專利名稱：基板收納容器和具有其的基板檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及收納基板的容器以及利用該容器裝載或卸載基板的基板檢查裝置。
背景技術(shù)：
存儲(chǔ)裝置(Memory)用于臨時(shí)或永久保存計(jì)算機(jī)、通信系統(tǒng)及圖像處理系統(tǒng)等中 使用的數(shù)據(jù)和命令等，具有代表性的存儲(chǔ)裝置有半導(dǎo)體、磁帶、磁盤及光學(xué)方式等，但現(xiàn)在 半導(dǎo)體存儲(chǔ)器占大部分。將存儲(chǔ)裝置實(shí)際用于系統(tǒng)中時(shí)，以模塊方式生產(chǎn)。模塊是具有一種功能的元件的 集合體，在印刷電路板PCB上裝有各種各樣的半導(dǎo)體元件，利用多個(gè)作為連接引線的插頭 (tap)連接在板等上，根據(jù)插頭的構(gòu)造分成SIMM (Single In-line Memory Module，單列直 插式存儲(chǔ)器模塊)和DIMM(Dual In-line Memory Module，雙列直插式存儲(chǔ)器模塊)。在生 產(chǎn)這樣的模塊中，在把零部件裝在印刷電路板上之前，必須要確認(rèn)在印刷電路板上形成的 圖案是否有異常。專利文獻(xiàn)1 韓國專利第10-0683265號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述問題，本發(fā)明的目的是提供一種可以提高基板檢查工序的生產(chǎn)率的基板 收納容器以及具有其的基板檢查裝置。此外，本發(fā)明的目的不限于此，本領(lǐng)域技術(shù)人員從以下的敘述中可以清楚地理解 沒有提及的其它目的。按照本發(fā)明實(shí)施方式的基板收納容器，其特征在于包括盒，上部敞開，容納在上 下方向上層疊的多塊基板；以及殼體，形成有多個(gè)槽構(gòu)件，該槽構(gòu)件垂直裝載所述盒。在按照具有上述結(jié)構(gòu)的本發(fā)明的基板收納容器中，所述殼體可以包括支承板； 以及一對(duì)第一側(cè)板，以相互相對(duì)的方式垂直設(shè)置在所述支承板的上表面上，所述槽構(gòu)件向 與所述第一側(cè)板相對(duì)的面垂直的方向突出。所述槽構(gòu)件可以設(shè)置在所述第一側(cè)板相對(duì)的面上的兩側(cè)垂直邊之間的區(qū)域上。所述殼體還可以包括第二側(cè)板，相對(duì)于所述槽構(gòu)件的排列方向垂直設(shè)置，連接在 所述第一側(cè)板的任意一個(gè)所述垂直邊上。所述殼體還可以包括突出部，從所述第一側(cè)板的任意一個(gè)所述垂直邊向所述槽 構(gòu)件的突出方向突出。所述殼體還可以包括握持部，在所述支承板上設(shè)置成以所述第一側(cè)板為中心對(duì) 稱?？梢栽谒鲋С邪迳县炌ㄐ纬傻谝豢?，固定所述支承板的銷構(gòu)件能夠插入該第一 孔。所述盒可以包括四邊形的第一板，由所述殼體的所述槽構(gòu)件支撐；第二板，從朝 著所述槽構(gòu)件的長度方向的所述第一板的邊向與所述第一板垂直的方向延伸；以及第一下墊板，從所述第二板的下端向相互相對(duì)的方向延伸，支承所述基板。所述盒還可以包括第二下墊板，從所述第一板的下端中心部向與所述第一板垂 直的方向延伸，支承所述基板。可以在與所述第一下墊板和所述第二下墊板之間的區(qū)域?qū)?yīng)的所述支承板的位 置上，形成第二孔，使所述基板升降的升降機(jī)構(gòu)能夠插入該第二孔。所述盒還可以包括側(cè)面支撐構(gòu)件，以相互相對(duì)的方式設(shè)置在所述第二板的內(nèi)表 面上，支撐由所述第一下墊板和所述第二下墊板支承的所述基板的側(cè)面。所述盒還可以包括隔壁，具有與所述第二板對(duì)應(yīng)的形狀，設(shè)置成在所述第一板和 所述第二下墊板之間能夠裝拆。按照本發(fā)明實(shí)施方式的基板收納容器，其特征在于包括盒，以基板在上下方向上 層疊的方式收納所述基板；以及殼體，具有容納所述盒的空間，各個(gè)所述盒在所述殼體中通 過滑動(dòng)的方式移動(dòng)，能夠與所述殼體分離或插入所述殼體。在按照具有上述結(jié)構(gòu)的本發(fā)明的基板收納容器中，所述殼體可以包括一對(duì)第一側(cè) 板，該一對(duì)第一側(cè)板以相互相對(duì)的方式分開配置，在所述第一側(cè)板上形成有長度方向朝向 上下方向的槽構(gòu)件，各個(gè)所述盒包括第一板，由所述槽構(gòu)件支撐，能夠沿所述槽構(gòu)件滑動(dòng)； 以及第二板，與所述第一板的兩端連接，所述基板收納在所述第一板和所述第二板之間形 成的空間中。在上述結(jié)構(gòu)中，在所述第一板和所述第二板相互組合時(shí)，從上部看為二形。所述盒還可以包括隔壁，位于所述第二板之間，分隔所述第二板之間的空間，設(shè) 置成相對(duì)于所述第一板能夠裝拆。所述盒可以設(shè)置成沿與所述第一側(cè)板的配置方向垂直的第二方向排成一列。按照本發(fā)明實(shí)施方式的基板檢查裝置，其特征在于包括裝載部，放置收納基板 的第一容器；檢查部，向從所述裝載部輸送來的所述基板照射光，檢查所述基板；以及卸載 部，放置第二容器，該第二容器收納用所述檢查部檢查過的所述基板，所述第一容器和第二 容器包括盒，上部敞開，容納在上下方向上層疊的多塊所述基板；以及殼體，形成有槽構(gòu) 件，該槽構(gòu)件垂直裝載所述盒。在按照具有上述結(jié)構(gòu)的本發(fā)明的基板檢查裝置中，所述殼體可以包括支承板； 以及一對(duì)第一側(cè)板，以相互相對(duì)的方式垂直設(shè)置在所述支承板的上表面上，所述槽構(gòu)件向 與所述第一側(cè)板相對(duì)的面垂直的方向突出。所述槽構(gòu)件可以設(shè)置在所述第一側(cè)板相對(duì)的面上的兩側(cè)垂直邊之間的區(qū)域上，所 述殼體還可以包括第二側(cè)板，相對(duì)于所述槽構(gòu)件的排列方向垂直設(shè)置，連接在所述第一側(cè) 板的任意一個(gè)所述垂直邊上；以及突出部，從所述第一側(cè)板的任意一個(gè)所述垂直邊向所述 槽構(gòu)件的突出方向突出。所述盒可以包括四邊形的第一板，由所述殼體的所述槽構(gòu)件支撐；第二板，從朝 著所述槽構(gòu)件的長度方向的所述第一板的邊向與所述第一板垂直的方向延伸；第一下墊 板，從所述第二板的下端向相互相對(duì)的方向延伸，支承所述基板；以及第二下墊板，從所述 第一板的下端中心部向與所述第一板垂直的方向延伸，支承所述基板。所述盒還可以包括側(cè)面支撐構(gòu)件，以相互相對(duì)的方式設(shè)置在所述第二板的內(nèi)表 面上，支撐由所述第一下墊板和所述第二下墊板支承的所述基板的側(cè)面。
所述盒還可以包括隔壁，具有與所述第二板對(duì)應(yīng)的形狀，在所述第一板和所述第 二下墊板之間能夠裝拆。在所述支承板上可以貫通形成第一孔，固定所述支承板的銷構(gòu)件能夠插入該第一 孔。在與所述第一下墊板和所述第二下墊板之間的區(qū)域?qū)?yīng)的所述支承板的位置上， 可以形成第二孔，使所述基板升降的升降機(jī)構(gòu)能夠插入該第二孔。所述裝載部可以包括多個(gè)第一裝入口，配置成一列，放置收納有要被檢查的所述 基板的所述第一容器；多個(gè)第一取出口，放置空的所述第一容器，配置成與所述第一裝入口 并排成一列；工序口，配置在所述第一裝入口和所述第一取出口之間，放置收納有被向所述 檢查部輸送的所述基板的所述第一容器；以及裝載機(jī)器人，在所述第一裝入口之間輸送所 述第一容器，在所述工序口和與所述工序口鄰接的所述第一裝入口及所述第一取出口之間 輸送所述第一容器，在所述第一取出口之間輸送所述第一容器。所述裝載部還可以包括升降機(jī)構(gòu)，配置在所述工序口的下面，使收納于放置在所 述工序口上的所述第一容器中的所述基板升降；所述升降機(jī)構(gòu)包括升降構(gòu)件，該升降構(gòu) 件的長度方向朝向上下方向，對(duì)準(zhǔn)在所述第一容器的所述支承板上貫通形成的孔；以及升 降驅(qū)動(dòng)構(gòu)件，使所述升降構(gòu)件在上下方向上直線移動(dòng)。