專利名稱：一種高純度三氯氧磷液位差儲(chǔ)運(yùn)供料裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種劇毒危險(xiǎn)品高純度三氯氧磷的儲(chǔ)運(yùn)供料裝置。
背景技術(shù)：
高純度的三氯氧磷(99. 9999% 99. 99999% )是生產(chǎn)制造光纖預(yù)制棒的主要原材料之一，也是集成電路、太陽能電池、電子元器件生產(chǎn)過程的擴(kuò)散、摻雜工藝中的主要原料，被廣泛運(yùn)用于光伏、IC產(chǎn)業(yè)。但其屬于強(qiáng)腐蝕性、強(qiáng)氧化性、劇毒、遇水劇烈反應(yīng)的無色透明化學(xué)品。目前對(duì)高純度三氯氧磷的儲(chǔ)運(yùn)供料一種是使用高純石英容器(0. 4 1. 5L)盛裝，進(jìn)出高純氮?dú)夤懿捎肞FA閥門密封、連接，作為運(yùn)輸和使用容器，其缺點(diǎn)是玻璃容器易碎、換瓶頻繁、操作危險(xiǎn)、泄漏風(fēng)險(xiǎn)高、人力成本高、物流成本高；另一種是使用19L不銹鋼 SS316L儲(chǔ)罐，其缺點(diǎn)是操作煩瑣、裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜、工作壓力高、裝置自身成本高、維護(hù)成本高 (需專業(yè)維護(hù)人員)，且不能徹底杜絕金屬雜質(zhì)對(duì)物料的污染。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種結(jié)構(gòu)簡單、安全可靠、無泄漏、無污染、使用方便，運(yùn)行成本低的高純度三氯氧磷液位差儲(chǔ)運(yùn)供料裝置。本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的高純?nèi)妊趿兹萜魃嫌械獨(dú)馊肟陂y、進(jìn)料口閥門和出料口閥門，高純?nèi)妊趿兹萜魍ㄟ^出料口閥門和鼓泡器進(jìn)料閥連接帶超聲波液位控制器的石英鼓泡器，石英鼓泡器連接擴(kuò)散爐。石英鼓泡器上有高純氮?dú)夤呐蓍y。高純?nèi)妊趿兹萜魃系牡獨(dú)馊肟陂y通過單向閥連接氮?dú)鉁p壓閥。由于本實(shí)用新型采用了上述結(jié)構(gòu)，減少了操作的勞動(dòng)強(qiáng)度，節(jié)約人力成本；增加了操作的安全性，同時(shí)減少了物料污染的幾率；增強(qiáng)了操作系統(tǒng)的連續(xù)性，簡化了操作的難易度；極大地減少了顧客的購置和維護(hù)成本；全PFA材料徹底杜絕了玻璃材料和其他材料的金屬雜質(zhì)溶出風(fēng)險(xiǎn)；極大地減少了生產(chǎn)和物流成本，因此，受到三氯氧磷使用廠家的廣泛歡迎。

圖1為本實(shí)用新型第一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)圖。圖中1高純?nèi)妊趿兹萜鳌?進(jìn)料口閥門、3氮?dú)馊肟陂y、4單向閥、5氮?dú)鉁p壓閥、 6出料口閥門、7鼓泡器進(jìn)料閥、8超聲波液位控制器、9擴(kuò)散爐、10高純氮?dú)夤呐蓍y、11石英鼓泡器。
具體實(shí)施方式
