專利名稱：基板搬運(yùn)處理系統(tǒng)及基板搬運(yùn)處理方法、以及部件安裝裝置及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及相對(duì)于對(duì)基板進(jìn)行規(guī)定的作業(yè)處理的多個(gè)作業(yè)裝置進(jìn)行基板的搬運(yùn)的基板搬運(yùn)處理系統(tǒng)及方法，例如涉及在其端部(緣部)具有部件安裝區(qū)域的基板、特別是以液晶面板、等離子顯示面板及有機(jī)EL面板等為代表的顯示面板的部件安裝區(qū)域安裝部件的部件安裝裝置及方法。
背景技術(shù)：
目前，通過(guò)在液晶顯示器(LCD)面板及等離子顯示面板(PDP)等基板(下面稱為“面板基板”)上安裝電子部件、機(jī)械部件、光學(xué)部件等部件、撓性印刷配線基板(FPC基板)等基板、或者 COG (Chip On Glass)、IC 芯片、C0F(Chip On Film)、TCP (Tape Carrier Package)等半導(dǎo)體封裝部件等，來(lái)進(jìn)行顯示器裝置的制作。相對(duì)于這種面板基板(例如，液晶顯示器基板)1的現(xiàn)有的部件安裝線的構(gòu)成如圖 14所示。如圖14所示，部件安裝線500具備ACF貼附裝置510，其進(jìn)行對(duì)形成于面板基板 1的兩邊的緣部(端部)的各端子部(部件安裝區(qū)域)2貼附各向異性導(dǎo)電膜(ACF)片3的 ACF貼附工序；部件預(yù)壓接裝置520，其進(jìn)行在各端子部2中經(jīng)由ACF片對(duì)準(zhǔn)并預(yù)壓接TCP 等部件4的部件預(yù)壓接工序；長(zhǎng)邊側(cè)實(shí)壓接裝置530，其進(jìn)行對(duì)預(yù)壓接在長(zhǎng)邊側(cè)的端子部2 上的部件4加壓同時(shí)加熱，并經(jīng)由ACF片3實(shí)壓接接合的長(zhǎng)邊側(cè)實(shí)壓接工序；短邊側(cè)實(shí)壓接裝置M0，其進(jìn)行對(duì)預(yù)壓接在短邊側(cè)的端子部2上的部件4實(shí)壓接接合的短邊側(cè)實(shí)壓接工序；及基板搬運(yùn)裝置陽(yáng)0，其從其下面?zhèn)韧ㄟ^(guò)搬運(yùn)臂551保持面板基板1，并在各裝置中可作業(yè)地依次搬運(yùn)。在這種構(gòu)成的現(xiàn)有的部件安裝線500中，通過(guò)基板搬運(yùn)裝置550沿面板基板搬運(yùn)方向D依次搬運(yùn)面板基板1，且同時(shí)在各裝置中實(shí)施規(guī)定的工序，由此進(jìn)行部件4相對(duì)于面板基板1的各端子部2的安裝(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。更具體而言，在進(jìn)行各工序的各自的裝置中，具備載置面板基板1并保持其載置位置的面板臺(tái)512、522、532542。另外，通過(guò)基板搬運(yùn)裝置550具有的各搬運(yùn)臂551進(jìn)行鄰接的面板臺(tái)間的面板基板1的交接。另外，在部件安裝線500中，各裝置510、520、530及 540按照該順序排成一列，形成依次搬運(yùn)面板基板1的一條持續(xù)的搬運(yùn)線。在部件安裝線 500中，在沿該搬運(yùn)線的一端部側(cè)El配置有在各裝置510等中對(duì)面板基板1進(jìn)行規(guī)定的作業(yè)處理(例如ACF貼附工序等)的頭等裝置構(gòu)成構(gòu)件，在另一端部側(cè)E2配置有基板搬運(yùn)裝置 550。接著，其它的現(xiàn)有的部件安裝線600的構(gòu)成如圖15所示。如圖15所示，部件安裝線600具備ACF貼附裝置610、部件預(yù)壓接裝置620、長(zhǎng)邊側(cè)實(shí)壓接裝置630及短邊側(cè)實(shí)壓接裝置640，在形成有對(duì)面板基板1依次進(jìn)行規(guī)定的作業(yè)處理的搬運(yùn)線的構(gòu)成中，具有與圖 14所示的部件安裝線500相同的構(gòu)成，但基板搬運(yùn)裝置的構(gòu)成不同。具體而言，在各裝置 610,620,630及640具備的面板臺(tái)612、622、632及642之間，具備將面板從一方的面板臺(tái)滑動(dòng)搬運(yùn)至另一方的面板臺(tái)的滑動(dòng)搬運(yùn)裝置650。各滑動(dòng)搬運(yùn)裝置650將從一方的面板臺(tái)收取的面板基板1保持在其兩端且同時(shí)進(jìn)行搬運(yùn)，并將面板基板1搬運(yùn)至另一方的面板臺(tái)。專利文獻(xiàn)1 特開(kāi)2001-228452號(hào)公報(bào)近年來(lái)，顯示器的大型化較為顯著，并趨于對(duì)30英寸以上的尺寸、例如40英寸、50 英寸級(jí)或者60英寸級(jí)的顯示器進(jìn)行處理。因此，在這種部件安裝線中，需要應(yīng)對(duì)相對(duì)于大型化的面板 基板的部件安裝。在圖14的部件安裝線500中，在產(chǎn)生了面板基板1的搬運(yùn)錯(cuò)誤或搬運(yùn)故障等情況下，操作人員會(huì)從端部E2側(cè)進(jìn)入，通過(guò)手工作業(yè)拆除面板基板1，并進(jìn)行確定問(wèn)題部位等作業(yè)。但是，由于在端部E2配置有基板搬運(yùn)裝置550，因此，不能說(shuō)在手工作業(yè)中拆除面板基板1時(shí)的作業(yè)性良好。另外，由于面板基板1是大型的，因此，這種作業(yè)性會(huì)進(jìn)一步降低。另外，在圖15的部件安裝線600中，由于在各裝置610、620、630及640之間設(shè)置有滑動(dòng)搬運(yùn)裝置650，因此，部件安裝線600的總長(zhǎng)度大型化。特別是在處理大型的面板基板1的情況下，滑動(dòng)搬運(yùn)裝置650自身的尺寸也大型化，從而搬運(yùn)面板基板1的搬運(yùn)方向的部件安裝線600的大型化變得更加顯著。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于解決上述問(wèn)題，提供一種基板搬運(yùn)處理系統(tǒng)及基板搬運(yùn)處理方法、以及使用這種基板搬運(yùn)的部件安裝裝置及方法，其在相對(duì)于對(duì)基板進(jìn)行規(guī)定的作業(yè)處理的多個(gè)作業(yè)裝置進(jìn)行基板的搬運(yùn)的基板搬運(yùn)中，即使在處理大型化的基板的情況下，也能夠提高維修等中操作人員的作業(yè)性，并且能夠使裝置的總長(zhǎng)度小型化。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明如下構(gòu)成。根據(jù)本發(fā)明第一方面，提供一種基板搬運(yùn)處理系統(tǒng)，具備第一及第二作業(yè)裝置，其彼此鄰接配置，且具備能夠解除地吸附保持基板的下表面的基板臺(tái)和對(duì)保持于基板臺(tái)的基板進(jìn)行處理的作業(yè)處理單元；基板移載裝置，其具有臂部；支承軸，其固定于臂部的一端，且在水平面內(nèi)將臂部支承為能夠回旋，并且配置在第一作業(yè)裝置和第二作業(yè)裝置之間；保持單元，其支承于臂部的另一端，能夠解除地吸附保持基板的上表面；旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置，其以支承軸為旋轉(zhuǎn)中心使臂部回旋，從而使保持單元回旋移動(dòng)；姿勢(shì)保持機(jī)構(gòu)，其使回旋移動(dòng)的保持單元在水平方向上保持為一定姿勢(shì)，基板移載裝置的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置在第一作業(yè)裝置的基板臺(tái)上的位置即第一移載位置和第二作業(yè)裝置的基板臺(tái)上的位置即第二移載位置之間進(jìn)行保持單元的回旋移動(dòng)，并從第一作業(yè)裝置的基板臺(tái)向第二作業(yè)裝置的基板臺(tái)在水平方向上保持為一定姿勢(shì)且同時(shí)搬運(yùn)基板。根據(jù)本發(fā)明第二方面，提供第一方面所述的基板搬運(yùn)處理系統(tǒng)，其中，在第一及第二作業(yè)裝置中，各作業(yè)處理單元按照彼此鄰接的方式配置于沿基板的搬運(yùn)方向的一端部區(qū)域，在各作業(yè)處理單元之間配置有基板移載裝置的支承軸。根據(jù)本發(fā)明第三方面，提供第一方面所述的基板搬運(yùn)處理系統(tǒng)，其中，各基板臺(tái)具備基板載置部，其能夠解除地吸附保持基板的下表面；