所述基板檢查裝置還可以包括定位部，配置在所述裝載部和所述檢查部之間，使 所述基板定位；以及基板輸送機(jī)器人，把所述基板從所述裝載部向所述定位部輸送，所述定 位部包括定位臺(tái)，放置由所述基板輸送機(jī)器人輸送的所述基板；第一定位機(jī)構(gòu)，對(duì)放置在 所述定位臺(tái)上的所述基板的朝向第一方向的第一側(cè)面施加壓力，使所述基板定位；以及第 二定位機(jī)構(gòu)，對(duì)放置在所述定位臺(tái)上的所述基板的朝向與所述第一方向垂直的第二方向的 第二側(cè)面施加壓力，使所述基板定位。所述第一定位機(jī)構(gòu)可以包括一對(duì)第一定位構(gòu)件，該一對(duì)第一定位構(gòu)件的長度方 向朝向所述第二方向，在所述第一方向上分開，并能夠向相互靠近的方向移動(dòng)。所述第一定位機(jī)構(gòu)還可以包括一對(duì)第二定位構(gòu)件，該一對(duì)第二定位構(gòu)件的長度 方向朝向所述第二方向，位于所述第一定位構(gòu)件之間，并能夠朝向所述第一定位構(gòu)件，向相 互遠(yuǎn)離的方向移動(dòng)。在所述第二定位構(gòu)件相互相對(duì)的面上可以形成有突出部，所述第二定位構(gòu)件能夠 以所述突出部交替的方式配置成相互鄰接。在所述突出部的下表面上可以形成加壓突起部，該加壓突起部對(duì)所述基板的所述 第一側(cè)面施加壓力。所述第一定位構(gòu)件和所述第二定位構(gòu)件可以沿所述第一方向排列配置多個(gè)。所述檢查部可以包括第一檢查部，檢查所述基板的下表面；以及第二檢查部，檢 查所述基板的上表面，所述第一檢查部和所述第二檢查部可以并排配置成一列。所述第一檢查部可以包括第一吸附臺(tái)，真空吸附放置在所述定位臺(tái)上的所述基 板的上表面；第一輸送機(jī)器人，使所述第一吸附臺(tái)直線移動(dòng)；第一照明機(jī)構(gòu)，配置在所述第 一吸附臺(tái)的下面，向通過所述第一輸送機(jī)器人移動(dòng)的所述基板的下表面照射光；以及第一 攝影機(jī)構(gòu)，拍攝所述第一照明機(jī)構(gòu)的光所照射的所述基板的下表面。所述第一檢查部還可以包括第一基板清潔輥，配置在所述定位部和所述第一照明機(jī)構(gòu)之間，與通過所述第一輸送機(jī)器人移動(dòng)的所述基板的下表面接觸，清除所述基板下 表面的異物。所述第二檢查部可以包括第二吸附臺(tái)，位于所述第一吸附臺(tái)的下面，接受輸送來 的吸附在所述第一吸附臺(tái)上的所述基板，真空吸附所述基板的下表面；第二輸送機(jī)器人，使 所述第二吸附臺(tái)直線移動(dòng)；第二照明機(jī)構(gòu)，配置在所述第二吸附臺(tái)的上部，向通過所述第二 輸送機(jī)器人移動(dòng)的所述基板的上表面照射光；以及第二攝影機(jī)構(gòu)，拍攝所述第二照明機(jī)構(gòu) 的光所照射的所述基板的上表面。所述第二檢查部還可以包括第二基板清潔輥，配置在所述第一檢查部和所述第 二照明機(jī)構(gòu)之間，與通過所述第二輸送機(jī)器人移動(dòng)的所述基板的上表面接觸，清除所述基 板上表面的異物。所述基板檢查裝置還可以包括分類-裝載機(jī)器人，根據(jù)所述第一檢查部和所述 第二檢查部的檢查結(jié)果，把所述基板分成合格品和不合格品，分選裝入放置在所述卸載部 的所述第二容器中。所述卸載部可以包括多個(gè)第二裝入口，配置成一列，放置空的所述第二容器；多 個(gè)送出輥，與所述第二裝入口并排配置成一列；裝載口，配置在所述第二裝入口和所述送出 輥之間，放置收納由所述分類-裝載機(jī)器人輸送的所述基板的所述第二容器；第一卸載機(jī) 器人，在所述第二裝入口之間輸送所述第二容器，在所述裝載口和與所述裝載口鄰接的所 述第二裝入口之間輸送所述第二容器；以及第二卸載機(jī)器人，把放置在所述裝載口上的所 述第二容器輸送到所述送出輥上。所述多個(gè)送出輥可以配置成沿排列方向朝下傾斜。所述卸載部還可以包括下降機(jī)構(gòu)，該下降機(jī)構(gòu)配置在所述裝載口的下面，使收納 于放置在所述裝載口上的所述第二容器中的所述基板下降，所述下降機(jī)構(gòu)可以包括下降 構(gòu)件，該下降構(gòu)件的長度方向朝向上下方向，對(duì)準(zhǔn)在所述第二容器的所述支承板上貫通形 成的孔；以及下降驅(qū)動(dòng)構(gòu)件，使所述下降構(gòu)件在上下方向上直線移動(dòng)。按照本發(fā)明，通過分別具有與檢查對(duì)象基板的尺寸一致的盒，并利用該盒把基板 裝載在基板檢查裝置上，可以提高基板檢查工序的生產(chǎn)率。


圖1是本發(fā)明實(shí)施方式的光學(xué)檢查裝置的俯視圖。圖2是圖1的光學(xué)檢查裝置的側(cè)視圖。圖3是容器的立體圖。圖4是圖3的容器的俯視圖。圖5是表示盒處于脫離狀態(tài)下的容器的圖。圖6是其它實(shí)施方式的盒的立體圖。圖7是圖1的裝載部的放大圖。圖8是圖7的裝載部的側(cè)視圖。圖9A 圖9D是表示裝載機(jī)器人的動(dòng)作狀態(tài)的圖。圖10是基板輸送機(jī)器人的主視圖。圖11是圖10的吸附構(gòu)件的側(cè)視圖。
圖12是定位部的俯視圖。圖13是圖12的定位部的側(cè)視圖。圖14是圖12的定位部的主視圖。圖15是表示定位部動(dòng)作狀態(tài)的圖。圖16A和圖16B是把圖15的定位構(gòu)件放大表示的圖。圖17是第一檢查部的側(cè)視圖。圖18是圖17的第一基板清潔輥的放大圖。圖19是第二檢查部的側(cè)視圖。圖20是圖19的第二基板清潔輥的放大圖。圖21是分類_裝載機(jī)器人的側(cè)視圖。圖22是圖1的卸載部的放大圖。圖23是圖22的卸載部的側(cè)視圖。附圖標(biāo)記說明M、Ml、M2容器(M第一容器；Ml、M2第二容器)S、S1、S2 基板100裝載部200基板輸送機(jī)器人300定位部400第一檢查部500第二檢查部600分類-裝載機(jī)器人700卸載部
具體實(shí)施例方式下面參照附圖對(duì)本發(fā)明優(yōu)選的實(shí)施方式的基板收納容器和具有其的基板檢查裝 置進(jìn)行詳細(xì)說明。首先在各圖中的構(gòu)成要素帶有附圖標(biāo)記，對(duì)于同一個(gè)構(gòu)成要素即使在其 它圖上表示也盡可能采用相同的附圖標(biāo)記。此外在本發(fā)明的說明中，在判斷為與本發(fā)明的 要點(diǎn)無關(guān)的情況下，對(duì)于相關(guān)聯(lián)的公知結(jié)構(gòu)或功能省略了對(duì)它們的詳細(xì)說明。圖1是本發(fā)明實(shí)施方式的光學(xué)檢查裝置1的俯視圖，圖2是圖1的光學(xué)檢查裝置 1的側(cè)視圖。下面，設(shè)在圖1平面上的設(shè)備的排列方向?yàn)榈谝环较騃，在同一平面上的與第一方 向I垂直的方向?yàn)榈诙较騃I，與第一方向I和第二方向II垂直的方向?yàn)榈谌较騃II。光學(xué)檢查裝置1 檢查 DIMM 或 SO-DIMM(Small Outline DualIn-Iine Memory Module，小型雙列直插式存儲(chǔ)器模塊)這樣的存儲(chǔ)器模塊的印刷電路板(下面稱為“基 板”)。參照?qǐng)D1和圖2，光學(xué)檢查裝置1包括裝載部100、基板輸送機(jī)器人200、定位部 300、第一檢查部400、第二檢查部500、分類-裝載機(jī)器人600和卸載部700。裝載部100和 卸載部700以長度方向朝向第二方向II的方式相互平行間隔開配置。定位部300、第一檢 查部400、第二檢查部500沿第一方向I順序配置在裝載部100和卸載部700之間。定位部300配置成與裝載部100鄰接，第二檢查部500配置成與卸載部700鄰接，第一檢查部400 配置在定位部300和第二檢查部500之間?；遢斔蜋C(jī)器人200配置在裝載部100和定位 部300的上部空間，分類一裝載機(jī)器人600配置在第二檢查部500和卸載部700的上部空 間。收納有作為檢查對(duì)象的基板S的第一容器M放置在裝載部100上。