實(shí)施例高純?nèi)妊趿兹萜?上有氮?dú)馊肟陂y3、進(jìn)料口閥門2和出料口閥門6，高純?nèi)妊趿兹萜?通過出料口閥門6和鼓泡器進(jìn)料閥7連接帶超聲波液位控制器8的石英鼓泡器11，石英鼓泡器11連接擴(kuò)散爐9，石英鼓泡器11上有高純氮?dú)夤呐蓍y10，高純?nèi)妊趿兹萜?上的氮?dú)馊肟?3閥通過單向閥4連接氮?dú)鉁p壓閥5。 高純?nèi)妊趿兹萜?材質(zhì)為進(jìn)口高純PFA，容積為20L-200L，在生產(chǎn)廠家完成灌裝并安全運(yùn)送到使用廠家，高純氮?dú)馔ㄟ^氮?dú)鉁p壓閥5連接單向閥4，單向閥4通過氮?dú)馊肟陂y3連接高純?nèi)妊趿兹萜?，高純?nèi)妊趿兹萜?上的出料口閥門6連接鼓泡器進(jìn)料閥 7，鼓泡器進(jìn)料閥7連接石英鼓泡器11石英鼓泡器11連接擴(kuò)散爐9。石英鼓泡器11上有高純氮?dú)夤呐蓍y10、超聲波液位控制器8。高純?nèi)妊趿兹萜?上有進(jìn)料口閥門2、氮?dú)馊肟陂y3。 該裝置的所有管件、閥門均由高純PFA制成。該裝置由由高液位的高純?nèi)妊趿兹萜?通過液位差提供輸送動(dòng)力，物料由出料口閥門6經(jīng)石英鼓泡器進(jìn)料閥7安全地流入石英鼓泡器中11，石英鼓泡器11上的超聲波液位控制器8，控制液體物料的高低液位，當(dāng)物料到達(dá)設(shè)定高度時(shí)，對(duì)應(yīng)的超聲波液位控制器8自動(dòng)鳴叫報(bào)警。使用時(shí)，調(diào)節(jié)氮?dú)鉁p壓閥5 合適壓力，依次打開氮?dú)馊肟陂y3、出料口閥門6、鼓泡器進(jìn)料閥7，物料緩慢進(jìn)入石英鼓泡器，當(dāng)物料達(dá)到設(shè)定液位高度時(shí)，超聲波液位控制器8發(fā)出鳴叫，依次關(guān)閉鼓泡器進(jìn)料閥7、 出料口閥門6、氮?dú)馊肟陂y3，打開高純氮?dú)夤呐蓍y10高純氮?dú)夤呐輰⑽锪蠋霐U(kuò)散爐9，完成加料過程。
權(quán)利要求1.一種高純度三氯氧磷液位差儲(chǔ)運(yùn)供料裝置，其特征是高純?nèi)妊趿兹萜魃嫌械獨(dú)馊肟陂y、進(jìn)料口閥門和出料口閥門，高純?nèi)妊趿兹萜魍ㄟ^出料口閥門和鼓泡器進(jìn)料閥連接帶超聲波液位控制器的石英鼓泡器，石英鼓泡器連接擴(kuò)散爐。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高純度三氯氧磷液位差儲(chǔ)運(yùn)供料裝置，其特征是石英鼓泡器上有高純氮?dú)夤呐蓍y。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高純度三氯氧磷液位差儲(chǔ)運(yùn)供料裝置，其特征是高純?nèi)妊趿兹萜魃系牡獨(dú)馊肟陂y通過單向閥連接氮?dú)鉁p壓閥。
專利摘要一種高純度三氯氧磷液位差儲(chǔ)運(yùn)供料裝置，高純?nèi)妊趿兹萜魃嫌械獨(dú)馊肟陂y、進(jìn)料口閥門和出料口閥門，高純?nèi)妊趿兹萜魍ㄟ^出料口閥門和鼓泡器進(jìn)料閥連接帶超聲波液位控制器的石英鼓泡器，石英鼓泡器連接擴(kuò)散爐，石英鼓泡器上有高純氮?dú)夤呐蓍y，高純?nèi)妊趿兹萜魃系牡獨(dú)馊肟陂y通過單向閥連接氮?dú)鉁p壓閥。由于本實(shí)用新型采用了上述結(jié)構(gòu)，減少了操作的勞動(dòng)強(qiáng)度，節(jié)約人力成本；增加了操作的安全性，同時(shí)減少了物料污染的幾率；增強(qiáng)了操作系統(tǒng)的連續(xù)性，簡化了操作的難易度；極大地減少了顧客的購置和維護(hù)成本；全PFA材料徹底杜絕了玻璃材料和其他材料的金屬雜質(zhì)溶出風(fēng)險(xiǎn)；極大地減少了生產(chǎn)和物流成本，因此，受到三氯氧磷使用廠家的廣泛歡迎。
文檔編號(hào)C30B31/16GK201952526SQ20102069919
公開日2011年8月31日 申請(qǐng)日期2010年12月31日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月31日
發(fā)明者向東, 姜盛君, 舒驍驥 申請(qǐng)人:向東