專(zhuān)利名稱(chēng)：有機(jī)el顯示面板、顯示裝置以及有機(jī)el顯示面板的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及排列有有機(jī)電致發(fā)光元件(以下稱(chēng)為“有機(jī)EL元件”)的有機(jī)EL顯示面板、顯示裝置以及有機(jī)EL顯示面板的制造方法。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，作為發(fā)光型的顯示面板，在小型電子設(shè)備、小型顯示裝置使用有機(jī)EL顯示面板，所述有機(jī)EL顯示面板在基板上沿行列方向排列有多個(gè)有機(jī)EL元件。有機(jī)EL元件具有在陽(yáng)極和陰極這一對(duì)電極對(duì)之間形成了含有有機(jī)發(fā)光材料的發(fā)光層的基本構(gòu)造。對(duì)于有機(jī)EL元件，當(dāng)在一對(duì)電極對(duì)之間施加電壓時(shí)，伴隨著從陽(yáng)極注入發(fā)光層的空穴和從陰極 注入發(fā)光層的電子的復(fù)合而進(jìn)行發(fā)光。該有機(jī)EL顯示面板的各有機(jī)EL元件進(jìn)行自發(fā)光，因此視覺(jué)識(shí)別性高。在有機(jī)EL顯示面板中，發(fā)光層通常按每個(gè)有機(jī)EL元件而由絕緣材料所形成的隔壁(堤)來(lái)區(qū)劃，通過(guò)該隔壁來(lái)規(guī)定發(fā)光層的形成區(qū)域。另外，在陽(yáng)極和發(fā)光層之間，根據(jù)需要而插入如空穴注入層、空穴輸送層、空穴注入兼輸送層的中間層。另外，在陰極和發(fā)光層之間也根據(jù)需要而插入電子注入層、電子輸送層或電子注入兼輸送層。
在全彩顯示的有機(jī)EL顯示面板中，這樣的有機(jī)EL元件形成RGB (紅綠藍(lán))各色的子像素，相鄰的RGB的子像素配合以形成一個(gè)像素。在形成各有機(jī)EL元件的發(fā)光層、中間層的方法中多使用濕法方式，該濕法方式中在基板上形成對(duì)相鄰的各有機(jī)EL元件之間進(jìn)行區(qū)劃的隔壁，將含有高分子材料和/或薄膜形成性良好的低分子材料的墨水通過(guò)噴墨方式等進(jìn)行涂敷。根據(jù)該濕法方式，即使在大型面板中也能比較容易地形成中間層、發(fā)光層。在濕法方式中的代表性的噴墨方式中，例如，在涂敷對(duì)象的基板的上方使噴墨頭沿行列方向的任一方向移動(dòng)，向基板上的由隔壁區(qū)劃的區(qū)域，從噴嘴噴出含有用于形成中間層、發(fā)光層等的有機(jī)材料和溶劑的溶液(以下稱(chēng)為“墨水”)的液滴來(lái)涂敷墨水(參照專(zhuān)利文獻(xiàn)I)。在先技術(shù)文獻(xiàn)專(zhuān)利文獻(xiàn)I :日本特開(kāi)2003-241683號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
但是，適于提高各有機(jī)EL元件的發(fā)光效率的中間層的膜厚依賴(lài)于發(fā)光顏色的波長(zhǎng)。例如，在頂部發(fā)射型的有機(jī)EL元件中，期望設(shè)定光路長(zhǎng)度以使從發(fā)光層向基板側(cè)發(fā)射的光在一旦由基板側(cè)的電極等反射之后，通過(guò)發(fā)光層而出射的反射光和從發(fā)光層直接向上方(與基板相反側(cè))出射的光相互加強(qiáng)。即，在紅色光、綠色光以及藍(lán)色光中，因其波長(zhǎng)不同，有機(jī)EL元件內(nèi)的最佳光路長(zhǎng)度(共振條件)不同，因此在提高發(fā)光效率方面，優(yōu)選在各色子像素中，根據(jù)發(fā)光顏色的波長(zhǎng)對(duì)中間層的膜厚差進(jìn)行微調(diào)節(jié)。但是，在實(shí)際地以濕法方式形成中間層時(shí)，實(shí)際上難以按各顏色微調(diào)節(jié)中間層的膜厚。具體而言，含有中間層的材料的墨水在全部顏色中為共用的，且對(duì)各子像素供給的中間層形成用的墨水量是一定的。例如，在以噴墨方式涂敷中間層的墨水時(shí)，對(duì)形成各顏色的有機(jī)EL元件的區(qū)域噴出的墨水的液滴數(shù)是相同的，且從噴嘴噴出的每一滴墨水的體積也是相同的。在此，在噴墨方式的情況下，也考慮通過(guò)按子像素的各顏色來(lái)改變滴下的墨水液滴數(shù)，從而調(diào)節(jié)中間層的膜厚，但向各子像素供給的墨水量只能以墨水液滴為單位來(lái)進(jìn)行改變，因此，按子像素的各顏色來(lái)微調(diào)節(jié)中間層的膜厚實(shí)際上依然很困難。另外，對(duì)于發(fā)光層，例如，由于用于得到所期望的輝度(brightness)和/或色度的適當(dāng)?shù)哪ず癜锤黝伾煌?，所以要求?duì)與不同的顏色對(duì)應(yīng)的發(fā)光層之間的膜厚差進(jìn)行微 調(diào)節(jié)，或者為了與中間層同樣地使光路長(zhǎng)度與發(fā)光顏色的波長(zhǎng)相適，要求微調(diào)節(jié)膜厚差。從以上所述的例子可知，在有機(jī)EL顯示面板中，在以濕法方式形成中間層、發(fā)光層時(shí)，要求微調(diào)節(jié)它們的膜厚差。本發(fā)明鑒于這樣的問(wèn)題而完成的發(fā)明，目的在于在有機(jī)EL顯示面板中，使得能夠一邊以濕法方式形成中間層或發(fā)光層，一邊容易地對(duì)不同的發(fā)光顏色之間的中間層等的膜厚差進(jìn)行微調(diào)節(jié)，例如，提高發(fā)光效率、發(fā)光顏色等。為解決上述課題，本發(fā)明的一種方式的有機(jī)EL顯示面板為如下構(gòu)成，具備TFT層；層間絕緣膜，其設(shè)在所述TFT層的上方；第一電極板組，其形成在所述層間絕緣膜上，包括線(xiàn)狀排列的多個(gè)第一顏色用的電極板；第二電極板組，其在所述層間絕緣膜上與所述第一電極板組相鄰地形成，包括線(xiàn)狀排列的多個(gè)第二顏色用的電極板；第一隔壁，其沿著所述第一電極板組的一個(gè)長(zhǎng)邊部分而形成；第二隔壁，其形成在所述第一電極板組的另一長(zhǎng)邊部分和所述第二電極板組的一個(gè)長(zhǎng)邊部分之間；第三隔壁，其沿著所述第二電極板組的另一長(zhǎng)邊部分而形成；第一有機(jī)功能層，其形成在所述第一隔壁和所述第二隔壁之間、所述第一電極板組的上方；第二有機(jī)功能層，其形成在所述第二隔壁和所述第三隔壁之間、所述第二電極板組的上方；以及對(duì)置電極，其設(shè)在所述第一有機(jī)功能層和所述第二有機(jī)功能層的上方，在所述層間絕緣膜設(shè)有將所述第一顏色用的電極板各自與TFT層連接的第一接觸孔、和將所述第二顏色用的電極板各自與TFT層連接的第二接觸孔，所述第一顏色用的電極板各自具有沿著所述第一接觸孔的形狀而凹陷的第一凹部，所述第二顏色用的電極板各自具有沿著所述第二接觸孔的形狀而凹陷的第二凹部，所述層間絕緣膜的厚度形成為形成有所述第一電極板組的部位的厚度比形成有所述第二電極板組的部位的厚度厚，所述第一接觸孔比所述第二接觸孔深且容積大，與所述第一顏色用的電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第一有機(jī)功能層的體積和與所述第二顏色用的電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第二有機(jī)功能層的體積相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)，所述第一有機(jī)功能層進(jìn)入與所述第一接觸孔對(duì)應(yīng)的第一凹部中的量比所述第二有機(jī)功能層進(jìn)入與所述第二接觸孔對(duì)應(yīng)的第二凹部中的量多，因而所述第一凹部以外的所述第一顏色用的電極板上的區(qū)域中的所述第一有機(jī)功能層的膜厚比在所述第二凹部以外的所述第二顏色用的電極板上的區(qū)域形成的所述第二有機(jī)功能層的膜厚薄。
本發(fā)明的一種方式的顯示裝置具備上述有機(jī)EL顯示面板。本發(fā)明的一種方式的有機(jī)EL顯示面板的制造方法為如下構(gòu)成，包括第一工序，準(zhǔn)備基板；第二工序，在所述基板上形成TFT層；第三工序，在所述TFT層上形成層間絕緣膜；第四工序，在所述層間絕緣膜上形成線(xiàn)狀地排列了多個(gè)第一顏色用的電極板的第一電極板組，與所述第一電極板組相鄰地在所述層間絕緣膜上形成線(xiàn)狀地排列了多個(gè)第二顏色用的電極板的第二電極板組；第五工序，沿著所述第一電極板組的一個(gè)長(zhǎng)邊部分而形成第一隔壁，在所述第一電極板組的另一長(zhǎng)邊部分和所述第二電極板組的一個(gè)長(zhǎng)邊部分之間形成第二隔壁，沿著所述第二電極板組的另一長(zhǎng)邊部分而形成第三隔壁；第六工序，在所述第一隔壁和所述第二隔壁之間在所述第一電極板組的上方連續(xù)地形成第一有機(jī)功能層；第七工序，在所述第二隔壁和所述第三隔壁之間在所述第二電極板組的上方連續(xù)地形成第二有機(jī)功能層；和第八工序，在所述第一有機(jī)功能層及所述第二有機(jī)功能層的上方設(shè)置對(duì)置電極，在所述第三工序中，所述層間絕緣膜的厚度形成為形成有所述第一電極板組的部位的厚度比形成有所述第二電極板組的部位的厚度厚，在所述層間絕緣膜設(shè)有將所述第一顏色用的電極板各自與TFT層連接的第一接觸孔、和將所述第二顏色用的電極板各自與TFT層連接的第二接觸孔，所述第一接觸孔形成為比所述第二接觸孔深且容積大，在所述第四工 序中，在各個(gè)所述第一顏色用的電極板，沿著所述第一接觸孔的形狀而形成第一凹部，在各個(gè)所述第二顏色用的電極板，沿著所述第二接觸孔的形狀而形成第二凹部，在所述第六工序中形成的所述第一有機(jī)功能層和在所述第七工序中形成的所述第二有機(jī)功能層中，與所述第一顏色用的電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第一有機(jī)功能層的體積和與所述第二顏色用的電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第二有機(jī)功能層的體積相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)，所述第一有機(jī)功能層進(jìn)入與所述第一接觸孔對(duì)應(yīng)的第一凹部中的量比所述第二有機(jī)功能層進(jìn)入與所述第二接觸孔對(duì)應(yīng)的第二凹部中的量多，因而所述第一凹部以外的所述第一顏色用的電極板上的區(qū)域中的所述第一有機(jī)功能層的膜厚比在所述第二凹部以外的所述第二顏色用的電極板上的區(qū)域形成的所述第二有機(jī)功能層的膜厚薄。根據(jù)本發(fā)明的一種方式的有機(jī)EL顯示面板，能夠通過(guò)使層間絕緣膜的厚度不同來(lái)改變第一接觸孔和第二接觸孔的深度，能夠容易地使第一接觸孔的容積(體積)比第二接觸孔的容積(體積)大。因此，第一凹部的容積比第二凹部的容積大，在通過(guò)濕式方式形成有機(jī)功能層時(shí)，例如，在電極板的上方形成的第一有機(jī)功能層和第二有機(jī)功能層為相同體積的情況下，能夠使進(jìn)入第一凹部的第一有機(jī)功能層的量比進(jìn)入第二凹部的第二有機(jī)功能層的量多。其結(jié)果，例如，在第一顏色用的電極板及第二顏色用的電極板的上方形成了相同體積的有機(jī)功能層的情況下，能夠使與第一顏色用的電極板的第一凹部以外的區(qū)域(例如，平坦的區(qū)域)對(duì)應(yīng)的第一有機(jī)功能層的膜厚(以下簡(jiǎn)稱(chēng)為第一有機(jī)功能層的膜厚)比與第二顏色用的電極板的第二凹部以外的區(qū)域?qū)?yīng)的第二有機(jī)功能層的膜厚(以下簡(jiǎn)稱(chēng)為第二有機(jī)功能層的膜厚)薄。在此，對(duì)于第一凹部的容積和第二凹部的容積之差，能夠以比噴墨式涂敷方法中從噴嘴排出的每一滴墨水的體積小的單位來(lái)進(jìn)行調(diào)節(jié)。因此，通過(guò)對(duì)第一凹部的容積和第二凹部的容積之差進(jìn)行微調(diào)節(jié)，能夠容易地微調(diào)節(jié)第一有機(jī)功能層的膜厚和第二有機(jī)功能層的膜厚之差。
因此，易于微調(diào)節(jié)與不同顏色對(duì)應(yīng)的有機(jī)功能層的膜厚差。其結(jié)果，例如，能使有機(jī)EL元件內(nèi)的光的共振條件按每種顏色而優(yōu)化，能夠容易地得到發(fā)光效率優(yōu)異的顯示面板。為了使有機(jī)EL元件內(nèi)的光的共振條件按每種顏色而進(jìn)行優(yōu)化，不需要僅是通過(guò)有機(jī)功能層來(lái)使光路長(zhǎng)度優(yōu)化，也可以按每種顏色而對(duì)其它層(例如，透明電極層)的膜厚進(jìn)行調(diào)節(jié)。在此，為了“將所述層間絕緣膜的厚度形成為形成有所述第一電極板組的部位的厚度比形成有所述第二電極板組的部位的厚度厚”，可以在形成有第一電極板組的部位和形成有第二電極板組的部位，改變層間絕緣膜的上面和下面中至少一方的高度(在后面詳細(xì)描述)。根據(jù)本發(fā)明的一種方式的有機(jī)EL顯示面板的制造方法，能夠制造上述有機(jī)EL顯示面板。


圖I是示意表示實(shí)施方式的有機(jī)EL顯示面板100的結(jié)構(gòu)的剖視圖。圖2是表示顯示面板100的概略結(jié)構(gòu)的立體圖。圖3(a)是表示顯示面板100的概略結(jié)構(gòu)的俯視圖，圖3(b)是在圖3(a)的A_A’線(xiàn)剖開(kāi)而得到的剖視圖，圖3(c)是在圖3(a)的B-B’線(xiàn)剖開(kāi)而得到的剖視圖。圖4是用于說(shuō)明顯示面板100的制造方法的圖。圖5是用于說(shuō)明形成顯示面板100的層間絕緣膜的工序的示意圖。
圖6是用于說(shuō)明形成顯示面板100的隔壁的工序的示意圖。圖7是表示剛在基板上涂敷了中間層形成用的墨水之后以及干燥后的狀況的剖面示意圖。圖8是用于說(shuō)明凹部15的容積和空穴輸送層9的膜厚之間的關(guān)系的示意圖。圖9是用于說(shuō)明接觸孔13的上面面積的圖。圖10是用于說(shuō)明有機(jī)EL元件20內(nèi)的光的行進(jìn)方式的示意圖。圖11是表示實(shí)施方式2的顯示面板的概略結(jié)構(gòu)的剖視圖。圖12是用于說(shuō)明形成實(shí)施方式2的帶臺(tái)階基板81的工序的示意圖。圖13是表示實(shí)施方式的顯示裝置200的整體結(jié)構(gòu)的圖。圖14是表示使用顯示裝置200的電視系統(tǒng)的一個(gè)例子的外觀形狀。標(biāo)號(hào)說(shuō)明I 基板2TFT 層3層間絕緣膜5 (5a 5c)陽(yáng)極板6像素限制層7 (7a 7c)空穴注入層8a，8b，8c 隔壁9 (9a 9c)空穴輸送層
10 (10a 10c)有機(jī)發(fā)光層11陰極層13 (13a 13c)接觸孔15 (15a 15c)凹部20a 20c有機(jī)EL元件2 2 SD 電極23 (23a 23c)凹部 100有機(jī)EL顯示面板
具體實(shí)施例方式〈發(fā)明的方式〉本發(fā)明的一種方式的有機(jī)EL顯示面板為如下構(gòu)成，具備TFT層；層間絕緣膜，其設(shè)在所述TFT層的上方；第一電極板組，其形成在所述層間絕緣膜上，包括線(xiàn)狀排列的多個(gè)第一顏色用的電極板；第二電極板組，其在所述層間絕緣膜上與所述第一電極板組相鄰地形成，包括線(xiàn)狀排列的多個(gè)第二顏色用的電極板；第一隔壁，其沿著所述第一電極板組的一個(gè)長(zhǎng)邊部分而形成；第二隔壁，其形成在所述第一電極板組的另一長(zhǎng)邊部分和所述第二電極板組的一個(gè)長(zhǎng)邊部分之間；第三隔壁，其沿著所述第二電極板組的另一長(zhǎng)邊部分而形成；第一有機(jī)功能層，其形成在所述第一隔壁和所述第二隔壁之間、所述第一電極板組的上方；第二有機(jī)功能層，其形成在所述第二隔壁和所述第三隔壁之間、所述第二電極板組的上方；以及對(duì)置電極，其設(shè)在所述第一有機(jī)功能層和所述第二有機(jī)功能層的上方，在所述層間絕緣膜設(shè)有將所述第一顏色用的電極板各自與TFT層連接的第一接觸孔、和將所述第二顏色用的電極板各自與TFT層連接的第二接觸孔，所述第一顏色用的電極板各自具有沿著所述第一接觸孔的形狀而凹陷的第一凹部，所述第二顏色用的電極板各自具有沿著所述第二接觸孔的形狀而凹陷的第二凹部，所述層間絕緣膜的厚度形成為形成有所述第一電極板組的部位的厚度比形成有所述第二電極板組的部位的厚度厚，所述第一接觸孔比所述第二接觸孔深且容積大，與所述第一顏色用的電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第一有機(jī)功能層的體積和與所述第二顏色用的電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第二有機(jī)功能層的體積相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)，所述第一有機(jī)功能層進(jìn)入與所述第一接觸孔對(duì)應(yīng)的第一凹部中的量比所述第二有機(jī)功能層進(jìn)入與所述第二接觸孔對(duì)應(yīng)的第二凹部中的量多，因而所述第一凹部以外的所述第一顏色用的電極板上的區(qū)域中的所述第一有機(jī)功能層的膜厚比在所述第二凹部以外的所述第二顏色用的電極板上的區(qū)域形成的所述第二有機(jī)功能層的膜厚薄。根據(jù)本發(fā)明的一種方式的有機(jī)EL顯示面板，能夠通過(guò)使層間絕緣膜的厚度不同來(lái)改變第一接觸孔和第二接觸孔的深度，能夠容易地使第一接觸孔的容積(體積)比第二接觸孔的容積(體積)大。因此，第一凹部的容積比第二凹部的容積大，在通過(guò)濕法方式形成機(jī)功能層時(shí)，例如，在電極板的上方形成的第一有機(jī)功能層和第二有機(jī)功能層為相同體積的情況下，能夠使進(jìn)入第一凹部的第一有機(jī)功能層的量比進(jìn)入第二凹部的第二有機(jī)功能層的量多。其結(jié)果，例如，在第一顏色用的電極板及第二顏色用的電極板的上方形成相同體積的有機(jī)功能層的情況下，能夠使與第一顏色用的電極板的第一凹部以外的區(qū)域(例如，平坦的區(qū)域、發(fā)光區(qū)域等)對(duì)應(yīng)的第一有機(jī)功能層的膜厚(以下簡(jiǎn)稱(chēng)為第一有機(jī)功能層的膜厚)比與第二顏色用的電極板的第二凹部以外的區(qū)域?qū)?yīng)的第二有機(jī)功能層的膜厚(以下簡(jiǎn)稱(chēng)為第二有機(jī)功能層的膜厚)薄。在此，對(duì)于第一凹部的容積和第二凹部的容積之差，能夠以比噴墨式涂敷方法中從噴嘴排出的每一滴墨水的體積小的單位來(lái)進(jìn)行調(diào)節(jié)。因此，通過(guò)對(duì)第一凹部的容積和第二凹部的容積之差進(jìn)行微調(diào)節(jié)，能夠容易地微調(diào)節(jié)第一有機(jī)功能層的膜厚和第二有機(jī)功能層的膜厚之差。因此，易于微調(diào)節(jié)與不同顏色對(duì)應(yīng)的有機(jī)功能層的膜厚差。其結(jié)果，例如，能夠使有機(jī)EL元件內(nèi)的光的共振條件按每種顏色而優(yōu)化，能夠容易地得到發(fā)光效率優(yōu)異的顯示面板。為了使有機(jī)EL元件內(nèi)的光的共振條件按每種顏色而優(yōu)化，不需要僅是通過(guò)有機(jī)功能層來(lái)使光路長(zhǎng)度優(yōu)化，也可以按每種顏色而對(duì)其它層(例如，透明電極層)的膜厚進(jìn)行調(diào)節(jié)。