基板輸送機(jī)器 人200把收納在第一容器M中的基板S向定位部300輸送。定位部300把基板S定位。第 一檢查部400從定位部300接受基板S,檢查在基板S的下表面形成的圖案是否有異常。第 二檢查部500從第一檢查部400接受基板S,檢查在基板S的上表面形成的圖案是否有異 常。分類-裝載機(jī)器人600根據(jù)第一檢查部400和第二檢查部500的檢查結(jié)果，把基板S 分成合格品基板Sl和不合格品基板S2，把基板分選后裝在放置在卸載部700中的第二容器 Ml、M2中。卸載部700把第二容器Ml、M2輸送到外部。圖3是圖1和圖2的第一容器M、第二容器M1、M2的立體圖，圖4是圖3的容器的 俯視圖，圖5是表示盒處于脫離狀態(tài)下的容器的圖。在圖1和圖2的裝載部100中使用的 第一容器M和在卸載部700中使用的第二容器Ml、M2都具有相同的結(jié)構(gòu)。參照?qǐng)D3至圖5，第一容器M包括盒10和殼體20。盒10容納在上下方向上層疊 的多塊基板，盒10垂直裝載在槽構(gòu)件23a、23b上，該槽構(gòu)件23a、23b形成在殼體20上。盒 10具有上部敞開的結(jié)構(gòu)，基板可以通過盒10的敞開的上部裝入或取出。殼體20具有支承板21。支承板21是大體為四邊形的板，在支承板21的上表面上 設(shè)置一對(duì)第一側(cè)板22a、22b。第一側(cè)板22a、22b是四邊形的板，第一側(cè)板22a、22b以相互相 對(duì)的方式垂直設(shè)置在支承板21的上表面上。在第一側(cè)板22a、22b相互相對(duì)的面，也就是內(nèi) 表面上，多個(gè)槽構(gòu)件23a、23b向與內(nèi)表面垂直的方向突出。槽構(gòu)件23a、23b以能夠裝拆的 方式連接在第一側(cè)板22a、22b上，此外，也可以與第一側(cè)板22a、22b形成一體。槽構(gòu)件23a、23b設(shè)置在第一側(cè)板22a、22b相對(duì)的面上的兩側(cè)垂直邊之間的區(qū)域 上。而且在第一側(cè)板22a、22b的任意一側(cè)的垂直的邊上，連接與槽構(gòu)件23a、23b的排列方向 垂直設(shè)置的第二側(cè)板24，在第一側(cè)板22a、22b的任意一側(cè)的垂直的邊上形成有突出部25a、 25b，該突出部25a、25b做成向槽構(gòu)件23a、23b的突出方向突出。在支承板21上形成有握持部26a、26b，在通過人工操作移動(dòng)第一容器M時(shí)可以握 持第一容器M。握持部26a、26b在支承板21上設(shè)置成以第一側(cè)板22a、22b為中心對(duì)稱。而 且在支承板21上形成有貫通的第一孔27a、27b，使得固定支承板21的銷構(gòu)件(圖中沒有表 示)可以插入該第一孔27a、27b。例如，第一孔27a、27b沿支承板21的對(duì)角線方向形成在 與支承板21的邊緣鄰接的區(qū)域上。盒10包括第一板11、第二板12a、12b、第一下墊板13a、13b以及第二下墊板14。 第一板11是四邊形的板，由殼體20的槽構(gòu)件23a、23b支撐。第二板12a、12b從朝向槽構(gòu) 件23a、23b長度方向的第一板11的邊向與第一板11垂直的方向延伸，第一下墊板13a、13b 從第二板12a、12b下端向相互相對(duì)的方向延伸。第二下墊板14從第一板11下端的中心部 向與第一板11垂直的方向延伸。另一方面，在殼體20的支承板21上對(duì)應(yīng)于第一下墊板13a、13b和第二下墊板14 之間的區(qū)域的位置上，形成第二孔28。后面敘述的升降機(jī)構(gòu)(圖中沒有表示)和下降機(jī)構(gòu) (圖中沒有表示)通過第二孔28進(jìn)入到容器M、Ml、M2內(nèi)，使基板升降或下降。
收納在盒10中的基板是DMM或SO-DMM這樣的存儲(chǔ)器模塊的印刷電路板。 SO-DIMM用基板的長度比DIMM用基板的長度短，盒10必須具有與此對(duì)應(yīng)的結(jié)構(gòu)。因此，圖 5所示的SO-DMM用盒10具有隔壁15。隔壁15具有與第二板12a、12b對(duì)應(yīng)的形狀，設(shè)置 成在第一板11和第二下墊板14之間能夠裝拆。此外，隔壁15也可以在第一板11與第二 下墊板14之間固定成一體。采用這樣的結(jié)構(gòu)，長度短的SO-DIMM用基板可以用第一下墊板 13a和第二下墊板14支承，或者，用第二下墊板14和第一下墊板13b支承。也就是說，圖5 的盒10可以裝入兩列SO-DMM用基板。DIMM用基板的長度比SO-DIMM用基板的長度長，圖6的盒10’是可以裝入DIMM用 基板的盒。DIMM用基板兩端的下表面由第一下墊板13a、13b支承，DIMM用基板中央部的下 表面由第二下墊板14支承。圖6的盒10’具有側(cè)面支撐構(gòu)件16，該側(cè)面支撐構(gòu)件16用于 支撐DIMM用基板兩端的側(cè)面。側(cè)面支撐構(gòu)件16以相互相對(duì)的方式設(shè)置在第二板12a、12b 的內(nèi)表面上。側(cè)面支撐構(gòu)件16包括長方形板16-1，長方形板16-1的長度與第二板12a、 12b的長度對(duì)應(yīng)；以及突起部16-2，在板16-1的一個(gè)面上突出形成。突起部16-2做成與板 16-1的長度相同，在板16-1上有多個(gè)突起部16-2。下面對(duì)利用具有上述結(jié)構(gòu)的容器實(shí)施基板檢查工序的基板檢查裝置進(jìn)行詳細(xì)說 明。收納在容器中的作為檢查對(duì)象的基板是SO-DIMM用基板或DIMM用基板，也可以根據(jù)基 板的種類選擇使用其它種類的盒10、10’。圖7是圖1的裝載部的放大圖。圖8是圖7的裝載部的側(cè)視圖。參照?qǐng)D7和圖 8，裝載部100包括第一裝入口 110a、110b、110c、110d、第一取出口 120a、120b以及工序口 130。第一裝入口 110a、110b、110c、110d沿第二方向II配置成兩列，在第一裝入口 110a、 110b、110c、110d上放置收納有要檢查的基板的第一容器Μ。第一取出口 120a、120b與第一 裝入口 110a、110b、110c、110d并排，沿第二方向II配置成兩列，配置成與第一裝入口 110a、 110b、110c、110d隔開規(guī)定的間隔。在第一取出口 120a、120b上放置空的第一容器M。工序 口 130配置在第一裝入口 110a、110b、110c、110d和第一取出口 120a、120b之間，在工序口 130上放置收納有被向定位部300輸送的基板的第一容器M。第一容器M在第一裝入口 110a、110b、110c、110d上順序移動(dòng)后，放置在工序口 130 上，如果被收納的基板都被輸送到定位部300后，則第一容器M從工序口 130順序向第一取 出 口 120a、120b 移動(dòng)。第一裝載機(jī)器人150配置在第一裝入口 110a、110b、110c、IlOd下面，第二裝載機(jī) 器人160配置在第一取出口 120a、120b下面。第一裝載機(jī)器人150在第一裝入口 110a、 110b、110c、110d之間輸送第一容器M，在與工序口 130鄰接的第一裝入口 IlOd和工序口 130之間輸送第一容器M。第二裝載機(jī)器人160在工序口 130和與工序口 130鄰接的第一 取出口 120a之間輸送第一容器M，在第一取出口 120a、120b之間輸送第一容器M。第一裝載機(jī)器人150具有與第一裝入口 110a、110b、110c、IlOd的開口部對(duì)應(yīng)尺寸 的升降板156。在升降板156的上表面設(shè)置有插入第一容器M的第一孔27a、27b的銷構(gòu)件 157。如果銷構(gòu)件157插入第一孔27a、27b，則第一容器M就被固定在升降板156上。在升 降板156的下部連接缸154，該缸154使升降板156沿上下方向移動(dòng)，缸154被固定在滑塊 152上，滑塊152在導(dǎo)軌140上滑動(dòng)。在滑塊152內(nèi)裝有直線電動(dòng)機(jī)(圖中沒有表示)，滑 塊152也可以利用其它的如缸機(jī)構(gòu)那樣的驅(qū)動(dòng)裝置滑動(dòng)。