升降裝置，其使基板載置部升降；水平方向移動(dòng)裝置，其使基板載置部在水平方向上移動(dòng)，水平方向移動(dòng)裝置能夠?qū)⒒遢d置部定位于移載位置，升降裝置能夠?qū)⒒遢d置部定位于移載位置中的移載高度。根據(jù)本發(fā)明第四方面，提供第一方面所述的基板搬運(yùn)處理系統(tǒng)，其中，基板移載裝置的姿勢(shì)保持機(jī)構(gòu)是具備第一聯(lián)桿和第二聯(lián)桿的平行聯(lián)桿機(jī)構(gòu)，所述第一聯(lián)桿是臂部，所述第二聯(lián)桿與該第一聯(lián)桿平行配置且通過(guò)臂部的回旋動(dòng)作在保持與第一聯(lián)桿的平行關(guān)系的狀態(tài)下回旋。根據(jù)本發(fā)明第五方面，提供第一方面所述的基板搬運(yùn)處理系統(tǒng)，其中，基板移載裝置的保持單元具備多個(gè)吸附保持構(gòu)件，其吸附保持基板的上表面；多個(gè)落下防止用卡合構(gòu)件，其能夠在保持基板的端部的卡合位置和解除保持的卡合解除位置之間動(dòng)作；卡合構(gòu)件動(dòng)作裝置，其至少在基板移載裝置的基板的移載動(dòng)作異常時(shí)使落下防止用卡合構(gòu)件從卡合解除位置動(dòng)作至卡合位置。根據(jù)本發(fā)明第六方面，提供第一方面所述的基板搬運(yùn)處理系統(tǒng)，其中，在基板移載裝置中，還具備能夠與位于第一作業(yè)裝置的第一移載位置的狀態(tài)的基板的水平方向的姿勢(shì)對(duì)應(yīng)而對(duì)保持單元的水平方向的姿勢(shì)進(jìn)行調(diào)整的調(diào)整機(jī)構(gòu)，被調(diào)整機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)于位于第一作業(yè)裝置的第一移載位置的基板的水平方向的姿勢(shì)而調(diào)整了其水平方向的姿勢(shì)的保持單元進(jìn)行回旋移動(dòng)，由此，在從第一移載位置向第二移載位置保持了水平方向的姿勢(shì)的狀態(tài)下，進(jìn)行基板的移載。根據(jù)本發(fā)明第七方面，提供一種部件安裝裝置，在第一 第六方面中任一方面所述的基板搬運(yùn)處理系統(tǒng)中，各作業(yè)裝置通過(guò)作業(yè)處理單元對(duì)配置于基板的端部的部件安裝區(qū)域進(jìn)行用于部件安裝的作業(yè)處理，通過(guò)利用基板移載裝置從第一作業(yè)裝置向第二作業(yè)裝置移載基板，而對(duì)基板的部件安裝區(qū)域依次進(jìn)行用于部件安裝的作業(yè)處理。根據(jù)本發(fā)明第八方面，提供一種基板搬運(yùn)處理方法，在彼此鄰接配置且具備能夠解除地吸附保持基板的下表面的基板臺(tái)和對(duì)保持于基板臺(tái)的基板進(jìn)行處理的作業(yè)處理單元的第一作業(yè)裝置和第二作業(yè)裝置之間進(jìn)行基板的搬運(yùn)，使用具有臂部、支承軸和保持單元的基板移載裝置，在第一作業(yè)裝置的基板臺(tái)上的位置即第一移載位置，通過(guò)保持單元吸附保持被吸附保持于基板臺(tái)上的基板的上表面， 并且解除基于基板臺(tái)的吸附保持并將基板從基板臺(tái)向保持單元交接，所述支承軸固定于臂部的一端，且在水平面內(nèi)將臂部支承為能夠回旋，并且配置在第一作業(yè)裝置和第二作業(yè)裝置之間，所述保持單元支承于臂部的另一端，能夠解除地吸附保持基板的上表面，通過(guò)以支承軸為旋轉(zhuǎn)中心使臂部回旋，而在第二作業(yè)裝置的基板臺(tái)上的位置即第二移載位置，在保持了水平方向的基板的姿勢(shì)的狀態(tài)下，使保持單元回旋移動(dòng)，在第二移載位置，由基板臺(tái)吸附保持基板，并且解除基于保持單元的吸附保持并將基板從保持單元向基板臺(tái)交接，進(jìn)行基板的搬運(yùn)。
也可以是，通過(guò)在基板移載裝置的移載高度位置進(jìn)行基板從第一作業(yè)裝置的第一移載位置的基板臺(tái)向保持單元的交接，使臂部回旋，由此，在維持該移載高度位置的狀態(tài)下回旋移動(dòng)保持單元，在基板移載裝置的移載高度位置進(jìn)行基板從第二作業(yè)裝置的第二移載位置的保持單元向基板臺(tái)的交接。根據(jù)本發(fā)明第 九方面，提供第八方面所述的基板搬運(yùn)處理方法，其中，通過(guò)臂部的回旋使保持單元位于移載位置后，在移載位置使基板臺(tái)上升而位于移載高度位置，在該狀態(tài)下，進(jìn)行在第一移載位置及第二移載位置的基板臺(tái)和保持單元之間的基板的交接。根據(jù)本發(fā)明第十方面，提供一種使用了第八或第九方面所述的基板搬運(yùn)處理方法的部件安裝方法，作為基板，使用在短邊側(cè)端子部及長(zhǎng)邊側(cè)端子部具有部件安裝區(qū)域的長(zhǎng)方形形狀的顯示面板，在第一作業(yè)裝置中，在進(jìn)行了作業(yè)處理單元和基板的長(zhǎng)邊側(cè)端子部的部件安裝區(qū)域的對(duì)位后，由作業(yè)處理單元對(duì)長(zhǎng)邊側(cè)端子部的部件安裝區(qū)域進(jìn)行用于部件安裝的作業(yè)處理，使基板臺(tái)旋轉(zhuǎn)移動(dòng)，進(jìn)行作業(yè)處理單元和基板的短邊側(cè)端子部的部件安裝區(qū)域的對(duì)位，之后，通過(guò)作業(yè)處理單元對(duì)短邊側(cè)端子部的部件安裝區(qū)域進(jìn)行用于部件安裝的作業(yè)處理，在保持對(duì)短邊側(cè)端子部的部件安裝區(qū)域進(jìn)行作業(yè)處理的水平方向的姿勢(shì)的狀態(tài)下，進(jìn)行基板從第一移載位置向第二移載位置的搬運(yùn)，之后，在第二作業(yè)裝置中，在對(duì)長(zhǎng)邊側(cè)端子部的部件安裝區(qū)域進(jìn)行用于部件安裝的作業(yè)處理之前，通過(guò)作業(yè)處理單元對(duì)短邊側(cè)端子部的部件安裝區(qū)域進(jìn)行用于部件安裝的作業(yè)處理。根據(jù)本發(fā)明，通過(guò)以配置于第一及第二作業(yè)裝置之間的支承軸為旋轉(zhuǎn)中心使臂部回旋，而使保持單元回旋移動(dòng)，能夠使吸附保持有從位于第一作業(yè)裝置的第一移載位置的第一作業(yè)裝置的基板臺(tái)交接的基板的上表面的保持單元向第二作業(yè)裝置的第二移載位置移動(dòng)，從而使基板移載至第二作業(yè)裝置的基板臺(tái)上。即，通過(guò)以臂部的一端為旋轉(zhuǎn)中心回旋，能夠使支承于臂部的另一端的保持單元回旋移動(dòng)，從而進(jìn)行基板從第一移載位置向第二移載位置的搬運(yùn)。因此，能夠使基板移載裝置的構(gòu)成變得簡(jiǎn)單，并能夠使基板移載裝置的設(shè)置空間成為較小的空間。因此，即使在搬運(yùn)作為基板的例如以大型的顯示面板為代表的大型基板的情況下，也能夠確保用于搬運(yùn)中的維修的空間，能夠提高維修等中操作人員的作業(yè)性。另外，對(duì)于這種基板移載裝置而言，由于其支承軸設(shè)置于作業(yè)裝置間，因此，能夠使其設(shè)置空間減小。因此，能夠減小作業(yè)裝置間的距離，能夠使采用這種基板搬運(yùn)處理系統(tǒng)的部件安裝裝置的裝置長(zhǎng)度小型化。本發(fā)明的這些方式和特征，通過(guò)結(jié)合附圖的優(yōu)選實(shí)施方式的如下敘述予以明示。


圖IA是在本發(fā)明一實(shí)施方式的部件安裝線中實(shí)施ACF貼附工序之前的狀態(tài)的面板基板的 