在此，有機(jī)EL元件內(nèi)的光的共振條件按每種顏色而優(yōu)化是指如下?tīng)顟B(tài)例如，在假設(shè)以與本方式的有機(jī)EL顯示面板相同的制造條件(有機(jī)EL元件的尺寸、墨水涂敷量等條件)來(lái)使第一接觸孔和第二接觸孔的容積相同地制造有機(jī)EL顯示面板的情況下，無(wú)法兼顧提高第一顏色用和第二顏色用的有機(jī)EL元件這兩者的發(fā)光效率，但通過(guò)使第一接觸孔和第二接觸孔的容積不同，能夠兼顧提高第一顏色用和第二顏色用的有機(jī)EL元件這兩者的發(fā)光效率。在假設(shè)使第一接觸孔和第二接觸孔的容積相同的情況下，作為無(wú)法兼顧提高第一顏色用和第二顏色用的有機(jī)EL元件這兩者的發(fā)光效率的狀態(tài)的具體例子為如下等狀態(tài)在假設(shè)減小本方式的有機(jī)EL顯示面板的第一接觸孔的容積而使之與第二接觸孔的容積相同的情況下，第一顏色用的有機(jī)EL元件的發(fā)光效率下降，另一方面，在假設(shè)增大第二接觸孔的容積而使之與第一接觸孔的容積相同的情況下，第二顏色用的有機(jī)EL元件的發(fā)光效率下降。此外，對(duì)于使有機(jī)EL元件的發(fā)光色按每種顏色而適當(dāng)化的情況也可以說(shuō)與上述情況是同樣的。對(duì)于發(fā)光色的適當(dāng)化，能通過(guò)例如提高各發(fā)光色的色純度來(lái)進(jìn)行。也可以將上述第一接觸孔的容積改寫(xiě)為第一凹部的容積，將上述第二接觸孔的容積改寫(xiě)為第二凹部的容積。在此，為了“將所述層間絕緣膜的厚度形成為形成有所述第一電極板組的部位的厚度比形成有所述第二電極板組的部位的厚度厚”，可以在形成有第一電極板組的部位和形成有第二電極板組的部位，改變層間絕緣膜的上面和下面中至少一方的高度。為了改變層間絕緣膜的上面的高度，例如，可以在層間絕緣膜的上面形成臺(tái)階差，使形成有第一電極板組的部位比形成有第二電極板組的部位高。為了改變層間絕緣膜的下面的高度，例如，可以使與TFT層的第一電極板組對(duì)應(yīng)的部位比與第二電極板組對(duì)應(yīng)的部位低。本方式例如可以具備與第一電極板組對(duì)應(yīng)的部位比與第二電極板組對(duì)應(yīng)的部位低的基板，在該基板上形成TFT層。在此，“與第一顏色用的電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的第一有機(jī)功能層的體積和與各第二顏色用的電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的第二有機(jī)功能層的體積相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)”是意味著，第一有機(jī)功能層的體積與第二有機(jī)功能層的體積實(shí)質(zhì)相同(在誤差范圍內(nèi))，第一有機(jī)功能層的體積與第二有機(jī)功能層的體積之差在數(shù)值上相對(duì)于第一有機(jī)功能層的體積為10%以?xún)?nèi)。在本方式中，可以使第一凹部的容積和第二凹部的容積之差比一滴墨水的體積大(例如，I. 5滴的量)。第一有機(jī)功能層的體積與第二有機(jī)功能層的體積之差優(yōu)選小于從在第一凹部堆積的第一有機(jī)功能層的體積減去在第二凹部堆積的第二有機(jī)功能層的體積所得的體積。在此，“第一凹部以外的第一顏色用的電極板上的區(qū)域”是指，例如，在俯視 時(shí)，第一顏色用的電極板上的區(qū)域中的除了形成有第一凹部的區(qū)域(有時(shí)包括第一凹部周?chē)膮^(qū)域)之外的平坦區(qū)域。具體而言，例如，是俯視時(shí)位于發(fā)光區(qū)域的部分。對(duì)于第二顏色用的電極板上的區(qū)域也是同樣的。在本方式中，上方是指有機(jī)功能層等的層疊方向的上方，為從TFT層遠(yuǎn)離的方向。即使在電極板上形成有機(jī)功能層以外的層(例如，像素限制層)，如果有機(jī)功能層以外的層凹陷入凹部，則也可以微調(diào)節(jié)有機(jī)功能層的膜厚。進(jìn)一步，本發(fā)明的一種方式的有機(jī)EL顯示面板可以采用以下結(jié)構(gòu)與所述第一顏色用的電極板對(duì)應(yīng)的第一接觸孔的上面面積和與所述第二顏色用的電極板對(duì)應(yīng)的第二接觸孔的上面面積相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)。根據(jù)本方式，即使在使第一接觸孔的上面面積和第二接觸孔的上面面積相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)的情況下，也能夠通過(guò)改變第一接觸孔和第二接觸孔的深度，使第一接觸孔的容積比第二接觸孔的容積大。其結(jié)果，能夠微調(diào)節(jié)第一有機(jī)功能層的膜厚和第二有機(jī)功能層的膜厚之差。此外，通過(guò)使第一接觸孔和第二接觸孔的上面面積實(shí)質(zhì)相同，能夠使第一凹部和第二凹部的開(kāi)口面積也實(shí)質(zhì)相同，所涂敷的墨水進(jìn)入凹部?jī)?nèi)的容易度也大體相等。上面面積例如可以為在層間絕緣膜的上面開(kāi)口的接觸孔的開(kāi)口面積，也可以為以與有機(jī)功能層等的層疊方向垂直的剖面將接觸孔的上部剖開(kāi)的情況下的開(kāi)口的面積。接觸孔的上部例如可以為接觸孔的周緣部的最上部和接觸孔的深度尺寸的向下15%的位置之間的任一部分。此外，“相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)”是指，第一接觸孔的上面面積和第二接觸孔的上面面積實(shí)質(zhì)相同(在誤差范圍內(nèi))，第一接觸孔的上面面積和第二接觸孔的上面面積之差在數(shù)值上相對(duì)于第一接觸孔的上面面積為10 %以?xún)?nèi)。進(jìn)一步，在本發(fā)明的一種方式的有機(jī)EL顯示面板可以采用以下結(jié)構(gòu)所述接觸孔的上面面積為從所述層間絕緣膜的所述接觸孔的周緣部的最高位置向下10%的位置處、或向下10%的鄰近值的范圍內(nèi)的位置處的所述接觸孔的直徑所規(guī)定的圓的面積。本方式的接觸孔的平面形狀為圓形，通過(guò)從接觸孔的周緣部的最高位置向下接觸孔深度的10%左右的位置處的接觸孔的直徑來(lái)規(guī)定上面面積。由此，即使在接觸孔的周緣部的最高位置及其附近存在形狀和/或高度的不勻的情況下，也能能減小其影響。10%的鄰近值的范圍內(nèi)是誤差范圍內(nèi)，例如，可以為9%以上11%以下的范圍內(nèi)的值。進(jìn)一步，在本發(fā)明的一種方式的有機(jī)EL顯示面板可以采用如下結(jié)構(gòu)與所述第一接觸孔對(duì)應(yīng)的所述第一凹部由第一像素限制層覆蓋，在所述第一像素限制層的上方形成第一有機(jī)功能層，與所述第二接觸孔對(duì)應(yīng)的所述第二凹部由第二像素限制層覆蓋，在所述第二像素限制層的上方形成第二有機(jī)功能層。根據(jù)本方式，通過(guò)由具有絕緣性的像素限制層來(lái)覆蓋凹部，能夠使凹部和有機(jī)功能層電絕緣。由此，能夠防止例如在凹部的開(kāi)口緣上方，有機(jī)發(fā)光層因局部電流集中而以與凹部周?chē)煌妮x度發(fā)光。第一像素限制層和第二像素限制層各自由例如SiO2(氧化硅)膜、或SiN(氮化硅)膜、SiON(氮氧化硅)膜等氧化物(包括氮化物)形成。所述SiO膜、或SiN膜等氧化物與第一有機(jī)功能層及第二有機(jī)功能層各自的潤(rùn)濕性良好，因此在上述像素限制層上直接涂敷含有有機(jī)功能層的墨水的情況下，會(huì)良好地進(jìn)入第一有機(jī)功能層的第一凹部、及進(jìn)入第二有機(jī)功能層的第二凹部。 因此，為了對(duì)與不同顏色對(duì)應(yīng)的有機(jī)功能層的膜厚差進(jìn)行微調(diào)節(jié)而是更合適的。進(jìn)一步，本發(fā)明的一種方式的有機(jī)EL顯示面板可以采用以下結(jié)構(gòu)對(duì)于所述第一有機(jī)功能層，通過(guò)用噴墨式涂敷方法來(lái)涂敷預(yù)定體積的液滴，從而在所述第一電極板組的上方連續(xù)地形成，對(duì)于所述第二有機(jī)功能層，通過(guò)用噴墨式涂敷方法來(lái)涂敷與所述預(yù)定體積相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)的體積的液滴，從而在所述第二電極板組的上方連續(xù)地形成，與所述第一顏色用的電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第一有機(jī)功能層的體積和與所述第二顏色用的電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第二有機(jī)功能層的體積相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)。本方式在有機(jī)功能層的形成中通過(guò)噴墨式涂敷方法所滴下的液滴的體積在第一有機(jī)功能層的形成和第二有機(jī)功能層的形成中實(shí)質(zhì)相同(例如，體積差為10%以?xún)?nèi)的誤差范圍內(nèi))。此外，第一有機(jī)功能層的體積與第二有機(jī)功能層的體積相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)(例如，體積差為10%以?xún)?nèi)的誤差范圍內(nèi))，在各電極板上的區(qū)域滴下的液滴數(shù)相同。在此，如上所述，第一接觸孔的容積比第二接觸孔的容積大，所以能夠使與第一顏色用的電極板的第一凹部以外的部分對(duì)應(yīng)的第一有機(jī)功能層的膜厚比與第二顏色用的電極板的第二凹部以外的部分對(duì)應(yīng)的第二有機(jī)功能層薄。這樣，根據(jù)本方式，在噴墨式涂敷方法中，能夠通過(guò)使各顏色的涂敷條件相同來(lái)簡(jiǎn)化制造裝置或制造工序，并且能夠通過(guò)使第一接觸孔的容積比第二接觸孔的容積大，使第一有機(jī)功能層的膜厚比第二有機(jī)功能層的膜厚薄。即，能夠微調(diào)節(jié)與不同顏色對(duì)應(yīng)的有機(jī)功能層的膜厚差。以往，在用噴墨式涂敷方法形成有機(jī)EL發(fā)光元件的有機(jī)功能層時(shí)，按RGB等各種顏色而調(diào)節(jié)噴墨裝置的噴射次數(shù)(例如，每個(gè)子像素的墨水的滴下數(shù))，從而調(diào)節(jié)各有機(jī)功能層的膜厚，所以難以進(jìn)行有機(jī)功能層的膜厚的微調(diào)節(jié)。例如，在與第一顏色用的電極板對(duì)應(yīng)的區(qū)域滴下十滴構(gòu)成有機(jī)功能層的有機(jī)墨水的液滴的情況下，在將噴射次數(shù)變?yōu)閕^一滴時(shí)，膜厚約變?yōu)?.1倍(增加約10% )。即，在該情況下，噴墨裝置無(wú)法進(jìn)行約10%以下的膜厚控制。因此，無(wú)法微調(diào)節(jié)與不同顏色對(duì)應(yīng)的有機(jī)功能層的膜厚差。此外，在所述有機(jī)功能層為中間層的情況下，在RGB等各顏色使用相同材料來(lái)印刷。此時(shí)，為調(diào)節(jié)與不同顏色對(duì)應(yīng)的有機(jī)功能層的膜厚差，需要對(duì)噴墨裝置的RGB的各個(gè)噴嘴控制噴射次數(shù)，裝置變復(fù)雜。與之相對(duì)，在本方式中，第一有機(jī)功能層的體積和第二有機(jī)功能層的體積實(shí)質(zhì)相同。而且，能夠使接觸孔的容積差成為例如墨水的I. 5滴量等，即使各顏色的噴射次數(shù)相同也能微調(diào)節(jié)有機(jī)功能層的膜厚差。即，在本方式中，即使在RGB各顏色中形成有機(jī)功能層的膜時(shí)的噴墨裝置的滴下量相同，也能與各發(fā)光顏色對(duì)應(yīng)地任意微調(diào)節(jié)膜厚。此外，來(lái)自與各發(fā)光顏色對(duì)應(yīng)的噴墨裝置的所有噴嘴的液滴的滴下能夠在相同的條件進(jìn)行涂敷，所以不需要噴墨裝置的與各發(fā)光顏色對(duì)應(yīng)的各噴嘴的控制，能夠簡(jiǎn)化裝置的控制。其結(jié)果，能夠使與所述第一顏色用的電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第一有機(jī)功能層的體積和與所述第二顏色用的電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第二有機(jī)功能層的體積相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)，同時(shí)，通過(guò)調(diào)節(jié)所述凹部的體積，來(lái)對(duì)所述有機(jī)功能層的膜厚進(jìn)行微調(diào)節(jié)。
進(jìn)一步，在本發(fā)明的一種方式的有機(jī)EL顯示面板可以采用以下結(jié)構(gòu)所述第一有機(jī)功能層的膜厚和所述第二有機(jī)功能層的膜厚之差，比在通過(guò)所述噴墨式涂敷方法來(lái)涂敷所述預(yù)定體積的液滴的情況下、通過(guò)使涂敷在每個(gè)所述第一顏色用的電極板上的所述液滴數(shù)增加n滴而形成的所述第一有機(jī)功能層的膜厚大，且比在通過(guò)所述噴墨式涂敷方法來(lái)涂敷所述預(yù)定體積的液滴的情況下、通過(guò)使所述液滴數(shù)增加n+1滴而形成的所述第一有機(jī)功能層的膜厚小。在本方式中，能夠比從噴墨裝置的噴嘴滴下的液滴的最小單位即一個(gè)液滴所形成 的膜厚小地(例如，液滴的一半量的膜厚)微調(diào)節(jié)與第一顏色用的電極板的第一凹部以外的部分對(duì)應(yīng)的第一有機(jī)功能層的膜厚、和與第二顏色用的電極板的第二凹部以外的部分對(duì)應(yīng)的第二有機(jī)功能層的膜厚之差。n為0以上的整數(shù)(n彡0)。“通過(guò)增加n滴液滴數(shù)而形成的第一有機(jī)功能層的膜厚”可以是n滴液滴所產(chǎn)生的第一有機(jī)功能層的膜厚的增加量。此外，“通過(guò)增加n+1滴液滴數(shù)而形成的所述第一有機(jī)功能層的膜厚”可以是n+1滴液滴所產(chǎn)生的第二有機(jī)功能層的膜厚的增加量。進(jìn)一步，本發(fā)明的一種方式的有機(jī)EL顯示面板可采用所述第一顏色是藍(lán)色的結(jié)構(gòu)。在有機(jī)EL發(fā)光元件中，例如，有時(shí)采用腔構(gòu)造使在電極板側(cè)反射以向?qū)χ秒姌O側(cè)出射的光的光路長(zhǎng)度與各顏色的光的波長(zhǎng)相適，以與從發(fā)光層向?qū)χ秒姌O側(cè)直接出射的光相互加強(qiáng)的方式使之發(fā)生干涉。在有機(jī)功能層構(gòu)成該腔構(gòu)造的一部分的情況下，優(yōu)選使與藍(lán)色對(duì)應(yīng)的有機(jī)功能層的膜厚變薄。這是因?yàn)?，在紅色(R)、綠色(G)、藍(lán)色(B)的發(fā)光顏色中，藍(lán)色光的波長(zhǎng)比紅色、綠色光的波長(zhǎng)短，因此優(yōu)選縮短光路長(zhǎng)度。本方式使所述第一顏色為藍(lán)色。因此，使所述藍(lán)色的所述有機(jī)功能層的膜厚比其它顏色的發(fā)光顏色的所述有機(jī)功能層的膜厚薄。因此，能夠?qū)崿F(xiàn)例如光取出效率優(yōu)異的多種顏色的有機(jī)EL發(fā)光兀件。進(jìn)一步，在本發(fā)明的一種方式的有機(jī)EL顯示面板可以采用以下結(jié)構(gòu)所述層間絕緣膜的上面形成為形成有所述第一電極板組的部位比形成有所述第二電極板組的部位高，所述TFT層的與所述第一接觸孔的底面對(duì)應(yīng)的部位和與所述第二接觸孔的底面對(duì)應(yīng)的部位形成為相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)的高度。