第一裝載機(jī)器人150使放置在第一裝入口 IlOd上的第一容器M向工序口 130移 動(dòng)的工序如下如圖9A至圖9D所示，首先缸154使升降板156向上側(cè)移動(dòng)，使放置在第一 裝入口 IlOd上的第一容器M升起。此后，利用滑塊152滑動(dòng)，升降板156沿第二方向II移 動(dòng)，滑塊152沿第二方向II移動(dòng)到使第一容器M位于工序口 130的上部為止。在這種狀態(tài) 下，利用缸154使升降板156下降，把第一容器M放置在工序口 130上。第二裝載機(jī)器人160具有與第一裝載機(jī)器人150相同的結(jié)構(gòu)，省略對(duì)它的詳細(xì)說 明。但是，沒有說明的附圖標(biāo)記“162”是滑塊162的附圖標(biāo)記，附圖標(biāo)記“164”是缸164的 附圖標(biāo)記，附圖標(biāo)記“166”是升降板166的附圖標(biāo)記。升降機(jī)構(gòu)170配置在工序口 130的下面。升降機(jī)構(gòu)170使收納于放置在工序口 130上的第一容器M中的基板上升或下降。升降機(jī)構(gòu)170具有升降構(gòu)件172，升降構(gòu)件172 的長度方向朝向上下方向，對(duì)準(zhǔn)在第一容器M的支承板21上形成的第二孔28。升降構(gòu)件 172利用升降驅(qū)動(dòng)構(gòu)件174在上下方向上直線移動(dòng)。圖10是基板輸送機(jī)器人的主視圖，圖11是圖10的吸附構(gòu)件的側(cè)視圖。參照?qǐng)D10和圖11，基板輸送機(jī)器人200把基板從放置在工序口 130上的第一容器 M輸送到定位部300。基板輸送機(jī)器人200具有水平支承臺(tái)210，水平支承臺(tái)210沿第一方 向I水平配置在工序口 130和定位部300的上部空間。在水平支承臺(tái)210上有導(dǎo)軌212，在 導(dǎo)軌212上設(shè)置滑塊220。直線電動(dòng)機(jī)(圖中沒有表示)被裝在滑塊220上，通過直線電動(dòng) 機(jī)的驅(qū)動(dòng)，滑塊220在導(dǎo)軌212上滑動(dòng)。在滑塊220上設(shè)置驅(qū)動(dòng)構(gòu)件230，驅(qū)動(dòng)構(gòu)件230在第三方向III上，也就是在上下 方向上提供直線驅(qū)動(dòng)力。長度方向朝向第三方向III的第一連接構(gòu)件232的一端連接在驅(qū) 動(dòng)構(gòu)件230上，長度方向朝向第一方向I的第二連接構(gòu)件234連接在第一連接構(gòu)件232的另 一端上。在第二連接構(gòu)件234上設(shè)置多個(gè)吸附構(gòu)件240，多個(gè)吸附構(gòu)件240用于吸附基板。 各吸附構(gòu)件240分別包括支承臺(tái)242，其長度方向朝向第二方向II ；以及吸附機(jī)構(gòu)244，在 支承臺(tái)242上沿長度方向設(shè)置成一列。支承臺(tái)242的一端連接在第二連接構(gòu)件234上。吸 附機(jī)構(gòu)244利用負(fù)壓的作用吸附基板。吸附構(gòu)件240利用滑塊220的滑動(dòng)，可以在裝載部100的工序口 130和定位部300 的上部空間移動(dòng)。吸附構(gòu)件240移動(dòng)到裝載部100的工序口 130上部后，利用驅(qū)動(dòng)構(gòu)件230 向下移動(dòng)，吸附收納于放置在工序口 130上的第一容器M中的基板。此后，吸附構(gòu)件240利 用驅(qū)動(dòng)構(gòu)件230向上移動(dòng)，并利用滑塊200的滑動(dòng)，向定位部300的定位臺(tái)310的上部空間 移動(dòng)。吸附構(gòu)件240移動(dòng)到定位臺(tái)310的上部空間后，利用驅(qū)動(dòng)構(gòu)件230向下移動(dòng)，然后解 除施加在基板上的負(fù)壓，把基板裝載在定位臺(tái)310上。圖12是定位部的俯視圖，圖13是圖12的定位部的側(cè)視圖，圖14是圖12的定位 部的主視圖。圖15是表示定位部動(dòng)作狀態(tài)的圖，圖16A和圖16B是把圖15的定位構(gòu)件放 大表示的圖。參照?qǐng)D12至圖16B，定位部300包括定位臺(tái)310、第一定位機(jī)構(gòu)330和第二定位機(jī) 構(gòu)370。由基板輸送機(jī)器人200輸送來的基板被放置在定位臺(tái)310上。第一定位機(jī)構(gòu)330 對(duì)放置在定位臺(tái)310上的基板縱向的兩個(gè)側(cè)面施加壓力，也就是對(duì)第一方向I上的兩個(gè)側(cè) 面施加壓力，使基板在第一方向I上定位。第二定位機(jī)構(gòu)370對(duì)放置在定位臺(tái)310上的基 板橫向的兩個(gè)側(cè)面施加壓力，也就是對(duì)第二方向II上的兩個(gè)側(cè)面施加壓力，使基板在第二方向Π上定位。定位臺(tái)310可以是四邊形板構(gòu)件，可以用連接在定位臺(tái)310下表面的垂直支承臺(tái) 313支承定位臺(tái)310。垂直支承臺(tái)313為板構(gòu)件，連接在定位臺(tái)310的邊緣區(qū)域上，朝向第 二方向II。垂直支承臺(tái)313的下端連接在板形的水平支承臺(tái)314上。水平支承臺(tái)314設(shè)置 在滑塊322之上，滑塊322設(shè)置在導(dǎo)向構(gòu)件324上，導(dǎo)向構(gòu)件324的長度方向朝向第二方向 II?；瑝K322由導(dǎo)向構(gòu)件324引導(dǎo)在第二方向II上滑動(dòng)。第一定位機(jī)構(gòu)330包括一對(duì)第一定位構(gòu)件331、333和一對(duì)第二定位構(gòu)件335、336。 第一定位構(gòu)件331、333的長度方向朝向第二方向II，配置成在第一方向I上相互分開。第 二定位構(gòu)件335、336的長度方向朝向第二方向II，可以配置在第一定位構(gòu)件331、333之間。 第一定位構(gòu)件331、333利用由電動(dòng)機(jī)和帶-活動(dòng)組件(O卜一 7 U — 7七> 一)構(gòu) 成的驅(qū)動(dòng)構(gòu)件340，可以向相互靠近的方向移動(dòng)。第二定位構(gòu)件335、336利用缸(圖中沒有 表示)可以向朝向第一定位構(gòu)件331、333的方向移動(dòng)。也就是說，第二定位構(gòu)件335可以 向朝向第一定位構(gòu)件331的方向移動(dòng)，第二定位構(gòu)件336可以向朝向第一定位構(gòu)件333的 方向移動(dòng)。另一方面，第二定位構(gòu)件335、336利用另外的缸(圖中沒有表示)可以在上下 方向上移動(dòng)。在向定位臺(tái)310輸送的基板是長度比較長的DMM用印刷電路板的情況下，利用第 一定位構(gòu)件331、333可以使基板在第一方向I上定位。此時(shí)，第二定位構(gòu)件335、336利用 缸(圖中沒有表示)向上側(cè)移動(dòng)，以避免與基板干擾。在向定位臺(tái)310輸送的基板是長度比較短的SO-DMM用印刷電路板的情況下，利 用第一定位構(gòu)件331、333和第二定位構(gòu)件335、336，可以使基板在第一方向I上定位。第二 定位構(gòu)件335、336利用缸(圖中沒有表示)向下側(cè)移動(dòng)。而且第一定位構(gòu)件331、333向相 互靠近的方向移動(dòng)，第二定位構(gòu)件335、336向相互遠(yuǎn)離的方向移動(dòng)。其結(jié)果，第一定位構(gòu)件 331和第二定位構(gòu)件335向相互靠近的方向移動(dòng)，對(duì)基板定位，第一定位構(gòu)件333和第二定 位構(gòu)件336向相互靠近的方向移動(dòng)，對(duì)基板定位。