示意圖；圖IB是在本實(shí)施方式的部件安裝線中實(shí)施ACF貼附工序之后的狀態(tài)的面板基板的示意圖；圖IC是在本實(shí)施方式的部件安裝線中實(shí)施部件預(yù)壓接工序之后的狀態(tài)的面板基板的示意圖；圖ID是在本實(shí)施方式的部件安裝線中實(shí)施長(zhǎng)邊側(cè)實(shí)壓接工序之后的狀態(tài)的面板基板的示意圖；圖IE是在本實(shí)施方式的部件安裝線中實(shí)施短邊側(cè)實(shí)壓接工序之后的狀態(tài)的面板基板的示意圖；圖2是本實(shí)施方式的部件安裝線的示意圖；圖3是圖2的部件安裝線具備的基板移載裝置的示意圖；圖4是圖3的基板移載裝置的回旋動(dòng)作(回旋軌跡)的示意圖；圖5是圖2的基板移載裝置具備的落下防止用保持爪的動(dòng)作狀態(tài)的示意圖；圖6A是部件預(yù)壓接裝置及長(zhǎng)邊側(cè)實(shí)壓接裝置的示意俯視圖；圖6B是部件預(yù)壓接裝置及長(zhǎng)邊側(cè)實(shí)壓接裝置的示意主視圖；圖7A是說(shuō)明在部件預(yù)壓接裝置和長(zhǎng)邊側(cè)實(shí)壓接裝置之間搬運(yùn)面板基板的順序的示意俯視圖；圖7B是說(shuō)明在部件預(yù)壓接裝置和長(zhǎng)邊側(cè)實(shí)壓接裝置之間搬運(yùn)面板基板的順序的示意主視圖；圖8A是說(shuō)明在部件預(yù)壓接裝置和長(zhǎng)邊側(cè)實(shí)壓接裝置之間搬運(yùn)面板基板的順序的示意俯視圖；圖8B是說(shuō)明在部件預(yù)壓接裝置和長(zhǎng)邊側(cè)實(shí)壓接裝置之間搬運(yùn)面板基板的順序的示意主視圖；圖9A是說(shuō)明在部件預(yù)壓接裝置和長(zhǎng)邊側(cè)實(shí)壓接裝置之間搬運(yùn)面板基板的順序的示意俯視圖；圖9B是說(shuō)明在部件預(yù)壓接裝置和長(zhǎng)邊側(cè)實(shí)壓接裝置之間搬運(yùn)面板基板的順序的示意主視圖；圖IOA是說(shuō)明在部件預(yù)壓接裝置和長(zhǎng)邊側(cè)實(shí)壓接裝置之間搬運(yùn)面板基板的順序的示意俯視圖；圖IOB是說(shuō)明在部件預(yù)壓接裝置和長(zhǎng)邊側(cè)實(shí)壓接裝置之間搬運(yùn)面板基板的順序的示意主視圖；圖11是本實(shí)施方式的變形例的基板移載裝置的示意圖；圖12A是由圖11的基板移載裝置保持面板基板的狀態(tài)的示意圖；圖12B是由圖11的基板移載裝置保持面板基板(切換90度)的狀態(tài)的示意圖；圖13是使用了圖11的變形例的基板移載裝置的部件安裝方法的示意說(shuō)明圖；圖14是現(xiàn)有的部件安裝線的示意圖；圖15是現(xiàn)有的其它的部件安裝線的示意圖。
具體實(shí)施方式
在繼續(xù)本發(fā)明的記述之前，在附圖中對(duì)相同的部件標(biāo)注相同的參照符號(hào)。下面，基于附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)的說(shuō)明。在對(duì)本發(fā)明的一實(shí)施方式的基板搬運(yùn)處理系統(tǒng)及基板搬運(yùn)處理的方法、以及部件安裝裝置及部件安裝方法進(jìn)行說(shuō)明時(shí)，首先，利用圖1A、圖1B、圖1C、圖ID及圖IE對(duì)在這些部件安裝裝置及方法等中處理的面板基板1的方式和對(duì)該面板基板1實(shí)施的安裝處理的概要進(jìn)行說(shuō)明。首先，如圖IA所示，在本實(shí)施方式中處理的基板是以液晶顯示器(LCD)面板基板及等離子顯示面板(PDP)基板等為代表的基板(以下稱為“面板基板”)1，在方形狀的彼此鄰接的兩邊的緣部(端部)具有配置安裝部件的部件安裝區(qū)域Rl的端子部2。另外，這種面板基板1通常具有長(zhǎng)方形形狀，各端子部2作為長(zhǎng)邊側(cè)端子部(圖IA中圖示里側(cè)的端子部)2A和短邊側(cè)端子部(圖IA中圖示面前側(cè)的端子部)2B形成。另外，在各端子部2形成有多個(gè)端子電極加，在這些端子電極加上安裝各部件并進(jìn)行電連接。另外，面板基板1的緣部?jī)?nèi)側(cè)的區(qū)域?yàn)轱@示圖像或文字信息等映像的顯示區(qū)域。另外，面板基板1主要由玻璃材料形成，按照其厚度成為例如0. 5mm以下的方式實(shí)現(xiàn)薄型化。另外，在本實(shí)施方式中處理的面板基板1為特別大型化的面板基板，例如為用于30英寸以上的尺寸、例如40英寸、50 英寸級(jí)或者60英寸級(jí)的顯示器那樣的面板基板。對(duì)于這種構(gòu)造的面板基板1，在本實(shí)施方式的部件安裝方法中，實(shí)施以下各工序， 即，在ACF貼附工序中，對(duì)各端子部2的端子電極加貼附ACF片3作為接合構(gòu)件(參照?qǐng)D IA及圖1B)，之后，在部件預(yù)壓接工序中，經(jīng)由ACF3，作為部件例如將TCP4相對(duì)于端子電極加進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)(進(jìn)行對(duì)位)并進(jìn)行預(yù)壓接(參照?qǐng)DIB及圖1C)，進(jìn)而，之后，在長(zhǎng)邊側(cè)部件實(shí)壓接工序中，在長(zhǎng)邊側(cè)端子部2A按壓預(yù)壓接的狀態(tài)的TCP4，將TCP4安裝于長(zhǎng)邊側(cè)端子部 2A(參照?qǐng)D1C)，然后，在短邊側(cè)部件實(shí)壓接工序中，在短邊側(cè)端子部2B按壓預(yù)壓接的狀態(tài)的TCP4，將TCP4安裝于短邊側(cè)端子部2B (參照?qǐng)D1D)，由此，如圖IE所示，在面板基板1上安裝TCP4。另外，這種工序例如被稱作外引線接合工序。接著，表示進(jìn)行這種部件安裝方法(即，外引線接合工序)的部件安裝裝置的一個(gè)例子即部件安裝線100的構(gòu)成的示意立體圖如圖2所示。如圖2所示，部件安裝線100具備對(duì)面板基板1進(jìn)行ACF貼附工序的ACF貼附裝置20、對(duì)貼附有ACF片3的狀態(tài)的面板基板1進(jìn)行TCP4等部件的部件預(yù)壓接工序的部件預(yù)壓接裝置30、進(jìn)行對(duì)預(yù)壓接在面板基板1的長(zhǎng)邊側(cè)端子部2A上的TCP4實(shí)壓接并安裝的長(zhǎng)邊側(cè)實(shí)壓接工序的長(zhǎng)邊側(cè)實(shí)壓接裝置40、進(jìn)行對(duì)預(yù)壓接在面板基板1的短邊側(cè)端子部2B上的TCP4實(shí)壓接并安裝的短邊側(cè)實(shí)壓接工序的短邊側(cè)實(shí)壓接裝置50。另外，在各裝置20、30、 40及50之間，進(jìn)行面板基板1的交接(移載)的基板移載裝置60設(shè)置于它們各自之間。 另外，在如圖2所示的部件安裝線100中，使長(zhǎng)邊側(cè)實(shí)壓接裝置40和短邊側(cè)實(shí)壓接裝置50 為不同的裝置，但在部件安裝線中，也可以根據(jù)要求的節(jié)奏，在一臺(tái)實(shí)壓接裝置中切換面板基板的長(zhǎng)邊側(cè)和短邊側(cè)而進(jìn)行實(shí)壓接工序。另外，本實(shí)施方式的各裝置20、30、40及50為作業(yè)裝置(第一作業(yè)裝置及第二作業(yè)裝置)的一個(gè)例子，作為作業(yè)處理，對(duì)面板基板1進(jìn)行上述的各工序。另外，在部件安裝線100中，以從ACF貼附裝置20朝向短邊側(cè)實(shí)壓接裝置 50的方式形成有面板基板1的搬運(yùn)線(搬運(yùn)方向)。ACF貼附裝置20具有將通過(guò)帶供給部向帶回收部送出的帶狀的ACF片3切斷成規(guī)定的長(zhǎng)度并貼附于面板基板1的端子部2的壓接單元21 ；載置搬入ACF貼附裝置20的面板基板1，并且能夠解除地吸附保持被載置的面板基板1的基板載置部23，且具備對(duì)載置于基板載置部23的面板基板1的端子部2和壓接單元21進(jìn)行定位的面板臺(tái)(基板臺(tái))22。 另外，面板臺(tái)22具有具有使載置的面板基板1向圖示X軸方向或者Y軸方向移動(dòng)的功能 (XY移動(dòng)功能)和使面板基板1在包含X軸方向及Y軸方向的平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)的功能(θ旋轉(zhuǎn)功能)的XY θ移動(dòng)裝置24 ；具有使面板基板1在Z軸方向升降的功能(升降功能)的升降裝置25，通過(guò)這種功能能夠使面板基板1的長(zhǎng)邊側(cè)端子部2Α及短邊側(cè)端子部2Β與壓接單元21進(jìn)行對(duì)位。另外，在圖2中，X軸方向和Y軸方向成為沿面板基板1的大致表面的方向，面板基板1的搬運(yùn)方向D為X軸方向，與X軸方向正交的方向?yàn)閅軸方向，圖示垂直方向?yàn)閆軸方向。 部件預(yù)壓接裝置30具備供給收容于盒內(nèi)的狀態(tài)的多個(gè)TCP4的TCP供給盒部31 ； 將從TCP供給盒部31供給的TCP4經(jīng)由ACF片3與各端子電極2a對(duì)準(zhǔn)并進(jìn)行預(yù)壓接的預(yù)壓接頭32 ；載置面板基板1，并且能夠解除地吸附保持被載置的面板基板1的基板載置部33 ； 對(duì)載置于基板載置部33的面板基板1的端子部2和預(yù)壓接頭32進(jìn)行定位的面板臺(tái)34。另夕卜，面板臺(tái)34具備具有XY移動(dòng)功能及θ旋轉(zhuǎn)功能的XY θ移動(dòng)裝置35和具有升降功能的升降裝置36。長(zhǎng)邊側(cè)實(shí)壓接裝置40具備多個(gè)熱壓接單元41，其具備安裝頭的一個(gè)例子即熱壓接頭和在進(jìn)行實(shí)壓接動(dòng)作時(shí)將面板基板1的端子部2從其下面?zhèn)戎С械闹С泄ぞ?