在本方式中，層間絕緣膜的上面為具有臺(tái)階差的形狀。也即是，設(shè)有高低差。其結(jié)果，即使在TFT層中與第一接觸孔和第二接觸孔對(duì)應(yīng)的部分的高度相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)(實(shí)質(zhì)相同)，也能夠使接觸孔的深度不同。因此，能夠容易地微調(diào)節(jié)接觸孔的容積差。在此，在TFT層形成有用于從TFT向電極板供給電力的電極(實(shí)施方式的SD電極)，在該電極上形成有接觸孔。而且，電極板的一部分凹入接觸孔而成為凹部，通過(guò)該凹部的底壁部分與 上述電極的上面面接觸，使電極板和電極導(dǎo)通。該情況下，TFT層的與第一(第二)接觸孔的底面對(duì)應(yīng)的部位的高度可以為上述電力供給用的電極的上面的高度。在與接觸孔的底面對(duì)應(yīng)的部位形成為相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)的高度時(shí)，高度實(shí)質(zhì)相同即可，例如，高度的差可以為第一接觸孔的深度和第二接觸孔的深度之差的5%以?xún)?nèi)。在此，通常，TFT層的與第一接觸孔和第二接觸孔的底面對(duì)應(yīng)的部位的高度實(shí)質(zhì)相同，所以本方式能夠應(yīng)對(duì)一般的TFT層，通用性好。進(jìn)一步，在本發(fā)明的一種方式的有機(jī)EL顯示面板可以采用以下結(jié)構(gòu)所述層間絕緣膜的上面的形成有所述第一電極板組的部位和形成有所述第二電極板組的部位形成為相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)的高度，所述TFT層形成為與所述第一接觸孔的底面對(duì)應(yīng)的部位比與所述第二接觸孔的底面對(duì)應(yīng)的部位低。在本方式中，在層間絕緣膜的上面，在形成有第一電極板組的部位和形成有第二電極板組的部位之間沒(méi)有高低差，而是在TFT層設(shè)有高低差。其結(jié)果，在層間絕緣膜的上面，即使形成有所述第一電極板組的部位的高度和形成有所述第二電極板組的部位的高度實(shí)質(zhì)相同，也能夠使接觸孔的深度不同。因此，能夠容易地微調(diào)節(jié)接觸孔的容積差。在此，在層間絕緣膜的上面，形成有所述第一電極板組的部位的高度和形成有所述第二電極板組的部位的高度實(shí)質(zhì)相同即可。對(duì)于實(shí)質(zhì)相同，例如，與前項(xiàng)同樣地，可以為第一接觸孔的深度和第二接觸孔的深度之差的5%以?xún)?nèi)。在此，在本方式中，在層間絕緣膜的上面，在形成有第一電極板組的部位和形成有第二電極板組的部位之間沒(méi)有高低差，因此具有易于在層間絕緣膜上形成有機(jī)EL元件的優(yōu)點(diǎn)。進(jìn)一步，在本發(fā)明的一種方式的有機(jī)EL顯示面板可以采用以下結(jié)構(gòu)包括第三電極板組，其與所述第二電極板組相鄰地形成，包括線(xiàn)狀排列的多個(gè)第三顏色用的電極板；第四隔壁，其沿著所述第三電極板組的與所述第二電極板組相反側(cè)的長(zhǎng)邊部分而形成；以及第三有機(jī)功能層，其在所述第三隔壁和所述第四隔壁之間形成在所述第三電極板組的上方，所述對(duì)置電極設(shè)在所述第三有機(jī)功能層的上方，在所述層間絕緣膜設(shè)有將所述第三顏色用的電極板各自與TFT層連接的第三接觸孔，所述第三顏色用的電極板具有沿著所述第三接觸孔的形狀而凹陷的第三凹部，所述層間絕緣膜形成為形成有所述第一電極板組的部位比形成有所述第三電極板組的部位厚，所述第一接觸孔比所述第三接觸孔深且容積大，與所述第一顏色用的電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第一有機(jī)功能層的體積和與所述第三顏色用的電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第三有機(jī)功能層的體積相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)，所述第一有機(jī)功能層進(jìn)入與所述第一接觸孔對(duì)應(yīng)的第一凹部中的量比所述第三有機(jī)功能層進(jìn)入與所述第三接觸孔對(duì)應(yīng)的第三凹部中的量多，因而所述第一凹部以外的所述第一顏色用的電極板上的區(qū)域中的所述第一有機(jī)功能層的膜厚比在所述第三凹部以外的所述第三顏色用的電極板上的區(qū)域形成的所述第三有機(jī)功能層的膜厚薄。在本方式中，在與所述第一電極板組和所述第二電極板組對(duì)應(yīng)的有機(jī)EL發(fā)光元件的基礎(chǔ)上，還存在與第三電極板組對(duì)應(yīng)的有機(jī)EL發(fā)光元件。即，能夠?qū)崿F(xiàn)通過(guò)三種顏色的發(fā)光顏色來(lái)顯示圖像的有機(jī)EL顯示面板。而且，通過(guò)使所述三種顏色為紅、綠、藍(lán)(RGB)，能夠?qū)崿F(xiàn)通用性高的有機(jī)EL顯示面板。在本方式中，在使第三接觸孔的容積與第二接觸孔不同的情況下，能夠使接觸孔的容積按RGB顏色而不同。在RGB的各子像素中，通常，為了提高放射的光的取出效率而采用上述的腔構(gòu)造。該情況下，優(yōu)選能夠微調(diào)節(jié)有機(jī)功能層的膜厚差，以使得變?yōu)榕cRGB各顏色的光的波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)的最合適的光路長(zhǎng)度。根據(jù)本方式，接觸孔的容積差能夠通過(guò)層間絕緣膜的膜厚及接觸孔的形狀(上面積的大小等)而較容易地進(jìn)行微調(diào)節(jié)。其結(jié)果，能夠?qū)崿F(xiàn)有機(jī)功能層的膜厚差的微調(diào)節(jié)。
因此，在用噴墨式涂敷方法形成有機(jī)功能層的情況下，能夠通過(guò)改變與RGB各顏色對(duì)應(yīng)而形成的接觸孔的體積來(lái)微調(diào)節(jié)用于使各子像素的腔合適的所述有機(jī)功能層的膜厚差。特別是，為了與RGB各顏色的發(fā)光波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)地使腔合適，例如，可以以B、G、R的順序使接觸孔的體積縮小(B > G > R)。這樣，能以B、G、R的順序使有機(jī)功能層的膜厚增大(B < G < R)。腔中包括有機(jī)功能層以外的層，所以可以通過(guò)有機(jī)功能層以外的層的膜厚來(lái)使與RGB各顏色對(duì)應(yīng)的有機(jī)功能層的膜厚的厚度和上述順序不同。進(jìn)一步，本發(fā)明的一種方式的有機(jī)EL顯示面板可以采用以下結(jié)構(gòu)與所述第一顏色用的電極板對(duì)應(yīng)的第一接觸孔的上面面積、與所述第二顏色用的電極板對(duì)應(yīng)的第二接觸孔的上面面積以及與所述第三顏色用的電極板對(duì)應(yīng)的第三接觸孔的上面面積相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)。根據(jù)本方式，即使在與各顏色對(duì)應(yīng)的接觸孔的上面面積相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)的情況下，也能夠通過(guò)接觸孔的形狀來(lái)微調(diào)節(jié)所述有機(jī)功能層的膜厚。進(jìn)一步，在本發(fā)明的一種方式的有機(jī)EL顯示面板可以采用以下結(jié)構(gòu)所述接觸孔的上面面積為從所述層間絕緣膜的所述接觸孔的周緣部的最高位置向下10%的位置處、或向下10%的鄰近值的范圍內(nèi)的位置處的所述接觸孔的直徑所規(guī)定的圓的面積。進(jìn)一步，在本發(fā)明的一種方式的有機(jī)EL顯示面板可以采用以下結(jié)構(gòu)所述層間絕緣膜的上面形成為形成有所述第一電極板組的部位比形成有所述第二電極板組的部位和形成有所述第三電極板組的部位高，所述TFT層的與所述第一接觸孔的底面對(duì)應(yīng)的部位、與所述第二接觸孔的底面對(duì)應(yīng)的部位以及與所述第三接觸孔的底面對(duì)應(yīng)的部位形成為相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)的高度。在本方式中，層間絕緣膜的上面為具有臺(tái)階差的形狀。即，設(shè)有高低差。其結(jié)果，即使在TFT層中與第一接觸孔、第二接觸孔以及第三接觸孔對(duì)應(yīng)的部分的高度實(shí)質(zhì)相同，也能夠使接觸孔的深度不同。因此，能夠容易地微調(diào)節(jié)接觸孔的容積差。在此，通常，TFT層的與第一接觸孔、第二接觸孔以及第三接觸孔的底面對(duì)應(yīng)的部位的高度實(shí)質(zhì)相同，所以本方式能夠使用一般的TFT層，通用性好。在與接觸孔的底面對(duì)應(yīng)的部位形成為互相相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)的高度時(shí)，所述接觸孔的底面所形成的高度實(shí)質(zhì)相同即可。例如，所述高度的差可以為第一接觸孔的深度與第二接觸孔及第三接觸孔中較淺一方的深度之差的5%以?xún)?nèi)。進(jìn)一步，在本發(fā)明的一種方式的有機(jī)EL顯示面板可以采用以下結(jié)構(gòu)所述層間絕緣膜的上面的形成有所述第一電極板組的部位、形成有所述第二電極板組的部位以及形成有所述第三電極板組的部位形成為相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)的高度，所述TFT層形成為與所述第一接觸孔的底面對(duì)應(yīng)的部位比與所述第二接觸孔的底面對(duì)應(yīng)的部位和與所述第三接觸孔的底面對(duì)應(yīng)的部位低。在本方式中，在TFT層設(shè)有高低差。其結(jié)果，即使在層間絕緣膜的上面，形成有第一電極板組的部位和形成有第二電極板組及第三電極板組的部位的高度實(shí)質(zhì)相同，也能夠使接觸孔的深度不同。因此，能夠容易地微調(diào)節(jié)接觸孔的容積差。在此，在本方式中，在層間絕緣膜的上面，在形成有第一電極板組的部位和形成有第二電極板組及第三電極板組的部位之間沒(méi)有高低差，因此具有易于在層間絕緣膜上形成有機(jī)EL元件的優(yōu)點(diǎn)。
在形成有第一電極板組、第二電極板組、第三電極板組的部位的高度實(shí)質(zhì)相同時(shí)，與前項(xiàng)同樣地，例如，所述接觸孔的底面所形成的高度之差可以是第一接觸孔的深度與第二接觸孔及第三接觸孔中較淺一方的深度之差的5%以?xún)?nèi)。進(jìn)一步，在本發(fā)明的一種方式的有機(jī)EL顯示面板可以采用以下結(jié)構(gòu)所述第一有機(jī)功能層及所述第二有機(jī)功能層是電荷注入層或電荷輸送層，在所述第一有機(jī)功能層和所述對(duì)置電極之間形成第一有機(jī)發(fā)光層，在所述第二有機(jī)功能層和所述對(duì)置電極之間形成第二有機(jī)發(fā)光層。電荷注入層、電荷輸送層等的膜厚形成為比有機(jī)發(fā)光層薄的情況較多，所以難以微調(diào)節(jié)膜厚差。因此，能夠通過(guò)接觸孔的容積差來(lái)微調(diào)節(jié)膜厚差的好處很大。進(jìn)一步，在本發(fā)明的一種方式的有機(jī)EL顯示面板可以采用以下結(jié)構(gòu)所述第一有機(jī)功能層、所述第二有機(jī)功能層以及所述第三有機(jī)功能層是電荷注入層或電荷輸送層，在所述第一有機(jī)功能層和所述對(duì)置電極之間形成第一有機(jī)發(fā)光層，在所述第二有機(jī)功能層和所述對(duì)置電極之間形成第二有機(jī)發(fā)光層，在所述第三有機(jī)功能層和所述對(duì)置電極之間形成第三有機(jī)發(fā)光層。進(jìn)一步，在本發(fā)明的一種方式的有機(jī)EL顯示面板可以采用以下結(jié)構(gòu)所述第一有機(jī)功能層和所述第二有機(jī)功能層是有機(jī)發(fā)光層。根據(jù)本方式，通過(guò)使第一接觸孔的容積比第二接觸孔的容積大，能夠微調(diào)節(jié)與各顏色對(duì)應(yīng)的有機(jī)發(fā)光層的膜厚的差。其結(jié)果，能使有機(jī)發(fā)光層的色度和/或輝度更適當(dāng)。或者，能夠提高光的取出效率。進(jìn)一步，在本發(fā)明的一種方式的有機(jī)EL顯示面板可以采用以下結(jié)構(gòu)所述第一有機(jī)功能層、所述第二有機(jī)功能層以及所述第三有機(jī)功能層是有機(jī)發(fā)光層。進(jìn)一步，在本發(fā)明的一種方式的有機(jī)EL顯示面板可以采用以下結(jié)構(gòu)所述電極板是陽(yáng)極，所述對(duì)置電極是陰極。進(jìn)一步，在本發(fā)明的一種方式的有機(jī)EL顯示面板可以采用以下結(jié)構(gòu)所述電極板是陰極，所述對(duì)置電極是陽(yáng)極。進(jìn)一步，本發(fā)明的一種方式的顯示裝置具備上述任一方式所記載的有機(jī)EL顯示面板。根據(jù)本方式，能夠?qū)崿F(xiàn)具備上述任一方式所記載的有機(jī)EL顯示面板的顯示裝置。進(jìn)一步，本發(fā)明的一種方式的有機(jī)EL顯示面板的制造方法為如下構(gòu)成，包括第一工序，準(zhǔn)備基板；第二工序，在所述基板上形成TFT層；第三工序，在所述TFT層上形成層間絕緣膜；第四工序，在所述層間絕緣膜上形成線(xiàn)狀地排列了多個(gè)第一顏色用的電極板的第一電極板組，與所述第一電極板組相鄰地在所述層間絕緣膜上形成線(xiàn)狀地排列了多個(gè)第二顏色用的電極板的第二電極板組；第五工序，沿著所述第一電極板組的一個(gè)長(zhǎng)邊部分而形成第一隔壁，在所述第一電極板組的另一長(zhǎng)邊部分和所述第二電極板組的一個(gè)長(zhǎng)邊部分之間形成第二隔壁，沿著所述第二電極板組的另一長(zhǎng)邊部分而形成第三隔壁；第六工序，在所述第一隔壁和所述第二隔壁之間在所述第一電極板組的上方連續(xù)地形成第一有機(jī)功能層；第七工序，在所述第二隔壁和所述第三隔壁之間在所述第二電極板組的上方連續(xù)地形成第二有機(jī)功能層；和第八工序，在所述第一有機(jī)功能層及所述第二有機(jī)功能層的上方設(shè)置對(duì)置電極，在所述第三工序中，所述層間絕緣膜的厚度形成為形成有所述第一電極板組的部位的厚度比形成有所述第二電極板組的部位的厚度厚，在所述層間絕緣膜設(shè)有將所述 第一顏色用的電極板各自與TFT層連接的第一接觸孔、和將所述第二顏色用的電極板各自與TFT層連接的第二接觸孔，所述第一接觸孔形成為比所述第二接觸孔深且容積大，在所述第四工序中，在各個(gè)所述第一顏色用的電極板，沿著所述第一接觸孔的形狀而形成第一凹部，在各個(gè)所述第二顏色用的電極板，沿著所述第二接觸孔的形狀而形成第二凹部，在所述第六工序中形成的所述第一有機(jī)功能層和在所述第七工序中形成的所述第二有機(jī)功能層中，與所述第一顏色用的電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第一有機(jī)功能層的體積和與所述第二顏色用的電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第二有機(jī)功能層的體積相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)，所述第一有機(jī)功能層進(jìn)入與所述第一接觸孔對(duì)應(yīng)的第一凹部中的量比所述第二有機(jī)功能層進(jìn)入與所述第二接觸孔對(duì)應(yīng)的第二凹部中的量多，因而所述第一凹部以外的所述第一顏色用的電極板上的區(qū)域中的所述第一有機(jī)功能層的膜厚比在所述第二凹部以外的所述第二顏色用的電極板上的區(qū)域形成的所述第二有機(jī)功能層的膜厚薄。根據(jù)本方式，能夠制造所述本發(fā)明的一種方式的有機(jī)EL顯示面板。因此，例如，能夠通過(guò)使層間絕緣膜的厚度不同來(lái)微調(diào)節(jié)第一接觸孔的容積和第二接觸孔的容積之差，能夠容易地微調(diào)節(jié)第一有機(jī)功能層的膜厚和第二有機(jī)功能層的膜厚之差。其結(jié)果，例如，能夠使有機(jī)EL元件內(nèi)的光的共振條件按每種顏色而優(yōu)化，能夠可容易地得到發(fā)取出率優(yōu)異的顯示面板。在此，為了“將所述層間絕緣膜形成為形成有所述第一電極板組的部位比形成有所述第二電極板組的部位厚”，可以在形成有第一電極板組的部位和形成有第二電極板組的部位，改變層間絕緣膜的上面和下面中至少一方的高度。為了改變層間絕緣膜的上面的高度，例如，在第三工序中，可以通過(guò)光刻法等在層間絕緣膜的上面形成臺(tái)階差，使形成有第一電極板組的部位比形成有第二電極板組的部位聞。為了改變層間絕緣膜的下面的高度，例如，可以在第一工序和第二工序之間設(shè)置如下工序在基板上形成臺(tái)階差，使TFT層的與第一電極板組對(duì)應(yīng)的部位比與第二電極板組對(duì)應(yīng)的部位低。為了在基板上形成臺(tái)階差，例如，可以在基板上形成具有高低差的絕緣層等，也可以通過(guò)蝕刻等切削基板來(lái)在基板自身上形成高低差。進(jìn)一步，可以在第一工序中，準(zhǔn)備在上面形成有臺(tái)階差的基板。進(jìn)一步，在本發(fā)明的一種方式的有機(jī)EL顯示面板的制造方法中可采用以下構(gòu)成與所述第一顏色用的電極板對(duì)應(yīng)的接觸孔的上面面積和與所述第二顏色用的電極板對(duì)應(yīng)的接觸孔的上面面積相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)。根據(jù)本方式，即使在使第一接觸孔的上面面積和第二接觸孔的上面面積相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)的情況下，也能夠通過(guò)改變第一接觸孔和第二接觸孔的深度，使第一接觸孔的容積比第二接觸孔的容積大。其結(jié)果，能夠微調(diào)節(jié)第一有機(jī)功能層的膜厚和第二有機(jī)功能層的膜厚之差。此外，能夠通過(guò)使第一接觸孔和第二接觸孔的上面面積實(shí)質(zhì)相同，使第一凹部和第二凹部的開(kāi)口面積也實(shí)質(zhì)相同，使含有有機(jī)功能層的墨水進(jìn)入凹部?jī)?nèi)的容易度也大體相等。
進(jìn)一步，在本發(fā)明的一種方式的有機(jī)EL顯示面板的制造方法中可以采用如下構(gòu)成在所述第四工序和所述第五工序之間，設(shè)有如下工序以覆蓋與所述第一接觸孔對(duì)應(yīng)的所述第一凹部的方式形成第一像素限制層，以覆蓋與所述第二接觸孔對(duì)應(yīng)的所述第二凹部的方式形成第二像素限制層，在所述第六工序中，在所述第一像素限制層的上方形成第一有機(jī)功能層，在所述第七工序中，在所述第二像素限制層的上方形成第二有機(jī)功能層。根據(jù)本方式，通過(guò)由具有絕緣性的像素限制層來(lái)覆蓋凹部，能夠使凹部和有機(jī)功能層電絕緣。由此，能夠防止例如在凹部的開(kāi)口緣上方，發(fā)光層因局部的電流集中而以與凹部周?chē)煌妮x度發(fā)光。此外，第一像素限制層和第二像素限制層各自由例如SiO2(氧化硅)膜、或SiN(氮化硅)膜等的氧化物(包括氮化物)形成，并且，在上述像素限制層上直接涂敷含有有機(jī)功能層的墨水的情況下，會(huì)良好地進(jìn)入第一有機(jī)功能層的第一凹部、和進(jìn)入第二有機(jī)功能層的第二凹部。進(jìn)一步，在本發(fā)明的一種方式的有機(jī)EL顯示面板的制造方法中可以采用以下構(gòu)成在所述第六工序中，對(duì)于所述第一有機(jī)功能層，通過(guò)用噴墨式涂敷方法來(lái)涂敷預(yù)定體積的液滴，從而在所述第一電極板組的上方連續(xù)地形成，在所述第七工序中，對(duì)于所述第二有機(jī)功能層，通過(guò)用噴墨式涂敷方法來(lái)涂敷與所述預(yù)定體積相同或處于相同的鄰近值的范圍 內(nèi)的體積的液滴，從而在所述第二電極板組的上方連續(xù)地形成。根據(jù)本方式，在噴墨式涂敷方法中，能夠通過(guò)使各顏色的涂敷條件相同，簡(jiǎn)化制造裝置或制造工序，并且能夠通過(guò)使第一接觸孔的容積比第二接觸孔大，使第一有機(jī)功能層的膜厚比第二有機(jī)功能層薄。即，能夠微調(diào)節(jié)與不同顏色對(duì)應(yīng)的有機(jī)功能層的膜厚差?？梢圆捎靡韵聵?gòu)成所述第一有機(jī)功能層的膜厚和所述第二有機(jī)功能層的膜厚之差，比在通過(guò)所述噴墨式涂敷方法來(lái)涂敷所述預(yù)定體積的液滴的情況下、通過(guò)使涂敷在每個(gè)所述第一顏色用的電極板上的液滴數(shù)增加n滴而形成的所述第一有機(jī)功能層的膜厚的增加量大，且比在通過(guò)所述噴墨式涂敷方法來(lái)涂敷所述預(yù)定體積的液滴的情況下、通過(guò)使所述液滴數(shù)增加n+1滴而形成的所述第一有機(jī)功能層的膜厚的增加量小。根據(jù)本方式，能夠比從噴墨裝置的噴嘴滴下的液滴的最小單位即一個(gè)液滴所形成的膜厚小地微調(diào)節(jié)第一有機(jī)功能層的膜厚和第二有機(jī)功能層的膜厚之差。所述第一有機(jī)功能層的膜厚是第一有機(jī)功能層中與第一顏色用的電極板的第一凹部以外對(duì)應(yīng)的部分的膜厚。對(duì)于第二有機(jī)功能層也是同樣的。