具有上述結(jié)構(gòu)的第一定位構(gòu)件331、333和第二定位構(gòu)件335、336沿第一方向I并 排配置多個(gè)，與在基板檢查裝置中輸送基板的第一容器M的數(shù)量相關(guān)聯(lián)。在本實(shí)施方式的 情況下，由于在裝載部100中放置兩列容器M，所以第一定位構(gòu)件331、333和第二定位構(gòu)件 335、336可以配置兩個(gè)。其中，圖15中沒有說明的附圖標(biāo)記“332”、“334”表示第一定位構(gòu) 件332、334，附圖標(biāo)記“ 337，，、“ 338，，表示第二定位構(gòu)件337、338。如圖16A所示，在第一定位構(gòu)件331、332、333、334中，與定位臺(tái)310的中央部位對(duì) 應(yīng)的第一定位構(gòu)件333、334的下面，突出形成有對(duì)基板的第一側(cè)面施加壓力的加壓突起部 333-1、334-1。如圖16B所示，在第二定位構(gòu)件335、336相互相對(duì)的面上形成有突出部335-1、 336-1，第二定位構(gòu)件335、336以突出部335-1、336-1交替的方式配置成相互鄰接。此外，在 突出部335-1、336-1的下表面形成有加壓突起部335_2、336_2，該加壓突起部335_2、336_2 對(duì)基板的第一側(cè)面施加壓力。第一定位機(jī)構(gòu)330、驅(qū)動(dòng)構(gòu)件340和缸(圖中沒有表示)可以利用直線驅(qū)動(dòng)構(gòu)件 350沿上下方向移動(dòng)。第一定位機(jī)構(gòu)330、驅(qū)動(dòng)構(gòu)件340、缸(圖中沒有表示)和直線驅(qū)動(dòng) 構(gòu)件350可以利用直線驅(qū)動(dòng)構(gòu)件360沿第二方向II移動(dòng)，直線驅(qū)動(dòng)構(gòu)件360固定設(shè)置在定
15位臺(tái)310下端部位。直線驅(qū)動(dòng)構(gòu)件350可以連接在沿第二方向II滑動(dòng)的滑塊352上，滑塊 352利用導(dǎo)向構(gòu)件354引導(dǎo)，導(dǎo)向構(gòu)件354固定設(shè)置在定位臺(tái)310下端。導(dǎo)向構(gòu)件354的長 度方向是第二方向II。如圖14和圖15所示，第二定位機(jī)構(gòu)370具有多個(gè)定位銷372、374。定位銷372、 374插入貫通定位臺(tái)310形成的孔312中，從定位臺(tái)310的另一面伸出。定位銷372、374中 的一組定位銷372與另一組定位銷374被向相反的方向驅(qū)動(dòng)。也就是說，一組定位銷372 以第二方向Π為基準(zhǔn)，向朝向定位臺(tái)310的前端部的方向驅(qū)動(dòng)，另一組定位銷374向朝向 定位臺(tái)310的后端部的方向驅(qū)動(dòng)。一組定位銷釘372連接在第一定位板371上，另一組定位銷釘374連接在第二定 位板373上。第一定位板371連接在第一滑動(dòng)機(jī)構(gòu)375a上，可以沿第二方向II向朝向定 位臺(tái)310的前端部的方向移動(dòng)，第二定位板373連接在第二滑動(dòng)機(jī)構(gòu)375b上，可以沿第二 方向Π向朝向定位臺(tái)310的后端部的方向移動(dòng)。第一滑動(dòng)機(jī)構(gòu)375a、第二滑動(dòng)機(jī)構(gòu)375b 設(shè)置在水平支承臺(tái)376上，水平支承臺(tái)376利用缸377可以沿上下方向移動(dòng)。圖17是第一檢查部的側(cè)視圖，圖18是圖17的第一基板清潔輥的放大圖。第一檢 查部400檢查基板的下表面。參照?qǐng)D2、圖17和圖18，第一檢查部400包括第一吸附臺(tái)410、第一輸送機(jī)器人(缸 420、水平驅(qū)動(dòng)構(gòu)件430)、第一照明機(jī)構(gòu)440和第一攝影機(jī)構(gòu)450。第一吸附臺(tái)410在定位 臺(tái)310的上部空間，真空吸附放置在定位臺(tái)310上的基板的上表面。第一輸送機(jī)器人使第一 吸附臺(tái)410在上下方向上和水平方向上直線移動(dòng)。缸420連接在第一吸附臺(tái)410的上表面 上，使第一吸附臺(tái)410沿上下方向移動(dòng)。缸420連接在水平驅(qū)動(dòng)構(gòu)件430上，可以沿水平方 向移動(dòng)。水平驅(qū)動(dòng)構(gòu)件430包括滑塊432，連接在缸420的上部上；以及水平支承臺(tái)434， 設(shè)置成滑塊432可以在水平支承臺(tái)434上滑動(dòng)。在滑塊432內(nèi)裝有直線電動(dòng)機(jī)(圖中沒有 表不)O第一照明機(jī)構(gòu)440和第一攝影機(jī)構(gòu)450配置在第一吸附臺(tái)410移動(dòng)的路徑下部。 第一照明機(jī)構(gòu)440包括照明機(jī)構(gòu)442，照射光，用于獲得基板上的圖案區(qū)域的圖像；照明機(jī) 構(gòu)444，照射光，用于獲得基板上的焊料掩膜區(qū)域的圖像。第一吸附臺(tái)410在水平方向上往 復(fù)移動(dòng)，使得各照明機(jī)構(gòu)可以分別獨(dú)立向基板照射光。第一攝影機(jī)構(gòu)450拍攝第一照明機(jī) 構(gòu)440的光所照射的基板的下表面，獲得圖案區(qū)域和焊料掩膜區(qū)域的圖像。在定位部300和第一照明機(jī)構(gòu)440之間配置第一基板清潔輥460，第一基板清潔 輥460用于對(duì)基板進(jìn)行清潔。第一基板清潔輥460具有上部輥462和下部輥464。上部輥 462和下部輥464配置成轉(zhuǎn)動(dòng)軸朝向第二方向II，各轉(zhuǎn)動(dòng)軸在第三方向III上排列。上部 輥462配置在下部輥464的上側(cè)。上部輥462與利用第一輸送機(jī)器人移動(dòng)的基板的下表面 接觸，清除基板下表面上的異物。下部輥464與上部輥462接觸，對(duì)上部輥462進(jìn)行清潔。 在對(duì)基板進(jìn)行清潔時(shí)，下部輥464與上部輥462接觸，在對(duì)基板進(jìn)行清潔后，下部輥464利 用缸466向下移動(dòng)，與上部輥462分開。上部輥462、下部輥464和缸466由支承框架468 支承。圖19是第二檢查部的側(cè)視圖，圖20是圖19的第二基板清潔輥的放大圖。第二檢 查部500檢查基板的上表面。參照?qǐng)D2、圖19和圖20，第二檢查部500包括第二吸附臺(tái)510、第二輸送機(jī)器人520、第二照明機(jī)構(gòu)530和第二攝影機(jī)構(gòu)540。第二吸附臺(tái)510設(shè)置在第一吸附臺(tái)410的下 部空間，接受吸附在第一吸附臺(tái)410上的基板，真空吸附基板的下表面。第二輸送機(jī)器人 520使第二吸附臺(tái)510在水平方向上直線移動(dòng)。第二輸送機(jī)器人520包括滑塊522，連接 在第二吸附臺(tái)510的下部上；以及水平支承臺(tái)524，設(shè)置成滑塊522可以在水平支承臺(tái)524 上滑動(dòng)。在滑塊522內(nèi)裝有直線電動(dòng)機(jī)(圖中沒有表示)。第二照明機(jī)構(gòu)530和第二攝影機(jī)構(gòu)540設(shè)置在第二吸附臺(tái)510移動(dòng)的路徑的上 部。第二照明機(jī)構(gòu)530包括照明機(jī)構(gòu)532，照射光，用于獲得基板上的圖案區(qū)域的圖像；以 及照明機(jī)構(gòu)534，照射光，用于獲得基板上的焊料掩膜區(qū)域的圖像。第二吸附臺(tái)510在水平 方向上往復(fù)移動(dòng)，使得各照明機(jī)構(gòu)532、534可以獨(dú)立對(duì)基板照射光。第二攝影機(jī)構(gòu)540拍 攝第二照明機(jī)構(gòu)530的光所照射的基板的上表面，獲得圖案區(qū)域和焊料掩膜區(qū)域的圖像。