，所述熱壓接頭通過(guò)對(duì)經(jīng)由ACF片3預(yù)壓接在面板基板1的長(zhǎng)邊側(cè)端子部2Α上的狀態(tài)的TCP4進(jìn)行按壓且同時(shí)加熱，而經(jīng)由ACF片3將TCP4實(shí)壓接即熱壓接(安裝)于各端子電極2a;面板臺(tái)42，其進(jìn)行各熱壓接單元41和面板基板1的長(zhǎng)邊側(cè)端子部2A的對(duì)位。另外，面板臺(tái)42 具備載置面板基板1且并且能夠解除地吸附保持被載置的面板基板1的基板載置部43、 具有相對(duì)于基板載置部43的XY移動(dòng)功能及θ旋轉(zhuǎn)功能的XY θ移動(dòng)裝置44、具有升降功能的升降裝置45。短邊側(cè)實(shí)壓接裝置50具備多個(gè)熱壓接單元51，其具備熱壓接頭和在進(jìn)行實(shí)壓接動(dòng)作時(shí)將面板基板1的端子部2從其下面?zhèn)戎С械闹С泄ぞ?，所述熱壓接頭通過(guò)對(duì)經(jīng)由ACF 片3預(yù)壓接在面板基板1的短邊側(cè)端子部2Β上的狀態(tài)的TCP4進(jìn)行按壓且同時(shí)加熱，而經(jīng)由ACF片3將TCP4實(shí)壓接于各端子電極2a ；面板臺(tái)52，其進(jìn)行各熱壓接單元51和面板基板1的短邊側(cè)端子部2B的對(duì)位。另外，面板臺(tái)52具備載置面板基板1并且能夠解除地吸附保持被載置的面板基板1的基板載置部53、具有相對(duì)于基板載置部53的XY移動(dòng)功能及 θ旋轉(zhuǎn)功能的XY θ移動(dòng)裝置54、具有升降功能的升降裝置55。接著，對(duì)部件安裝線100所具備的基板移載裝置60的構(gòu)成進(jìn)行詳細(xì)的說(shuō)明。在該說(shuō)明中，基板移載裝置60的示意立體圖如圖3所示，表示動(dòng)作狀態(tài)的示意俯視圖如圖4所
7J\ ο如圖3所示，基板移載裝置60具備臂部61、在水平平面(XY平面)內(nèi)使臂部61 能夠回旋地支承臂部61的一端的支承軸62、支承于臂部61的另一端且能夠解除地吸附保持面板基板1的上表面的保持單元70。支承軸62在經(jīng)由框架63固定于裝置基座的狀態(tài)下，配置于裝置基座的上方，以支承軸62的軸芯為旋轉(zhuǎn)中心，臂部61能夠回旋。另外，基板移載裝置60具備以支承軸62為旋轉(zhuǎn)中心使臂部61在規(guī)定的角度范圍內(nèi)回旋(或者擺動(dòng))的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置64。通過(guò)利用這種旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置64使臂部61回旋，可使支承于臂部61的另一端的保持單元70回旋移動(dòng)。另外，如圖3所示，保持單元70具備在其中心位置支承于臂部61的板構(gòu)件71、 設(shè)置于板構(gòu)件71的下表面且吸附保持面板基板1的上表面的多個(gè)吸附保持部72。吸附保持部72相對(duì)于板構(gòu)件71的中心位置對(duì)稱且均等地配置，且與未圖示的真空線連接。另外，基板移載裝置60具備姿勢(shì)保持機(jī)構(gòu)，在進(jìn)行如上所述的基于臂部61的回旋的保持單元70的回旋移動(dòng)時(shí)，所述姿勢(shì)保持機(jī)構(gòu)用于將保持單元70的水平方向的姿勢(shì) (即，XY平面的姿勢(shì))保持為不會(huì)在回旋移動(dòng)的作用下發(fā)生變化。具體而言，如圖3及圖4 所示，作為這種姿勢(shì)保持機(jī)構(gòu)，具備平行聯(lián)桿機(jī)構(gòu)，所述平行聯(lián)桿機(jī)構(gòu)作為第一聯(lián)桿具備臂部61，作為第二聯(lián)桿具備聯(lián)桿構(gòu)件68，所述聯(lián)桿構(gòu)件68與該第一聯(lián)桿平行配置，且在進(jìn)行臂部61的回旋動(dòng)作時(shí)保持與第一聯(lián)桿的平行關(guān)系而進(jìn)行回旋。進(jìn)一步對(duì)平行聯(lián)桿機(jī)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明，如圖3及圖4所示，通過(guò)臂部61的一端固定于支承軸62并使支承軸62旋轉(zhuǎn)，由此，可以以支承軸62為旋轉(zhuǎn)中心進(jìn)行回旋。另外，在臂部61的另一端經(jīng)由可相對(duì)于臂部61轉(zhuǎn)動(dòng)(可動(dòng)部分)的聯(lián)軸節(jié)65支承有板構(gòu)件71，板構(gòu)件71固定于聯(lián)軸節(jié)65。進(jìn)而，相對(duì)于支承軸62可相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)地卡合的聯(lián)桿構(gòu)件66在相對(duì)于框架63固定的狀態(tài)下沿圖示X軸方向配置。即，不管支承軸62及臂構(gòu)件的轉(zhuǎn)動(dòng)或回旋， 相對(duì)于框架63固定的狀態(tài)的聯(lián)桿構(gòu)件66都與支承軸62卡合。另外，在該聯(lián)桿構(gòu)件66的端部，經(jīng)由可動(dòng)部分即聯(lián)軸節(jié)67卡合有聯(lián)桿構(gòu)件68的一端部，該聯(lián)桿構(gòu)件68具有與臂部 61相同的長(zhǎng)度Li，相對(duì)于臂部61平行配置。另外，在聯(lián)桿構(gòu)件68的另一端部，經(jīng)由其它的聯(lián)軸節(jié)67卡合有具有和與支承軸62和聯(lián)桿構(gòu)件68卡合的聯(lián)桿構(gòu)件66的聯(lián)桿長(zhǎng)度L2相同的長(zhǎng)度的聯(lián)桿構(gòu)件69的一端部，該聯(lián)桿構(gòu)件69的另一端部固定于聯(lián)軸節(jié)65，并經(jīng)由聯(lián)軸節(jié)65卡合于臂部61的另一端。即，與臂部61平行配置并經(jīng)由互為平行關(guān)系的聯(lián)桿構(gòu)件 66及69連結(jié)有聯(lián)桿構(gòu)件68，聯(lián)桿構(gòu)件66在沿X軸方向配置的狀態(tài)下固定其位置，由此，不管臂部61的回旋位置，均保持各聯(lián)桿構(gòu)件66、68、69及臂部61形成由聯(lián)桿長(zhǎng)度L1、L2構(gòu)成的平行四邊形的狀態(tài)，聯(lián)桿構(gòu)件69成為總是沿著X軸方向的狀態(tài)。因此，如圖4所示，在使臂部61回旋動(dòng)作的情況下，相對(duì)于聯(lián)桿構(gòu)件69及聯(lián)軸節(jié)65處于固定關(guān)系的板構(gòu)件71的姿勢(shì)沒(méi)有轉(zhuǎn)動(dòng)而保持一定姿勢(shì)(朝向)。另外，在如圖3及圖4所示的例子中，第二聯(lián)桿由聯(lián)桿構(gòu)件66、68、69及聯(lián)軸節(jié)65、67構(gòu)成。另外，如圖3所示，對(duì)于保持單元70而言，通過(guò)由多個(gè)吸附保持部72吸附保持面板基板1的上表面，對(duì)面板基板1進(jìn)行保持，但例如具備以在產(chǎn)生搬運(yùn)錯(cuò)誤時(shí)等異常時(shí)(例如，吸附保持面板基板1的真空壓力濺少等)被保持的狀態(tài)的面板基板1不會(huì)落下的方式機(jī)械性保持的多個(gè)落下防止用保持爪(落下防止用保持構(gòu)件)73。各保持爪73能夠在保持位置Ql和保持解除位置Q2之間轉(zhuǎn)動(dòng)，如圖5所示，通常成為位于保持解除位置(或者待機(jī)位置)的狀態(tài)，由未圖示的動(dòng)作裝置(卡合構(gòu)件動(dòng)作裝置)在異常時(shí)向保持位置轉(zhuǎn)動(dòng)而對(duì)面板基板1進(jìn)行保持。由于具備這種落下防止用保持爪73，從而即使為通過(guò)相對(duì)于大型且高價(jià)的面板基板1進(jìn)行上表面吸附保持來(lái)進(jìn)行面板基板1的搬運(yùn)的情況，在發(fā)生了真空壓力濺少或停電等異常的情況下，也能夠防止面板基板1下落。另外，各落下防止用保持爪 73具備以能夠與各種大小的面板基板1的保持相對(duì)應(yīng)的方式滑動(dòng)調(diào)整相對(duì)于板構(gòu)件71的安裝位置的滑動(dòng)機(jī)構(gòu)74。另外，作為上述的動(dòng)作裝置的例子，例如，可采用在各種裝置中適用于自動(dòng)防故障安全裝置(fail safe)設(shè)計(jì)的各種裝置。另外，部件 安裝線100具備使各裝置20、30、40、50及60的動(dòng)作控制與彼此的動(dòng)作相關(guān)聯(lián)并同時(shí)統(tǒng)一地進(jìn)行的控制裝置19。