元件而下降的情況，也與為吸附元件而執(zhí)行下降動作時一樣，可伴隨吸嘴83的下降動作切換氣流線路，由于在該下降動作中由氣壓供給部53及/或氣壓供給部討向氣壓導(dǎo)入通道831供給負(fù)壓，在吸嘴前端吸附保持元件的狀態(tài)下吸嘴83下降至元件搭載位置。從而，可以切實防止該下降移動過程中元件從吸嘴83落下。如此，吸嘴83到達(dá)元件搭載位置后，氣壓供給部53就根據(jù)控制單元發(fā)出的動作指令將切換閥533切換到正壓供給側(cè)，經(jīng)由連通孔CH1、流通孔冊1、FH2向氣壓導(dǎo)入通道831 供給正壓，從吸嘴前端進行空氣噴射。由此，可使吸附保持于吸嘴83上的元件容易地脫離吸嘴前端，將元件搭載于所希望的元件搭載位置上。元件搭載完成之后，使吸嘴83上升移動，經(jīng)由線路切換位置移動至上升端位置。該上升移動就要開始之前或到達(dá)線路切換位置之前，切換閥533根據(jù)控制單元發(fā)出的動作指令返回負(fù)壓供給側(cè)，向氣壓導(dǎo)入通道831供給負(fù)壓。另外，雖然在本實施方式中，元件搭載后氣壓導(dǎo)入通道831回到負(fù)壓狀態(tài)，但也可使氣壓導(dǎo)入通道831釋放氣壓。另外，通過上述動作完成元件搭載后，為了向基板3搭載下一元件，重復(fù)執(zhí)行上述一系列的動作。如上所述，在第1實施方式中，一方面吸嘴83上設(shè)有兩個流通孔rai、ra2，另一方面保持吸嘴83的吸嘴座51上設(shè)有兩個連通孔CH1、CH2。通過吸嘴向元件吸附位置的下降及吸嘴向上升端的上升，切換連通孔CH1、CH2與流通孔rai、ra2的連通連接，調(diào)整經(jīng)由氣壓導(dǎo)入通道831供給吸嘴83前端的負(fù)壓。從而，可用與以往技術(shù)相比較簡單的結(jié)構(gòu)切換供給吸嘴83的氣壓。此外，在上述實施方式中，由于設(shè)有供給互不相同的負(fù)壓的氣壓供給部53、54，隨著吸嘴83的升降移動變化供給吸嘴83的負(fù)壓的大小，故可使元件不從吸嘴83落下地將該元件移動至基板側(cè)。而且，在第1實施方式中，由于分別將氣壓供給部53供給的負(fù)壓(P1-) 和氣壓供給部M供給的負(fù)壓(P2-)設(shè)定為適于元件吸附及適于元件搬送的值，可切實地執(zhí)行元件吸附，并切實地防止吸嘴83或頭部單元6的移動過程中元件從吸嘴前端脫落。此外，由于連通孔CHl構(gòu)成在上下軸方向(Z方向)上延伸的長孔形狀，通過連通孔CHl能夠供給負(fù)壓的范圍，即元件吸附位置及元件搭載位置的范圍在上下軸方向(Z方向)上很廣泛。因此，即便由于各種元件的高度尺寸等差異，吸附元件或搭載于基板3的高度位置在上下軸方向上變動，也可無任何障礙地用吸嘴83吸附保持元件。另外，在上述第1實施方式中，如圖4A、圖4B所示，各保持孔512在凹部511的相反側(cè)設(shè)置連通孔CHI、CH2，通過圓環(huán)狀槽LTl連通連通孔CH1，可經(jīng)由氣壓供給孔SHl向所有吸嘴83供給來自氣壓供給部53的氣壓(負(fù)壓或正壓)，且通過LT2連通連通孔CH2，可經(jīng)由氣壓供給孔SH2向所有吸嘴83供給來自氣壓供給部M的氣壓(負(fù)壓)。從而，即便像本實施方式那樣吸嘴83為多個，也可以通過只設(shè)置一個氣壓供給部53和一個氣壓供給部 54，以簡單的結(jié)構(gòu)向各吸嘴83供給與吸嘴位置相應(yīng)的氣壓。這樣，在第ι實施方式中，流通孔rai、ra2分別相當(dāng)于本發(fā)明的“第ι流通孔”、“第 2流通孔”，連通孔CH1、CH2分別相當(dāng)于本發(fā)明的“第1連通孔”、“第2連通孔”。此外，氣壓供給孔SH1、SH2分別相當(dāng)于本發(fā)明的“第1氣壓供給孔”、“第2氣壓供給孔”。此外，Z軸驅(qū)動機構(gòu)62和施力部件82作為本發(fā)明的“吸嘴移動機構(gòu)”發(fā)揮作用。此外，吸嘴座51相當(dāng)于本發(fā)明的“保持部”。此外，正壓(P1+)、負(fù)壓(P1-)及負(fù)壓(P2-)分別相當(dāng)于本發(fā)明的“第 1正壓”、“第1負(fù)壓”及“第2負(fù)壓”。此外，切換閥533相當(dāng)于本發(fā)明的“第1切換單元”。 另外，圓環(huán)狀槽LT1、LT2分別相當(dāng)于本發(fā)明的“第1環(huán)狀槽”及“第2環(huán)狀槽”。此外，本發(fā)明并不限定于上述實施方式，只要不脫離其主旨，能夠進行上述之外的各種變形。例如，雖然在上述第1實施方式中，第1流通孔rai及第1連通孔CHI分別設(shè)置在第2流通孔 2和第2連通孔CH2的下方，但并不限定于上述設(shè)置關(guān)系，例如也可如圖7A 至圖7C所示對換上下關(guān)系地設(shè)置(第2實施方式)。但是，該第2實施方式的元件吸附位置如圖7C所示，僅流通孔ΠΠ與連通孔CHl相對置，另一流通孔 2被保持孔512的內(nèi)周面所堵塞，與任一連通孔CHI、CH2都不連通。此外，圖7A至圖7C中雖然省略了圖示，但吸嘴83移動至元件搭載位置時，與移動到元件吸附位置時(圖7C) —樣。另外，關(guān)于這點，在以下說明的第3實施方式乃至第5實施方式中也是一樣。此外，雖然在上述第1實施方式及第2實施方式中，在吸嘴83上設(shè)有兩個流通孔 rai、ra2，但流通孔的個數(shù)并不限定于此，可以任意，例如也可如圖8A至圖8C所示僅由在上下軸方向(Z方向)上延伸的長孔形狀的流通孔ra構(gòu)成(第3實施方式)。