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電氣柜的制作方法

文檔序號(hào):8140874閱讀:462來(lái)源:國(guó)知局
專利名稱:電氣柜的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及電器設(shè)備散熱技術(shù)領(lǐng)域,且特別涉及一種應(yīng)用于光刻機(jī)中的電氣柜。
背景技術(shù)
目前工業(yè)中的各種數(shù)控設(shè)備,越來(lái)越向小型化和機(jī)電氣一體化方向發(fā)展,由于采用了大量的集成電路和狹小的電器控制柜,當(dāng)設(shè)備正常工作時(shí),電路部分發(fā)熱量越來(lái)越大, 因此設(shè)備電氣柜的散熱已成相關(guān)行業(yè)所要解決的一項(xiàng)重要課題。在工程應(yīng)用中,電氣柜的控溫方式大多采用熱抽排的方式。熱抽排即將電氣柜內(nèi)板卡等熱源散發(fā)到內(nèi)部空氣中的熱量抽排到外部環(huán)境中,同時(shí)電氣柜內(nèi)不斷補(bǔ)充恒溫氣體。這樣,一方面可以保護(hù)板卡等電子元件,另一方面控制電氣柜外表面的溫度,使之不至于影響到系統(tǒng)的溫度分布,甚至影響到激光設(shè)備的正常運(yùn)行。然而通過(guò)對(duì)熱抽排的長(zhǎng)期研究發(fā)現(xiàn),請(qǐng)參見圖1,現(xiàn)有的安裝熱抽排的電氣柜,都是在電氣柜殼體110—側(cè)(底部或其他位置)開一個(gè)足夠大的圓口作為出氣口 120,將抽排管路130直接安裝所開的出氣口 120上,這種普通抽排方式,熱抽排效率低,其原因主要是恒溫空氣平順的流過(guò)板卡等發(fā)熱元件,在電氣柜內(nèi)以行程最短的方式被抽掉,導(dǎo)致發(fā)熱元件無(wú)法與低溫空氣進(jìn)行充分的熱交換,使發(fā)熱元件無(wú)法得到很好的散熱和降溫,進(jìn)而無(wú)法保證電氣設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明旨在解決現(xiàn)有技術(shù)中,由于電氣設(shè)備的電氣柜中的散熱部件的設(shè)計(jì)缺陷, 導(dǎo)致散熱效率低,發(fā)熱元件無(wú)法與低溫空氣進(jìn)行充分的熱交換等技術(shù)問(wèn)題。有鑒于此,本發(fā)明提供一種電氣柜,其特征在于,包括殼體;進(jìn)氣口及出氣口,設(shè)置于所述殼體上;散熱導(dǎo)流裝置,設(shè)置于所述出氣口處。進(jìn)一步的,所述散熱導(dǎo)流裝置為帶有軸流旋轉(zhuǎn)葉片式散熱導(dǎo)流裝置。進(jìn)一步的,所述散熱導(dǎo)流裝置與排氣管道匹配。進(jìn)一步的,所述的電氣柜,還包括散熱導(dǎo)流肋片,設(shè)置于所述殼體內(nèi)壁。進(jìn)一步的,所述散熱導(dǎo)流肋片為螺旋式設(shè)置于所述殼體內(nèi)壁。本發(fā)明提供的電氣柜的散熱導(dǎo)流裝置集中在電氣柜抽排出口處,改善電氣柜內(nèi)部流場(chǎng),氣流更充分的流過(guò)發(fā)熱部件,提高換熱效率,更好的保護(hù)板卡等電子元件,同時(shí)使電氣柜外表面的溫度更均勻可控。提高了抽排系統(tǒng)的效率,節(jié)約能耗,能有效保證設(shè)備系統(tǒng)內(nèi)的溫度,保證光刻機(jī)等設(shè)備的正常運(yùn)行。另一方面,此散熱導(dǎo)流裝置固定于電氣柜外側(cè),便于安裝與拆卸清洗,且與排氣管路完全貼合,易于實(shí)現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)化。


圖1所示為現(xiàn)有技術(shù)中熱抽排電氣柜的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2所示為本發(fā)明一實(shí)施例提供的電器柜的結(jié)構(gòu)示意圖3所示為本發(fā)明一實(shí)施例提供的電器柜中散熱導(dǎo)流裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;圖4所示為本發(fā)明另一實(shí)施例提供的電器柜的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式為使本發(fā)明的技術(shù)特征更明顯易懂,下面結(jié)合附圖,給出具體實(shí)施例,對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步的描述。請(qǐng)參見圖2,其所示為本發(fā)明一實(shí)施例提供的電器柜的結(jié)構(gòu)示意圖。該電氣柜,包括殼體210,進(jìn)氣口 220及出氣口 230,設(shè)置于所述殼體210上;散熱導(dǎo)流裝置對(duì)0,設(shè)置于所述出氣口 230處。舉例說(shuō)明,該電氣柜采用的是熱抽排式散熱結(jié)構(gòu),在電氣柜中的板卡直立的情況下,進(jìn)氣口 220設(shè)置在電氣柜殼體210上部,出氣口 230設(shè)置在電氣柜殼體210下部,散熱導(dǎo)流裝置240安裝在電器柜的出氣口 230處,排氣管道與出氣口 230連接抽氣時(shí),電氣柜中形成低壓,低溫空氣通過(guò)進(jìn)氣口 220進(jìn)入電氣柜內(nèi),與板卡等發(fā)熱元件進(jìn)行熱交換,當(dāng)空氣被抽排到出氣口處時(shí),藉由散熱導(dǎo)流裝置M0,改變了抽排流場(chǎng),使空氣產(chǎn)生旋流,增加了空氣流過(guò)板卡等發(fā)熱元件的行程和速度,因而提高了熱交換的效率,更好的保護(hù)板卡等電子元件,保證電氣設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行。