通過(guò)該控制裝置19 一邊進(jìn)行各裝置的獨(dú)立的動(dòng)作控制，一邊從上游側(cè)的裝置向下游側(cè)的裝置依次進(jìn)行面板基板1的搬運(yùn)控制，并進(jìn)行相對(duì)于多個(gè)面板基板1的部件安裝動(dòng)作。另外，控制裝置19也可以是作為一個(gè)集中控制裝置的控制方式的構(gòu)成?；蛘撸部梢允窃诟餮b置上獨(dú)立配備且在彼此的裝置間進(jìn)行面板基板 1的搬運(yùn)控制信號(hào)的交換的控制方式。接著，對(duì)具有這種構(gòu)成的部件安裝線100的部件安裝動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。另外，以下說(shuō)明的各動(dòng)作由控制裝置19控制進(jìn)行。首先，在圖2的部件安裝線100中，搬入如圖IA所示的面板基板1，將其載置于ACF 貼附裝置20的面板臺(tái)22上，由面板臺(tái)22吸附保持面板基板1的下表面。 接著，通過(guò)XY θ移動(dòng)裝置24進(jìn)行由面板臺(tái)22保持的面板基板1的XY移動(dòng)，并且， 通過(guò)升降裝置25進(jìn)行升降，對(duì)面板基板1的長(zhǎng)邊側(cè)端子部2Α和壓接單元21進(jìn)行對(duì)位。之后，使壓接單元21下降，在長(zhǎng)邊側(cè)端子部2Α上貼附ACF片3 (ACF貼附工序)。之后，進(jìn)行基于面板臺(tái)22的θ旋轉(zhuǎn)，對(duì)短邊側(cè)端子部2Β和壓接單元21進(jìn)行對(duì)位，通過(guò)壓接單元21將 ACF片3貼附于短邊側(cè)端子部2Β。若ACF貼附工序結(jié)束，則進(jìn)行基于面板臺(tái)22的θ旋轉(zhuǎn)， 面板基板1的長(zhǎng)邊側(cè)端子部2Α沿X軸方向配置。之后，基板搬運(yùn)裝置60的保持單元70吸附保持面板基板1的上表面，并且解除基于面板臺(tái)22的吸附保持，將面板基板1交接到基板搬運(yùn)裝置60。之后，由基板搬運(yùn)裝置60將面板基板1搬運(yùn)至部件預(yù)壓接裝置30。在基板預(yù)壓接裝置30中，將通過(guò)基板搬運(yùn)裝置60搬運(yùn)的面板基板1載置并交接到面板臺(tái)34上。另一方面，在預(yù)壓接頭32上，從TCP供給盒部31供給TCP4，形成為將TCP4 吸附保持于預(yù)壓接頭32的狀態(tài)。之后，通過(guò)面板臺(tái)34進(jìn)行面板基板1的長(zhǎng)邊側(cè)端子部2A 的一端子電極2a和吸附保持有TCP4的預(yù)壓接頭32的對(duì)位，之后，使預(yù)壓接頭3下降至端子電極2a，由此，將TCP4經(jīng)由ACF片3預(yù)壓接在端子電極2a上。依次反復(fù)進(jìn)行同樣的動(dòng)作，在各端子電極2a預(yù)壓接TCP4(部件預(yù)壓接工序)。若相對(duì)于長(zhǎng)邊側(cè)端子部2A的TCP4 的預(yù)壓接結(jié)束，則通過(guò)面板臺(tái)34進(jìn)行面板基板1的θ旋轉(zhuǎn)，并對(duì)短邊側(cè)端子部2Β和預(yù)壓接頭32進(jìn)行對(duì)位，依次進(jìn)行TCP4向短邊側(cè)端子部2Β的各端子電極2a的預(yù)壓接。若部件預(yù)壓接工序結(jié)束，則基板搬運(yùn)裝置60的保持單元70吸附保持面板基板1的上表面，并且解除基于面板臺(tái)34的吸附保持，將面板基板1交接至基板搬運(yùn)裝置60。之后，通過(guò)基板搬運(yùn)裝置60向長(zhǎng)邊側(cè)實(shí)壓接裝置40搬運(yùn)面板基板1。在長(zhǎng)邊側(cè)實(shí)壓接裝置40中，將通過(guò)基板搬運(yùn)裝置60搬運(yùn)的面板基板1載置并交接到面板臺(tái)42上。之后，在各壓接單元41中，通過(guò)面板臺(tái)42將面板基板1的長(zhǎng)邊側(cè)端子部2A載置于支承工具上后，使熱壓接頭下降，由此，經(jīng)由ACF片3將處于預(yù)壓接狀態(tài)的各 TCP4按壓于各端子電極2a且同時(shí)進(jìn)行加熱，進(jìn)行基于熱壓接的TCP4的安裝(長(zhǎng)邊側(cè)實(shí)壓接工序)。若長(zhǎng)邊側(cè)實(shí)壓接工序結(jié)束，則基板搬運(yùn)裝置60的保持單元70吸附保持面板基板 1的上表面，并且解除基于面板臺(tái)42的吸附保持，交接至基板搬運(yùn)裝置60。之后，由基板搬運(yùn)裝置60向短邊側(cè)實(shí)壓接裝置50搬運(yùn)面板基板1。在短邊側(cè)實(shí)壓接裝置50中，通過(guò)與長(zhǎng)邊側(cè)實(shí)壓接裝置40的順序相同的順序，進(jìn)行相對(duì)于面板基板1的短邊側(cè)端子部2B的實(shí)壓接，經(jīng)由ACF片3將TCP4安裝于各端子電極2a (短邊側(cè)實(shí)壓接工序)。若短邊側(cè)實(shí)壓接工序結(jié)束，則基板搬運(yùn)裝置60的保持單元70吸附保持面板基板1的上表面，并且解除基于面板臺(tái)52的吸附保持，將面板基板1交接至基板搬運(yùn)裝置60。之后，通過(guò)基板搬運(yùn)裝置60從部件安裝線100搬出面板基板1。另外，在部件安裝線100中，通過(guò)基板搬運(yùn)裝置60依次搬運(yùn)多個(gè)面板基板1，并在各裝置中實(shí)施規(guī)定的工序，由此，對(duì)面板基板1進(jìn)行部件安裝工序接著，對(duì)具有這種構(gòu)成的部件安裝線100具備的基板移載裝置60所進(jìn)行的面板基板1的搬運(yùn)(移載)動(dòng)作進(jìn)行詳細(xì)的說(shuō)明。由于部件安裝線100具備的各基板移載裝置 60具有相同的構(gòu)成，因此，以各裝置為代表，對(duì)進(jìn)行部件預(yù)壓接裝置30和長(zhǎng)邊側(cè)實(shí)壓接裝置40之間的面板基板1的搬運(yùn)(交接)的基板移載裝置60，利用圖6A的示意俯視圖及圖 6B的示意主視圖進(jìn)行說(shuō)明。進(jìn)而，對(duì)使用該基板移載裝置60從部件預(yù)壓接裝置30向長(zhǎng)邊側(cè)實(shí)壓接裝置40搬運(yùn)面板基板1的順序，利用圖7A、圖7B、圖8A、圖8B、圖9A、圖9B、圖IOA 及圖IOB所示的示意俯視圖及主視圖進(jìn)行以下的說(shuō)明。首先，如圖6A及圖6B所示，朝向部件預(yù)壓接裝置30和長(zhǎng)邊側(cè)實(shí)壓接裝置40之間的面板基板1的搬運(yùn)方向(X軸方向)在左側(cè)的端部配置有基板移載裝置60的框架63。在部件預(yù)壓接裝置30中，面板臺(tái)34在面板基板1的搬運(yùn)方向即X軸方向上可通過(guò) XY θ移動(dòng)裝置35進(jìn)行平行移動(dòng)，以至少在其可動(dòng)范圍的大致中央的位置即作業(yè)位置Ρ11、 比作業(yè)位置Pll靠搬運(yùn)方向上游側(cè)的位置即收取位置Ρ12、比作業(yè)位置Pll靠搬運(yùn)方向下游側(cè)的位置即交接位置Ρ13(第一移載位置的一個(gè)例子)能夠進(jìn)行定位。在此，作業(yè)位置Pll 為對(duì)面板基板1進(jìn)行部件預(yù)壓接工序(處理)的位置，收取位置Ρ12 (第二移載位置的一個(gè)例子)為從配置于ACF貼附裝置20和部件預(yù)壓接裝置30之間的基板移載裝置60相對(duì)于面板臺(tái)34移載面板基板1的位置。另外，交接位置Ρ13為從面板臺(tái)34向配置于面板部件預(yù)壓接裝置30和長(zhǎng)邊側(cè)實(shí)壓接裝置40之間的基板移載裝置60移載面板基板1的位置。在長(zhǎng)邊側(cè)實(shí)壓接裝置40也同樣，面板臺(tái)42在面板基板1的搬運(yùn)方向即X軸方向上可通過(guò)XY Θ移動(dòng)裝置44進(jìn)行平行移動(dòng)，以至少在其可動(dòng)范圍的大致中央的位置即作業(yè)位置Ρ21、比作業(yè)位置Ρ21靠搬運(yùn)方向上游側(cè)的位置即收取位置Ρ22、比作業(yè)位置Ρ21靠搬運(yùn)方向下游側(cè)的位置即交接位置Ρ23能夠進(jìn)行定位。另外，作業(yè)位置Ρ21為相對(duì)于面板基板1進(jìn)行長(zhǎng)邊側(cè)實(shí)壓接工序(處理)的位置。另外，各面板臺(tái)34、42可通過(guò)升降裝置36、45進(jìn)行升降，在交接位置Ρ13、Ρ23及收取位置Ρ12、Ρ22，在面板臺(tái)34、42和基板移載裝置60之間進(jìn)行面板基板1的交接動(dòng)作時(shí)， 基板載置部33、43可定位于一定的高度位置即基板移載高度位置HI。