在該第3實施方式中，與保持孔512的內(nèi)周面相對側(cè)的上下軸方向的流通孔ra的開口長度比連通孔CH1、 CH2之間的間隔距離更長，如圖8B所示，使吸嘴83移動到線路切換位置上時，流通孔ra跨越兩連通孔CHI、CH2而同時連通各連通孔CHI、CH2。其結(jié)果，即便吸嘴83在上升端位置、 元件吸附位置及元件搭載位置之間移動時，也可以總是向吸嘴83供給負(fù)壓，在吸嘴83的移動過程中也可使元件被吸嘴83吸附保持，切實地防止元件落下。此外，通過使流通孔ra的個數(shù)最小化可以降低制造成本。此外，雖然在上述實施方式中，第ι流通孔rai和第2流通孔 2在上下軸方向上排成一列，且第1連通孔CHl和第2連通孔CH2在上下軸方向上排成一列，但流通孔和連通孔的設(shè)置關(guān)系并不限定于此，也可使連通孔CH1、連通孔CH2的流通孔側(cè)開口(圖6A至圖 6D乃至圖8A至圖8C中的右側(cè)開口)位于伴隨吸嘴83的升降移動的流通孔ΠΠ、 2的連通孔側(cè)開口(圖6Α至圖6D乃至圖8Α至圖8C中的左側(cè)開口)的移動軌跡上。此外，雖然在第1實施方式乃至第3實施方式中，流通孔rai、FH2與連通孔CHI、 CH2設(shè)置在相對于吸嘴83的同一方向側(cè)(圖6A至圖6D乃至圖8A至圖8C中的左手側(cè))， 但也可例如圖9A至圖9C所示隔著吸嘴83地設(shè)置在相互相反側(cè)(第4實施方式)。此外， 在該第4實施方式中，流通孔rai、ra2在上下軸方向(Z方向)的大致同一位置上，且在圍繞上下軸方向的圓周方向上相互分離地設(shè)置。吸嘴83移動至元件吸附位置時，如圖9C所示僅流通孔ΠΠ僅與連通孔CHl連通，流通孔 2被保持孔512的內(nèi)周面所堵塞，與任何連通孔都不連通。在如此構(gòu)成的第4實施方式中，適于吸附元件及搭載元件的氣壓(負(fù)壓Pl-及正壓Pl+)從與流通孔rai的形成位置相對應(yīng)的方向(圖9A至圖9C中的右手側(cè))供給，另一方面適于搬送元件的氣壓(負(fù)壓P2-)從與流通孔 2的形成位置相對應(yīng)的方向(圖9A至圖9C中的左手側(cè))供給，這樣，氣壓的供給方向在圍繞上下軸方向的圓周方向上互不相同。 從而，可在吸嘴周圍錯開地設(shè)置用于向吸嘴座51供給氣壓的氣壓管道及氣壓供給源等，能提高布局的自由度。此外，如圖9A至圖9C所示，由于流通孔ΠΠ、FH2設(shè)置在上下軸方向的大致同一位置上，可以縮短上下軸方向(Z方向)上流通孔rai、ra2的間隔，實現(xiàn)上下軸方向上吸嘴座51的小型化。另外，與上述間隔的縮小相應(yīng)地，吸嘴83和吸嘴座51的嵌合范圍也縮小，容易提高嵌合精度，可以降低制造成本。 此外，雖然在上述第4實施方式中，流通孔rai、ra2設(shè)置在上下軸方向的大致同一位置上，但也可代替流通孔rai、ra2的上述設(shè)置，將連通孔CH1、CH2設(shè)置成第4實施方式所
17示的結(jié)構(gòu)(第5實施方式)。S卩，如圖IOA至圖IOC所示，連通孔CH1、CH2也可在圍繞上下軸方向的圓周方向上相互分離且孔中心位于上下軸方向的大致同一位置地設(shè)置于吸嘴座 51。此時，由于經(jīng)由連通孔CH1、CH2的氣壓供給方向分別在圍繞上下軸方向的圓周方向上不同，與上述第4實施方式同樣地，可在吸嘴周圍錯開地設(shè)置用于向吸嘴座51供給氣壓的氣壓管道及氣壓供給源等，能提高布局的自由度。此外正如已經(jīng)提及過的那樣，第1負(fù)壓和第2負(fù)壓的關(guān)系雖然任意，但在上述實施方式中為了重視對元件的切實吸附而滿足IPI-I > |P2-|的關(guān)系。即，考慮到如下技術(shù)背景在用吸嘴前端吸附元件后的吸嘴以相對低速移動的裝置中，移動吸嘴時所需要的吸附力無需像元件吸附開始時那樣大。另一方面，謀求裝置高速化的情況下，需要將吸嘴的最高移動速度設(shè)定得較高，吸嘴加減速時及停止的瞬間作用在吸嘴前端所吸附的元件上的慣性力增大。在這樣的裝置中，克服該慣性力的第2負(fù)壓|P2-|必須大于吸附時克服摩擦力等的第ι負(fù)壓IPI-U這樣的情況雖然在以往眾所周知的所有表面安裝裝置中都是共通的，但特別是對上述實施方式的安裝頭8，由于例如圖2所示8個吸嘴83圍繞吸嘴座51均勻設(shè)置， 即呈左輪手槍(revolver)狀搭載，吸嘴座51的半徑隨著搭載數(shù)量的增大而增長，安裝頭8 的轉(zhuǎn)動加減速度增大時，較為理想的是，滿足IPi-I < |P2-|的關(guān)系(第6實施方式)。此外，在上述實施方式中，具有多個吸嘴83，且用少于吸嘴數(shù)量的切換閥(上述實施方式中為單一的切換閥533)進行向各吸嘴83供給正壓或負(fù)壓的切換。此時，在移動吸嘴時所需的吸附力與元件吸附開始時的吸附力同等程度即可的情況下，也可采用具有單一負(fù)壓源的負(fù)壓發(fā)生裝置(例如參照稍后說明的圖19)向各吸嘴83供給負(fù)壓，即滿足IPI-I =IP2-I的關(guān)系(第7實施方式)。此時，與上述其它實施方式同樣，在元件吸附時及元件搬運時，向所有吸嘴83施以負(fù)壓，另一方面在基板上安裝元件時，可以如下方式進行負(fù)壓/ 正壓的切換。即，如為使用切換閥533將下降中的吸嘴83從負(fù)壓切換到正壓以實現(xiàn)安裝， 并向位于上升位置的吸嘴83施以負(fù)壓，則吸嘴本身可用作滑閥的一部分，在向位于上升位置的吸嘴83施以負(fù)壓的氣流線路，和在下降位置上與切換閥533相連通的氣流線路之間切換。