在第一檢查部400和第二照明機(jī)構(gòu)530之間，配置第二基板清潔輥550，該第二基 板清潔輥550用于對(duì)基板進(jìn)行清潔。第二基板清潔輥550具有上部輥554和下部輥552。 上部輥554和下部輥552配置成轉(zhuǎn)動(dòng)軸朝向第二方向II，各轉(zhuǎn)動(dòng)軸在第三方向III上排列。 上部輥554配置在下部輥552的上側(cè)。下部輥552與利用第二輸送機(jī)器人520移動(dòng)的基板 的上表面接觸，清除基板上表面的異物。上部輥554與下部輥552接觸，對(duì)下部輥552進(jìn)行 清潔。上部輥554和下部輥552由支承框架556支承。圖21是分類-裝載機(jī)器人的側(cè)視圖。分類_裝載機(jī)器人600根據(jù)第一檢查部400 和第二檢查部500的檢查結(jié)果，把檢查過的基板分類成合格品基板Sl和不合格品基板S2， 分選后裝到放置在卸載部700上的第二容器M1、M2中。參照?qǐng)D21，分類-裝載機(jī)器人600把放置在第二檢查部500的第二吸附臺(tái)510上 的基板，向放置在卸載部700的裝載口 730上的第二容器Ml、M2輸送。分類-裝載機(jī)器人 600具有第一水平支承臺(tái)612，該第一水平支承臺(tái)612沿第一方向I水平配置在第二檢查部 500和裝載口 730的上部空間中。在第一水平支承臺(tái)612上設(shè)有導(dǎo)軌，滑塊614設(shè)置在該導(dǎo) 軌上。在滑塊614上裝有直線電動(dòng)機(jī)(圖中沒有表示)，利用直線電動(dòng)機(jī)的驅(qū)動(dòng)，滑塊614 在導(dǎo)軌上沿第一方向I滑動(dòng)。在滑塊614上設(shè)置有第二水平支承臺(tái)622，該第二水平支承臺(tái)622沿第二方向II 水平配置。在第二水平支承臺(tái)622上設(shè)有導(dǎo)軌，滑塊624設(shè)置在該導(dǎo)軌上。在滑塊624上 裝有直線電動(dòng)機(jī)(圖中沒有表示)，利用直線電動(dòng)機(jī)的驅(qū)動(dòng)，滑塊624在導(dǎo)軌上沿第二方向 II滑動(dòng)。連接構(gòu)件642連接在滑塊624的下部，在連接構(gòu)件642上設(shè)置有缸644，該缸644 提供沿第三方向III，也就是沿上下方向的直線驅(qū)動(dòng)力。吸附構(gòu)件支承板632連接在缸644 上，在吸附構(gòu)件支承板632的下表面上設(shè)置有多個(gè)吸附構(gòu)件634，該吸附構(gòu)件634用于吸附基板。吸附構(gòu)件634利用第一水平支承臺(tái)612和第二水平支承臺(tái)622以及由它們支承的 滑塊614、624，在第一方向I和第二方向II上直線移動(dòng)，利用缸644在第三方向III上直線 移動(dòng)。通過這樣的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，吸附構(gòu)件634可以向第二檢查部500的第二吸附臺(tái)510和卸 載部700的裝載口 730的上部空間移動(dòng)。吸附構(gòu)件634移動(dòng)到第二檢查部500的第二吸附臺(tái)510上部后，利用缸644向下 移動(dòng)，吸附放置在第二吸附臺(tái)510上的基板。此后，吸附構(gòu)件634利用缸644向上方移動(dòng)，
17利用由第一水平支承臺(tái)612和第二水平支承臺(tái)622支承的滑塊614、624的滑動(dòng)，向卸載部 700的裝載口 730上部空間移動(dòng)。吸附構(gòu)件634移動(dòng)到裝載口 730的上部空間后，利用缸644向下方移動(dòng)，然后解除 施加在基板上的負(fù)壓，把基板收納進(jìn)放置在裝載口 730上的第二容器M1、M2中。此時(shí)，由第 一檢查部400和第二檢查部500判斷為合格品的基板Sl被收納進(jìn)第二容器Ml中，由第一 檢查部400和第二檢查部500判斷為不合格品的基板S2被收納進(jìn)第二容器M2中。圖22是圖1的卸載部的放大圖。圖23是圖22的卸載部的側(cè)視圖。參照?qǐng)D22和 圖23，卸載部700包括第二裝入口 710a、710b、710c、710d、送出輥720和裝載口 730。第二 裝入口 710a、710b、710c、710d沿第二方向II配置成兩列，在第二裝入口 710a、710b、710c、 710d上放置沒有收納基板的空的第二容器Ml、M2。送出輥720與第二裝入口 710a、710b、 710c、710d并排，沿第二方向II配置成兩列，配置成與第二裝入口 710a、710b、710c、710d隔 開規(guī)定的間隔。送出輥720配置成沿第二方向II向下傾斜。在送出輥720上放置收納有合 格品基板Sl的第二容器Ml和收納有不合格品基板S2的第二容器M2。由于第二容器Ml、 M2放置在傾斜配置的送出輥720上，所以第二容器M1、M2可以靠自重向送出輥720的端部 移動(dòng)。裝載口 730配置在第二裝入口 710a、710b、710c、710d和送出輥720之間，在裝載口 730上放置用于裝入從分類_裝載機(jī)器人600輸送來的合格品和不合格品基板的第二容器 M1、M2。另一方面，在送出輥720的與裝載口 730鄰接的位置上裝備有按壓裝置，該按壓裝 置把放置在送出輥720上的第二容器M1、M2向送出輥720的排列方向按壓。第二容器Ml、M2在第二裝入口 710a、710b、710c、710d上順序移動(dòng)后，放置在裝載 口 730上，如果完成向第二容器M1、M2裝入基板，則第二容器Ml、M2從裝載口 730向送出輥 720的上面移動(dòng)。在第二裝入口 710a、710b、710c、710d的下面配置第一卸載機(jī)器人750，在送出輥 720的下面配置第二卸載機(jī)器人760。第一卸載機(jī)器人750在第二裝入口 710a、710b、710c、 710d之間輸送第二容器M1、M2，在與裝載口 730鄰接的第二裝入口 710d和裝載口 730之間 輸送第二容器M1、M2。第二卸載機(jī)器人760把放置在裝載口 730上的第二容器M1、M2輸送 到送出輥720的上面。第一卸載機(jī)器人750具有升降板756，該升降板756具有與第二裝入口 710a、 710b、710c、710d的開口部對(duì)應(yīng)的尺寸。在升降板756的上面設(shè)置有銷構(gòu)件757，該銷構(gòu)件 757用于插入第二容器Ml、M2的第一孔27a、27b中。如果銷構(gòu)件757插入到第一孔27a、27b 中，則第二容器M1、M2就被固定在升降板756上。在升降板756的下部上連接有缸754，該 缸754用于使升降板756沿上下方向移動(dòng)，缸754被固定在滑塊752上，該滑塊752在導(dǎo)軌 740上滑動(dòng)。在滑塊752內(nèi)裝有直線電動(dòng)機(jī)(圖中沒有表示)，此外滑塊752也可以利用如 缸機(jī)構(gòu)那樣的其它種類的驅(qū)動(dòng)裝置滑動(dòng)。第一卸載機(jī)器人750把放置在第二裝入口 710d上的第二容器M1、M2向裝載口 730 輸送的工序，由于與前面說明的第一裝載機(jī)器人150的動(dòng)作工序相同，所以省略對(duì)其進(jìn)行 說明。第二卸載機(jī)器人760由于具有與第一卸載機(jī)器人750相同的結(jié)構(gòu)，所以省略對(duì)其進(jìn) 行詳細(xì)說明。下降機(jī)構(gòu)770配置在裝載口 730的下面。下降機(jī)構(gòu)770使收納于放置在裝載口 730上的第二容器Ml、M2中的基板下降。如圖2所示，下降機(jī)構(gòu)770具有下降構(gòu)件772，該下降構(gòu)件772的長度方向朝向上下方向，對(duì)準(zhǔn)在第二容器MI、M2的支承板21上形成的第二 孔28。下降構(gòu)件772利用下降驅(qū)動(dòng)構(gòu)件774在上下方向上直線移動(dòng)。下降驅(qū)動(dòng)構(gòu)件774包 括驅(qū)動(dòng)源和傳遞其動(dòng)力的帶_活動(dòng)組件。 以上的說明只不過是說明本發(fā)明技術(shù)思想的例子，本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不脫離本 發(fā)明的本質(zhì)特性的范圍內(nèi)，可以進(jìn)行多種多樣的修正和變形。因此，本發(fā)明所公開的實(shí)施方 式不限定本發(fā)明的技術(shù)思想，僅僅是用于說明的例子，不能用這樣的實(shí)施方式限定本發(fā)明 技術(shù)思想的范圍。本發(fā)明的保護(hù)范圍必須通過權(quán)利要求書來確定，與其等同范圍內(nèi)的所有 技術(shù)思想都應(yīng)該被認(rèn)為是包括在本發(fā)明的權(quán)利范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