另外，如圖6A及圖6B所示，在基板移載裝置60上，保持單元70的保持中心以通過(guò)使臂部61回旋而能夠定位于部件預(yù)壓接裝置30的交接位置P13的上方的方式設(shè)定交接位置P13及臂部61的長(zhǎng)度。另外，保持單元70的保持中心以通過(guò)使臂部61回旋而能夠定位于長(zhǎng)邊側(cè)實(shí)壓接裝置40的收取位置P22的上方的方式設(shè)定收取位置P22及臂部61的長(zhǎng)度。接著，對(duì)基板移載裝置60搬運(yùn)面板基板1的具體的搬運(yùn)順序進(jìn)行說(shuō)明。首先，如圖7A及圖7B所示，在部件預(yù)壓接裝置30中，實(shí)施了部件預(yù)壓接工序的面板基板1在其長(zhǎng)邊側(cè)端子部2A成為沿面板基板1的搬運(yùn)方向那樣的姿勢(shì)的狀態(tài)下，由面板臺(tái)34的基板載置部33保持，由XY θ移動(dòng)裝置35進(jìn)行XY移動(dòng)(或者X移動(dòng))，由此使其位于交接位置P13。此時(shí)，為了防止面板基板1和基板移載裝置60的保持單元70等干涉，基板載置部33位于比基板移載高度位置Hl靠下方的高度位置即退避高度位置。與此同時(shí)， 在基板移載裝置60上，通過(guò)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置64旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)支承軸62并回旋臂部61，將保持單元70定位于交接位置P13。若保持單元70定位于交接位置P13，則在面板臺(tái)34上，基板載置部33通過(guò)升降裝置36從退避高度位置上升至基板移載高度位置HI。另一方面，與這些動(dòng)作并 行，在長(zhǎng)邊側(cè)實(shí)壓接裝置40中，沒(méi)有保持面板基板1的狀態(tài)的面板臺(tái)42的基板載置部43由XY θ移動(dòng)裝置44進(jìn)行XY移動(dòng)(或X移動(dòng))，由此位于收取位置Ρ22。此時(shí)，為了防止面板基板1和基板移載裝置60的保持單元70等干涉，基板載置部43位于比基板移載高度位置Hl靠下方的高度位置即退避高度位置。接著，如圖8Α及圖8Β所示，在部件預(yù)壓接裝置30的交接位置Ρ13，位于基板移載高度位置Hl的狀態(tài)的面板基板1的上表面和保持單元70的各吸附保持部72抵接，將吸附保持面板基板1的真空壓力施加給吸附保持部72，由此，通過(guò)保持單元70吸附保持面板基板1的上表面。之后，解除面板臺(tái)34的基板載置部33對(duì)面板基板1的吸附保持，之后，基板移載部33下降至靠基板移載高度位置Hl的下方，由此從面板臺(tái)34向基板移載裝置60 進(jìn)行面板基板1的交接。如圖9Α及圖9Β所示，若進(jìn)行面板基板1的交接，則在基板移載裝置60中，在維持交接面板基板1的基板移載裝置60的基板的移載高度位置Hl的狀態(tài)下，通過(guò)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置64旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)支承軸62，回旋臂部61，回旋移動(dòng)保持面板基板1的保持單元70，定位于長(zhǎng)邊側(cè)實(shí)壓接裝置40的收取位置Ρ22。由于基板移載裝置60采用平行聯(lián)桿機(jī)構(gòu)，因此，在位于收取位置Ρ22的狀態(tài)下，面板基板1的XY平面的姿勢(shì)與交接位置Ρ13處的姿勢(shì)不發(fā)生變化。若保持單元70定位于收取位置Ρ22，則在面板臺(tái)42上，基板載置部43從退避高度位置上升至基板移載高度位置Hl，將保持于保持單元70的狀態(tài)的面板基板1載置于基板移載部 43上。之后，保持單元70的各吸附保持部72解除吸附保持，并且面板臺(tái)42的基板載置部 43吸附保持面板基板1的下表面。之后，在面板臺(tái)43上，使保持面板基板1的基板載置部 43從基板移載高度位置Hl下降，由此，在維持了移載高度位置的基板移載裝置的移載高度位置Η1，從基板載置裝置60向面板臺(tái)42進(jìn)行面板基板1的交接。通過(guò)以上的順序，進(jìn)行面板基板1從部件預(yù)壓接裝置30向長(zhǎng)邊側(cè)實(shí)壓接裝置40 的搬運(yùn)。部件安裝線100具備的其它的基板移載裝置60也以相同的順序進(jìn)行面板基板1 的搬運(yùn)。另外，在本實(shí)施方式中，例如，作為與部件預(yù)壓接裝置30和長(zhǎng)邊側(cè)實(shí)壓接裝置40 彼此鄰接配置的作業(yè)裝置，以在兩臺(tái)作業(yè)裝置間通過(guò)基板移載裝置進(jìn)行面板基板的搬運(yùn)的情況為基板搬運(yùn)處理系統(tǒng)的例子進(jìn)行了說(shuō)明，但若作為作業(yè)裝置為對(duì)基板實(shí)施規(guī)定的作業(yè)處理的裝置，則能夠適用這種基板搬運(yùn)處理系統(tǒng)的搬運(yùn)方法。另外，在本實(shí)施方式中，ACF貼附裝置20的壓接單元21、部件預(yù)壓接裝置30的預(yù)壓接頭32、長(zhǎng)邊側(cè)實(shí)壓接裝置40的熱壓接單元41及短邊側(cè)實(shí)壓接裝置50的熱壓接單元51為作業(yè)裝置具備的作業(yè)處理單元的一個(gè)例子。根據(jù)本實(shí)施方式的部件安裝線100，通過(guò)以配置于彼此鄰接配置的裝置間的基板移載裝置60的支承軸62為旋轉(zhuǎn)中心使臂部61回旋，能夠使保持單元70回旋移動(dòng)，例如在部件預(yù)壓接裝置30的交接位置Ρ13，使保持有位于面板臺(tái)34上的面板基板1的上表面的保持單元70例如向長(zhǎng)邊側(cè)實(shí)壓接裝置40的收取位置P22移動(dòng)，將面板基板1交接即搬運(yùn)至面板臺(tái)42。S卩，通過(guò)以臂部61的一端為旋轉(zhuǎn)中心進(jìn)行回旋，使支承于臂部61的另一端的保持單元70回旋移動(dòng)，能夠進(jìn)行面板基板1從交接位置P13向收取位置P22的搬運(yùn)。因此，與通過(guò)搬運(yùn)臂從下方側(cè)支承面板基板進(jìn)行搬運(yùn)的現(xiàn)有的基板搬運(yùn)裝置相比，能夠使基板移載裝置60的構(gòu)成簡(jiǎn)單，且能夠使基板移載裝置60的設(shè)置空間成為較小的空間。因此，即使在搬運(yùn)作為面板基板的例如用于大型的顯示面板那樣的大型基板的情況下，也能夠確保用于搬運(yùn)中的維修的空間，能夠提高維修等中操作人員的作業(yè)性。特別是如圖6A所示，基板移載裝置60的框架63采用了朝向面板基板1的搬運(yùn)方向配置于左側(cè)的裝置端部的配置構(gòu)成。通過(guò)采用這種構(gòu)成，在部件安裝線100中，能夠朝向面板基板1的搬運(yùn)方向，例如使左側(cè)的裝置空間成為各作業(yè)單元及基板移載裝置60的框架 63的配置空間，能夠朝向搬運(yùn)方向?qū)⒂覀?cè)的空間作為沒(méi)有配置其它的裝置的維修空間活用。例如，在大型的面板基板1的搬運(yùn)中，在產(chǎn)生異常等而需要操作人員維修那樣的情況下也能夠確保這種維修空間，因此，能夠確保良好的作業(yè)性。另外，這種基板移載裝置60，由于支承其支承軸62的框架63設(shè)置于裝置間，因此， 與現(xiàn)有的滑動(dòng)搬運(yùn)裝置相比，能夠使其設(shè)置空間減小。因此，能夠減小裝置間的距離，能夠使采用這種基板搬運(yùn)處理系統(tǒng)的部件安裝線100的裝置長(zhǎng)度小型化。另外，在通過(guò)這種基板移載裝置60的臂部61的回旋進(jìn)行保持單元70的回旋移動(dòng)的情況下，也可以在基板移載裝置60上具備使回旋移動(dòng)的保持單元70在水平方向保持一定姿勢(shì)的平行聯(lián)桿機(jī)構(gòu)。因此，可以在不使面板基板1的交接位置P13處的面板基板1的姿勢(shì)(XY平面的姿勢(shì)或朝向)變化的情況下在收取位置P22進(jìn)行面板基板1的交接。另外，基板移載裝置60的臂部61的保持單元70和面板臺(tái)(22、34、42、52)的面板基板1的交接通過(guò)面板臺(tái)(22、34、42、52)上下動(dòng)作而進(jìn)行，在維持基板移載裝置60的基板的移載高度位置Hl且保持水平方向上的基板的姿勢(shì)的狀態(tài)下，能夠回旋移動(dòng)保持單元70， 進(jìn)行面板基板1從交接位置P13向收取位置P22的搬運(yùn)。