此外，如為使用切換閥533將下降中的吸嘴83從負(fù)壓切換到正壓以實現(xiàn)安裝，并向位于上升位置的吸嘴83施以負(fù)壓，則在上升位置處導(dǎo)入負(fù)壓的氣流線路和在下降位置上與切換閥533相連通的氣流線路，也可采用將吸嘴本身用作滑閥的一部分的結(jié)構(gòu)。此外，雖然在上述實施方式中，氣壓供給部M僅由負(fù)壓源541構(gòu)成，但也可與氣壓供給部53同樣地還包含正壓源及切換閥，除負(fù)壓外還可選擇性地供給正壓(P2+)。在如此構(gòu)成的裝置中，可經(jīng)由第2連通孔CH2選擇性地向保持孔512供給負(fù)壓(P2-)或正壓(P2+)。 因此，例如吸嘴83在未吸附元件的狀態(tài)下被移動至上升端位置時，通過將付予吸嘴83的壓力從負(fù)壓(P2-)切換為正壓(P2+)，可用氣洗的方式對吸嘴83的氣壓導(dǎo)入通道831和吸嘴前端進行空氣凈化。此外，若考慮將正壓(Pl+)的氣壓供給用于使元件脫離的空氣噴射，則較為理想的是，使空氣噴射用的正壓(Pl+)的絕對值小于氣洗用的正壓(P2+)的絕對值。這是因為，在Z軸驅(qū)動機構(gòu)62的作用下使吸嘴83下降安裝元件時，使元件脫離吸嘴83時空氣噴射的正壓無需不必要地大。此外，還有可以降低正壓源532的正壓供給能力的效果。此外，雖然上述實施方式適用于圓環(huán)狀地設(shè)置有8個吸嘴83、即左輪手槍狀的安裝頭8中，但本發(fā)明的適用范圍并不限定于此，例如還可適用于用通過其它方式裝配有多個吸嘴83的安裝頭進行元件安裝的元件安裝裝置。此外，可將本發(fā)明適用于對各吸嘴83 分別切換并供給氣壓的元件安裝裝置。圖11是表示本發(fā)明所涉及的元件安裝裝置的第8實施方式的側(cè)視圖。在該第8實施方式中，與第ι實施方式同樣地，在基臺11上設(shè)有基板搬送機構(gòu)2 (參照圖1)，且在基板搬送機構(gòu)2的前方(+Y)側(cè)以及后方(-Y)側(cè)，設(shè)置著上述元件供給部4 (參照圖1)?；? 被基板搬送機構(gòu)2搬送至指定的安裝作業(yè)位置，用圖略的保持裝置固定后，頭部單元6在頭部移動機構(gòu)的作用下在基臺11的指定范圍內(nèi)向X軸方向及Y軸方向移動，與此同時在保持由吸嘴830在元件供給部4處吸附的電子元件的狀態(tài)下將其搬送至基板3，并移載至使用者指示的搭載位置。但是，在第8實施方式中，頭部單元6與第1實施方式不同，8個吸嘴83 在水平方向(X方向)上排成一列。下面，參照圖11乃至圖18對頭部單元6的結(jié)構(gòu)及動作進行說明。圖12是頭部單元的正視圖，表示摘除前方蓋體的狀態(tài)。此外，圖13是圖12所示的頭部單元的局部剖視圖。在該第8實施方式中，頭部單元6的支承框架61可相對于在X軸方向上延伸的安裝頭支承部件91而沿X軸移動地受到支承。在構(gòu)成該支承框架61的前方 (+Y)部的支承板61A的兩側(cè)部固定有側(cè)板64 (side plate)(另外，圖12中僅表示了(_X) 側(cè)的側(cè)板)。此外，支承板6IA的上方端部固定有頂板65，同時下方端部固定有相當(dāng)于本發(fā)明的“保持部”的托架66。該頭部單元6中，如圖11所示，8個安裝頭800在X軸方向上排成一列。上述安裝頭800均具有相同結(jié)構(gòu)，各安裝頭800中在上下軸方向(Z方向)上延伸設(shè)置的吸嘴軸810 因軸承單元820而轉(zhuǎn)動可能且沿上下軸方向滑動可能地受到支承。即，相對于支承板61A 的前方(+Y)面，8個軸承單元820在X軸方向上等間距地排成一列而被固定。各軸承單元 820中如圖13所示，吸嘴軸引導(dǎo)軸822繞上下軸轉(zhuǎn)動自如地設(shè)置在軸承單元主體821的內(nèi)部。此外，在該吸嘴軸引導(dǎo)軸822的中央部貫通上下軸方向地設(shè)有花鍵孔，相對于該花鍵孔，吸嘴軸810在上下軸方向上滑動可能地與之花鍵嵌合并穿插支承于其中。此外，各吸嘴軸引導(dǎo)軸822的下方端部延伸設(shè)置至軸承單元主體821的下端面的下方，而且從動齒輪(driven gear) 841安裝在該下方端部。這樣8個從動齒輪841在左右方向(X軸方向)上排成一列。通過將R軸電動機842的驅(qū)動力傳遞給各從動齒輪841而轉(zhuǎn)動吸嘴軸引導(dǎo)軸822，從而使吸嘴軸810繞R軸方向轉(zhuǎn)動。即，使安裝著吸嘴830的吸嘴軸 810繞R軸方向轉(zhuǎn)動的吸嘴轉(zhuǎn)動機構(gòu)其結(jié)構(gòu)如下。R軸電動機842由電動機固定件(motor stay) 843安裝在側(cè)板64上。此外，在該R軸電動機842的輸出軸的下方端部安裝有小齒輪(pinion)844，經(jīng)由兩端在左右方向(X軸方向)上滑動可能地支承在齒條導(dǎo)板(rack guide) 845上的齒條846對從動齒輪841進行轉(zhuǎn)動驅(qū)動。由此，可使進入元件安裝動作的安裝于安裝頭800的吸嘴軸810的下端的吸嘴830位于與各安裝位置所設(shè)定的元件安裝方向相一致的轉(zhuǎn)動角度。頂板65上，在8個吸嘴軸810的上方位置分別設(shè)有一個吸嘴移動機構(gòu)的驅(qū)動源 861。