一種基板收納容器，其特征在于包括盒，上部敞開，容納在上下方向上層疊的多塊基板；以及殼體，形成有多個(gè)槽構(gòu)件，該槽構(gòu)件垂直裝載所述盒。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板收納容器，其特征在于， 所述殼體包括支承板；以及一對(duì)第一側(cè)板，以相互相對(duì)的方式垂直設(shè)置在所述支承板的上表面上，所述槽構(gòu)件向 與所述第一側(cè)板相對(duì)的面垂直的方向突出。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板收納容器，其特征在于，所述槽構(gòu)件設(shè)置在所述第一側(cè) 板相對(duì)的面上的兩側(cè)垂直邊之間的區(qū)域上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板收納容器，其特征在于， 所述殼體還包括第二側(cè)板，相對(duì)于所述槽構(gòu)件的排列方向垂直設(shè)置，連接在所述第一側(cè)板的任意一個(gè) 所述垂直邊上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板收納容器，其特征在于， 所述殼體還包括突出部，從所述第一側(cè)板的任意一個(gè)所述垂直邊向所述槽構(gòu)件的突出方向突出。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板收納容器，其特征在于， 所述殼體還包括握持部，在所述支承板上設(shè)置成以所述第一側(cè)板為中心對(duì)稱。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板收納容器，其特征在于，在所述支承板上貫通形成有第 一孔，固定所述支承板的銷構(gòu)件能夠插入該第一孔。
8.根據(jù)權(quán)利要求2至7中任意一項(xiàng)所述的基板收納容器，其特征在于， 所述盒包括四邊形的第一板，由所述殼體的所述槽構(gòu)件支撐；第二板，從朝著所述槽構(gòu)件的長度方向的所述第一板的邊向與所述第一板垂直的方向 延伸；以及第一下墊板，從所述第二板的下端向相互相對(duì)的方向延伸，支承所述基板。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基板收納容器，其特征在于， 所述盒還包括第二下墊板，從所述第一板的下端中心部向與所述第一板垂直的方向延伸，支承所述基板。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基板收納容器，其特征在于，在與所述第一下墊板和所述第 二下墊板之間的區(qū)域?qū)?yīng)的所述支承板的位置上，形成有第二孔，使所述基板升降的升降 機(jī)構(gòu)能夠插入該第二孔。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的基板收納容器，其特征在于， 所述盒還包括側(cè)面支撐構(gòu)件，以相互相對(duì)的方式設(shè)置在所述第二板的內(nèi)表面上，支撐由所述第一下 墊板和所述第二下墊板支承的所述基板的側(cè)面。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的基板收納容器，其特征在于， 所述盒還包括隔壁，具有與所述第二板對(duì)應(yīng)的形狀，設(shè)置成在所述第一板和所述第二下墊板之間能 夠裝拆。
13.—種基板收納容器，其特征在于包括盒，以基板在上下方向上層疊的方式容納所述基板；以及 殼體，具有容納所述盒的空間，各個(gè)所述盒在所述殼體中通過滑動(dòng)的方式移動(dòng)，能夠與所述殼體分離或插入所述殼體。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的基板收納容器，其特征在于，所述殼體包括一對(duì)第一側(cè)板，該一對(duì)第一側(cè)板以相互相對(duì)的方式分開配置，在所述第 一側(cè)板上形成有長度方向朝向上下方向的槽構(gòu)件， 各個(gè)所述盒包括第一板，由所述槽構(gòu)件支撐，能夠沿所述槽構(gòu)件滑動(dòng)；以及 第二板，與所述第一板的兩端連接，所述基板收納在所述第一板和所述第二板之間形成的空間中。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的基板收納容器，其特征在于，在所述第一板和所述第二板 相互組合時(shí)，從上部看為二形。
16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的基板收納容器，其特征在于， 所述盒還包括隔壁，位于所述第二板之間，分隔所述第二板之間的空間，設(shè)置成相對(duì)于所述第一板能 夠裝拆。
17.根據(jù)權(quán)利要求14至16中任意一項(xiàng)所述的基板收納容器，其特征在于，所述盒設(shè)置 成沿與所述第一側(cè)板的配置方向垂直的第二方向排成一列。
18.一種基板檢查裝置，其特征在于包括 裝載部，放置收納基板的第一容器；檢查部，向從所述裝載部輸送來的所述基板照射光，檢查所述基板；以及卸載部，放置第二容器，該第二容器收納用所述檢查部檢查過的所述基板，所述第一容器和所述第二容器包括盒，上部敞開，容納在上下方向上層疊的多塊所述基板；以及殼體，形成有槽構(gòu)件，該槽構(gòu)件垂直裝載所述盒。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的基板檢查裝置，其特征在于， 所述殼體包括支承板；以及一對(duì)第一側(cè)板，以相互相對(duì)的方式垂直設(shè)置在所述支承板的上表面上，所述槽構(gòu)件向 與所述第一側(cè)板相對(duì)的面垂直的方向突出。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的基板檢查裝置，其特征在于，所述槽構(gòu)件設(shè)置在所述第一側(cè)板相對(duì)的面上的兩側(cè)垂直邊之間的區(qū)域上， 所述殼體還包括第二側(cè)板，相對(duì)于所述槽構(gòu)件的排列方向垂直設(shè)置，連接在所述第一側(cè)板的任意一個(gè) 所述垂直邊上；以及突出部，從所述第一側(cè)板的任意一個(gè)所述垂直邊向所述槽構(gòu)件的突出方向突出。
21.根據(jù)權(quán)利要求19所述的基板檢查裝置，其特征在于， 所述盒包括四邊形的第一板，由所述殼體的所述槽構(gòu)件支撐；第二板，從朝著所述槽構(gòu)件的長度方向的所述第一板的邊向與所述第一板垂直的方向 延伸；第一下墊板，從所述第二板的下端向相互相對(duì)的方向延伸，支承所述基板；以及 第二下墊板，從所述第一板的下端中心部向與所述第一板垂直的方向延伸，支承所述基板。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的基板檢查裝置，其特征在于， 所述盒還包括側(cè)面支撐構(gòu)件，以相互相對(duì)的方式設(shè)置在所述第二板的內(nèi)表面上，支撐由所述第一下 墊板和所述第二下墊板支承的所述基板的側(cè)面。