因此，即使在搬運(yùn)作為面板基板的例如用于大型的顯示面板那樣的大型及/或薄型的面板基板的情況下，也可以采用基于這種臂部61的回旋動(dòng)作的面板基板1的移動(dòng)構(gòu)成，且同時(shí)在通過(guò)基板移載裝置60的保持單元70吸附保持有面板基板1的上表面的狀態(tài)下不進(jìn)行面板基板1的自轉(zhuǎn)及上下動(dòng)作等多余的動(dòng)作，而能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)面板基板1降低由慣性產(chǎn)生的壓力的搬運(yùn)，特別是在從上表面吸附保持有大型及/或薄型的面板基板的狀態(tài)下，由于不進(jìn)行面板基板1的上下動(dòng)作，因此，能夠降低面板的下落等風(fēng)險(xiǎn)。另外，在上述實(shí)施方式的說(shuō)明中，作為相對(duì)于這種面板基板1的姿勢(shì)保持機(jī)構(gòu)的一個(gè)例子，對(duì)采用平行聯(lián)桿機(jī)構(gòu)的情況進(jìn)行了說(shuō)明，但作為姿勢(shì)保持機(jī)構(gòu)，也可以采用其它各種構(gòu)成。例如也可以采用使用電動(dòng)馬達(dá)，根據(jù)臂部61的回旋量，以保持保持單元70的姿勢(shì)的方式使保持單元70 轉(zhuǎn)動(dòng)的構(gòu)成。但是，通過(guò)使用無(wú)需電氣裝置的平行聯(lián)桿機(jī)構(gòu)，能夠使裝置構(gòu)成簡(jiǎn)單。此外，在部件安裝線100的各裝置具備的面板臺(tái)(例如面板臺(tái)34)中，具備相對(duì)于載置·保持面板基板1的基板載置部33進(jìn)行XY移動(dòng)及θ旋轉(zhuǎn)的XY θ移動(dòng)裝置35和進(jìn)行升降的升降裝置36。因此，在基板移載裝置60中，具備保持面板基板1并使其回旋移動(dòng)的功能，不需要設(shè)置面板基板1的升降等其它的移動(dòng)機(jī)構(gòu)。因此，能夠使基板移載裝置60
15的構(gòu)成更加簡(jiǎn)單，能夠?qū)崿F(xiàn)設(shè)置空間的小型化。另外，本發(fā)明不限定于上述實(shí)施方式，可通過(guò)其它的各種方式實(shí)施。例如，本實(shí)施方式的變形例的基板移載裝置160的示意圖如圖11所示。在圖11的變形例的基板移載裝置160中，在XY平面上可使保持單元170的朝向改變90度，在這一點(diǎn)上，具有與基板移載裝置60不同的構(gòu)成。另外，在基板移載裝置160 中，對(duì)與基板移載裝置60相同的構(gòu)成構(gòu)件·裝置標(biāo)注相同的參照符號(hào)，并省略其說(shuō)明。如圖11所示，在保持單元I70的板構(gòu)件71的與聯(lián)軸節(jié)65固定的固定部分設(shè)有能夠改變兩者的位置關(guān)系的位置調(diào)整機(jī)構(gòu)(調(diào)整機(jī)構(gòu)的一個(gè)例子)180。位置調(diào)整機(jī)構(gòu)180具備固定于板構(gòu)件71的圓盤構(gòu)件181、與在圓盤構(gòu)件181的緣部沿周向設(shè)置的槽部182卡合的卡合銷183?？ê箱N183能夠沿槽部182相對(duì)滑動(dòng)，通過(guò)使位于槽部182的一端的卡合銷183沿槽部182相對(duì)滑動(dòng)，并使其位于槽部182的另一端，由此能夠使板構(gòu)件71的朝向切換90度。另外，卡合銷183能夠在槽部182的各位置能夠解除地固定其位置。這樣，在基板移載裝置160中，通過(guò)設(shè)置位置調(diào)整機(jī)構(gòu)180，例如可選擇性地實(shí)現(xiàn)如圖12A所示的以長(zhǎng)邊側(cè)端子部2A沿X軸方向的姿勢(shì)通過(guò)保持單元70吸附保持面板基板 1那樣的保持形態(tài)和如圖12B所示的以短邊側(cè)端子部2B沿X軸方向的姿勢(shì)通過(guò)保持單元 70吸附保持面板基板1那樣的保持形態(tài)。在此，對(duì)積極地利用了變形例的基板移載裝置160的特征的相對(duì)于面板基板1的部件安裝方法，利用圖13所示的示意說(shuō)明圖進(jìn)行說(shuō)明。首先，在具備多個(gè)基板移載裝置160的部件安裝線中，例如，配置在ACF貼附裝置 20和部件預(yù)壓接裝置30之間的基板移載裝置160的保持單元70按照以圖12B所示那樣的短邊側(cè)端子部2B為沿X軸方向的面板基板1的姿勢(shì)進(jìn)行搬運(yùn)的方式設(shè)定位置調(diào)整機(jī)構(gòu) 180。在圖13所示的ACF貼附裝置20中，搬入沿X軸方向配置了長(zhǎng)邊側(cè)端子部2A的狀態(tài)的面板基板1，且對(duì)長(zhǎng)邊側(cè)端子部2A進(jìn)行ACF貼附工序。之后，利用面板臺(tái)22進(jìn)行θ旋轉(zhuǎn)，沿X軸方向沿配置短邊側(cè)端子部2Β，對(duì)短邊側(cè)端子部2Β進(jìn)行ACF貼附工序。之后，在沿 X軸方向配置了短邊側(cè)端子部2Β的姿勢(shì)的狀態(tài)下(S卩，不使面板基板1進(jìn)行θ旋轉(zhuǎn)(90度旋轉(zhuǎn)))，通過(guò)基板移載裝置160進(jìn)行面板基板1的搬運(yùn)，將面板基板1搬運(yùn)至部件預(yù)壓接裝置30。在部件預(yù)壓接裝置30中，不對(duì)搬入的面板基板1進(jìn)行θ旋轉(zhuǎn)(90度旋轉(zhuǎn))，而對(duì)沿X軸方向配置的短邊側(cè)端子部2Β實(shí)施部件預(yù)壓接工序。之后，通過(guò)面板臺(tái)34進(jìn)行面板基板1的θ旋轉(zhuǎn)，對(duì)沿X軸方向配置的長(zhǎng)邊側(cè)端子部2Α實(shí)施部件預(yù)壓接工序。之后，在沿 X軸方向配置了長(zhǎng)邊側(cè)端子部2Α的姿勢(shì)的狀態(tài)下，通過(guò)基板移載裝置160進(jìn)行面板基板1 的搬運(yùn)，將面板基板1搬運(yùn)至長(zhǎng)邊側(cè)實(shí)壓接裝置40。在長(zhǎng)邊側(cè)實(shí)壓接裝置40中，不對(duì)搬入的面板基板1進(jìn)行θ旋轉(zhuǎn)(90度旋轉(zhuǎn))，而對(duì)沿X軸方向配置的長(zhǎng)邊側(cè)端子部2Α實(shí)施實(shí)壓接工序。之后，通過(guò)基板移載裝置160進(jìn)行面板基板1的搬運(yùn)，將面板基板1搬運(yùn)至短邊側(cè)實(shí)壓接裝置50，在短邊側(cè)實(shí)壓接裝置50中實(shí)施短邊側(cè)實(shí)壓接工序。在采用這種面板基板1的搬運(yùn)方法的部件安裝方法中，在各裝置20、30、40及50 中，能夠減少使面板基板1進(jìn)行θ旋轉(zhuǎn)的次數(shù)。即，在ACF貼附裝置20中，對(duì)短邊側(cè)端子部2B實(shí)施ACF貼附工序后，不使面板基板1進(jìn)行θ旋轉(zhuǎn)，而通過(guò)基板移載裝置160向部件預(yù)壓接裝置30搬運(yùn)面板基板1。進(jìn)而，在部件預(yù)壓接裝置30中，不對(duì)沿X軸方向配置了短邊側(cè)端子部2Β的狀態(tài)的面板基板1進(jìn)行θ旋轉(zhuǎn)，而對(duì)短邊側(cè)端子部2Β實(shí)施了部件預(yù)壓接工序。因此，至少在ACF貼附裝置20及部件預(yù)壓接裝置30中能夠減少使面板基板1進(jìn)行 θ旋轉(zhuǎn)的次數(shù)。因此，相對(duì)于面板基板1，能夠減少由通過(guò)實(shí)施θ旋轉(zhuǎn)而施加的慣性產(chǎn)生的壓力的次數(shù)。特別是在大型化及/或薄型化的面板基板1中，與小型的面板基板1相比， 由其自轉(zhuǎn)產(chǎn)生的壓力量大幅增加。因此，通過(guò)采用這種搬運(yùn)方法及安裝方法，能夠有效地減少對(duì)面板基板施加的壓力。此外，在這種搬運(yùn)方法中，從能夠縮短用于部件安裝的節(jié)奏，從提高生產(chǎn)性的觀點(diǎn)出發(fā)也是有效的。另外，通過(guò)適當(dāng)組合上述各種實(shí)施方式中的任意的實(shí)施方式，能夠起到各自具有的效果。本發(fā)明參照附圖并同時(shí)結(jié)合優(yōu)選的實(shí)施方式充分地進(jìn)行了記述，但作為熟悉該技術(shù)的人員而言，當(dāng)然能夠進(jìn)行各種變形及修正。只要不脫離權(quán)利要求書所限定的本發(fā)明的范圍，這些變形及修正當(dāng)然也包含于本發(fā)明中。于2009年3月11日申請(qǐng)的日本國(guó)專利申請(qǐng)No. 2009-058025號(hào)的說(shuō)明書、附圖及權(quán)利要求書的公開(kāi)內(nèi)容作為整體編入于本說(shuō)明書中。
權(quán)利要求