進(jìn)一步，本發(fā)明的一種方式的有機(jī)EL顯示面板的制造方法中可以采用如下構(gòu)成，第一工序，準(zhǔn)備基板；第二工序，在所述基板上形成TFT層；第三工序，在所述TFT層上形成層間絕緣膜；第四工序，在所述層間絕緣膜上形成線(xiàn)狀地排列了多個(gè)第一顏色用的電極板的第一電極板組，與所述第一電極板組相鄰地在所述層間絕緣膜上形成線(xiàn)狀地排列了多個(gè)第二顏色用的電極板的第二電極板組，與所述第二電極板組相鄰地在所述層間絕緣膜上形成線(xiàn)狀地排列了多個(gè)第三顏色用的電極板的第三電極板組；第五工序，沿著所述第一電極板組的 一個(gè)長(zhǎng)邊部分而形成第一隔壁，在所述第一電極板組的另一長(zhǎng)邊部分和所述第二電極板組的一個(gè)長(zhǎng)邊部分之間形成第二隔壁，在所述第二電極板組的另一長(zhǎng)邊部分和所述第三電極板組的一個(gè)長(zhǎng)邊部分之間形成第三隔壁，沿著所述第三電極板組的另一長(zhǎng)邊部分而形成第四隔壁；第六工序，在所述第一隔壁和所述第二隔壁之間在所述第一電極板組的上方連續(xù)地形成第一有機(jī)功能層；第七工序，在所述第二隔壁和所述第三隔壁之間在所述第二電極板組的上方連續(xù)地形成第二有機(jī)功能層；第八工序，在所述第三隔壁和所述第四隔壁之間在所述第三電極板組的上方連續(xù)地形成第三有機(jī)功能層；和第九工序，在所述第一有機(jī)功能層、所述第二有機(jī)功能層以及所述第三有機(jī)功能層的上方形成對(duì)置電極，在所述第三工序中，所述層間絕緣膜的厚度形成為形成有所述第一電極板組的部位的厚度比形成有所述第二電極板組的部位的厚度和形成有所述第三電極板組的部位的厚度厚，在所述層間絕緣膜設(shè)有將所述第一顏色用的電極板各自與TFT層連接的第一接觸孔、將所述第二顏色用的電極板各自與TFT層連接的第二接觸孔以及將所述第三顏色用的電極板各自與TFT層連接的第三接觸孔，所述第一接觸孔形成為比所述第二接觸孔和所述第三接觸孔深且容積大，在所述第四工序中，在各個(gè)所述第一顏色用的電極板，沿著所述第一接觸孔的形狀而形成第一凹部，在各個(gè)所述第二顏色用的電極板，沿著所述第二接觸孔的形狀而形成第二凹部，在各個(gè)所述第三顏色用的電極板，沿著所述第三接觸孔的形狀而形成第三凹部，在所述第六工序、所述第七工序以及所述第八工序中分別形成的所述第一有機(jī)功能層、所述第二有機(jī)功能層和所述第三有機(jī)功能層中，與所述第一顏色用的電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第一有機(jī)功能層的體積和與所述第二顏色用的電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第二有機(jī)功能層的體積及與所述第三顏色用的電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第三有機(jī)功能層的體積相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)，所述第一有機(jī)功能層進(jìn)入與所述第一接觸孔對(duì)應(yīng)的第一凹部中的量比所述第二有機(jī)功能層進(jìn)入與所述第二接觸孔對(duì)應(yīng)的第二凹部中的量及所述第三有機(jī)功能層進(jìn)入與所述第三接觸孔對(duì)應(yīng)的第三凹部中的量多，因而所述第一凹部以外的所述第一顏色用的電極板上的區(qū)域中的所述第一有機(jī)功能層的膜厚比在所述第二凹部以外的所述第二顏色用的電極板上的區(qū)域形成的所述第二有機(jī)功能層的膜厚及在所述第三凹部以外的所述第三顏色用的電極板上的區(qū)域形成的所述第三有機(jī)功能層的膜厚薄。根據(jù)本方式，能夠?qū)崿F(xiàn)在與所述第一電極板組和所述第二電極板組對(duì)應(yīng)的有機(jī)EL發(fā)光元件的基礎(chǔ)上，還具有與第三電極板組對(duì)應(yīng)的發(fā)光顏色即三種顏色的發(fā)光顏色的有機(jī)EL發(fā)光元件。而且，通過(guò)使所述三種顏色為紅、綠、藍(lán)(RGB)，能夠?qū)崿F(xiàn)光取出效率高的有機(jī)EL顯示面板。
進(jìn)一步，在本發(fā)明的一種方式的有機(jī)EL顯示面板中可以采用以下結(jié)構(gòu)在上述結(jié)構(gòu)中，所述接觸孔具有在層間絕緣膜的上面?zhèn)乳_(kāi)口的上側(cè)開(kāi)口部和在下面?zhèn)乳_(kāi)口的下側(cè)開(kāi)口部，所述電極板在沿著所述接觸孔凹陷的凹部中通過(guò)所述下側(cè)開(kāi)口部而與所述TFT層電連接。進(jìn)一步，在本發(fā)明的一種方式的有機(jī)EL顯示面板中可以采用以下結(jié)構(gòu)所述接觸孔具有隨著從所述上側(cè)開(kāi)口部靠近所述下側(cè)開(kāi)口部而連續(xù)地縮徑的形狀的上段部分、和隨著從所述下側(cè)開(kāi)口部靠近所述上側(cè)開(kāi)口部而連續(xù)地?cái)U(kuò)徑的形狀的下段部分，在上段部分和下段部分之間存在臺(tái)階差(或臺(tái)階差面)?！磳?shí)施方式1>(顯示面板100的結(jié)構(gòu))圖I是示意表示實(shí)施方式I的顯示面板100的重要部分結(jié)構(gòu)的剖視圖。圖2是表示顯示面板100的重要部分結(jié)構(gòu)的立體圖。 顯示面板100是利用有機(jī)材料的電致發(fā)光現(xiàn)象的有機(jī)EL顯示面板。在顯示面板100中，像素(pixel)在縱向和橫向(X方向和Y方向)上矩陣狀地排列，各像素包括相鄰的RGB (紅綠藍(lán))三色子像素。圖2所示的有機(jī)EL元件20a、20b、20c是頂部發(fā)射型有機(jī)EL元件，有機(jī)EL元件20a對(duì)應(yīng)于第一顏色(藍(lán)色)的子像素，有機(jī)EL元件20b對(duì)應(yīng)于第二顏色(綠色)的子像素，有機(jī)EL元件20c對(duì)應(yīng)于第三顏色(紅色)的子像素。在此，在俯視時(shí)，將形成有各有機(jī)EL元件20的區(qū)域稱(chēng)為“元件形成區(qū)域”，將元件形成區(qū)域中的對(duì)發(fā)光有用的區(qū)域稱(chēng)為子像素。如圖2所示，藍(lán)色的有機(jī)EL元件20a在縱向(Y方向)上線(xiàn)狀地排列，與之相鄰地，綠色的有機(jī)EL元件20b在縱向(Y方向)上線(xiàn)狀地排列，進(jìn)一步，與之相鄰地，紅色的有機(jī)EL元件20c在縱向(Y方向)上線(xiàn)狀地排列。而且，由在橫向(X方向)上相鄰的三個(gè)有機(jī)EL元件20a、20b、20c形成一個(gè)像素。圖I示出將排列的有機(jī)EL元件20c在縱向(Y方向)上剖開(kāi)而得到的剖面。顯示面板100具備TFT基板，該TFT基板包括基板I和在基板I的主面上層疊形成的TFT層2 (薄膜晶體管層)。另外，在顯示面板100中，在TFT基板上依次層疊有層間絕緣膜3、陽(yáng)極板5、像素限制層6、空穴注入層7。進(jìn)一步，在這些層之上，形成隔壁8、空穴輸送層9、有機(jī)發(fā)光層10 (以下簡(jiǎn)稱(chēng)為發(fā)光層)以及陰極層11，從而形成有機(jī)EL元件20a、20b、20c。在圖I中，在Z軸方向的最上部，處于剖開(kāi)面的內(nèi)側(cè)的隔壁8的側(cè)面以涂白的方式表示(圖3等也是同樣的)。另外，在圖2中，沒(méi)有示出空穴輸送層9、發(fā)光層10、陰極層11?；錓是成為顯示面板100的基底部分的基板，由無(wú)堿玻璃、鈉鈣玻璃、無(wú)熒光玻璃、磷酸類(lèi)玻璃、硼酸類(lèi)玻璃、石英、丙烯類(lèi)樹(shù)脂、苯乙烯類(lèi)樹(shù)脂、聚碳酸酯類(lèi)樹(shù)脂、環(huán)氧類(lèi)樹(shù)月旨、聚乙烯、聚酯、硅類(lèi)樹(shù)脂或氧化鋁等絕緣性材料來(lái)形成。 TFT層2包括用于以有源矩陣方式對(duì)面板整體的各有機(jī)EL元件20a 20c進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的TFT(薄膜晶體管)和布線(xiàn)等。進(jìn)一步，在圖I中，以雙點(diǎn)劃線(xiàn)示意地表示TFT層2，代表性地圖示出與TFT的源電極或漏電極連接的SD電極22。層間絕緣膜3由絕緣性?xún)?yōu)異的有機(jī)材料例如聚酰胺、聚酰亞胺、丙烯類(lèi)樹(shù)脂材料形成，將基板I的上述TFT層2整體地覆蓋。
在該層間絕緣膜3，按每個(gè)有機(jī)EL元件20a、20b、20c而分別形成有沿厚度方向(Z方向)下挖而得到的接觸孔13a、13b、13c (參照?qǐng)DI、圖3)。接觸孔13是在層間絕緣膜3的上面?zhèn)燃跋旅鎮(zhèn)冗@兩側(cè)開(kāi)口的圓形孔。有時(shí)將各接觸孔13a、13b、13c不區(qū)分地簡(jiǎn)記為接觸孔13。接觸孔13的剖面形狀(與XY平面平行的剖面的形狀)除了圓形以外還可采用橢圓形、矩形等形狀。該層間絕緣膜3的與各顏色的有機(jī)EL元件20a、20b、20c對(duì)應(yīng)的部位的上面高度不同。因此，各接觸孔13a、13b、13c的深度也互不相同。在接觸孔13內(nèi)，隨著其內(nèi)部形狀而凹入地層疊有陽(yáng)極板5、像素限制層6以及空穴注入層7，其結(jié)果，在空穴注入層7形成形狀與接觸孔13相似的凹部15。在圖2中，接觸孔13隱藏在凹部15之下，所以使用虛線(xiàn)的引出線(xiàn)來(lái)對(duì)接觸孔13標(biāo)以標(biāo)記(圖3(a)也是同樣的)。
接著,參照?qǐng)D3(a) (C)來(lái)詳細(xì)說(shuō)明上述顯示面板100的結(jié)構(gòu)。圖3(a)是表示顯示面板100的概略結(jié)構(gòu)的俯視圖，圖3(b)是在圖3(a)的A-A’線(xiàn)剖開(kāi)而得到的剖視圖，圖3(c)是在圖3(a)的B-B’線(xiàn)剖開(kāi)而得到的剖視圖。在圖3中，也沒(méi)有示出空穴輸送層9、發(fā)光層10、陰極層11。如圖3(b)、圖3(c)所示，層間絕緣膜3的上面高度在橫向(X方向)上臺(tái)階狀地變化。具體而言，如圖2所示，在層間絕緣膜3的上面，最高的第一面3a、中間高度的第二面3b、最低的第三面3c在橫向(X方向)上重復(fù)排列，該第一面3a、第二面3b、第三面3c之間由斜面連接。此外，第一面3a、第二面3b、第三面3c分別呈在縱向(Y方向)上細(xì)長(zhǎng)地延伸的帶狀的平面形狀，上面高度均勻。如圖3(a)所示，接觸孔13與有機(jī)EL元件20同樣地呈矩陣狀排列。而且，接觸孔13在橫向(X方向)上接近地排列，在縱向(Y方向)上以預(yù)定間隔而等節(jié)距地排列。如圖3(b)所示，與各顏色對(duì)應(yīng)的接觸孔13a、13b、13c的上面面積實(shí)質(zhì)相同(關(guān)于上面面積將在后面詳細(xì)描述)。另一方面，三個(gè)接觸孔13a、13b、13c分別在高度不同的第一面3a、第二面3b、第三面3c開(kāi)口設(shè)置，深度和容積不同。具體而言,接觸孔13a最深,容積也最大。另一方面，接觸孔13c最淺,容積也最小。并且，接觸孔13b為中間深度，容積也為中間大小。S卩，與藍(lán)綠紅各顏色對(duì)應(yīng)的接觸孔13a、13b、13c的容積(體積)設(shè)定為，與藍(lán)色對(duì)應(yīng)的接觸孔13a的容積最大，與紅色對(duì)應(yīng)的接觸孔13c的容積最小。因此，在藍(lán)色的元件形成區(qū)域形成的凹部15a的容積最大，在紅色的元件形成區(qū)域形成的凹部15c的容積最小。在此，各接觸孔13a、13b、13c下側(cè)的開(kāi)口由SD電極22的上面覆蓋而封閉。即，SD電極22的上面相當(dāng)于上述“與TFT層的接觸孔的底面對(duì)應(yīng)的部位”。也可以認(rèn)為SD電極22的上面分別形成上述“TFT基板的第一接觸孔、第二接觸孔以及第三接觸孔的各底面”。在本實(shí)施方式中，與各接觸孔13a、13b、13c各自對(duì)應(yīng)的SD電極22的上面的高度實(shí)質(zhì)上互相相同。具體而言，與各接觸孔13a、13b、13c對(duì)應(yīng)的SD電極22的上面的高度的差在第一接觸孔13a的深度與第三接觸孔13c的深度之差的5%以?xún)?nèi)。各接觸孔的深度被確定為如后面例示的深度Pl至P3 (圖9)。陽(yáng)極板5(5a 5c)是電極板的一個(gè)例子，俯視呈矩形形狀。陽(yáng)極板5在層間絕緣膜3上形成于各有機(jī)EL元件20的元件形成區(qū)域(子像素區(qū)域及接觸孔13上的區(qū)域)。各陽(yáng)極板5尺寸相等，在縱向(Y方向)和橫向(X方向)上，在與其它陽(yáng)極板5相距預(yù)定距離的狀態(tài)下呈矩陣狀排列。在陽(yáng)極板5如圖3(b)、(C)所示，其一部分沿接觸孔13的內(nèi)面凹入，從而形成與接觸孔13類(lèi)似形狀的凹部23。而且，陽(yáng)極板5在凹部23的底壁部分與TFT層2的SD電極22電連接。形成該陽(yáng)極板5的材料優(yōu)選具有光反射性，可使用例如銀-鈀-銅的合金、Ag(銀)、銀-銣-金的合金、MoCr (鑰和鉻的合金)、NiCr (鎳和鉻的合金)、鋁、鋁合金等金屬材料。此外，也可使用ITO (氧化銦錫)、IZO(In2O3-ZnO)、ZnO、InO, SnO等半導(dǎo)體材料。進(jìn)一步，可在上述金屬材料膜上層疊上述半導(dǎo)體材料而形成陽(yáng)極板5。像素限制層6是在橫向(X方向)上延伸設(shè)置的電絕緣性的膜，覆蓋陽(yáng)極板5的縱向(Y方向)的端部和凹部23。形成有該像素限制層6的部位切斷陽(yáng)極板5和陰極層11之間的電導(dǎo)通，即使對(duì)有機(jī)EL元件20施加驅(qū)動(dòng)電壓也不會(huì)發(fā)光。即，通過(guò)像素限制層6來(lái)在縱向(Y方向)上限制子像素間的發(fā)光。因此，由該像素限制層6劃分在縱向(Y方向)上排列的多個(gè)子像素。此夕卜，各像素限制層6在縱向(Y方向)上等寬度、等節(jié)距地排列，使得多個(gè)子像素的尺寸均
坐寸o通過(guò)由像素限制層6覆蓋陽(yáng)極板5的上述端部和凹部23，能夠防止發(fā)生下述輝度不勻和/或陽(yáng)極板5和陰極層11之間的短路。具體而言，當(dāng)發(fā)光層10的膜厚在陽(yáng)極板5的上述端部和凹部23的開(kāi)口緣上方變薄、電流局部地集中時(shí)，輝度局部增大，發(fā)生輝度不勻。此外，在陽(yáng)極板5的上述端部和凹部23的開(kāi)口緣上方，當(dāng)發(fā)光層10和/或其它層發(fā)生層斷時(shí)，有時(shí)會(huì)在陽(yáng)極板5和陰極層11之間發(fā)生短路。像素限制層6是由二氧化硅(SiO2)、氮化硅(SiN)、氮氧化硅(SiON)等形成的絕緣性無(wú)機(jī)膜。其厚度為IOOnm 300nm左右?？昭ㄗ⑷雽? (7a 7c)通過(guò)在陽(yáng)極板5和像素限制層6上層疊鑰和/或鎢等的氧化物而形成。此外，在接觸孔13上的區(qū)域，空穴注入層7與像素限制層6 —同凹入陽(yáng)極板5的凹部23中，形成與凹部23類(lèi)似形狀的凹部15。與凹部23的大小(直徑、深度尺寸)相比，像素限制層6、空穴注入層7的膜厚小很多，因此形成于空穴注入層7的凹部15的容積和形成于陽(yáng)極板5的凹部23的容積大體相同。隔壁8 (8a Sc)由絕緣性有機(jī)材料(例如丙烯類(lèi)樹(shù)脂、聚酰胺類(lèi)樹(shù)脂、酚醛型苯酚樹(shù)脂等)形成，形成為至少表面具有撥水性。各隔壁8a、8b、8c呈在縱向(Y方向)上較長(zhǎng)的線(xiàn)狀的形狀，以通過(guò)在橫向(X方向)上連續(xù)排列的有機(jī)EL元件20a、20b、20c彼此之間的方式在橫向(X方向)上等節(jié)距地形成。各隔壁8a、8b、8c的剖面形狀為梯形。各隔壁寬度(X方向的尺寸)均勻?？昭ㄝ斔蛯? (9a 9c)是上述有機(jī)功能層的一個(gè)例子，在由相鄰的隔壁8彼此夾著的區(qū)域，以覆蓋空穴注入層7的方式形成該空穴輸送層。而且，各空穴輸送層9在像素限制層6上部分地進(jìn)入上述凹部15?？昭ㄝ斔蛯?在縱向(Y方向)上連續(xù)地形成。如后所述，凹部15的容積根據(jù)與各顏色對(duì)應(yīng)的接觸孔13a、13b、13c的容積的不同、而不同，所以發(fā)光區(qū)域等的空穴輸送層9的膜厚不同。在此，在隔壁8a和隔壁8b之間，形成與藍(lán)色對(duì)應(yīng)的空穴輸送層9a，在隔壁8b和隔壁8c之間，形成與綠色對(duì)應(yīng)的空穴輸送層％，在隔壁8c和隔壁8a之間，形成與紅色對(duì)應(yīng)的空穴輸送層9c。此外，發(fā)光層10(10 a IOc)在由相鄰的隔壁8彼此夾著的區(qū)域形成于空穴輸送層9上。而且，各發(fā)光層10與各空穴輸送層9 一同部分地進(jìn)入上述凹部15。在此,在空穴輸送層9a的上方形成發(fā)出藍(lán)色光的發(fā)光層IOa,在空穴輸送層9b的上方形成發(fā)出綠色光的發(fā)光層IOb,在空穴輸送層9c的上方形成發(fā)出紅色光的發(fā)光層10c?？昭ㄝ斔蛯?由空穴遷移率優(yōu)異的材料形成，向發(fā)光層10輸送空穴。作為形成空穴輸送層9的材料的具體例子，可舉出4，4’_雙[N-(萘基)-N-苯基氨基]聯(lián)苯基(a-NPB或a-NPD)、N，N，-雙(3-甲基苯基-聯(lián)苯基)-4，4’ -二胺(TPD)等三芳基胺類(lèi)化合物。作為其它實(shí)例，有聯(lián)苯衍生物、蒽衍生物、苯胺衍生物、噻吩衍生物等。陽(yáng)極板5、空穴注入層7、空穴輸送層9在三種顏色的有機(jī)EL元件20a、20b、20c中使用共同的材料，但是，發(fā)光層10在三種顏色的有機(jī)EL元件20a、20b、20c中分別由發(fā)出藍(lán)色、綠色、紅色的光的發(fā)光材料形成。作為發(fā)光層10的材料，可以列舉例如由日本特開(kāi)平5-163488號(hào)公報(bào)所記載的類(lèi)喔星(oxinoid)化合物、茈化合物、香豆素化合物、氮雜香豆素化合物、噁唑化合物、噁二唑化合物、紫環(huán)酮(perinone)化合物、批咯并批咯化合物、萘化合物、蒽化合物、荷化合物、突蒽化合物、并四苯化合物、芘化合物、暈苯化合物、喹諾酮化合物及氮雜喹諾酮化合物、吡唑啉衍生物及批唑啉酮衍生物、若丹明化合物、蘂(chrysene)化合物、菲化合物、環(huán)戍二烯化合物、芪化合物、二苯基苯醌化合物、苯乙烯基化合物、丁二烯化合物、雙氰亞甲基吡喃化合物、雙氰亞甲基噻喃化合物、熒光素化合物、吡喃鎗化合物、噻喃鎗化合物、硒雜環(huán)己二烯鎗化合物、碲雜環(huán)己二烯鎗化合物、芳香族坎利酮化合物、低聚亞苯基化合物、噻噸化合物、蒽化合物、花青苷化合物、吖啶化合物、8-羥基喹啉化合物的金屬配合物、2，2 ’ -聯(lián)吡啶化合物的金屬配合物、席夫堿與III族金屬的配合物、8-羥基喹啉(喔星)金屬配合物、稀土類(lèi)配合物等熒光物質(zhì)等。陰極層11是對(duì)置電極的一個(gè)例子，形成為一并覆蓋三種顏色的有機(jī)EL元件20a、20b,20c的發(fā)光層10。陰極層11由光透射性的材料例如ITO、IZO(氧化銦鋅)等形成。雖然未圖示，但在陰極層11上設(shè)有封止層。該封止層由例如SiN(氮化硅)、SiON(氮氧化硅)等光透射性的材料形成。在這樣的顯示面板100中，如上所述，隔壁8的節(jié)距及隔壁寬度均等，像素限制層6的間距和寬度也均等，所以隔壁8和像素限制層6所包圍的子像素的尺寸均等。在本實(shí)施方式中，如圖3(a)所示，在顯示面板100中，多個(gè)藍(lán)色用的陽(yáng)極板5a在縱向(Y方向)上線(xiàn)狀排列而形成第一陽(yáng)極板組(作為第一電極板組的一個(gè)例子)。與該第一陽(yáng)極板組相鄰地，多個(gè)綠色用的陽(yáng)極板5b在縱向(Y方向)上線(xiàn)狀排列而形成第二陽(yáng)極板組(作為第二電極板組的一個(gè)例子)。與該第二陽(yáng)極板組相鄰地，多個(gè)紅色用的陽(yáng)極板5c在縱向(Y方向)上線(xiàn)狀排列而形成第三陽(yáng)極板組(作為第三電極板組的一個(gè)例子)。在此，在圖3(a)中，各陽(yáng)極板組的整體形狀呈在縱向(Y方向)上細(xì)長(zhǎng)的長(zhǎng)方形，各陽(yáng)極板組左右加在一起具有兩個(gè)長(zhǎng)邊部分。而且，沿第一陽(yáng)極板組的一個(gè)(左側(cè))長(zhǎng)邊部分形成第一隔壁(隔壁8a)，在第一陽(yáng)極板組的另一(右側(cè))長(zhǎng)邊部分和第二陽(yáng)極板組的一個(gè)(左側(cè))長(zhǎng)邊部分之間形成第二隔壁(隔壁8b)，在第二陽(yáng)極板組的另一(右側(cè))長(zhǎng)邊部分和上述第三陽(yáng)極板組的一個(gè)(左側(cè))長(zhǎng)邊部分之間形成第三隔壁(隔壁8c)，沿上述第三陽(yáng)極板組的另一(右側(cè))長(zhǎng)邊部分形成第四隔壁(隔壁8a)。第四隔壁(隔壁8a)成為相鄰的像素的第一隔壁(隔壁8a)。(顯示面板100的制造方法)首先，參照?qǐng)D4對(duì)顯示面板100的制造方法的主要部分說(shuō)明其一個(gè)例子。對(duì)生產(chǎn)(制作)TFT基板的工序進(jìn)行說(shuō)明。準(zhǔn)備與顯示面板100的尺寸對(duì)應(yīng)的基板I?？梢詼?zhǔn)備顯示面板100的數(shù)倍大小的基板，同時(shí)進(jìn)行多個(gè)顯示面板100的制造。