在本實施方式中，驅(qū)動源861使用線性電動機，各線性電動機861的輸出軸862的下方端部螺紋嵌合于聯(lián)軸節(jié)(coupling) 863，且聯(lián)軸節(jié)863經(jīng)由軸承864轉(zhuǎn)動可能地支承吸嘴軸810的上方端部。這樣，聯(lián)軸節(jié)863轉(zhuǎn)動可能地將吸嘴軸810連接于不能轉(zhuǎn)動但上下移動的線性電動機861的輸出軸862。另外，吸嘴驅(qū)動機構(gòu)的結(jié)構(gòu)并不限定于此，使輸出軸862不能轉(zhuǎn)動但上下移動的結(jié)構(gòu)，也可例如采用使用中空電動機、滾珠螺母及滾珠絲杠機構(gòu)的吸嘴驅(qū)動機構(gòu)。此外，托架66支承并列設(shè)置在左右方向(X軸方向)上的吸嘴軸810的下方端部， 使其轉(zhuǎn)動可能且上下滑動可能。下面，參照圖14乃至圖17對托架66的結(jié)構(gòu)進行詳細(xì)說明。圖14是表示托架結(jié)構(gòu)的局部剖視圖。此外，圖15是從圖14中的A-A線箭頭方向觀察的剖視圖，圖16是從圖15中的B-B線箭頭方向觀察的剖視圖，圖17是從圖15中的 C-C線箭頭方向觀察的剖視圖。托架66中，在左右方向(X軸方向)上空出一定間隔地直線狀地設(shè)有貫通上下軸方向(Z方向)的8個保持孔。吸嘴軸810的下方端部分別插入各保持孔中。更為具體地，吸嘴軸810的下方端部側(cè)面沿著保持孔的內(nèi)周面與之滑動接觸，并且在上下軸方向上吸嘴軸810轉(zhuǎn)動可能且上下移動自如地受到保持。此外，托架66的內(nèi)部如圖14及圖15所示，在上下軸方向(Z方向)的第1高度位置Pl上，相對于8個保持孔設(shè)有一個使保持孔向水平方向呈圓環(huán)狀擴展的第1連通室部 CHla。此外，在第1高度位置Pl的上方側(cè)即第2高度位置P2處，與第1連通室部CHla同樣地設(shè)有8個第2連通室部Cffia。如此相對于各保持孔設(shè)置兩種連通室部CHla、CH2a,分別在不同的高度位置PI、P2上與保持孔相連通。進而，在托架66的內(nèi)部，在第1高度位置Pl上設(shè)有與第1連通室部CHla相互連通的連通孔CHlb。該連通孔CHlb的(-X)側(cè)端部如圖16所示，延伸設(shè)置至托架66的(-X) 側(cè)端面。另一方面，在第2高度位置P2上也與上述同樣地設(shè)有連通孔CH2b。S卩，如圖17 所示，連通孔CH2b與第2連通室部Cffia相互連通，且其(-X)側(cè)端部延伸設(shè)置至托架66的 (-X)側(cè)端面。圖18是負(fù)壓發(fā)生裝置及切換閥相對于連通孔的連接狀態(tài)的示意圖。結(jié)構(gòu)如上的連通孔中連通孔CHlb的(-X)側(cè)端部與切換閥55相連接，切換閥55根據(jù)控制整個裝置的控制部(省略圖示)發(fā)出的切換指令切換氣流線路，與該切換相應(yīng)地與大氣或經(jīng)由負(fù)壓管道 561與負(fù)壓發(fā)生裝置57的第1負(fù)壓源571相連通。另外，在圖18中，連通孔CHlb的(-X) 側(cè)端部經(jīng)由切換閥55及負(fù)壓管道561與第1負(fù)壓源571相連，此時，第1負(fù)壓源571經(jīng)由第1連通室部CHla向保持孔供給負(fù)壓(P1-)。此外，替代向大氣開放，也可與第1實施方式同樣地，與正壓源相連接而供給正壓(Pl+)。此外，連通孔CH2b的(-X)側(cè)端部經(jīng)由負(fù)壓管道562與負(fù)壓發(fā)生裝置57的第2負(fù)壓源572相連通。因此，第2負(fù)壓源572經(jīng)由第2連通室部Cffia向保持孔供給負(fù)壓(P2-)。這樣，根據(jù)切換閥55的切換，總是向各保持孔供給兩種負(fù)壓(P1-)、(P2_)，或大氣及負(fù)壓(P2-)。8個吸嘴軸810的各下方端部分別插入上述保持孔中，沿著保持孔的內(nèi)周面與之滑動接觸，且轉(zhuǎn)動可能且在上下軸方向上移動可能地受到保持。此外，在各吸嘴軸810 的下方端部的前端安裝有吸嘴830。吸嘴830的內(nèi)部設(shè)有沿著吸嘴軸芯直達(dá)吸嘴前端部的貫通孔(省略圖示)，與該貫通孔相連通地，在各吸嘴軸810的下方端部設(shè)有直達(dá)吸嘴830 的氣壓導(dǎo)入通道811。這樣，吸嘴軸810和吸嘴830形成為一體，作為本發(fā)明的“吸嘴”發(fā)揮作用。各吸嘴軸810中，與第1實施方式的吸嘴83同樣地，兩個流通孔冊1、FH2從吸嘴 830的側(cè)面在水平方向上延伸設(shè)置至氣壓導(dǎo)入通道811，在上下軸方向上流通孔FHl位于流通孔的下方而成上下一列地設(shè)置。此外，流通孔rai、ra2的形成方式(大小和上下軸方向的間隔)與連通室部CHla、Cffia的形成方式(大小和上下軸方向的間隔)均與第1實施方式相同。從而，與第1實施方式同樣地，可以通過吸嘴向元件吸附位置的下降及吸嘴向上升端的上升，切換連通室部CHla、CH2a與流通孔Π11、FH2的連通連接，調(diào)整經(jīng)由吸嘴軸 810的氣壓導(dǎo)入通道811、吸嘴830的貫通孔而供給吸嘴83前端的負(fù)壓。從而，可用與以往技術(shù)相比較簡單的結(jié)構(gòu)切換供給吸嘴830的氣壓。此外，與第1實施方式同樣地，由于負(fù)壓發(fā)生裝置57中設(shè)有供給互不相同的負(fù)壓的負(fù)壓源571、572，隨著吸嘴(=吸嘴軸810+吸嘴830)的升降移動而變化供給吸嘴830的負(fù)壓的大小，故可使元件不從吸嘴830落下地將該元件移動至基板側(cè)。