1.一種基板搬運(yùn)處理系統(tǒng)，具備第一及第二作業(yè)裝置，其彼此鄰接配置，且具備能夠解除地吸附保持基板的下表面的基板臺(tái)和對(duì)保持于基板臺(tái)的基板進(jìn)行處理的作業(yè)處理單元；基板移載裝置，其具有臂部；支承軸，其固定于臂部的一端，且在水平面內(nèi)將臂部支承為能夠回旋，并且配置在第一作業(yè)裝置和第二作業(yè)裝置之間；保持單元，其支承于臂部的另一端，能夠解除地吸附保持基板的上表面；旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置，其以支承軸為旋轉(zhuǎn)中心使臂部回旋，從而使保持單元回旋移動(dòng)；姿勢(shì)保持機(jī)構(gòu)，其使回旋移動(dòng)的保持單元在水平方向上保持為一定姿勢(shì)，基板移載裝置的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置在第一作業(yè)裝置的基板臺(tái)上的位置即第一移載位置和第二作業(yè)裝置的基板臺(tái)上的位置即第二移載位置之間進(jìn)行保持單元的回旋移動(dòng)，并從第一作業(yè)裝置的基板臺(tái)向第二作業(yè)裝置的基板臺(tái)在水平方向上保持為一定姿勢(shì)且同時(shí)搬運(yùn)基板。
2.如權(quán)利要求1所述的基板搬運(yùn)處理系統(tǒng)，其中，在第一及第二作業(yè)裝置中，各作業(yè)處理單元按照彼此鄰接的方式配置于沿基板的搬運(yùn)方向的一端部區(qū)域，在各作業(yè)處理單元之間配置有基板移載裝置的支承軸。
3.如權(quán)利要求1所述的基板搬運(yùn)處理系統(tǒng)，其中， 各基板臺(tái)具備基板載置部，其能夠解除地吸附保持基板的下表面； 升降裝置，其使基板載置部升降； 水平方向移動(dòng)裝置，其使基板載置部在水平方向上移動(dòng)， 水平方向移動(dòng)裝置能夠?qū)⒒遢d置部定位于移載位置， 升降裝置能夠?qū)⒒遢d置部定位于移載位置中的移載高度。
4.如權(quán)利要求1所述的基板搬運(yùn)處理系統(tǒng)，其中，基板移載裝置的姿勢(shì)保持機(jī)構(gòu)是具備第一聯(lián)桿和第二聯(lián)桿的平行聯(lián)桿機(jī)構(gòu)，所述第一聯(lián)桿是臂部，所述第二聯(lián)桿與該第一聯(lián)桿平行配置且通過(guò)臂部的回旋動(dòng)作在保持與第一聯(lián)桿的平行關(guān)系的狀態(tài)下回旋。
5.如權(quán)利要求1所述的基板搬運(yùn)處理系統(tǒng)，其中， 基板移載裝置的保持單元具備多個(gè)吸附保持構(gòu)件，其吸附保持基板的上表面；多個(gè)落下防止用卡合構(gòu)件，其能夠在保持基板的端部的卡合位置和解除保持的卡合解除位置之間動(dòng)作；卡合構(gòu)件動(dòng)作裝置，其至少在基板移載裝置的基板的移載動(dòng)作異常時(shí)使落下防止用卡合構(gòu)件從卡合解除位置動(dòng)作至卡合位置。
6.如權(quán)利要求1所述的基板搬運(yùn)處理系統(tǒng)，其中，在基板移載裝置中，還具備能夠與位于第一作業(yè)裝置的第一移載位置的狀態(tài)的基板的水平方向的姿勢(shì)對(duì)應(yīng)而對(duì)保持單元的水平方向的姿勢(shì)進(jìn)行調(diào)整的調(diào)整機(jī)構(gòu)，被調(diào)整機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)于位于第一作業(yè)裝置的第一移載位置的基板的水平方向的姿勢(shì)而調(diào)整了其水平方向的姿勢(shì)的保持單元進(jìn)行回旋移動(dòng)，由此，在從第一移載位置向第二移載位置保持了水平方向的姿勢(shì)的狀態(tài)下，進(jìn)行基板的移載。
7.一種部件安裝裝置，在權(quán)利要求1 6中任一項(xiàng)所述的基板搬運(yùn)處理系統(tǒng)中，各作業(yè)裝置通過(guò)作業(yè)處理單元對(duì)配置于基板的端部的部件安裝區(qū)域進(jìn)行用于部件安裝的作業(yè)處理，通過(guò)利用基板移載裝置從第一作業(yè)裝置向第二作業(yè)裝置移載基板，而對(duì)基板的部件安裝區(qū)域依次進(jìn)行用于部件安裝的作業(yè)處理。
8.一種基板搬運(yùn)處理方法，在彼此鄰接配置且具備能夠解除地吸附保持基板的下表面的基板臺(tái)和對(duì)保持于基板臺(tái)的基板進(jìn)行處理的作業(yè)處理單元的第一作業(yè)裝置和第二作業(yè)裝置之間進(jìn)行基板的搬運(yùn)，使用具有臂部、支承軸和保持單元的基板移載裝置，在第一作業(yè)裝置的基板臺(tái)上的位置即第一移載位置，通過(guò)保持單元吸附保持被吸附保持于基板臺(tái)上的基板的上表面，并且解除基于基板臺(tái)的吸附保持并將基板從基板臺(tái)向保持單元交接，所述支承軸固定于臂部的一端，且在水平面內(nèi)將臂部支承為能夠回旋，并且配置在第一作業(yè)裝置和第二作業(yè)裝置之間，所述保持單元支承于臂部的另一端，能夠解除地吸附保持基板的上表面，通過(guò)以支承軸為旋轉(zhuǎn)中心使臂部回旋，而在第二作業(yè)裝置的基板臺(tái)上的位置即第二移載位置，在保持了水平方向的基板的姿勢(shì)的狀態(tài)下，使保持單元回旋移動(dòng)，在第二移載位置，由基板臺(tái)吸附保持基板，并且解除基于保持單元的吸附保持并將基板從保持單元向基板臺(tái)交接，進(jìn)行基板的搬運(yùn)。
9.如權(quán)利要求8所述的基板搬運(yùn)處理方法，其中，通過(guò)臂部的回旋使保持單元位于移載位置后，在移載位置使基板臺(tái)上升而位于移載高度位置，在該狀態(tài)下，進(jìn)行在第一移載位置及第二移載位置的基板臺(tái)和保持單元之間的基板的交接。
10.一種使用了如權(quán)利要求8或9所述的基板搬運(yùn)處理方法的部件安裝方法，作為基板，使用在短邊側(cè)端子部及長(zhǎng)邊側(cè)端子部具有部件安裝區(qū)域的長(zhǎng)方形形狀的顯示面板，在第一作業(yè)裝置中，在進(jìn)行了作業(yè)處理單元和基板的長(zhǎng)邊側(cè)端子部的部件安裝區(qū)域的對(duì)位后，由作業(yè)處理單元對(duì)長(zhǎng)邊側(cè)端子部的部件安裝區(qū)域進(jìn)行用于部件安裝的作業(yè)處理，使基板臺(tái)旋轉(zhuǎn)移動(dòng)，進(jìn)行作業(yè)處理單元和基板的短邊側(cè)端子部的部件安裝區(qū)域的對(duì)位，之后，通過(guò)作業(yè)處理單元對(duì)短邊側(cè)端子部的部件安裝區(qū)域進(jìn)行用于部件安裝的作業(yè)處理，在保持對(duì)短邊側(cè)端子部的部件安裝區(qū)域進(jìn)行作業(yè)處理的水平方向的姿勢(shì)的狀態(tài)下，進(jìn)行基板從第一移載位置向第二移載位置的搬運(yùn)，之后，在第二作業(yè)裝置中，在對(duì)長(zhǎng)邊側(cè)端子部的部件安裝區(qū)域進(jìn)行用于部件安裝的作業(yè)處理之前，通過(guò)作業(yè)處理單元對(duì)短邊側(cè)端子部的部件安裝區(qū)域進(jìn)行用于部件安裝的作業(yè)處理。
全文摘要
本發(fā)明提供一種基板搬運(yùn)處理系統(tǒng)，其使用基板移載裝置，在第一作業(yè)裝置和第二作業(yè)裝置之間，進(jìn)行保持單元(70)的回旋移動(dòng)，并在沿水平方向保持一定姿勢(shì)且同時(shí)搬運(yùn)基板，該基板移載裝置具有臂部(61)；支承軸(62)，其固定于臂部(61)的一端，在水平面內(nèi)將臂部支承為能夠回旋，并且配置在第一作業(yè)裝置和第二作業(yè)裝置之間；保持單元(70)，其支承于臂部(61)的另一端，并吸附保持基板的上表面；旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置(64)，其以支承軸(62)為旋轉(zhuǎn)中心使臂部(61)回旋，從而使保持單元(70)回旋移動(dòng)；姿勢(shì)保持機(jī)構(gòu)(66-69)，其使回旋移動(dòng)的保持單元在水平方向保持一定姿勢(shì)。
文檔編號(hào)H05K13/02GK102348621SQ20108001124
公開(kāi)日2012年2月8日 申請(qǐng)日期2010年3月10日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月11日
發(fā)明者壁下朗, 小林榮, 渡邊雅也 申請(qǐng)人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社