在本實(shí)施例中,請(qǐng)結(jié)合參見圖3,所述散熱導(dǎo)流裝置240為帶有軸流旋轉(zhuǎn)葉片式散熱導(dǎo)流裝置,其包括一軸對(duì)1,以及設(shè)置于軸241上的葉片M2。當(dāng)進(jìn)行熱抽排時(shí),由于軸流旋轉(zhuǎn)葉片式散熱導(dǎo)流裝置的作用,電氣柜內(nèi)部空氣流線由最初的緩慢平順流過(guò)板卡變?yōu)榭焖傩D(zhuǎn)流過(guò)板卡等發(fā)熱元件,板卡與抽排空氣的對(duì)流換熱系數(shù)增加,空氣流過(guò)板卡的行程更長(zhǎng),換熱效率明顯提高。與普通的直接與抽排管路連接的電氣柜相比,增加軸流旋轉(zhuǎn)葉片式散熱導(dǎo)流裝置的新型電氣柜可以更好的保護(hù)板卡等電子元件,同時(shí)使電氣柜外表面的溫度更均勻可控。提高了抽排系統(tǒng)的效率,節(jié)約能耗,能有效保證設(shè)備系統(tǒng)內(nèi)的溫度,使得激光等設(shè)備的正常運(yùn)行。另一方面,此散熱導(dǎo)流裝置固定于電氣柜出氣口處,便于安裝與拆卸清洗,此外, 散熱導(dǎo)流裝置與排氣管道匹配,與管道完全貼合,易于實(shí)現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)化。請(qǐng)參見圖4,其所示為本發(fā)明另一實(shí)施例提供的電器柜的結(jié)構(gòu)示意圖。該電氣柜,包括殼體410,進(jìn)氣口 420及出氣口 430,設(shè)置于所述殼體410上;散熱導(dǎo)流裝置440,設(shè)置于所述出氣口 430處。該電氣柜還包括散熱導(dǎo)流肋片450,設(shè)置于所述殼體內(nèi)壁。在本實(shí)例中,散熱導(dǎo)流肋片450為螺旋式設(shè)置于所述殼體410內(nèi)壁。在電氣柜內(nèi)部四周壁面上布置與軸流旋轉(zhuǎn)葉片式散熱導(dǎo)流裝置同樣旋轉(zhuǎn)方向的散熱導(dǎo)流肋片,幫助氣流更快速的流過(guò)板卡的發(fā)熱部件。綜上所述,本發(fā)明實(shí)施例提供的電氣柜的散熱導(dǎo)流裝置集中在電氣柜抽排出口處,改善電氣柜內(nèi)部流場(chǎng),氣流更充分的流過(guò)發(fā)熱部件,提高換熱效率,更好的保護(hù)板卡等電子元件,同時(shí)使電氣柜外表面的溫度更均勻可控。提高了抽排系統(tǒng)的效率,節(jié)約能耗,能有效保證設(shè)備系統(tǒng)內(nèi)的溫度,保證光刻機(jī)等設(shè)備的正常運(yùn)行。另一方面,此散熱導(dǎo)流裝置固定于電氣柜外側(cè),便于安裝與拆卸清洗,且與排氣管路完全貼合,易于實(shí)現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)化。雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上,然其并非用以限定本發(fā)明,任何所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者,在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi),當(dāng)可作些許的更動(dòng)與潤(rùn)飾,因此本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求書所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種電氣柜,其特征在于,包括 殼體;進(jìn)氣口及出氣口,設(shè)置于所述殼體上; 散熱導(dǎo)流裝置,設(shè)置于所述出氣口處。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電氣柜,其特征在于,所述散熱導(dǎo)流裝置為帶有軸流旋轉(zhuǎn)葉片式散熱導(dǎo)流裝置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電氣柜,其特征在于,所述散熱導(dǎo)流裝置與排氣管道匹配。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電氣柜,其特征在于,其還包括散熱導(dǎo)流肋片,設(shè)置于所述殼體內(nèi)壁。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電氣柜,其特征在于,所述散熱導(dǎo)流肋片為螺旋式設(shè)置于所述殼體內(nèi)壁。
全文摘要
本發(fā)明揭示了一種電氣柜,其包括殼體;進(jìn)氣口及出氣口,設(shè)置于所述殼體上;散熱導(dǎo)流裝置,設(shè)置于所述出氣口處。本發(fā)明提供的電氣柜的散熱導(dǎo)流裝置集中在電氣柜抽排出口處,改善電氣柜內(nèi)部流場(chǎng),氣流更充分的流過(guò)發(fā)熱部件,提高換熱效率,更好的保護(hù)板卡等電子元件,同時(shí)使電氣柜外表面的溫度更均勻可控。提高了抽排系統(tǒng)的效率,節(jié)約能耗,能有效保證設(shè)備系統(tǒng)內(nèi)的溫度,保證光刻機(jī)等設(shè)備的正常運(yùn)行。
文檔編號(hào)H05K5/02GK102348363SQ201010241669
公開日2012年2月8日 申請(qǐng)日期2010年7月30日 優(yōu)先權(quán)日2010年7月30日
發(fā)明者于文忠, 余斌, 張洪博, 王明 申請(qǐng)人:上海微電子裝備有限公司
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