而且，由于分別將負(fù)壓源571供給的負(fù)壓(P1-)和負(fù)壓源572供給的負(fù)壓(P2-)設(shè)定為適于元件吸附及適于元件搬送的值，可切實執(zhí)行元件吸附，且切實地防止吸嘴(=吸嘴軸810+吸嘴830)的上下移動或轉(zhuǎn)動、或頭部單元6的移動過程中元件從吸嘴頂端脫落。此外，由于連通室部CHla構(gòu)成在上下軸方向(Z方向)上延伸的形狀，通過連通室部CHla供給負(fù)壓的可能范圍，即元件吸附位置及元件搭載位置的范圍在上下軸方向(Z方向)上很廣泛。因此，即便由于各種元件的高度尺寸等差異，吸附元件或搭載于基板3的高度位置在上下軸方向上變動，也可無任何障礙地用吸嘴830吸附保持元件。此外，連通室部CHla、Cffia包圍保持孔，且連通孔CHlb、CH2b經(jīng)由連通室部CHla、 CH2a與保持孔相連通。因此，無論吸嘴(=吸嘴軸810+吸嘴830)轉(zhuǎn)動至何角度，連通孔 CHlbXH2b總能經(jīng)由連通室部CHla、OEa與保持孔相連通，可獲得上述作用效果。另外，在吸嘴(=吸嘴軸810+吸嘴830)不轉(zhuǎn)動的裝置中，也可以省略連通室部CHla、CH2a而使連通孔CHlb、CH2b與保持孔相連通。另外，在該第8實施方式中，與第1實施方式同樣地，即使具有多個安裝頭800，也可以通過小于安裝頭800的數(shù)量地分別只設(shè)置一個切換閥55和一個負(fù)壓發(fā)生裝置57，以簡單的結(jié)構(gòu)向各吸嘴830供給與吸嘴位置相對應(yīng)的氣壓。另外，雖然在上述第8實施方式中，第1流通孔rai和第1連通室部CHla分別設(shè)置在第2流通孔 2和第2連通室部Cffia的下方，但并不限定于上述設(shè)置關(guān)系，也可采用與第2實施方式(圖7A至圖7C)乃至第5實施方式(圖IOA至圖10C)中說明的同樣的設(shè)
置關(guān)系。此外，在第8實施方式中，也如已經(jīng)提及過的那樣，第1負(fù)壓和第2負(fù)壓的關(guān)系雖然任意，但可與第ι實施方式同樣地，重視對元件的切實吸附而滿足IPI-I > P2-|的關(guān)系，或重視吸嘴移動速度、急劇加速、停止而滿足IPI-I < |P2-|的關(guān)系。此外，在第8實施方式中，由于在具有多個吸嘴830的同時，由小于吸嘴數(shù)量的一個切換閥陽進行對各吸嘴830的正壓或負(fù)壓的供給切換，也可例如圖19所示，在負(fù)壓發(fā)生裝置57中設(shè)置共同的負(fù)壓源573，該負(fù)壓源573經(jīng)由負(fù)壓管道561及切換閥55與連通孔 CHlb相連接，且經(jīng)由負(fù)壓管道562與連通孔CH2b相連接(第9實施方式)。通過采用這樣的結(jié)構(gòu)，滿足IPi-I = |P2-|的關(guān)系。此時，可在元件吸附時及元件搬運時，向所有吸嘴830 施以負(fù)壓，另一方面在基板上安裝元件時，以如下方式進行負(fù)壓/正壓的切換。即，如為使用切換閥陽將下降中的吸嘴830從負(fù)壓切換到正壓以實現(xiàn)安裝，并向位于上升位置的吸嘴 830施以負(fù)壓，則吸嘴本身用作滑閥的一部分，在引導(dǎo)上升位置的負(fù)壓的氣流線路(負(fù)壓源 573-負(fù)壓管道562-連通孔CH2b-連通室部CH2a)和下降位置上包含切換閥55的氣流線路(負(fù)壓源573-負(fù)壓管道561-切換閥55-連通孔CHlb-連通室部CHla)之間切換。此外，本發(fā)明可適用于對各吸嘴(在吸嘴軸810的下方端部安裝吸嘴830的部分) 分別切換并供給氣壓的元件安裝裝置。如上所述，在上述第1實施方式乃至第7實施方式中，用小于吸嘴83數(shù)量的切換閥533進行供應(yīng)給各吸嘴83的負(fù)壓/正壓切換，另一方面通過設(shè)置跨上述吸嘴83的連通孔CH1、CH2，形成互異的氣流線路，通過各吸嘴83的上下移動來切換氣流線路，調(diào)整供給吸嘴83的負(fù)壓。此外，在上述第8實施方式及第9實施方式中，也用小于多個吸嘴(在吸嘴軸810的下方端部安裝吸嘴830的部分)數(shù)量的切換閥55進行供應(yīng)給各吸嘴830的負(fù)壓 /正壓切換，另一方面通過設(shè)置上述吸嘴810的連通孔CHlb、Cffib，形成互異的氣流線路，通過各吸嘴的上下移動切換氣流線路，調(diào)整供給吸嘴830的負(fù)壓。這樣，吸嘴83、830所要求的負(fù)壓與吸嘴位置相對應(yīng)，可利用吸嘴的上下移動切換負(fù)壓。從而，具有用于切換負(fù)壓的結(jié)構(gòu)簡單、不易發(fā)生故障、成本低廉的優(yōu)點。在此，若著眼于利用吸嘴的上下移動進行負(fù)壓切換的技術(shù)特點，也可以如下方式構(gòu)成元件安裝裝置。即，在專利文獻1所述的裝置中，如前述說明，通過相對于吸嘴設(shè)置負(fù)壓側(cè)滑閥和正壓側(cè)滑閥，控制對吸嘴的正壓/負(fù)壓供給。從而，為了對吸嘴所要求的負(fù)壓進行更為細(xì)致的控制，必須進一步追加與上述負(fù)壓側(cè)滑閥不同的另一負(fù)壓側(cè)滑閥，在使裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜化的同時，也無法避免裝置的大型化。對此類問題，雖然能通過上述實施方式加以解決，但也可進一步采用如下結(jié)構(gòu)。