專利名稱：石英盤提升工具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種石英盤提升工具。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有，當(dāng)需要對刻蝕腔進(jìn)行維護(hù)時(shí)，必須先將石英盤移離刻蝕上腔室?，F(xiàn)在這種搬 運(yùn)石英盤的工作是通過操作人員手動(dòng)完成。然而，由于石英盤非常重，因此通過人力將石 英盤從刻蝕上腔室內(nèi)搬走非常困難，石英盤容易因操作人員握持不住而發(fā)生碰撞和損傷現(xiàn) 象，以致于石英盤的表面受損變粗，甚至裂開，這都將對其后的晶片加工產(chǎn)生不良影響，容 易使晶片在刻蝕過程中受到粗糙石英盤表面的磨損和沖擊，從而降低了晶片的良率。因此，如何提供一種石英盤提升工具，可以實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)移動(dòng)石英盤，以防止石英盤在 移動(dòng)過程中受到損傷，是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的一個(gè)技術(shù)問題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種石英盤提升工具，石英盤通過該石英 盤提升工具與起升機(jī)構(gòu)連接，從而可以借助起升機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)石英盤的平穩(wěn)移動(dòng)，防止石英盤 在移動(dòng)過程中受到損傷。為了達(dá)到上述的目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案一種石英盤提升工具，包括至少兩根豎向的支撐腿，所述支撐腿的上部通過若干 連接桿連接成一體，所述連接桿上設(shè)有用于與起升機(jī)構(gòu)連接的連接部，所述支撐腿的下部 內(nèi)側(cè)分別設(shè)有托板，所述托板用于托住所述石英盤。在上述的石英盤提升工具中，所述支撐腿圓周均布。在上述的石英盤提升工具中，所述支撐腿有四根。在上述的石英盤提升工具中，所述四根支撐腿通過十字相交的兩根連接桿連接， 所述連接部設(shè)置在所述兩根連接桿的相交處。在上述的石英盤提升工具中，所述連接部是吊環(huán)。在上述的石英盤提升工具中，所述支撐腿和連接桿可調(diào)節(jié)式連接。在上述的石英盤提升工具中，所述連接桿的端部設(shè)有一排調(diào)節(jié)用螺孔，所述支撐 腿的上部設(shè)有具有螺孔的連接套，所述連接桿的端部穿套于所述連接套內(nèi)，通過螺釘將連 接套鎖定在連接桿的端部。在上述的石英盤提升工具中，所述托板和支撐腿可調(diào)節(jié)式連接。在上述的石英盤提升工具中，所述支撐腿的下部設(shè)有一排調(diào)節(jié)用螺孔，所述托板 的外側(cè)端固設(shè)有具有螺孔的連接套，所述支撐腿的下部穿套于所述連接套內(nèi)，通過螺釘將 連接套鎖定在所述支撐腿的下部。在上述的石英盤提升工具中，所述支撐腿有三根。本實(shí)用新型的有益效果如下本實(shí)用新型石英盤提升工具，通過該石英盤提升工具使得石英盤和起升機(jī)構(gòu)有效連接，從而可以借助起升機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)石英盤的平穩(wěn)移動(dòng)，從而防止石英盤在移動(dòng)過程中受到 損傷。另外，通過采用該石英盤提升工具，可以借助起升機(jī)構(gòu)來移動(dòng)石英盤，因此，可以減輕 了操作人員移動(dòng)石英盤的工作強(qiáng)度，提高了效率。

本實(shí)用新型的石英盤提升工具由以下的實(shí)施例及附圖給出。圖1是本實(shí)用新型石英盤提升工具的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是石英盤提升工具的使用示意圖；圖中，1-提升工具、11-支撐腿、12-連接桿、121-吊環(huán)、13-托板、14-連接套、 15-螺孔、16-螺釘、2-石英盤、3-吊鉤。
具體實(shí)施方式
以下將對本實(shí)用新型的石英盤提升工具作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。下面將參照附圖對本實(shí)用新型進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實(shí)用新型的優(yōu)選 實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實(shí)用新型而仍然實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型 的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對 本實(shí)用新型的限制。為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能 和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠贡緦?shí)用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例 的開發(fā)中，必須作出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商 業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和 耗費(fèi)時(shí)間的，但是對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。為使本實(shí)用新型的目的、特征更明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的具體實(shí) 施方式作進(jìn)一步的說明。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率， 僅用以方便、明晰地輔助說明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。