TFT層形成工序在基板I上，使用公知的制造方法(例如，日本特開(kāi)2003-241683號(hào)公報(bào)、日本特開(kāi)2008-300611號(hào)公報(bào)等的記載內(nèi)容)，來(lái)形成包括TFT及布線(xiàn)、SD電極22的TFT層2 (圖4 (a))。例如，通過(guò)濺射法和/或CVD法(化學(xué)氣相成膜法)等來(lái)形成TFT、SD電極22、布線(xiàn)等。在TFT的形成中，形成柵電極、柵極絕緣膜、源極、漏極、溝道層等。SD電極22與源極和漏極中的任一方電連接地形成。對(duì)于布線(xiàn)，形成有例如在Y方向上延伸設(shè)置的多條信號(hào)用布線(xiàn)、在X方向上延伸設(shè)置的多條掃描用布線(xiàn)，并與各TFT連接。TFT可以是柵電極相比源極、漏極等而形成在上方的頂柵型，也可以是柵電極相比源極、漏極等而形成下方的底柵型。對(duì)形成層間絕緣膜的工序進(jìn)行說(shuō)明。層間絕緣膜形成工序在上述TFT層2上涂敷由正型的感光性有機(jī)材料形成的抗蝕劑膜26之后，在該抗蝕劑膜26的位于SD電極22上的部分形成接觸孔13。通過(guò)旋涂法等液層成膜法來(lái)涂敷抗蝕劑膜26，并通過(guò)填埋TFT層2上的凹凸來(lái)使其表面平坦化。也可通過(guò)浸潰涂法、狹縫涂法、噴涂法、輥涂法、模涂法等液層成膜法來(lái)進(jìn)行涂敷。在形成層間絕緣膜3上的臺(tái)階差及接觸孔13時(shí)使用光刻法。在層間絕緣膜3，分別形成有第一面3a、第二面3b、第三面3c (參照?qǐng)D5)。這是在曝光及顯像處理中，分三次分別形成第二面3b、第三面3c及各接觸孔13。例如，在通過(guò)最初的曝光及顯像處理來(lái)形成第二面3b之后，通過(guò)再次曝光及顯像處理來(lái)形成第三面3c，通過(guò)最后的曝光及顯像處理來(lái)形成各接觸孔13。在本實(shí)施方式中，層間絕緣膜3中，在俯視時(shí)，第一面3a下的部分相當(dāng)于形成第一電極板組的部位，第二面3b下的部分相當(dāng)于形成第二電極板組的部位，第三面3c下的部分相當(dāng)于形成第三電極板組的部位。也可以認(rèn)為第二面3b下的部分相當(dāng)于形成第一電極板組的部位，第三面3c下的部分相當(dāng)于形成第二電極板組的部位。進(jìn)一步，也可以認(rèn)為第一面3a下的部分相當(dāng)于形成第一電極板組的部位，第三面3c下的部分相當(dāng)于形成第二電極板組的部位。也可以使用多色調(diào)掩模來(lái)在一次曝光及顯像處理中形成層間絕緣膜3上的臺(tái)階差及接觸孔13。對(duì)于該方法，使用圖5(a)、圖5(b)來(lái)進(jìn)行說(shuō)明。圖5(a)、圖5(b)是示意表示使用光刻法來(lái)形成接觸孔13的處理的剖視圖。在曝光處理中使用的多色調(diào)掩模30包括使光透射的透光部31、減弱透射光的半透光部32、將光遮蔽的遮光部33。半透光部32包括配置比曝光機(jī)的解析度充分微細(xì)的圖案、調(diào)節(jié)在每單位面積配置的微細(xì)圖案的數(shù)量從而調(diào)節(jié)透射率的部分和進(jìn)一步層疊具有預(yù)定透射率的膜從而調(diào)節(jié)了透射率的部分，通過(guò)這樣的半透光部32實(shí)現(xiàn)中間曝光。特別是，按RGB而使接觸孔13的容積不同的情況下的多色調(diào)掩模30優(yōu)選配置比曝光機(jī)的解析度充分微細(xì)的圖案、調(diào)節(jié)在每單位面積配置的微細(xì)圖案的數(shù)量從而調(diào)節(jié)了透射率的部分。為了形成各接觸孔13，各透光部31a、31b、31c的開(kāi)口直徑與接觸孔13a、13b、13c的下側(cè)開(kāi)口部35a、35b、35c(基板I側(cè)的開(kāi)口)的直徑大體相同。另一方面，半透光部32b的外周的輪廓與第二面3b大體相同，半透光部32c的外周的輪廓與第三面3c大體相同。而且，在多色調(diào)掩模30中，透光部31及半透光部32以外的部分、例如與第一面3a對(duì)應(yīng)的部 分成為遮光部33。透光部31的光的透射率高，抗蝕劑膜26中的透過(guò)透光部31的光所照射的部分在顯像處理后在抗蝕劑膜26的下面?zhèn)乳_(kāi)口。另一方面，在半透光部32b、32c中照射光被削弱，所以透過(guò)半透光部32的光所照射的部分僅上部感光，在顯像處理中除去上部而形成第二面3b、第三面3c。半透光部32中的形成第二面3b的半透光部32b的光的透射率比形成第三面3c的半透光部32c的光的透射率低。其結(jié)果，第二面3b比第三面3c高。通過(guò)借助上述多色調(diào)掩模30進(jìn)行的曝光，使圖5 (a)中由雙點(diǎn)劃線(xiàn)36示意表示的范圍感光，在顯像處理中將其溶解除去。透過(guò)透光部31和半透光部32的光通過(guò)衍射而擴(kuò)散，所以在抗蝕劑膜26中，比透光部31和半透光部32寬的部分也或多或少地曝光，接觸孔13的側(cè)面傾斜。其結(jié)果，接觸孔13成為錐形形狀。此外，也可以通過(guò)在形成上面為平坦面的絕緣膜(有機(jī)材料或無(wú)機(jī)材料)之后，通過(guò)以蝕刻方式將要形成接觸孔13的部位除去的方法，從而形成接觸孔13。具體說(shuō)明如下。在絕緣膜上重疊涂敷光致抗蝕劑，在其上重疊與要形成的層間絕緣膜3上的臺(tái)階面(第二面3b或第三面3c)或接觸孔13相應(yīng)的圖案掩模。接著，在從圖案掩模上進(jìn)行了感光之后，通過(guò)顯像處理除去光致抗蝕劑的感光部分(或非感光部分)，從而形成抗蝕劑圖案。然后，通過(guò)例如濕蝕刻來(lái)除去在絕緣膜中的抗蝕劑圖案的開(kāi)口部分露出的部分，從而在絕緣膜形成臺(tái)階差面或接觸孔13。通過(guò)進(jìn)行三次這樣的曝光及顯像處理，也可以使絕緣膜圖案化，形成層間絕緣膜3。下面對(duì)形成各顏色的有機(jī)EL元件的工序進(jìn)行說(shuō)明。陽(yáng)極板形成工序通過(guò)濺射法在層間絕緣膜3上形成厚度100 200nm左右的金屬材料(銀、鈀及銅的合金)的薄膜，在金屬材料膜上形成厚度90nm左右的半導(dǎo)體材料(IZO)的薄膜。然后，通過(guò)光刻法形成矩陣狀排列的俯視為矩形的陽(yáng)極板5。具體而言，在半導(dǎo)體材料膜上形成抗蝕劑膜，使用呈矩陣狀排列矩形的陽(yáng)極板形狀而形成的掩模圖案，使抗蝕劑膜曝光之后，通過(guò)TMAH(四甲基氫氧化氨)溶解除去曝光部分以顯像。進(jìn)一步，通過(guò)濕式蝕刻(例如，使用磷酸、硝酸、醋酸的水溶液進(jìn)行的蝕刻)來(lái)除去金屬材料膜及半導(dǎo)體材料膜中的沒(méi)有被抗蝕劑膜覆蓋的格子狀部分以形成圖案，從而形成矩形的陽(yáng)極板5。然后，除去抗蝕劑膜。此時(shí)，在接觸孔13的內(nèi)面也形成陽(yáng)極板5，所以陽(yáng)極板5沿接觸孔13的內(nèi)面而凹入，在陽(yáng)極板5形成凹部23。凹部23的底壁部分通過(guò)接觸孔13下側(cè)的開(kāi)口而與SD電極22面接觸以電連接(圖4(c))。像素限制層形成工序接著，通過(guò)CVD法將SiON成膜為100 300nm的厚度。然后，使用光刻法，通過(guò)用干式蝕刻形成圖案，從而形成像素限制層6 (圖4(e))?？昭ㄗ⑷雽有纬晒ば蚪又?，通過(guò)用反應(yīng)性濺射法在陽(yáng)極板5及像素限制層6上形成氧化鑰和/或氧化鎢等的氧化金屬膜，從而形成空穴注入層7(圖4(d))。 像素限制層6及空穴注入層7也成為沿著陽(yáng)極板5而部分地凹入凹部23a、23b、23c內(nèi)的形態(tài)。其結(jié)果，在空穴注入層7形成凹部15a 15c。此外，像素限制層6及空穴注入層7的子像素中的膜厚和凹部23中的膜厚為相同程度。隔壁形成工序在圖6中示意示出隔壁形成工序中的A-A’剖面。作為隔壁材料，將例如感光性的抗蝕劑材料或者含有氟類(lèi)或/或丙烯類(lèi)材料的抗蝕劑材料涂敷在層間絕緣膜3上，形成抗蝕劑膜37。通過(guò)使用單色調(diào)掩模38以光刻法來(lái)使該抗蝕劑膜37形成圖案，從而形成隔壁8a、8b、8c (圖4 (f)、圖6 (a))。在該隔壁形成工序中，為了付與對(duì)在下一工序中涂敷的墨水的撥水性，可以通過(guò)丙烯性溶液和/或水、有機(jī)溶劑等對(duì)隔壁8的表面進(jìn)行表面處理或者進(jìn)行等離子體處理?？昭ㄝ斔蛯有纬晒ば蚪又試娔绞?噴墨式涂敷方法)形成空穴輸送層9 (圖4 (g))。S卩，將作為空穴輸送層材料的有機(jī)材料和溶劑以預(yù)定比率混合來(lái)制作空穴輸送層用的墨水，將該墨水涂敷在相鄰的隔壁8之間。即，用公知的噴墨方式，沿作為第一隔壁的隔壁8a和作為第二隔壁的隔壁Sb之間的區(qū)域、作為第二隔壁的隔壁Sb和作為第三隔壁的隔壁8c之間的區(qū)域、作為第三隔壁的隔壁Sc和作為第四隔壁的隔壁8a之間的區(qū)域來(lái)涂敷墨水O圖7是表示剛以噴墨方式在基板上涂敷了空穴輸送層形成用的墨水之后的狀況的剖面示意圖。在圖7中，省略了空穴注入層7的圖示。在該圖中，各箭頭表示從噴墨裝置的噴嘴在各元件形成區(qū)域向預(yù)定的多個(gè)部位滴下墨水。也即是，在各元件形成區(qū)域滴下的液滴數(shù)(例如，8滴)及在各元件形成區(qū)域滴下液滴的多個(gè)部位是相同的。由此，涂敷的墨水整體地將空穴注入層7之上覆蓋，也進(jìn)入因存在接觸孔13而形成的凹部15中。在此，從噴嘴排出的各墨水液滴的量是一定的，因此對(duì)于多個(gè)元件形成區(qū)域，墨水的涂敷量是均勻的。也即是，在各陽(yáng)極板5上方涂敷的墨水量也相等，其偏差在5%以?xún)?nèi)。作為將形成空穴輸送層9的墨水填充到堤之間的方法，除上述之外也可使用分配法、噴涂法、印刷法等，無(wú)論哪種方法，在各陽(yáng)極板5及空穴注入層7上涂敷的墨水的量在全部顏色的子像素皆是同等的。通過(guò)使如上所述形成的墨水層干燥而形成空穴輸送層9。
發(fā)光層形成工序在空穴輸送層9上以噴墨方式形成發(fā)光層10。該工序與上述空穴輸送層形成工序是同樣的，通過(guò)將溶解有發(fā)光層形成用的有機(jī)發(fā)光材料的墨水涂敷在相鄰的隔壁8彼此之間并使其干燥來(lái)進(jìn)行形成，但所使用的有機(jī)發(fā)光材料根據(jù)各發(fā)光顏色而不同。在空穴輸送層9上，例如也可以通過(guò)真空蒸鍍法來(lái)形成由低分子類(lèi)有機(jī)發(fā)光材料形成的發(fā)光層10。此外，作為將形成發(fā)光層10的墨水填充到堤之間的方法，除上述之外還可使用分配法、噴涂法、印刷法等。陰極層形成工序接著，在發(fā)光層10的表面上，用濺射法或真空蒸鍍法形成ITO、IZO等材料的膜。由此形成陰極層11。進(jìn)一步，通過(guò)在陰極層11的表面上用濺射法或真空蒸鍍法形成SiN(氮化硅)、SiON (氮氧化硅)等材料的膜，從而形成封止層。 通過(guò)以上的工序形成全部的有機(jī)EL元件20a 20c，制成顯示面板100。(關(guān)于接觸孔13及凹部15的容積與空穴輸送層9的膜厚)在顯示面板100中，接觸孔13的容積設(shè)定成與藍(lán)色對(duì)應(yīng)的接觸孔13a的容積最大，與紅色對(duì)應(yīng)的接觸孔13c的容積最小(13a > 13b > 13c)。因此，凹部15的容積為，在接觸孔13a上方形成的凹部15a的容積最大,在接觸孔13c上方形成的凹部15c的容積最小(15a > 15b > 15c)。與各顏色對(duì)應(yīng)的空穴輸送層9a、9b、9c在各陽(yáng)極板5上方的區(qū)域?yàn)楸舜讼嗤捏w積，但進(jìn)入凹部15a、15b、15c的體積(量)不同。其結(jié)果，藍(lán)色子像素的空穴輸送層9a的膜厚(陽(yáng)極板5上的區(qū)域中的凹部15以外的區(qū)域處的膜厚)最薄，綠色子像素的空穴輸送層9b的膜厚為中間厚度，紅色子像素的空穴輸送層9c的膜厚最厚。這樣,通過(guò)使各凹部15a、15b、15c的容積不同，從而能夠微調(diào)節(jié)各空穴輸送層9a、9b,9c的膜厚差。因此，在顯示面板100中，易于按子像素的各顏色來(lái)將空穴輸送層9的膜厚設(shè)定為與發(fā)光色的波長(zhǎng)相應(yīng)的適當(dāng)值。下面對(duì)在陽(yáng)極板5的上方形成的凹部15的容積和空穴輸送層9的膜厚的關(guān)系進(jìn)行詳細(xì)考察。像素限制層6、空穴注入層7凹入到形成于陽(yáng)極板5的凹部23中，凹部15通過(guò)沿著凹部23的形狀凹陷而形成。而且，由于像素限制層6、空穴注入層7通過(guò)CVD或?yàn)R射法來(lái)形成，所以凹部15的形狀成為與凹部23非常相似的形狀。此外，與凹部23的大小(直徑及深度)相比，空穴注入層7等的膜厚小很多，對(duì)凹部23容積的影響較小?；谝陨锨闆r，將凹部23和凹部15視為相同也沒(méi)有特別問(wèn)題。因此，雖然準(zhǔn)確地說(shuō)是第一凹部、第二凹部、第三凹部分別由凹部23a、23b、23c構(gòu)成，但為簡(jiǎn)便起見(jiàn)，可以認(rèn)為凹部15a、15b、15c分別構(gòu)成第一凹部、第二凹部、第三凹部。此外，與陽(yáng)極板5的縱向(Y方向)的長(zhǎng)度相比，在縱向上相鄰的陽(yáng)極板5之間的間隙非常小，所以不考慮間隙地進(jìn)行計(jì)算。將子像素的空穴輸送層9的膜厚簡(jiǎn)記為空穴輸送層9的膜厚。在一個(gè)元件形成區(qū)域，將陽(yáng)極板5上的墨水涂敷區(qū)域(在圖3(a)中以標(biāo)號(hào)5表示的區(qū)域)的面積設(shè)為S，將空穴輸送層用的墨水的溶質(zhì)濃度設(shè)為N。此外，將在一個(gè)墨水涂敷區(qū)域涂敷的墨水(圖7中的斜線(xiàn)區(qū)域C)的涂敷量設(shè)為V0，將在陽(yáng)極板5上形成的凹部15的容積設(shè)為Vl (將與各顏色對(duì)應(yīng)的凹部15a、15b、15c的容積分別設(shè)為Vla、Vlb、Vlc)。
圖8 (a)、(b)、(c)分別為將在墨水涂敷區(qū)域涂敷墨水的狀態(tài)(左側(cè))和墨水干燥后的狀態(tài)(右側(cè))比圖7大幅簡(jiǎn)化地表示的示意圖。下面，使墨水涂敷區(qū)域、凹部15等為圖8所示的簡(jiǎn)單模式，考察凹部15的容積和空穴輸送層9的膜厚之間的關(guān)系。在圖8中，省略了陽(yáng)極板5、像素限制層6等的圖示。(I)關(guān)于有無(wú)凹部所引起的空穴輸送層9的膜厚的不同首先，對(duì)凹部15的容積和空穴輸送層9的膜厚之間的關(guān)系進(jìn)行描述。在圖8(a)中示出假設(shè)為不形成凹部15的情況下的墨水的干燥前后的狀態(tài)。在假設(shè)陽(yáng)極板5的上面整體為平坦的、沒(méi)有凹部時(shí)，在陽(yáng)極板5的上方涂敷的墨水層的假設(shè)高度HO通過(guò)用涂敷量VO除以面積S而得到。HO = VO/S . . . (1-1)
在干燥后形成的空穴輸送層9的假設(shè)膜厚度h0通過(guò)對(duì)墨水層的假設(shè)高度HO乘以溶質(zhì)濃度N來(lái)求出。h0 = N · HO= N · V0/S . . . (1-2)另一方面，在圖8(b)、(C)中示出形成凹部15的情況下的墨水的干燥前后的狀態(tài)。在該圖中，區(qū)別填充在凹部15內(nèi)的墨水干燥而成的部分和凹部15上方的墨水層干燥而成的部分。在后面對(duì)此進(jìn)行說(shuō)明。在陽(yáng)極板5上方形成有凹部15(體積VI)的情況下，所涂敷的墨水的一部分填充到該凹部15中。在圖6中，如斜線(xiàn)區(qū)域D那樣在凹部15整體中填充墨水。此外，雖然在所涂敷的墨水的上面有時(shí)會(huì)或多或少地產(chǎn)生凹凸，但將其視為平坦的而進(jìn)行估算。于是，子像素的墨水層的高度H(Ha、Hb、He)可視為與將墨水剩余量(VO-Vl)涂敷在沒(méi)有凹部的陽(yáng)極板上的情況下的高度相同，所述墨水剩余量(V0-V1)是從墨水的涂敷量VO減去向凹部15的填充量Vl后得到的。因此，墨水層的高度H可通過(guò)將墨水殘量(VO-Vl)除以面積S而由下式得到。H = (VO-Vl)/S …(1-3)墨水干燥后的空穴輸送層9的膜厚h(ha、hb、hc)可通過(guò)對(duì)墨水層的高度H乘以中間層用的墨水的溶質(zhì)濃度N來(lái)求出。h = N · H= N (VO-Vl)/S . . . (1-4)比較圖8的(a)和(b)可知通過(guò)在凹部15填充墨水，子像素的墨水層的高度H變?yōu)楸燃僭O(shè)高度HO (在圖8(b)中由直線(xiàn)J表示)小。其結(jié)果，在干燥后，空穴輸送層9的膜厚h變?yōu)楸燃僭O(shè)膜厚h0小。在此，在假設(shè)為在陽(yáng)極板5上不形成凹部15的情況下，如上所述，空穴輸送層9的假設(shè)膜厚h0是N-V0/So因此，與假設(shè)膜厚h0相比，因存在凹部15而使空穴輸送層9的膜厚h減小的量E成為下式。E = h0-h= N · V0/S-N (V0-V1) /S= N · V1/S · · · (1-5)S卩，空穴輸送層9的膜厚h相對(duì)于假設(shè)膜厚h0的減少量E原則上根據(jù)凹部15的容積來(lái)確定。因此，如果增大凹部15的容積(Vl)，則能夠增大空穴輸送層9的膜厚h相對(duì)于假設(shè)膜厚hO的減少量E。而且，各顏色的凹部15的容積Via、Vlb、Vlc的大小為Via > Vlb > Vic。因此，在例如使墨水的涂敷量VO及溶質(zhì)濃度N相同的情況下，藍(lán)色的子像素的空穴輸送層9a的膜厚最薄，紅色的子像素的空穴輸送層9c的膜厚最厚。(2)關(guān)于與各顏色對(duì)應(yīng)的凹部15的容積的不同、和空穴輸送層9的膜厚的差在圖8(b)、(C)示出墨水層的高度Ha、Hb和空穴輸送層9a、9b的膜厚ha、hb。在圖8中，為了簡(jiǎn)化而省略了陽(yáng)極板5等的圖示，使凹部15的剖面形狀為矩形。在此，代表性地對(duì)與不同顏色對(duì)應(yīng)的凹部15a、15b之間的容積的差V Λ Iab和空穴輸送層9的膜厚ha、hb的膜厚差A(yù)hab之間關(guān)系進(jìn)行描述。