下面，參照圖20及圖21對另一實施方式進行說明。圖20及圖21是表示元件安裝裝置的另一實施方式的模式圖。該實施方式所涉及的元件安裝裝置，多個吸嘴830在水平方向(X方向)上排成一列，除安裝頭800的具體結(jié)構(gòu)及負(fù)壓切換機構(gòu)不同這點外，基本與第8實施方式(圖11)相同。從而，下面參照著圖20 及圖21以不同點為中心進行說明，另一方面對相同結(jié)構(gòu)付予相同的符號省略說明。在該實施方式中，3個安裝頭800在X軸方向上排成一列。上述安裝頭800均具有相同結(jié)構(gòu)，各安裝頭800中在上下軸方向(Z方向)上延伸設(shè)置的吸嘴軸810的上方端部因軸承單元820而轉(zhuǎn)動可能且沿上下軸方向移動可能地受到支承，并且該吸嘴軸810的下方端部因托架66而轉(zhuǎn)動可能且沿上下軸方向移動可能地受到支承。R軸電動機842及線性電動機861根據(jù)對裝置各部分進行控制的驅(qū)動控制部900發(fā)出的指令而運轉(zhuǎn)，使吸嘴軸810 在R軸方向上轉(zhuǎn)動并在上下軸方向(Z方向)上移動。另外，為了方便發(fā)明的理解，圖20中僅抽出托架66、吸嘴軸810及吸嘴830的剖面進行圖示。此外，雖然在該實施方式中，用一個托架66支承三個吸嘴軸810，但吸嘴的數(shù)量并不限定于“三”，也可準(zhǔn)備與吸嘴軸810的數(shù)量相同的托架，各托架支承一個吸嘴軸810。在各吸嘴軸810的下方端部與第8實施方式同樣地設(shè)有直達(dá)吸嘴830的氣壓導(dǎo)入通道811，且使吸嘴830的貫通孔與該氣壓導(dǎo)入通道811相連通地將吸嘴830安裝于吸嘴軸810的下方端部。這樣，吸嘴軸810和吸嘴830形成為一體，作為本發(fā)明的“吸嘴”發(fā)揮作用。此外，各吸嘴軸810中，一個流通孔ra從其側(cè)面在水平方向上延伸設(shè)置至氣壓導(dǎo)入通道811。該托架66中，在左右方向(X軸方向)上空出一定間隔地直線狀地設(shè)有貫通上下軸方向(Z方向)的3個保持孔。吸嘴軸810的下方端部一一插入各保持孔中。更為具體地，吸嘴軸810的下方端部側(cè)面沿著保持孔的內(nèi)周面與之滑動接觸，且在上下軸方向上吸嘴軸810轉(zhuǎn)動可能且上下移動自如地受到保持。在該托架66的內(nèi)部，相對于3個保持孔一一設(shè)有使保持孔向水平方向呈圓環(huán)狀擴展的連通室部CHla。連通孔CHlb獨立分離地自各連通室部CHla延伸設(shè)置至托架66的側(cè)面。上述連通室部CHla均較設(shè)于吸嘴軸810的流通孔ΠΙ在上下軸方向上更長，在該長度范圍內(nèi)即便吸嘴在上下軸方向(Z方向)上升降移動，流通孔ΠΙ也與連通室部CHla相連通， 經(jīng)由連通室部CHla及流通孔ΠΙ如下說明地可向氣壓導(dǎo)入通道811供給正壓及負(fù)壓。托架66的前表面上為各安裝頭800在左右方向上安裝有壓力切換/調(diào)整部58， 各連通孔CHlb分別經(jīng)由各壓力切換/調(diào)整部58與真空源59相連。該壓力切換/調(diào)整部 58如圖21所示，具有電動氣動真空調(diào)節(jié)器(electropneumatic vacuum regulator) 581、切換閥582及正壓源583。該電動氣動真空調(diào)節(jié)器581具有將由真空源59傳送出的真空壓力調(diào)整為所希望的負(fù)壓的壓力調(diào)整功能。此外，切換閥582具有基于驅(qū)動控制部900發(fā)出的動作指令，向正壓側(cè)及負(fù)壓側(cè)切換氣流線路的功能。因此，切換閥582若切換到將正壓源 583與連通孔CHlb相連的正壓側(cè)氣流線路，則向與該正壓側(cè)氣流線路相連的吸嘴830供給正壓。另一方面，如圖21所示，切換閥582若切換到負(fù)壓側(cè)，則真空源59經(jīng)由該電動氣動真空調(diào)節(jié)器581及切換閥582與連通孔CHlb相連，向與該負(fù)壓側(cè)氣流線路(真空源59-電動氣動真空調(diào)節(jié)器581-切換閥582-連通孔CHlb)相連的吸嘴830供給負(fù)壓。而且，如此向吸嘴830供給負(fù)壓時，電動氣動真空調(diào)節(jié)器581基于驅(qū)動控制部900發(fā)出的控制信號如稍后說明地進行負(fù)壓的兩段調(diào)整。此外，在該實施方式中，各安裝頭800中設(shè)有吸嘴上下位置傳感器901，檢測出吸嘴(=吸嘴軸810+吸嘴830)上下軸方向的高度位置，將該位置信息輸出給驅(qū)動控制部 900。另一方面，驅(qū)動控制部900根據(jù)存儲于存儲器902中的安裝程序?qū)ρb置各部分進行控制，使它們以下述方式運作。存儲器902中存儲有與安裝位置相對應(yīng)的電子元件數(shù)據(jù)、電子元件高度數(shù)據(jù)等各種數(shù)據(jù)，驅(qū)動控制部900基于這些數(shù)據(jù)在吸嘴上下位置傳感器901所檢測出的指定的吸嘴上下位置(電子元件的底接觸基板的上下位置)上切換合適的切換閥582，進行正壓/負(fù)壓的切換。進而，驅(qū)動控制部900根據(jù)各安裝頭800的吸嘴(=吸嘴軸810+吸嘴830)的升降動作付予電動氣動真空調(diào)節(jié)器581控制信號，在負(fù)壓PA、PB之間切換。