本實(shí)用新型的核心思想采用石英盤提升工具，可以將石英盤和起升機(jī)構(gòu)有效連 接，從而借助起升機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)石英盤的平穩(wěn)移動(dòng)，防止石英盤在移動(dòng)過程中受到損傷。另外， 通過采用該石英盤提升工具和起升機(jī)構(gòu)，可以減輕了操作人員移動(dòng)石英盤的工作強(qiáng)度，提 高了生產(chǎn)效率。請參閱圖1，圖1所示是石英盤提升機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。這種石英盤提升工具1， 包括至少兩根豎向的支撐腿11，本實(shí)施例中，所述支撐腿11有四根。所述支撐腿11圓周均 布，從而可以使得石英盤2在起吊過程中更加平穩(wěn)。所述支撐腿11的上部通過若干連接桿12連接成一體。本實(shí)施例中，所述四根支 撐腿11通過十字相交的兩根連接桿12連接，所述連接部設(shè)置在所述兩根連接桿12的相交 處。為了可以適用不同直徑的石英盤2，所述支撐腿11和連接桿12可調(diào)節(jié)式連接。所述 可調(diào)節(jié)式連接結(jié)構(gòu)具體如下所述連接桿12的端部設(shè)有一排調(diào)節(jié)用螺孔15，所述支撐腿11 的上部設(shè)有具有螺孔15的連接套14，所述連接桿12的端部穿套于所述連接套14內(nèi)，通過 螺釘16將連接套14鎖定在連接桿12的端部。所述連接桿12上設(shè)有用于與起升機(jī)構(gòu)連接的連接部。所述連接部是吊環(huán)121。所
4述吊環(huán)121可以與起升機(jī)構(gòu)的吊鉤3相配合。請參閱圖2，圖2是石英盤提升工具的使用示 意圖。所述起升機(jī)構(gòu)可以采用現(xiàn)有技術(shù)中普通的起重機(jī)構(gòu)，在此不在累述。請接續(xù)參閱圖1和圖2，所述支撐腿11的下部內(nèi)側(cè)分別設(shè)有用于托住所述石英盤 2的托板13。為了可以適用不通深度的石英盤2，所述托板13和支撐腿11采用可調(diào)節(jié)式連 接。所述可調(diào)節(jié)式連接結(jié)構(gòu)的具體如下所述支撐腿11的下部設(shè)有一排調(diào)節(jié)用螺孔15，所 述托板13的外側(cè)端固設(shè)有具有螺孔15的連接套14，所述支撐腿11的下部穿套于所述連接 套14內(nèi)，通過螺釘16將連接套14鎖定在所述支撐腿11的下部。本實(shí)施例中，所述支撐腿11、連接桿12及連接套14及托板13采用金屬材料制成， 以滿足起吊石英盤2所需的強(qiáng)度和硬度。當(dāng)然，所述支撐腿11也可以根據(jù)需要采用三根或五根等等。采用本實(shí)用新型石英盤提升工具，可以將石英盤和起升機(jī)構(gòu)有效連接，從而借助 起升機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)石英盤的平穩(wěn)移動(dòng)，從而防止石英盤在移動(dòng)過程中受到損傷。另外，通過采用 該石英盤提升工具和起升機(jī)構(gòu)，可以減輕了操作人員移動(dòng)石英盤的工作強(qiáng)度，提高了生產(chǎn) 效率。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用 新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及 其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求一種石英盤提升工具，其特征在于，包括至少兩根豎向的支撐腿，所述支撐腿的上部通過若干連接桿連接成一體，所述連接桿上設(shè)有用于與起升機(jī)構(gòu)連接的連接部，所述支撐腿的下部內(nèi)側(cè)分別設(shè)有托板，所述托板用于托住所述石英盤。
2.如權(quán)利要求1所述的石英盤提升工具，其特征在于，所述支撐腿圓周均布。
3.如權(quán)利要求1或2所述的石英盤提升工具，其特征在于，所述支撐腿有四根。
4.如權(quán)利要求3所述的石英盤提升工具，其特征在于，所述四根支撐腿通過十字相交 的兩根連接桿連接，所述連接部設(shè)置在所述兩根連接桿的相交處。
5.如權(quán)利要求4所述的石英盤提升工具，其特征在于，所述連接部是吊環(huán)。
6.如權(quán)利要求1所述的石英盤提升工具，其特征在于，所述支撐腿和連接桿可調(diào)節(jié)式 連接。
7.如權(quán)利要求6所述的石英盤提升工具，其特征在于，所述連接桿的端部設(shè)有一排調(diào) 節(jié)用螺孔，所述支撐腿的上部設(shè)有具有螺孔的連接套，所述連接桿的端部穿套于所述連接 套內(nèi)，通過螺釘將連接套鎖定在連接桿的端部。
8.如權(quán)利要求1所述的石英盤提升工具，其特征在于，所述托板和支撐腿可調(diào)節(jié)式連接。
9.如權(quán)利要求8所述的石英盤提升工具，其特征在于，所述支撐腿的下部設(shè)有一排調(diào) 節(jié)用螺孔，所述托板的外側(cè)端固設(shè)有具有螺孔的連接套，所述支撐腿的下部穿套于所述連 接套內(nèi)，通過螺釘將連接套鎖定在所述支撐腿的下部。
10.如權(quán)利要求1所述的石英盤提升工具，其特征在于，所述支撐腿有三根。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種石英盤提升工具。這種石英盤提升工具，包括至少兩根豎向的支撐腿，所述支撐腿的上部通過若干連接桿連接成一體，所述連接桿上設(shè)有用于與起升機(jī)構(gòu)連接的連接部，所述支撐腿的下部內(nèi)側(cè)分別設(shè)有托板，所述托板用于托住所述石英盤。石英盤通過該石英盤提升工具與起升機(jī)構(gòu)連接，從而可以借助起升機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)石英盤的省力且平穩(wěn)地移動(dòng)，不但減輕了操作人員移動(dòng)石英盤的工作強(qiáng)度，而且也可以避免石英盤在移動(dòng)過程中受到損傷。
文檔編號B66C1/22GK201729567SQ20102020095
公開日2011年2月2日 申請日期2010年5月21日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月21日
發(fā)明者丁振宇, 劉志攀, 李文, 金偉 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司;武漢新芯集成電路制造有限公司