墨水的涂敷量VO及溶質(zhì)濃度N在各顏色的墨水涂敷區(qū)域彼此相等。在該情況下，例如，藍(lán)色的子像素的空穴輸送層9a的膜厚ha和綠色的子像素的空穴輸送層9b的膜厚hb的膜厚差A(yù)hab由下式得到。Δ hab = ha_hb= N (VO-Vla)/S-N(VO-Vlb)/S= N (Vlb-Vla)/S= N · V Λ lab/S · · · (2-1)即，在各顏色的墨水涂敷區(qū)域墨水量VO和溶質(zhì)濃度N相等的情況下，上述I旲厚差A(yù)hab原則上與對(duì)應(yīng)于藍(lán)色的凹部15a的容積和對(duì)應(yīng)于綠色的凹部15b的容積之差A(yù)Vlab成比例。因此，通過(guò)調(diào)節(jié)凹部15a、15b、15c之間的容積的差Λ Vl (例如，Vla-Vlb)，能夠根據(jù)其容積的差A(yù)Vl來(lái)調(diào)節(jié)與各顏色對(duì)應(yīng)的空穴輸送層9的膜厚ha、hb、he的膜厚差A(yù)h(例如，ha-hb)。在此，由于凹部15a的容積Vla比凹部15b的容積Vlb大，所以在從容積Vlb減去容積Vla時(shí)成為負(fù)值，這表示膜厚ha比膜厚hb小。使墨水的涂敷量VO和/或溶質(zhì)濃度N根據(jù)對(duì)應(yīng)顏色而不同，也能以同樣的原理來(lái)
調(diào)節(jié)膜厚差A(yù)h。(3)關(guān)于空穴輸送層9的膜厚差的調(diào)節(jié)單位各凹部15的大小由在層間絕緣膜3形成的接觸孔13的大小來(lái)規(guī)定，如后述那樣可進(jìn)行微調(diào)節(jié)。因此，凹部的體積Via、Vlb、Vlc能夠以比一滴墨水液滴的體積小的單位來(lái)進(jìn)行調(diào)節(jié)，所以能夠微調(diào)節(jié)對(duì)應(yīng)顏色不同的空穴輸送層9的膜厚差。首先，作為比較例，對(duì)通過(guò)按子像素的各顏色而改變涂敷的墨水液滴的滴數(shù)的方法來(lái)調(diào)節(jié)了膜厚的情況進(jìn)行說(shuō)明。當(dāng)在各墨水涂敷區(qū)域涂敷的墨水的液滴數(shù)為M滴時(shí)，一滴墨水的體積為對(duì)墨水的涂敷量VO除以墨水的液滴數(shù)M所得的值(V0/M)。因此，當(dāng)使在各墨水涂敷區(qū)域涂敷的墨水液滴的滴數(shù)增加或減少了一滴的情況下(例如，在比較M滴和M+1滴的情況下)，所形成的中間層的膜厚會(huì)增加或減少N(V0/M) /S，所以只能以N(V0/M) /S為單位來(lái)調(diào)節(jié)膜厚差。接著，根據(jù)本實(shí)施方式，例如，能以比一滴墨水的體積(V0/M)小的單位(例如，半滴墨水量的體積V0/2M)來(lái)調(diào)節(jié)凹部15a、15b、15c之間的容積的差(例如，Vla-Vlb)。因此，能夠使空穴輸送層9的膜厚差A(yù)h為例如N (V0/2M)/S，設(shè)定為比增加或減少一滴墨水液滴數(shù)的情況下的膜厚差小。進(jìn)一步，也可以將空穴輸送層9的膜厚差A(yù)h設(shè)定為例如比增加或減少η滴墨水液滴數(shù)的情況下的膜厚差大、且為比增加或減少η+1滴液滴數(shù)的情況下的
膜厚差小。因此，例如，(i)能夠使藍(lán)色子像素的空穴輸送層9a的膜厚ha與綠色子像素的空穴輸送層9b的膜厚hb的膜厚差A(yù)hab，(ii)比使在藍(lán)色子像素滴下的墨水的液滴數(shù)增加了 η滴的情況下的空穴輸送層9a的膜厚ha的增加量大、且比使上述墨水的液滴數(shù)增加了η+1滴的情況下的空穴輸送層9a的膜厚ha的增加量小。(4)關(guān)于空穴輸送層9中的進(jìn)入凹部15中的部分如圖8(b)、(C)所示，凹部15內(nèi)的空穴輸送層9的膜厚大體上比子像素的空穴輸送層9的膜厚厚。這主要是填充于凹部15的墨水所導(dǎo)致的。在此，在圖7下側(cè)的圖中，進(jìn)入凹部15中的空穴輸送層9的量(體積)v3指由直 線(xiàn)E和直線(xiàn)F夾著的部分的體積。也即是，進(jìn)入凹部15中的空穴輸送層9的量準(zhǔn)確地可以表現(xiàn)為俯視時(shí)在與凹部15相同的區(qū)域形成的空穴輸送層9的量。然后，回到圖8，進(jìn)入凹部15中的空穴輸送層9的量(體積)v3為在凹部15內(nèi)填充的第一墨水部分41 (體積VI)干燥而成的第一部分42的體積vl、和墨水層中的位于凹部15上方的第二墨水部分43 (V2)干燥而成的第二部分44的體積v2之和。V3 = vl+v2 . . . (3-1)體積VI和體積v2可由下式表示。vl = N · Vl …(3-2)v2 = N · V2 …(3-3)在此，如圖8(b)、(C)所示，可以認(rèn)為，成為進(jìn)入凹部15中的空穴輸送層9中的第二部分44的來(lái)源的第二墨水部分43僅是根據(jù)子像素中墨水層的高度H而發(fā)生變化，對(duì)改變空穴輸送層9的膜厚h的變化是無(wú)用的。此外，這點(diǎn)從式(1-5)也可明了。因此，有助于進(jìn)入凹部15中的空穴輸送層9的體積v3中的空穴輸送層9的膜厚h的變化的是第一部分42的體積vl。而且，調(diào)節(jié)凹部15的容積Vl的結(jié)果，能夠使第一部分42的體積vl變得適當(dāng)，且使空穴輸送層9的膜厚h為適當(dāng)?shù)暮穸?。進(jìn)一步，通過(guò)微調(diào)節(jié)與各顏色對(duì)應(yīng)的第一墨水部分41a、41b、41c (省略41c的圖示)的容積Vla、Vlb、Vlc的差,能夠使第一部分42的體積via、vlb、vie的差變得適當(dāng)，能夠微調(diào)節(jié)各顏色的子像素的空穴輸送層9a、9b、9c的膜厚差。但是，實(shí)際上難以將進(jìn)入凹部15中的空穴輸送層9區(qū)分為第一部分42和第二部分44。因此，根據(jù)子像素的空穴輸送層9的量，來(lái)算出與第二部分44的體積v2相當(dāng)?shù)捏w積相當(dāng)值v2’。在此，第二墨水部分43的高度與子像素的墨水層45的高度H相同。因此，可以認(rèn)為，在凹部15的上面面積為SI時(shí),在子像素中，空穴輸送層9的每面積SI (由標(biāo)號(hào)46表不的部分)的體積v4相當(dāng)于第二部分44的體積v2，為體積相當(dāng)值v2’。于是，上述體積v4可通過(guò)對(duì)子像素的空穴輸送層9的厚度h乘以面積SI來(lái)算出。膜厚h可以為例如子像素的空穴輸送層9的膜厚的平均膜厚。具體而言，例如，可以在多個(gè)部位測(cè)定子像素的空穴輸送層9的膜厚，取其平均值。v2，= v4= h · SI . . . (3-4)
由此，能得到第二墨水部分43的體積相當(dāng)值v2’，能算出第一墨水部分41的體積相當(dāng)值vl’。合計(jì)體積v3的相當(dāng)值v3’可以基于例如進(jìn)入凹部15內(nèi)的空穴輸送層9的剖面來(lái)進(jìn)行計(jì)算。具體而言，例如，在得到含有凹部15的中心軸的剖面的情況下，能夠?qū)⑹箍昭ㄝ斔蛯?的剖面形狀繞中心軸旋轉(zhuǎn)一周而得到的旋轉(zhuǎn)體的體積設(shè)為相當(dāng)值v3’。vl，= v3，_v2，= v3，_h · SI …(3-5)理想的是，體積相當(dāng)值vl’和對(duì)凹部15a的容積Vl乘以溶質(zhì)濃度N所得的體積vl為相同程度的值(例如，±10%的范圍內(nèi))。凹部15的上面面積SI也可以與后述的接觸孔13的上面面積相同地進(jìn)行定義。也即是，可以是從凹部15的周緣部的最高位置向下約10%的位置處的凹部15的直徑所規(guī)定的圓的面積。 在本實(shí)施方式中，[i]上述第一接觸孔(13a)比上述第二接觸孔(13b)深，且容積大(Via > Vlb)，[ii]與上述第一顏色用的電極板(5a)上的區(qū)域?qū)?yīng)的上述第一有機(jī)功能層(9a)的體積(例如，N· V0)和與上述第二顏色用的電極板(5b)上的區(qū)域?qū)?yīng)的上述第二有機(jī)功能層(9b)的體積(例如，N· V0)相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)，[iii]進(jìn)入與上述第一接觸孔對(duì)應(yīng)的第一凹部(15a)中的上述第一有機(jī)功能層的量(v3a)比進(jìn)入與上述第二接觸孔對(duì)應(yīng)的第二凹部(15b)的上述第二有機(jī)功能層的量(v3b)大，由此使上述第一凹部以外的上述第一顏色用的電極板上的區(qū)域(例如，藍(lán)色的子像素的9a)中的上述第一有機(jī)功能層的膜厚(ha)，比在上述第二凹部以外的上述第二顏色用的電極板上的區(qū)域(例如，綠色的子像素的9b)中形成的上述第二有機(jī)功能層的膜厚(hb)薄。此外，在本實(shí)施方式中也可以是[i]上述第一接觸孔(13a)比上述第二接觸孔(13b)深，且容積大(Vla>Vlb)，[ii]進(jìn)入第一顏色用的電極板(5a)的第一凹部(15a)中的上述第一有機(jī)功能層(9a)的量(v3a)和與第一顏色用的電極板的第一凹部以外的部分對(duì)應(yīng)的上述第一有機(jī)功能層(例如，藍(lán)色的子像素的9a)在俯視下每與上述第一凹部相同的范圍(上面面積SI)中所形成的量(v2a)之差(v3a-v2a = via)，[iii]比進(jìn)入第二顏色用的電極板(5b)的第二凹部(15b)中的上述第二有機(jī)功能層(9b)的量(v3b)和與第二顏色用的電極板的第二凹部以外的部分對(duì)應(yīng)的上述第二有機(jī)功能層(例如，綠色的子像素的9b)在俯視下每與上述第二凹部相同的范圍(上面面積SI)中所形成的量(v2b)之差(v3b-v2b = vlb)大。可以將上述括號(hào)內(nèi)的體積vl、v2、v3設(shè)為上述體積相當(dāng)值vl’、v2’、v3’。此外，在本實(shí)施方式中，藍(lán)色的子像素的空穴輸送層9a相當(dāng)于上述第一有機(jī)功能層，綠色的子像素的空穴輸送層％相當(dāng)于上述第二有機(jī)功能層，紅色的子像素的空穴輸送層9c相當(dāng)于上述第三有機(jī)功能層。在此，也可以認(rèn)為，藍(lán)色的子像素的空穴輸送層9a相當(dāng)于上述第一有機(jī)功能層，紅色的子像素的空穴輸送層9c相當(dāng)于上述第二有機(jī)功能層。進(jìn)一步，也可以認(rèn)為，綠色的子像素的空穴輸送層％相當(dāng)于上述第一有機(jī)功能層，紅色的子像素的空穴輸送層9c相當(dāng)于上述第二有機(jī)功能層。(4)下面加入具體的數(shù)值例來(lái)考察。例如，在一個(gè)子像素中，將陽(yáng)極板5上的墨水涂敷區(qū)域(圖3(a)的標(biāo)號(hào)5所表示的區(qū)域)的尺寸設(shè)為長(zhǎng)300 μ m、寬70 μ m時(shí)，陽(yáng)極板5上的墨水涂敷區(qū)域的面積S =21000 μ m2。此外，在使中間層用的墨水的溶質(zhì)濃度N為O. 02(2vol% )，由噴墨頭排出的每一滴的液滴量為3pL，在各子像素的陽(yáng)極板5上各填充7滴液滴時(shí)，在各墨水涂敷區(qū)域填充的墨水的填充量VO = 21pL(21000ym3)。在陽(yáng)極板5上沒(méi)有凹部時(shí)，在陽(yáng)極板5上填充的墨水層的假設(shè)高度HO為V0/S =I μ m( = IOOOnm)，干燥后形成的空穴輸送層9的膜厚hO由下式得到。hO = N · HO= 0. 02 μ m = 20nm . . . (4-1)在此，與藍(lán)色對(duì)應(yīng)的凹部15a呈上面半徑比下面半徑大的圓錐臺(tái)形狀，高度T為6 μ m,上面半徑!T1為18 μ m,下面半徑r2約為14. 5 μ m,側(cè)面的傾斜角度為60 ° (相對(duì)于XY平面的傾斜角度)。因此，凹部15a的容積Vla由下式求出，在為3. 14時(shí)，為4994 μ m3 (4. 994pL)。Vl = Ji · TCr12+!^ · r2+r22) /3 . . . (4-2)其結(jié)果，藍(lán)色子像素的空穴輸送層9a的膜厚ha可由下式得到。ha = N (VO-Vla) /S = 15. 2nm. . . (4-3)與綠色對(duì)應(yīng)的凹部15b也同樣呈上面半徑比下面半徑大的圓錐臺(tái)形狀，高度為
4.5 μ m,上面半徑為18 μ m,下面半徑約為15. 4 μ m,側(cè)面的傾斜角度為60° (相對(duì)于XY平面的傾斜角度)。因此，凹部15b的容積Vlb在Ji為3. 14時(shí)為3944 μ m3 (3. 949pL)。其結(jié)果，綠色子像素的空穴輸送層9a的膜厚hb可由下式得到。hb = N (VO-Vlb) /S = 16. 2nm . . . (4-4)與紅色對(duì)應(yīng)的凹部15c也同樣呈上面半徑比下面半徑大的圓錐臺(tái)形狀，高度為3 μ m，上面半徑為18 μ m，下面半徑約為16. 3 μ m，側(cè)面的傾斜角度為60° (相對(duì)于XY平面的傾斜角度)。因此，凹部15c的容積Vlc為2773 μ m3(2. 773pL)。其結(jié)果，紅色子像素的空穴輸送層9c的膜厚he可由下式得到。He = N(VO-Vlc)/S = 17. 4nm ... (4-5)因此，藍(lán)色子像素的空穴輸送層9a的膜厚ha和綠色子像素的空穴輸送層9b的膜厚hb的膜厚差A(yù)hab為I. Onm。此外，膜厚hb和膜厚he的膜厚差A(yù)hbc約為I. lnm。進(jìn)一步，膜厚ha和膜厚he的膜厚差Δ hac約為2. lnm。上述情況下,對(duì)于接觸孔13的容積差Λ VI，Λ Vlab (藍(lán)色和綠色)及Λ Vlbc (綠色和紅色)為1045 μ m3 (約IpL)左右，Λ Vlac (藍(lán)色和紅色)為2221 μ m3 (約2pL)左右。這樣，能在各顏色的子像素之間以微小單位(例如，Inm以下)來(lái)調(diào)節(jié)空穴輸送層
9的膜厚差。另一方面，在比較例中，當(dāng)使在每一個(gè)子像素填充的墨水液滴的滴數(shù)增加或減少了一滴的情況下，所形成的中間層的膜厚增加或減少約2. 9nm，所以?xún)H能以約2. 9nm為單位來(lái)調(diào)節(jié)膜厚。根據(jù)從噴墨裝置排出的一滴墨水的體積和墨水涂敷區(qū)域的面積，上述2. 9nm的大小會(huì)發(fā)生變化。如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式的顯示面板100的制法，通過(guò)比墨水液滴的體積更精細(xì)地對(duì)形成于各顏色子像素的凹部15a、15b、15c的體積進(jìn)行微調(diào)節(jié)，從而能夠比較容易地、微調(diào)節(jié)各顏色子像素的空穴輸送層9的膜厚差。其結(jié)果，容易按子像素的各顏色而將空穴輸送層9的膜厚設(shè)定為與發(fā)光色的波長(zhǎng)相應(yīng)的適當(dāng)值，以高效地取出光。雖然在上述計(jì)算例中，使接觸孔13側(cè)面的傾斜(錐形角度)為60度，但不限于60度，可以為任意的傾斜角度。進(jìn)一步，雖然將接觸孔13設(shè)為連續(xù)地變窄的形狀，但可以為任意形狀。此外，上述膜厚差A(yù)h不限于lnm、2nm,例如，可以根據(jù)條件設(shè)為小于lnm、或3nm以上。此外，接觸孔13的上面半徑也不限于18 μ m，也可以設(shè)為例如20 μ m以上等任意的值。這里，為了不會(huì)對(duì)隔壁8的高度和形狀產(chǎn)生影響，優(yōu)選接觸孔13的上側(cè)開(kāi)口部在俯視時(shí)與形成隔壁8的區(qū)域遠(yuǎn)離地形成。優(yōu)選對(duì)應(yīng)顏色不同的接觸孔13的容積差A(yù)Vl比接觸孔13a的容積的誤差大。例 如，在接觸孔13a的容積為5000 μ m3,誤差為10%的情況下，例如，優(yōu)選容積差Λ Vlab超過(guò)500 μ m3。(關(guān)于上面面積)在此，對(duì)接觸孔13的上面面積進(jìn)行說(shuō)明。在本實(shí)施方式中，與各顏色對(duì)應(yīng)的接觸孔13a、13b、13c的上面面積實(shí)質(zhì)相同。此夕卜，接觸孔13的上面面積為從接觸孔13的周緣部的最高位置向下約10%的位置處的接觸孔13的直徑所規(guī)定的圓的面積。圖9(a)、(b)、(c)分別是示意表示接觸孔13的剖面的圖(代表性地示出接觸孔13b的剖面)。各圖中的接觸孔13的形狀在周緣部不同。對(duì)在該情況下如何如何規(guī)定接觸孔13的直徑進(jìn)行說(shuō)明。首先，對(duì)“接觸孔13的周緣部的最高位置”和“接觸孔13的深度”進(jìn)行說(shuō)明。在圖9(a)中，接觸孔13的周緣部的最高位置為與層間絕緣膜3的上面50相同的高度(直線(xiàn)01)。在該情況下，接觸孔13的深度Pl為上面50和接觸孔13的底面(SD電極22的上面)之間的垂直距離。垂直距離是層疊方向(Z方向)上的距離。在圖9(b)中，接觸孔13的開(kāi)口緣為彎曲部51。在這樣的情況下，認(rèn)為彎曲部51構(gòu)成接觸孔13的周緣部，為彎曲部51的最高位置即層間絕緣膜3的上面50的高度位置。該情況下的接觸孔13的深度P2與圖9(a)是同樣的。在圖9(c)中，與接觸孔13相鄰地形成隆起部52。如圖所示，在隆起部52的側(cè)面53視為接觸孔13的側(cè)面的一部分的情況下，隆起部52的頂部54的位置相當(dāng)于該接觸孔13的周緣部的最高位置。該情況下，接觸孔13的深度P3成為從隆起部52的頂部54到接觸孔13的底面的垂直距離。但是，在本實(shí)施方式中，與各顏色對(duì)應(yīng)的接觸孔13a、13b、13c的深度不同。在這樣的情況下，將三個(gè)接觸孔13a、13b、13c的深度的平均值PAve用作接觸孔13的深度。