另外，上述兩種負(fù)壓中負(fù)壓PA是從吸嘴為吸附元件而下降的途中或到達(dá)下降端后的時刻開始到吸附后在吸附著元件的吸嘴的上升途中的時刻為止的真空壓。此外，另一負(fù)壓PB是指頭部單元6(參照圖11)，從元件供給部4 (參照圖1)的上方向基板3的上方位置的移動過程及在基板3的上方位置上向該安裝頭800的元件安裝位置上方移動的過程中，從到達(dá)吸附元件后的吸嘴的上升端之前開始直到吸附著元件的吸嘴為開始安裝而下降的途中或到達(dá)下降端為止的真空壓。另外，負(fù)壓，除必須為負(fù)壓PA、負(fù)壓PB的上述時段以外，可為負(fù)壓PA或負(fù)壓PB中的任意之一。如上所述，根據(jù)本實施方式，可用一個電動氣動真空調(diào)節(jié)器581切換吸嘴830在吸附元件時的負(fù)壓PA和頭部單元6在搬運元件的過程中的負(fù)壓PB。從而，與為專利文獻1所述的裝置附加負(fù)壓切換功能的情況相比，可以較少的結(jié)構(gòu)要素進行負(fù)壓切換，抑制裝置的大型化。此外，上述作用效果是利用吸嘴的上下移動進行負(fù)壓切換的第1實施方式乃至第
239實施方式也可達(dá)成的。另外，向吸嘴830供給負(fù)壓時，驅(qū)動控制部900也可對電動氣動真空調(diào)節(jié)器581進行控制，使得可按不同電子元件細(xì)致地調(diào)整負(fù)壓。即，分別根據(jù)元件種類向吸嘴作用不同的負(fù)壓，對慣性力較大的大型元件施以較大的負(fù)壓，對慣性力較小的小型元件施以相對較小的負(fù)壓，或?qū)π枰^大吸附力的元件施以較大的負(fù)壓，對較小的吸附力即可的元件施以較小的負(fù)壓。另外，雖然在上述實施方式中，對包括多個安裝頭800的元件安裝裝置，應(yīng)用根據(jù)吸嘴的上下動作控制電動氣動真空調(diào)節(jié)器581進行負(fù)壓切換的發(fā)明，但本發(fā)明的適用對象并不限定于此，也可應(yīng)用于由單一安裝頭構(gòu)成的元件安裝裝置中。另外，雖然在上述實施方式中，將正壓源、負(fù)壓源設(shè)置在裝置內(nèi)部，但也可利用設(shè)置在其它裝置中的正壓源、負(fù)壓源或裝置所設(shè)置的工廠的設(shè)備(utility)供給的正壓、負(fù)壓。此外，代替正壓源也可采用釋放氣壓的結(jié)構(gòu)。
權(quán)利要求
1.一種元件安裝裝置，將元件安裝到基板上，其特征在于包括 沿上下軸方向設(shè)置、用其頂端吸附元件的吸嘴；具有嵌合并保持所述吸嘴的保持孔、一邊使所述吸嘴的側(cè)面沿著所述保持孔的內(nèi)周面滑動接觸一邊在所述上下軸方向上移動自如地保持所述吸嘴的保持部；以及相對于所述保持部向所述上下軸方向移動所述吸嘴的吸嘴移動機構(gòu)，其中， 所述吸嘴，具有在所述吸嘴的內(nèi)部延伸設(shè)置至所述吸嘴的前端的氣壓導(dǎo)入通道和從所述吸嘴的側(cè)面延伸設(shè)置至所述氣壓導(dǎo)入通道的至少一個流通孔，所述保持部，具有與所述保持孔相連通、可向所述保持孔供給第1氣壓的第1連通孔， 和與所述保持孔相連通、可向所述保持孔供給第2氣壓的第2連通孔，所述吸嘴移動機構(gòu)，通過所述吸嘴向所述流通孔僅與所述第1連通孔相連通的第1位置的下降以及所述吸嘴向所述流通孔僅與所述第2連通孔相連通的第2位置的上升，來調(diào)整經(jīng)由所述氣壓導(dǎo)入通道供給所述吸嘴的前端的氣壓。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的元件安裝裝置，其特征在于 所述第1連通孔呈向上下軸方向延伸的長孔形狀。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的元件安裝裝置，其特征在于 所述吸嘴設(shè)有作為所述流通孔的第1流通孔和第2流通孔，所述吸嘴被移動至所述第1位置時，所述第1流通孔和所述第2流通孔中的至少其中一方僅與所述第1連通孔相連通，同時所述第2連通孔被所述吸嘴的側(cè)面所堵塞與任何流通孔都不連通，所述吸嘴位于所述第2位置時，所述第1流通孔和所述第2流通孔中的僅其中一方的流通孔僅與所述第2連通孔相連通，并且另一流通孔被所述保持孔的內(nèi)周面所堵塞與任何連通孔都不連通，所述吸嘴位于所述第1位置和所述第2位置之間的第3位置時，所述第1流通孔和所述第2流通孔中的其中一方的流通孔僅與所述第1連通孔相連通，并且另一流通孔僅與所述第2連通孔相連通。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的元件安裝裝置，其特征在于 所述吸嘴被移動至所述第1位置時，所述第1流通孔及所述第2流通孔都僅與所述第 1連通孔相連通。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的元件安裝裝置，其特征在于所述第1流通孔和所述第2流通孔在所述上下軸方向的同一位置上、在圍繞所述上下軸方向的圓周方向上相互分離而設(shè)置，所述吸嘴被移動至所述第1位置時，僅所述第1流通孔與所述第1連通孔相連通，所述第2流通孔被所述保持孔的內(nèi)周面所堵塞與任何連通孔都不連通。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的元件安裝裝置，其特征在于所述第1連通孔和所述第2連通孔在圍繞所述上下軸方向的圓周方向上相互分離且孔中心位于所述上下軸方向的同一位置而設(shè)置于所述保持部中，所述吸嘴被移動至所述第1位置時，僅所述第1流通孔與所述第1連通孔相連通，所述第2流通孔被所述保持孔的內(nèi)周面所堵塞，與任何連通孔都不連通。