專利名稱:單晶硅碇冷卻支架的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域,具體為一種單晶硅碇冷卻支架。
背景技術(shù):
目前半導(dǎo)體在人們的生活中運用非常廣泛,特別是在電子電力領(lǐng)域更是離不開半 導(dǎo)體。半導(dǎo)體生產(chǎn)的圓柱形單晶硅碇一般溫度較高,需要冷卻后才可使用。這就需要一種 盛放溫度較高的單晶硅碇的裝置以進行冷卻。而傳統(tǒng)的單晶硅碇冷卻是將單晶硅碇直接放 置在地面上,由于熱脹冷縮易導(dǎo)致單晶硅碇破裂。
實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是提供一種單晶硅碇冷卻支架,以解決直接將單晶硅碇置于地 面易導(dǎo)致單晶硅碇破裂的問題。為了達到上述目的,本實用新型所采用的技術(shù)方案為單晶硅碇冷卻支架,其特征在于包括有底板,底板上設(shè)置有底部擋圈,所述底部 擋圈的圓周上連接有多個豎直的擋板,所述擋板的頂部、擋板中間還分別設(shè)置有與底部擋 圈平行的頂部擋圈、中間擋圈,所述擋板分別連接在頂部擋圈、中間擋圈的圓周上,所述頂 部擋圈的圈邊上還連接有提手。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單,成本較低,易于實現(xiàn),使用方便,通過擋圈和擋板可固定住 單晶硅碇,單晶硅碇是置于底板上的,避免了單晶硅碇和地面的直接接觸而使單晶硅碇破 裂的問題,大大降低了生產(chǎn)過程中的浪費。
圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
如圖1所示。單晶硅碇冷卻支架,包括有底板1,底板1上設(shè)置有底部擋圈2,底部 擋圈2的圓周上連接有多個豎直的擋板3,擋板3的頂部、擋板中間還分別設(shè)置有與底部擋 圈2平行的頂部擋圈4、中間擋圈5,擋板3分別連接在頂部擋圈4、中間擋圈5的圓周上,頂 部擋圈4的圈邊上還連接有提手6。
權(quán)利要求單晶硅碇冷卻支架,其特征在于包括有底板,底板上設(shè)置有底部擋圈,所述底部擋圈的圓周上連接有多個豎直的擋板,所述擋板的頂部、擋板中間還分別設(shè)置有與底部擋圈平行的頂部擋圈、中間擋圈,所述擋板分別連接在頂部擋圈、中間擋圈的圓周上,所述頂部擋圈的圈邊上還連接有提手。
專利摘要本實用新型公開了一種單晶硅碇冷卻支架,包括有底板,底板上有底部擋圈,底部擋圈連接擋板,擋板的頂部、擋板中間有頂部擋圈、中間擋圈,頂部擋圈的圈邊上還連接有提手。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單,成本較低,易于實現(xiàn),使用方便,避免了單晶硅碇和地面的直接接觸而使單晶硅碇破裂的問題,大大降低了生產(chǎn)過程中的浪費。
文檔編號C30B35/00GK201713607SQ20102023183
公開日2011年1月19日 申請日期2010年6月17日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月17日
發(fā)明者朱景福, 錢新江 申請人:安徽日能中天半導(dǎo)體發(fā)展有限公司