接著，對(duì)“從接觸孔13的周緣部的最高位置向下約10%的位置”和“接觸孔13的直徑”進(jìn)行說(shuō)明。從最高位置向下約10%的位置為從最高位置向下深度的平均值PAve的約10%后的位置。約10%包括±1%的誤差范圍，為9%以上且11%以下的范圍內(nèi)的任一值。在圖9(a)、(b)、(c)中，分別用直線(xiàn)QU Q2、Q3表示從接觸孔13的周緣部的最高位置01、02、03向下深度的平均值PAve的10%后的位置。而且，在各圖的剖面中，直線(xiàn)Q1、Q2、Q3各自與接觸孔13的側(cè)面的兩個(gè)交點(diǎn)的距離分別為接觸孔13的直徑Φ1、Φ2、Φ3。其結(jié)果，接觸孔13的上面面積為例如直徑Φ1的圓的面積。(關(guān)于光路長(zhǎng)度)圖10是示意表示有機(jī)EL有機(jī)20內(nèi)的光的光路的剖視圖。在該圖中，示出從發(fā)光層10向陰極層11側(cè)直接出 射的直射光61和在陽(yáng)極板5側(cè)反射后出射的反射光62。在該圖中，將陽(yáng)極板5分為金屬層63和透明電極層64(IZ0)進(jìn)行表示。該情況下，陽(yáng)極板5的反射面由透明電極層64側(cè)的金屬層63的主面構(gòu)成。在圖10中，例如，能夠使有機(jī)EL元件20內(nèi)的光的共振條件相對(duì)于空穴輸送層9、空穴注入層7及透明電極層64的光路長(zhǎng)度進(jìn)行最優(yōu)化。將這樣的構(gòu)造稱(chēng)為腔(cavity)或腔構(gòu)造。在本實(shí)施方式中，可以?xún)H通過(guò)空穴輸送層9的膜厚來(lái)調(diào)節(jié)光路差，除了空穴輸送層9之外，也可以通過(guò)調(diào)節(jié)空穴注入層7、透明電極層64等的膜厚來(lái)調(diào)節(jié)光路差。簡(jiǎn)單地對(duì)確定接觸孔的容積差的方法進(jìn)行描述。例如，制造有機(jī)EL顯示面板的樣品，為使光的共振條件按各顏色而最佳化，確定使各顏色的有機(jī)功能層的膜厚差如何變化，或者在維持有機(jī)功能層的膜厚差的同時(shí)使膜厚整體地變化。而且，在與樣品相同的制造條件(墨水的涂敷條件)的基礎(chǔ)上，改變接觸孔的容積而制造有機(jī)EL顯示面板。這樣，有機(jī)EL元件內(nèi)的光的共振條件最優(yōu)化，能得到發(fā)光效率高的有機(jī)EL顯示面板。<變形例>雖然在上述實(shí)施方式I中，通過(guò)改變與各顏色對(duì)應(yīng)的接觸孔13的容積，來(lái)微調(diào)節(jié)空穴輸送層9的膜厚差，但也可以微調(diào)節(jié)作為有機(jī)功能層的一個(gè)例子的發(fā)光層10的膜厚差。在本變形例中，根據(jù)各接觸孔13a、13b、13c等的容積差，產(chǎn)生各顏色的子像素的發(fā)光層10a、10b、10c的膜厚差。其結(jié)果，易于在各顏色的發(fā)光層10得到適當(dāng)?shù)妮x度和色度?；蛘撸褂袡C(jī)EL元件20內(nèi)的光的共振條件最優(yōu)化，提高光的取出率。也可以在使涂覆于各顏色的子像素的含有有機(jī)發(fā)光材料的墨水的液滴數(shù)不同的基礎(chǔ)上，進(jìn)一步通過(guò)接觸孔13的容積差來(lái)微調(diào)節(jié)膜厚差。在本變形例中，可以通過(guò)蒸鍍法、濺射法來(lái)形成空穴輸送層。此外，可以通過(guò)上述噴墨法等來(lái)形成空穴輸送層，也可以省略。通過(guò)噴墨方式形成空穴注入層，可以對(duì)其膜厚差進(jìn)行微調(diào)節(jié)。該情況下，作為空穴注入層的材料，可以使用PED0T-PSS、芳香族胺類(lèi)高分子材料、聚苯撐乙烯等有機(jī)材料。<實(shí)施方式2>在上述實(shí)施方式中，通過(guò)在層間絕緣膜3的上面形成臺(tái)階差而使接觸孔13的深度不同。與此相對(duì)，使層間絕緣膜的上面平坦，通過(guò)改變基板的形成有與各顏色對(duì)應(yīng)的接觸孔的部位的上面高度，也能夠改變層間絕緣膜的膜厚差從而改變接觸孔的深度。圖11是示意表示本實(shí)施方式的顯示面板80的剖視圖。圖11示出與圖3(a)的A-A’剖面相當(dāng)?shù)钠拭妗Ｊ÷粤税l(fā)光層、陰極層等的圖示。在本實(shí)施方式中，基本上采用上述實(shí)施方式I的圖3(a)、(C)所示的構(gòu)造，基板、層間絕緣膜的剖面形狀采用與上述實(shí)施方式I不同的形狀。對(duì)于凹部15，使用與上述實(shí)施方式I相同的標(biāo)號(hào)。在本實(shí)施方式的帶臺(tái)階基板81形成有臺(tái)階狀的臺(tái)階差。帶臺(tái)階基板81是在平坦基板82層疊臺(tái)階差形成部83而形成的。在帶臺(tái)階基板81上形成有TFT層84 (以雙點(diǎn)劃線(xiàn)示意性表示)，示意性示出TFT層84所包含的各TFT的SD電極85。在TFT層84上形成有層間絕緣膜86。在層間絕緣膜86，在各SD電極85上的部位形成有上面面積實(shí)質(zhì)相同的接觸孔87。層間絕緣膜86的上面86a除了形成有接觸孔87的部分之外為平坦面。在層間絕緣膜86上形成有分別與藍(lán)綠紅對(duì)應(yīng)的有機(jī)EL元件90a、90b、90c。在各有機(jī)EL元件90中，將陽(yáng)極板91、像素限制層92、空穴注入層93及空穴輸送層94按該順序 層疊地形成。此外，在X方向上相鄰的有機(jī)EL元件90由隔壁95劃分。構(gòu)成帶臺(tái)階基板81的下部的平坦基板82可以為與上述實(shí)施方式的基板I相同的基板。構(gòu)成帶臺(tái)階基板81的上部的臺(tái)階差形成部83使底面(平坦基板82側(cè)的主面)平坦，另一方面，使上表面為臺(tái)階狀。此外，臺(tái)階差形成部83在Y方向上膜厚均勻，另一方面，在X方向上膜厚呈臺(tái)階狀地變化。而且，臺(tái)階差形成部83的上面包括作為最低的面的第一面83a、中間高度的第二面83b、作為最高的面的第三面83c，這三個(gè)面之間為斜面。此外，第一面83a、第二面83b及第三面83c (以下簡(jiǎn)記為第一面83a等)與平坦基板82的主面平行，成為在Y方向上延伸的帶狀的平面形狀。進(jìn)一步，第一面83a等各自與各顏色的有機(jī)EL元件90對(duì)應(yīng)。在第一面83a形成與藍(lán)色對(duì)應(yīng)的有機(jī)EL元件90a用的SD電極85a，在第二面83b形成與綠色對(duì)應(yīng)的有機(jī)EL元件90b用的SD電極85b，在第三面83c形成與紅色對(duì)應(yīng)的有機(jī)EL元件90c用的SD電極85c。其結(jié)果，各SD電極85的上面的高度位置為SD電極85a最低，SD電極85b為中間聞度，SD電極85c最聞。因此，在SD電極85上形成的接觸孔87的深度為在SD電極85a上形成的接觸孔87a最深，在SD電極85b上形成的接觸孔87b為中間深度，在SD電極85c上形成的接觸孔87c最淺。各接觸孔87a、87b、87c的上面面積實(shí)質(zhì)上相同，所以各接觸孔87的深度越大則容積越大。而且，通過(guò)微調(diào)節(jié)與各顏色對(duì)應(yīng)的接觸孔87a、87b、87c間的容積差，與上述實(shí)施方式I同樣地，能夠?qū)νㄟ^(guò)噴墨方式形成的空穴輸送層94的膜厚差進(jìn)行微調(diào)節(jié)，能夠?qū)崿F(xiàn)適于各顏色的光的波長(zhǎng)的膜厚差。在本實(shí)施方式中，上述“與TFT基板的第一接觸孔、第二接觸孔以及第三接觸孔各自的底面對(duì)應(yīng)的部位”是SD電極85a、85b、85c的上方，相當(dāng)于上述層間絕緣膜的底部。此夕卜，也可以認(rèn)為SD電極85a、85b、85c的上面分別形成上述“TFT基板的第一接觸孔、第二接觸孔以及第三接觸孔各自的底面”。
(顯示面板的制造方法)首先，準(zhǔn)備例如玻璃制的平坦基板82。臺(tái)階差面形成工序圖12(a)、(b)、(c)是示意表示臺(tái)階差面形成工序的剖視圖。在平坦基板82上通過(guò)例如CVD法來(lái)形成無(wú)機(jī)絕緣膜96 (氧化硅、氮化硅等)(圖12(a))。通過(guò)光刻法，蝕刻無(wú)機(jī)絕緣膜96的上部，形成臺(tái)階狀的臺(tái)階差(圖12(b)、(C))。具體而言，在無(wú)機(jī)絕緣膜96上形成感光性的第一抗蝕劑膜之后，通過(guò)曝光、顯像處理，使第一抗蝕劑膜中的覆蓋形成第一面83a、第二面83b的區(qū)域的部分開(kāi)口。而且，將 無(wú)機(jī)絕緣膜96中的從第一抗蝕劑膜露出的部分蝕刻(例如，濕式蝕刻)到第二面83b的深度。通過(guò)該處理，無(wú)機(jī)絕緣膜96中的形成第一面83a及第二面83b的區(qū)域的高度變?yōu)楸鹊谌?3c低(圖12(b))。此外，通過(guò)該處理，形成第二面83b。接著，在一旦除去了第一抗蝕劑膜之后，再度新形成第二抗蝕劑膜，通過(guò)曝光、顯像處理，使第二抗蝕劑膜中的覆蓋形成第一面83a的區(qū)域的部分開(kāi)口。而且，將無(wú)機(jī)絕緣膜96中的從第一抗蝕劑膜露出的部分蝕刻(例如，濕式蝕刻)到第一面83a的深度。通過(guò)該處理，形成第一面83a (圖12 (c))。通過(guò)以上的處理來(lái)形成臺(tái)階差形成部83，制作帶臺(tái)階基板81?？梢栽谄教够?2上不形成無(wú)機(jī)絕緣膜96而對(duì)平坦基板82進(jìn)行蝕刻，從而在平坦基板82上形成臺(tái)階差。可以使無(wú)機(jī)絕緣膜96為由感光性樹(shù)脂材料形成的絕緣膜。該情況下，例如，能夠如上述實(shí)施方式I的層間絕緣膜形成工序那樣，通過(guò)光刻法，使用多色調(diào)掩模使絕緣膜曝光之后，通過(guò)顯像處理來(lái)除去絕緣膜的感光部分(或非感光部分)以形成臺(tái)階差面。在此，在多色調(diào)掩模中，例如，透光部對(duì)應(yīng)于形成第一面83a的區(qū)域，半透光部對(duì)應(yīng)于形成第二面83b的區(qū)域，遮光部對(duì)應(yīng)于形成第三面83c的區(qū)域。TFT層形成工序在臺(tái)階差形成部83上，通過(guò)公知的制造方法(例如，日本特開(kāi)2003-241683、日本特開(kāi)2008-300611的記載)，形成包括TFT及布線(xiàn)、SD電極22的TFT層84(圖4(a))。TFT可以是無(wú)機(jī)TFT，也可以是有機(jī)TFT。在臺(tái)階差形成部83由樹(shù)脂材料形成的情況下，優(yōu)選形成有機(jī)TFT。層間絕緣膜形成工序在上述TFT層84上涂敷由正型感光性有機(jī)材料形成的抗蝕劑膜之后，在該抗蝕劑膜的位于SD電極22上的部分形成接觸孔90。抗蝕劑膜通過(guò)旋涂法等液層成膜法來(lái)涂敷，通過(guò)填埋TFT層84上的凹凸來(lái)使表面平坦化。在接觸孔13的形成時(shí)使用光刻法。例如，使用單色調(diào)掩模來(lái)使抗蝕劑膜的形成各接觸孔90的預(yù)定區(qū)域曝光。然后，通過(guò)顯像處理，除去感光部分，從而形成貫通抗蝕劑膜的接觸孔90。而且，在抗蝕劑膜形成接觸孔90的部分成為層間絕緣膜86。此后的處理與上述實(shí)施方式I相同，因此省略說(shuō)明。
在本實(shí)施方式中，層間絕緣膜86的上面是平坦的，形成各顏色的陽(yáng)極板91的區(qū)域的高度均勻。因此，能夠容易地形成陽(yáng)極板91、像素限制層92、空穴注入層93等。在本實(shí)施方式中，層間絕緣膜86的上面中，(i)在第一面83a上形成的部分(形成陽(yáng)極板91a的部分)相當(dāng)于上述“形成第一電極板組的部位”，(ii)在第二面83b上形成的部分(形成陽(yáng)極板91b的部分)相當(dāng)于上述“形成第二電極板組的部位”，(iii)在第三面83c上形成的部分(形成陽(yáng)極板91c的部分)相當(dāng)于上述“形成第三電極板組的部位”。也可以認(rèn)為，在第二面83b上形成的部分相當(dāng)于形成第一電極板組的部位，在第三面83c上形成的部分相當(dāng)于形成第二電極板組的部位。進(jìn)一步，也可以認(rèn)為，在第一面83a上形成的部分相當(dāng)于形成第一電極板組的部位，在第三面83c上形成的部分相當(dāng)于形成第二電極板組的部位。此外，在本實(shí)施方式中，層間絕緣膜86的上面中，形成各陽(yáng)極板91a、b、c的部分的高度互相之間實(shí)質(zhì)上相同(除了形成接觸孔的部分)。具體而言，層間絕緣膜86的上面中， 形成陽(yáng)極板91a的部分的高度和形成陽(yáng)極板91c的部分的高度之差在第一接觸孔87a的深度和第三接觸孔87c的深度之差的5%以?xún)?nèi)。各接觸孔的深度被確定為如圖9中例示的深度Pl至P3。[其它]I.顯示裝置的結(jié)構(gòu)例圖13是表示使用上述顯示面板100的顯示裝置200的結(jié)構(gòu)的圖。圖14表示使用顯示裝置200的電視系統(tǒng)的一個(gè)例子的外觀形狀。顯示裝置200包括有機(jī)EL顯示面板100和與之連接的驅(qū)動(dòng)控制部120。驅(qū)動(dòng)控制部120包括四個(gè)驅(qū)動(dòng)電路121 124和控制電路125。從省略圖示的電源供給部向驅(qū)動(dòng)控制部120供給電力。上述TFT層2具備與矩陣狀排列的有機(jī)EL元件20的各列對(duì)應(yīng)的信號(hào)線(xiàn)用布線(xiàn)和與各行對(duì)應(yīng)的掃描線(xiàn)用布線(xiàn)。信號(hào)線(xiàn)用布線(xiàn)在Y方向上延伸設(shè)置，與驅(qū)動(dòng)電路121和驅(qū)動(dòng)電路122的至少一方連接，并且與各列的有機(jī)EL元件20所對(duì)應(yīng)的TFT連接。此外，掃描線(xiàn)用布線(xiàn)在X方向上延伸設(shè)置，與驅(qū)動(dòng)電路123和驅(qū)動(dòng)電路124的至少一方連接，并且與各行的有機(jī)EL元件20所對(duì)應(yīng)的TFT連接。2.在上述實(shí)施方式及變形例1、2中，為了便于理解地說(shuō)明本發(fā)明的結(jié)構(gòu)及作用、效果，而采用作為一個(gè)例子的各結(jié)構(gòu)，本發(fā)明除了本質(zhì)部分之外不限于上述方式。例如，在上述實(shí)施方式中，如圖I所示，雖然采用相對(duì)于發(fā)光層10而在其Z軸方向下側(cè)配置陽(yáng)極板5的結(jié)構(gòu)來(lái)作為一個(gè)例子，但本發(fā)明不限于此，也可以采用相對(duì)于有機(jī)發(fā)光層10在其Z軸方向下側(cè)配置陰極的結(jié)構(gòu)。3.在上述實(shí)施方式及變形例中，可以采用使陽(yáng)極板5為反射金屬、陰極層11為透明或半透明金屬的頂部發(fā)射構(gòu)造，也可以采用使陽(yáng)極板5為透明或半透明金屬、陰極層11為反射金屬的底部發(fā)射構(gòu)造。4.雖然在上述實(shí)施方式及變形例I 5中，以基板上具有TFT層2的有源矩陣驅(qū)動(dòng)為前提進(jìn)行了說(shuō)明，但本申請(qǐng)也可以適用于無(wú)源矩陣驅(qū)動(dòng)。該情況下，可以不需要TFT層而通過(guò)用于驅(qū)動(dòng)有機(jī)發(fā)光層的驅(qū)動(dòng)布線(xiàn)來(lái)向有機(jī)發(fā)光層供給電流。5.雖然在上述實(shí)施方式及變形例中，像素限制層6形成于陽(yáng)極板5和空穴注入層7之間，但也可以在空穴注入層7上形成像素限制層6。6.雖然在上述實(shí)施方式中，示出了在陽(yáng)極板5的上方以濕法方式形成空穴輸送層來(lái)作為有機(jī)功能層的例子，但在以濕法方式形成空穴注入層、空穴注入兼輸送層來(lái)作為有機(jī)功能層的情況下也能夠同樣地微調(diào)節(jié)該有機(jī)功能層的膜厚，高效地發(fā)出各發(fā)光色的光。7.在上述實(shí)施方式及變形例中，在以噴墨方式涂敷空穴輸送層9及發(fā)光層10這兩者的情況下，可以通過(guò)空穴輸送層9及發(fā)光層10這兩個(gè)層來(lái)進(jìn)行互不相同的顏色的子像素間的膜厚差的調(diào)節(jié)。產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明的有機(jī)EL顯示面板能夠作為便攜電話(huà)、電視機(jī)等電子設(shè)備的顯示器來(lái)使 用。
權(quán)利要求
1.一種有機(jī)EL顯不面板,具備 TFT 層; 層間絕緣膜，其設(shè)在所述TFT層的上方； 第一電極板組，其形成在所述層間絕緣膜上，包括線(xiàn)狀排列的多個(gè)第一顏色用的電極板； 第二電極板組，其在所述層間絕緣膜上與所述第一電極板組相鄰地形成，包括線(xiàn)狀排列的多個(gè)第二顏色用的電極板； 第一隔壁，其沿著所述第一電極板組的一個(gè)長(zhǎng)邊部分而形成； 第二隔壁，其形成在所述第一電極板組的另一長(zhǎng)邊部分和所述第二電極板組的一個(gè)長(zhǎng)邊部分之間； 第三隔壁，其沿著所述第二電極板組的另一長(zhǎng)邊部分而形成； 第一有機(jī)功能層，其形成在所述第一隔壁和所述第二隔壁之間、所述第一電極板組的上方； 第二有機(jī)功能層，其形成在所述第二隔壁和所述第三隔壁之間、所述第二電極板組的上方；以及 對(duì)置電極，其設(shè)在所述第一有機(jī)功能層和所述第二有機(jī)功能層的上方， 在所述層間絕緣膜設(shè)有將所述第一顏色用的電極板各自與TFT層連接的第一接觸孔、和將所述第二顏色用的電極板各自與IFT層連接的第二接觸孔， 所述第一顏色用的電極板各自具有沿著所述第一接觸孔的形狀而凹陷的第一凹部，所述第二顏色用的電極板各自具有沿著所述第二接觸孔的形狀而凹陷的第二凹部， 所述層間絕緣膜的厚度形成為形成有所述第一電極板組的部位的厚度比形成有所述第二電極板組的部位的厚度厚， 所述第一接觸孔比所述第二接觸孔深且容積大， 與所述第一顏色用的電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第一有機(jī)功能層的體積和與所述第二顏色用的電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第二有機(jī)功能層的體積相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)， 所述第一有機(jī)功能層進(jìn)入與所述第一接觸孔對(duì)應(yīng)的第一凹部中的量比所述第二有機(jī)功能層進(jìn)入與所述第二接觸孔對(duì)應(yīng)的第二凹部中的量多，因而所述第一凹部以外的所述第一顏色用的電極板上的區(qū)域中的所述第一有機(jī)功能層的膜厚比在所述第二凹部以外的所述第二顏色用的電極板上的區(qū)域形成的所述第二有機(jī)功能層的膜厚薄。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的有機(jī)EL顯示面板， 與所述第一顏色用的電極板對(duì)應(yīng)的第一接觸孔的上面面積和與所述第二顏色用的電極板對(duì)應(yīng)的第二接觸孔的上面面積相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的有機(jī)EL顯示面板， 所述接觸孔的上面面積為從所述層間絕緣膜的所述接觸孔的周緣部的最高位置向下10%的位置處、或向下10%的鄰近值的范圍內(nèi)的位置處的所述接觸孔的直徑所規(guī)定的圓的面積。