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的元件安裝裝置，其特征在于所述吸嘴中設(shè)置的所述流通孔為一個，所述吸嘴位于所述第1位置和所述第2位置之間的第3位置時，所述流通孔跨所述第 1連通孔和所述第2連通孔同時與各連通孔相連通。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的元件安裝裝置，其特征在于還包括第1切換單元，其中， 所述第1切換單元與所述第1連通孔相連，通過所述第1連通孔選擇性地向所述保持孔供給作為所述第1氣壓的第1負(fù)壓或第1正壓。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的元件安裝裝置，其特征在于還包括第2切換單元，其中，所述第2切換單元與所述第2連通孔相連，通過所述第2連通孔選擇性地向所述保持孔供給作為所述第2氣壓的第2負(fù)壓或第2正壓，所述第1正壓的絕對值小于所述第2正壓的絕對值。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的元件安裝裝置，其特征在于 所述吸嘴為多個，所述保持部具有圍繞所述上下軸方向相互分離地設(shè)置的多個保持孔， 所述多個吸嘴被分別嵌合于各保持孔中，各吸嘴的側(cè)面沿著所述保持孔的內(nèi)周面滑動接觸地由所述保持部在所述上下軸方向上移動自如地加以保持，所述吸嘴移動機構(gòu)選擇性地使所述多個吸嘴向所述上下軸方向移動。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的元件安裝裝置，其特征在于還包括將所述保持部嵌合于在所述上下軸方向上貫通的貫通孔中而對所述保持部進行支承的筒狀部件，其中，各保持孔分別與所述第1連通孔和所述第2連通孔相連通，所述筒狀部件具有可向所述多個第1連通孔供給所述第1氣壓的第1氣壓供給孔，和可與所述多個第2連通孔相連通、可向所述多個第2連通孔供給所述第2氣壓的第2氣壓供給孔，所述貫通孔的內(nèi)周面和所述保持部的外周面中的至少一方設(shè)有連通所述多個第1連通孔和所述第1氣壓供給孔的第1環(huán)狀槽，所述貫通孔的內(nèi)周面和所述保持部的外周面中的至少一方設(shè)有連通所述多個第2連通孔和所述第2氣壓供給孔的第2環(huán)狀槽。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的元件安裝裝置，其特征在于 所述吸嘴為多個，所述保持部具有在與所述上下軸方向相垂直的水平方向上相互分離地排列的多個所述保持孔，所述多個吸嘴被分別嵌合于各保持孔中，各吸嘴的側(cè)面沿著所述保持孔的內(nèi)周面滑動接觸地由所述保持部在所述上下軸方向上移動自如地加以保持，所述吸嘴移動機構(gòu)選擇性地使所述多個吸嘴向所述上下軸方向移動。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的元件安裝裝置，其特征在于所述第1連通孔使所述多個保持孔相互連通地形成于所述保持部中， 所述第2連通孔與所述第1連通孔分離，使所述多個保持孔相互連通地形成于所述保持部中。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的元件安裝裝置，其特征在于所述保持部具有在所述上下軸方向的第1高度位置上分別與所述多個保持孔一一連通地設(shè)置的多個第1連通室部，和在與所述第1高度位置相異的所述上下軸方向的第2高度位置上分別與所述多個保持孔一一連通地設(shè)置的多個第2連通室部，所述第1連通孔經(jīng)由所述多個第1連通室部使所述多個保持孔相互連通， 所述第2連通孔經(jīng)由所述多個第2連通室部使所述多個保持孔相互連通。
15.根據(jù)權(quán)利要求1至14中任一項所述的元件安裝裝置，其特征在于 所述第1、第2氣壓均為負(fù)壓，所述第1負(fù)壓的絕對值大于所述第2負(fù)壓的絕對值。
16.根據(jù)權(quán)利要求1至14中任一項所述的元件安裝裝置，其特征在于 所述第1、第2氣壓均為負(fù)壓，所述第1負(fù)壓的絕對值小于所述第2負(fù)壓的絕對值。
17.根據(jù)權(quán)利要求1至14所述的元件安裝裝置，其特征在于 所述第1、第2氣壓均為負(fù)壓，所述第1負(fù)壓的絕對值等于所述第2負(fù)壓的絕對值。
全文摘要
本發(fā)明提供一種元件安裝裝置，其吸嘴座(51)嵌入筒狀部件(52)的貫通孔中由筒狀部件(52)予以支承。此外，吸嘴(83)相對于吸嘴座(51)中設(shè)置的保持孔在上下軸方向(Z方向)上移動自如地受到保持。該吸嘴(83)中設(shè)有兩個流通孔(FH1、FH2)，另一方面吸嘴座(51)中設(shè)有兩個連通孔(CH1、CH2)。通過吸嘴向元件吸附位置的下降及吸嘴向上升端的上升，切換連通孔與流通孔的連通連接，調(diào)整經(jīng)由氣壓導(dǎo)入通道(831)供給吸嘴(83)前端的氣壓。
文檔編號H05K13/04GK102404984SQ20111027360
公開日2012年4月4日 申請日期2011年9月9日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月10日
發(fā)明者稻垣重義 申請人:雅馬哈發(fā)動機株式會社