23.根據(jù)權(quán)利要求21所述的基板檢查裝置，其特征在于， 所述盒還包括隔壁，具有與所述第二板對(duì)應(yīng)的形狀，在所述第一板和所述第二下墊板之間能夠裝拆。
24.根據(jù)權(quán)利要求19所述的基板檢查裝置，其特征在于，在所述支承板上貫通形成有 第一孔，固定所述支承板的銷構(gòu)件能夠插入該第一孔。
25.根據(jù)權(quán)利要求24所述的基板檢查裝置，其特征在于，在與所述第一下墊板和所述 第二下墊板之間的區(qū)域?qū)?yīng)的所述支承板的位置上，形成有第二孔，使所述基板升降的升 降機(jī)構(gòu)能夠插入該第二孔。
26.根據(jù)權(quán)利要求19所述的基板檢查裝置，其特征在于， 所述裝載部包括多個(gè)第一裝入口，配置成一列，放置收納有要被檢查的所述基板的所述第一容器； 多個(gè)第一取出口，放置空的所述第一容器，配置成與所述第一裝入口并排成一列； 工序口，配置在所述第一裝入口和所述第一取出口之間，放置收納有被向所述檢查部 輸送的所述基板的所述第一容器；以及裝載機(jī)器人，在所述第一裝入口之間輸送所述第一容器，在所述工序口和與所述工序 口鄰接的所述第一裝入口及所述第一取出口之間輸送所述第一容器，在所述第一取出口之 間輸送所述第一容器。
27.根據(jù)權(quán)利要求26所述的基板檢查裝置，其特征在于，所述裝載部還包括升降機(jī)構(gòu)，配置在所述工序口的下面，使收納于放置在所述工序口 上的所述第一容器中的所述基板升降； 所述升降機(jī)構(gòu)包括升降構(gòu)件，該升降構(gòu)件的長度方向朝向上下方向，對(duì)準(zhǔn)在所述第一容器的所述支承板 上貫通形成的孔；以及升降驅(qū)動(dòng)構(gòu)件，使所述升降構(gòu)件在上下方向上直線移動(dòng)。
28.根據(jù)權(quán)利要求19所述的基板檢查裝置，其特征在于還包括定位部，配置在所述裝載部和所述檢查部之間，使所述基板定位；以及 基板輸送機(jī)器人，把所述基板從所述裝載部向所述定位部輸送， 所述定位部包括定位臺(tái)，放置由所述基板輸送機(jī)器人輸送的所述基板；第一定位機(jī)構(gòu)，對(duì)放置在所述定位臺(tái)上的所述基板的朝向第一方向的第一側(cè)面施加壓 力，使所述基板定位；以及第二定位機(jī)構(gòu)，對(duì)放置在所述定位臺(tái)上的所述基板的朝向與所述第一方向垂直的第二 方向的第二側(cè)面施加壓力，使所述基板定位。
29.根據(jù)權(quán)利要求28所述的基板檢查裝置，其特征在于， 所述第一定位機(jī)構(gòu)包括一對(duì)第一定位構(gòu)件，該一對(duì)第一定位構(gòu)件的長度方向朝向所述第二方向，在所述第一 方向上分開，并能夠向相互靠近的方向移動(dòng)。
30.根據(jù)權(quán)利要求29所述的基板檢查裝置，其特征在于， 所述第一定位機(jī)構(gòu)還包括一對(duì)第二定位構(gòu)件，該一對(duì)第二定位構(gòu)件的長度方向朝向所述第二方向，位于所述第 一定位構(gòu)件之間，并能夠朝向所述第一定位構(gòu)件，向相互遠(yuǎn)離的方向移動(dòng)。
31.根據(jù)權(quán)利要求30所述的基板檢查裝置，其特征在于，在所述第二定位構(gòu)件相互相 對(duì)的面上形成有突出部，所述第二定位構(gòu)件以所述突出部交替的方式配置成相互鄰接。
32.根據(jù)權(quán)利要求31所述的基板檢查裝置，其特征在于，在所述突出部的下表面上，形 成有加壓突起部，該加壓突起部對(duì)所述基板的所述第一側(cè)面施加壓力。
33.根據(jù)權(quán)利要求30至32中任意一項(xiàng)所述的基板檢查裝置，其特征在于，所述第一定 位構(gòu)件和所述第二定位構(gòu)件沿所述第一方向排列配置多個(gè)。
34.根據(jù)權(quán)利要求33所述的基板檢查裝置，其特征在于，所述檢查部包括第一檢查部，檢查所述基板的下表面；以及第二檢查部，檢查所述基 板的上表面，所述第一檢查部和所述第二檢查部并排配置成一列。
35.根據(jù)權(quán)利要求34所述的基板檢查裝置，其特征在于， 所述第一檢查部包括第一吸附臺(tái)，真空吸附放置在所述定位臺(tái)上的所述基板的上表面； 第一輸送機(jī)器人，使所述第一吸附臺(tái)直線移動(dòng)；第一照明機(jī)構(gòu)，配置在所述第一吸附臺(tái)的下面，向通過所述第一輸送機(jī)器人移動(dòng)的所 述基板的下表面照射光；以及第一攝影機(jī)構(gòu)，拍攝所述第一照明機(jī)構(gòu)的光所照射的所述基板的下表面。
36.根據(jù)權(quán)利要求35所述的基板檢查裝置，其特征在于， 所述第一檢查部還包括第一基板清潔輥，配置在所述定位部和所述第一照明機(jī)構(gòu)之間，與通過所述第一輸送 機(jī)器人移動(dòng)的所述基板的下表面接觸，清除所述基板下表面的異物。
37.根據(jù)權(quán)利要求34所述的基板檢查裝置，其特征在于，所述第二檢查部包括第二吸附臺(tái)，位于所述第一吸附臺(tái)的下面，接受輸送來的吸附在所述第一吸附臺(tái)上的 所述基板，真空吸附所述基板的下表面；第二輸送機(jī)器人，使所述第二吸附臺(tái)直線移動(dòng)；第二照明機(jī)構(gòu)，配置在所述第二吸附臺(tái)的上部，向通過所述第二輸送機(jī)器人移動(dòng)的所 述基板的上表面照射光；以及第二攝影機(jī)構(gòu)，拍攝所述第二照明機(jī)構(gòu)的光所照射的所述基板的上表面。
38.根據(jù)權(quán)利要求37所述的基板檢查裝置，其特征在于， 所述第二檢查部還包括第二基板清潔輥，配置在所述第一檢查部和所述第二照明機(jī)構(gòu)之間，與通過所述第二 輸送機(jī)器人移動(dòng)的所述基板的上表面接觸，清除所述基板上表面的異物。
39.根據(jù)權(quán)利要求19所述的基板檢查裝置，其特征在于還包括分類一裝載機(jī)器人，根 據(jù)所述第一檢查部和所述第二檢查部的檢查結(jié)果，把所述基板分成合格品和不合格品，分 選裝入放置在所述卸載部的所述第二容器中。
40.根據(jù)權(quán)利要求39所述的基板檢查裝置，其特征在于， 所述卸載部包括多個(gè)第二裝入口，配置成一列，放置空的所述第二容器； 多個(gè)送出輥，與所述第二裝入口并排配置成一列；裝載口，配置在所述第二裝入口和所述送出輥之間，放置收納由所述分類-裝載機(jī)器 人輸送的所述基板的所述第二容器；第一卸載機(jī)器人，在所述第二裝入口之間輸送所述第二容器，在所述裝載口和與所述 裝載口鄰接的所述第二裝入口之間輸送所述第二容器；以及第二卸載機(jī)器人，把放置在所述裝載口上的所述第二容器輸送到所述送出輥上。
41.根據(jù)權(quán)利要求40所述的基板檢查裝置，其特征在于，所述多個(gè)送出輥配置成沿排 列方向朝下傾斜。
42.根據(jù)權(quán)利要求40所述的基板檢查裝置，其特征在于，所述卸載部還包括下降機(jī)構(gòu)，該下降機(jī)構(gòu)配置在所述裝載口的下面，使收納于放置在 所述裝載口上的所述第二容器中的所述基板下降， 所述下降機(jī)構(gòu)包括下降構(gòu)件，該下降構(gòu)件的長度方向朝向上下方向，對(duì)準(zhǔn)在所述第二容器的所述支承板 上貫通形成的孔；以及下降驅(qū)動(dòng)構(gòu)件，使所述下降構(gòu)件在上下方向上直線移動(dòng)。
全文摘要
本發(fā)明提供一種基板收納容器和具有其的基板檢查裝置。所述基板收納容器和具有其的基板檢查裝置能夠提高基板檢查工序的生產(chǎn)率。本發(fā)明的基板收納容器(M)和具有其的基板檢查裝置，將收納在上下方向上層疊的多塊基板(S)的盒垂直裝入殼體，分別具有與檢查對(duì)象基板的尺寸一致的盒。
文檔編號(hào)H05K13/02GK101948031SQ20101020722
公開日2011年1月19日 申請(qǐng)日期2010年6月22日 優(yōu)先權(quán)日2009年7月9日
發(fā)明者任炳鉉, 崔鉉鎬 申請(qǐng)人:Aju高技術(shù)公司