4.根據(jù)權(quán)利要求I至3中的任一項(xiàng)所述的有機(jī)EL顯示面板， 與所述第一接觸孔對(duì)應(yīng)的所述第一凹部由第一像素限制層覆蓋，在所述第一像素限制層的上方形成第一有機(jī)功能層， 與所述第二接觸孔對(duì)應(yīng)的所述第二凹部由第二像素限制層覆蓋，在所述第二像素限制層的上方形成第二有機(jī)功能層。
5.根據(jù)權(quán)利要求I至4中的任一項(xiàng)所述的有機(jī)EL顯示面板， 對(duì)于所述第一有機(jī)功能層，通過(guò)用噴墨式涂敷方法來(lái)涂敷預(yù)定體積的液滴，從而在所述第一電極板組的上方連續(xù)地形成， 對(duì)于所述第二有機(jī)功能層，通過(guò)用噴墨式涂敷方法來(lái)涂敷與所述預(yù)定體積相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)的體積的液滴，從而在所述第二電極板組的上方連續(xù)地形成， 與所述第一顏色用的電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第一有機(jī)功能層的體積和與所述第二顏色用的電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第二有機(jī)功能層的體積相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的有機(jī)EL顯示面板， 所述第一有機(jī)功能層的膜厚和所述第二有機(jī)功能層的膜厚之差，比在通過(guò)所述噴墨式涂敷方法來(lái)涂敷所述預(yù)定體積的液滴的情況下、通過(guò)使涂敷在每個(gè)所述第一顏色用的電極板上的所述液滴數(shù)增加n滴而形成的所述第一有機(jī)功能層的膜厚大，且比在通過(guò)所述噴墨式涂敷方法來(lái)涂敷所述預(yù)定體積的液滴的情況下、通過(guò)使所述液滴數(shù)增加n+1滴而形成的所述第一有機(jī)功能層的膜厚小。
7.根據(jù)權(quán)利要求I至6中的任一項(xiàng)所述的有機(jī)EL顯示面板， 所述第一顏色是藍(lán)色。
8.根據(jù)權(quán)利要求I至7中的任一項(xiàng)所述的有機(jī)EL顯示面板， 所述層間絕緣膜的上面形成為形成有所述第一電極板組的部位比形成有所述第二電極板組的部位高， 所述TFT層的與所述第一接觸孔的底面對(duì)應(yīng)的部位和與所述第二接觸孔的底面對(duì)應(yīng)的部位形成為相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)的高度。
9.根據(jù)權(quán)利要求I至7中的任一項(xiàng)所述的有機(jī)EL顯示面板， 所述層間絕緣膜的上面的形成有所述第一電極板組的部位和形成有所述第二電極板組的部位形成為相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)的高度， 所述TFT層形成為與所述第一接觸孔的底面對(duì)應(yīng)的部位比與所述第二接觸孔的底面對(duì)應(yīng)的部位低。
10.根據(jù)權(quán)利要求I所述的有機(jī)EL顯示面板，包括 第三電極板組，其與所述第二電極板組相鄰地形成，包括線(xiàn)狀排列的多個(gè)第三顏色用的電極板； 第四隔壁，其沿著所述第三電極板組的與所述第二電極板組相反側(cè)的長(zhǎng)邊部分而形成；以及 第三有機(jī)功能層，其在所述第三隔壁和所述第四隔壁之間形成在所述第三電極板組的上方， 所述對(duì)置電極設(shè)在所述第三有機(jī)功能層的上方， 在所述層間絕緣膜設(shè)有將所述第三顏色用的電極板各自與TFT層連接的第三接觸孔， 所述第三顏色用的電極板具有沿著所述第三接觸孔的形狀而凹陷的第三凹部，所述層間絕緣膜形成為形成有所述第一電極板組的部位比形成有所述第三電極板組的部位厚， 所述第一接觸孔比所述第三接觸孔深且容積大， 與所述第一顏色用的電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第一有機(jī)功能層的體積和與所述第三顏色用的電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第三有機(jī)功能層的體積相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)， 所述第一有機(jī)功能層進(jìn)入與所述第一接觸孔對(duì)應(yīng)的第一凹部中的量比所述第三有機(jī)功能層進(jìn)入與所述第三接觸孔對(duì)應(yīng)的第三凹部中的量多，因而所述第一凹部以外的所述第一顏色用的電極板上的區(qū)域中的所述第一有機(jī)功能層的膜厚比在所述第三凹部以外的所述第三顏色用的電極板上的區(qū)域形成的所述第三有機(jī)功能層的膜厚薄。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的有機(jī)EL顯示面板， 與所述第一顏色用的電極板對(duì)應(yīng)的第一接觸孔的上面面積、與所述第二顏色用的電極板對(duì)應(yīng)的第二接觸孔的上面面積以及與所述第三顏色用的電極板對(duì)應(yīng)的第三接觸孔的上面面積相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的有機(jī)EL顯示面板， 所述接觸孔的上面面積為從所述層間絕緣膜的所述接觸孔的周緣部的最高位置向下10%的位置處、或向下10%的鄰近值的范圍內(nèi)的位置處的所述接觸孔的直徑所規(guī)定的圓的面積。
13.根據(jù)權(quán)利要求10至12中的任一項(xiàng)所述的有機(jī)EL顯示面板， 所述層間絕緣膜的上面形成為形成有所述第一電極板組的部位比形成有所述第二電極板組的部位和形成有所述第三電極板組的部位高， 所述TFT層的與所述第一接觸孔的底面對(duì)應(yīng)的部位、與所述第二接觸孔的底面對(duì)應(yīng)的部位以及與所述第三接觸孔的底面對(duì)應(yīng)的部位形成為相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)的高度。
14.根據(jù)權(quán)利要求10至12中的任一項(xiàng)所述的有機(jī)EL顯示面板， 所述層間絕緣膜的上面的形成有所述第一電極板組的部位、形成有所述第二電極板組的部位以及形成有所述第三電極板組的部位形成為相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)的高度， 所述TFT層形成為與所述第一接觸孔的底面對(duì)應(yīng)的部位比與所述第二接觸孔的底面對(duì)應(yīng)的部位和與所述第三接觸孔的底面對(duì)應(yīng)的部位低。
15.根據(jù)權(quán)利要求I至9中的任一項(xiàng)所述的有機(jī)EL顯示面板， 所述第一有機(jī)功能層及所述第二有機(jī)功能層是電荷注入層或電荷輸送層， 在所述第一有機(jī)功能層和所述對(duì)置電極之間形成第一有機(jī)發(fā)光層，在所述第二有機(jī)功能層和所述對(duì)置電極之間形成第二有機(jī)發(fā)光層。
16.根據(jù)權(quán)利要求10至14中的任一項(xiàng)所述的有機(jī)EL顯示面板， 所述第一有機(jī)功能層、所述第二有機(jī)功能層以及所述第三有機(jī)功能層是電荷注入層或電荷輸送層， 在所述第一有機(jī)功能層和所述對(duì)置電極之間形成第一有機(jī)發(fā)光層，在所述第二有機(jī)功能層和所述對(duì)置電極之間形成第二有機(jī)發(fā)光層，在所述第三有機(jī)功能層和所述對(duì)置電極之間形成第三有機(jī)發(fā)光層。
17.根據(jù)權(quán)利要求I至9中的任一項(xiàng)所述的有機(jī)EL顯示面板， 所述第一有機(jī)功能層及所述第二有機(jī)功能層是有機(jī)發(fā)光層。
18.根據(jù)權(quán)利要求10至14中的任一項(xiàng)所述的有機(jī)EL顯示面板， 所述第一有機(jī)功能層、所述第二有機(jī)功能層及所述第三有機(jī)功能層是有機(jī)發(fā)光層。
19.根據(jù)權(quán)利要求I至18中的任一項(xiàng)所述的有機(jī)EL顯示面板， 所述電極板是陽(yáng)極，所述對(duì)置電極是陰極。
20.根據(jù)權(quán)利要求I至18中的任一項(xiàng)所述的有機(jī)EL顯示面板， 所述電極板是陰極，所述對(duì)置電極是陽(yáng)極。
21.—種顯不裝置,其具備權(quán)利要求I至20中的任一項(xiàng)所述的有機(jī)EL顯不面板。
22.—種有機(jī)EL顯示面板的制造方法，包括 第一工序，準(zhǔn)備基板； 第二工序，在所述基板上形成TFT層； 第三工序，在所述TFT層上形成層間絕緣膜； 第四工序，在所述層間絕緣膜上形成線(xiàn)狀地排列了多個(gè)第一顏色用的電極板的第一電極板組，與所述第一電極板組相鄰地在所述層間絕緣膜上形成線(xiàn)狀地排列了多個(gè)第二顏色用的電極板的第二電極板組； 第五工序，沿著所述第一電極板組的一個(gè)長(zhǎng)邊部分而形成第一隔壁，在所述第一電極板組的另一長(zhǎng)邊部分和所述第二電極板組的一個(gè)長(zhǎng)邊部分之間形成第二隔壁，沿著所述第二電極板組的另一長(zhǎng)邊部分而形成第三隔壁； 第六工序，在所述第一隔壁和所述第二隔壁之間在所述第一電極板組的上方連續(xù)地形成第一有機(jī)功能層； 第七工序，在所述第二隔壁和所述第三隔壁之間在所述第二電極板組的上方連續(xù)地形成第二有機(jī)功能層；和 第八工序，在所述第一有機(jī)功能層及所述第二有機(jī)功能層的上方設(shè)置對(duì)置電極， 在所述第三工序中， 所述層間絕緣膜的厚度形成為形成有所述第一電極板組的部位的厚度比形成有所述第二電極板組的部位的厚度厚， 在所述層間絕緣膜設(shè)有將所述第一顏色用的電極板各自與TFT層連接的第一接觸孔、和將所述第二顏色用的電極板各自與TFT層連接的第二接觸孔， 所述第一接觸孔形成為比所述第二接觸孔深且容積大， 在所述第四工序中， 在各個(gè)所述第一顏色用的電極板，沿著所述第一接觸孔的形狀而形成第一凹部，在各個(gè)所述第二顏色用的電極板，沿著所述第二接觸孔的形狀而形成第二凹部， 在所述第六工序中形成的所述第一有機(jī)功能層和在所述第七工序中形成的所述第二有機(jī)功能層中， 與所述第一顏色用的電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第一有機(jī)功能層的體積和與所述第二顏色用的電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第二有機(jī)功能層的體積相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)，所述第一有機(jī)功能層進(jìn)入與所述第一接觸孔對(duì)應(yīng)的第一凹部中的量比所述第二有機(jī)功能層進(jìn)入與所述第二接觸孔對(duì)應(yīng)的第二凹部中的量多，因而所述第一凹部以外的所述第一顏色用的電極板上的區(qū)域中的所述第一有機(jī)功能層的膜厚比在所述第二凹部以外的所述第二顏色用的電極板上的區(qū)域形成的所述第二有機(jī)功能層的膜厚薄。
23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的有機(jī)EL顯示面板的制造方法， 與所述第一顏色用的電極板對(duì)應(yīng)的接觸孔的上面面積和與所述第二顏色用的電極板對(duì)應(yīng)的接觸孔的上面面積相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)。
24.根據(jù)權(quán)利要求22或23所述的有機(jī)EL顯示面板的制造方法， 在所述第四工序和所述第五工序之間，設(shè)有如下工序以覆蓋與所述第一接觸孔對(duì)應(yīng)的所述第一凹部的方式形成第一像素限制層，以覆蓋與所述第二接觸孔對(duì)應(yīng)的所述第二凹部的方式形成第二像素限制層， 在所述第六工序中，在所述第一像素限制層的上方形成第一有機(jī)功能層， 在所述第七工序中，在所述第二像素限制層的上方形成第二有機(jī)功能層。
25.根據(jù)權(quán)利要求22至24中的任一項(xiàng)所述的有機(jī)EL顯示面板的制造方法， 在所述第六工序中，對(duì)于所述第一有機(jī)功能層，通過(guò)用噴墨式涂敷方法來(lái)涂敷預(yù)定體積的液滴，從而在所述第一電極板組的上方連續(xù)地形成， 在所述第七工序中，對(duì)于所述第二有機(jī)功能層，通過(guò)用噴墨式涂敷方法來(lái)涂敷與所述預(yù)定體積相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)的體積的液滴，從而在所述第二電極板組的上方連續(xù)地形成。
26.根據(jù)權(quán)利要求25所述的有機(jī)EL顯示面板的制造方法， 所述第一有機(jī)功能層的膜厚和所述第二有機(jī)功能層的膜厚之差，比在通過(guò)所述噴墨式涂敷方法來(lái)涂敷所述預(yù)定體積的液滴的情況下、通過(guò)使涂敷在每個(gè)所述第一顏色用的電極板上的液滴數(shù)增加n滴而形成的所述第一有機(jī)功能層的膜厚的增加量大，且比在通過(guò)所述噴墨式涂敷方法來(lái)涂敷所述預(yù)定體積的液滴的情況下、通過(guò)使所述液滴數(shù)增加n+1滴而形成的所述第一有機(jī)功能層的膜厚的增加量小。
27.一種有機(jī)EL顯示面板的制造方法，包括 第一工序，準(zhǔn)備基板； 第二工序，在所述基板上形成TFT層； 第三工序，在所述TFT層上形成層間絕緣膜； 第四工序，在所述層間絕緣膜上形成線(xiàn)狀地排列了多個(gè)第一顏色用的電極板的第一電極板組，與所述第一電極板組相鄰地在所述層間絕緣膜上形成線(xiàn)狀地排列了多個(gè)第二顏色用的電極板的第二電極板組，與所述第二電極板組相鄰地在所述層間絕緣膜上形成線(xiàn)狀地排列了多個(gè)第三顏色用的電極板的第三電極板組； 第五工序，沿著所述第一電極板組的一個(gè)長(zhǎng)邊部分而形成第一隔壁，在所述第一電極板組的另一長(zhǎng)邊部分和所述第二電極板組的一個(gè)長(zhǎng)邊部分之間形成第二隔壁，在所述第二電極板組的另一長(zhǎng)邊部分和所述第三電極板組的一個(gè)長(zhǎng)邊部分之間形成第三隔壁，沿著所述第三電極板組的另一長(zhǎng)邊部分而形成第四隔壁； 第六工序，在所述第一隔壁和所述第二隔壁之間在所述第一電極板組的上方連續(xù)地形成第一有機(jī)功能層；第七工序，在所述第二隔壁和所述第三隔壁之間在所述第二電極板組的上方連續(xù)地形成第二有機(jī)功能層； 第八工序，在所述第三隔壁和所述第四隔壁之間在所述第三電極板組的上方連續(xù)地形成第三有機(jī)功能層；和 第九工序，在所述第一有機(jī)功能層、所述第二有機(jī)功能層以及所述第三有機(jī)功能層的上方形成對(duì)置電極， 在所述第三工序中， 所述層間絕緣膜的厚度形成為形成有所述第一電極板組的部位的厚度比形成有所述第二電極板組的部位的厚度和形成有所述第三電極板組的部位的厚度厚， 在所述層間絕緣膜設(shè)有將所述第一顏色用的電極板各自與TFT層連接的第一接觸孔、將所述第二顏色用的電極板各自與TFT層連接的第二接觸孔以及將所述第三顏色用的電極板各自與TFT層連接的第三接觸孔， 所述第一接觸孔形成為比所述第二接觸孔和所述第三接觸孔深且容積大， 在所述第四工序中， 在各個(gè)所述第一顏色用的電極板，沿著所述第一接觸孔的形狀而形成第一凹部，在各個(gè)所述第二顏色用的電極板，沿著所述第二接觸孔的形狀而形成第二凹部，在各個(gè)所述第三顏色用的電極板，沿著所述第三接觸孔的形狀而形成第三凹部， 在所述第六工序、所述第七工序以及所述第八工序中分別形成的所述第一有機(jī)功能層、所述第二有機(jī)功能層和所述第三有機(jī)功能層中， 與所述第一顏色用的電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第一有機(jī)功能層的體積和與所述第二顏色用的電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第二有機(jī)功能層的體積及與所述第三顏色用的電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第三有機(jī)功能層的體積相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)， 所述第一有機(jī)功能層進(jìn)入與所述第一接觸孔對(duì)應(yīng)的第一凹部中的量比所述第二有機(jī)功能層進(jìn)入與所述第二接觸孔對(duì)應(yīng)的第二凹部中的量及所述第三有機(jī)功能層進(jìn)入與所述第三接觸孔對(duì)應(yīng)的第三凹部中的量多，因而所述第一凹部以外的所述第一顏色用的電極板上的區(qū)域中的所述第一有機(jī)功能層的膜厚比在所述第二凹部以外的所述第二顏色用的電極板上的區(qū)域形成的所述第二有機(jī)功能層的膜厚及在所述第三凹部以外的所述第三顏色 用的電極板上的區(qū)域形成的所述第三有機(jī)功能層的膜厚薄。
全文摘要
本發(fā)明提供一種有機(jī)EL顯示面板、顯示裝置以及有機(jī)EL顯示面板的制造方法。通過(guò)使位于有機(jī)EL元件(20)下層的層間絕緣膜(3)的膜厚不同，使接觸孔(13)的容積按各顏色而不同，對(duì)各陽(yáng)極板(5)的凹部(15)的容積進(jìn)行調(diào)劑。而且，在通過(guò)噴墨方式滴下了含有中間層等的材料的墨水時(shí)，中間層等的膜厚根據(jù)填充于凹部的墨水量而發(fā)生變化。即，能夠通過(guò)調(diào)節(jié)各顏色的凹部的容積差，對(duì)各顏色的中間層(9)等的膜厚差進(jìn)行微調(diào)節(jié)。從而能夠在電視機(jī)等電子設(shè)備中使用的有機(jī)EL顯示面板(100)中，一邊以濕發(fā)方式形成中間層(9)或發(fā)光層(10)，一邊容易地對(duì)不同的發(fā)光顏色間的中間層等的膜厚差進(jìn)行微調(diào)節(jié)，提高發(fā)光效率或發(fā)光顏色。
文檔編號(hào)H05B33/12GK102742357SQ20108000332
公開(kāi)日2012年10月17日 申請(qǐng)日期2010年8月6日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月6日
發(fā)明者西山誠(chéng)司, 近藤哲郎 申請(qǐng)人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社