專利名稱：拉制平肩鍺紅外單晶的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種拉制平肩鍺紅外單晶的方法。
背景技術(shù)：
由于鍺紅外單晶的直徑要求越來越大，按傳統(tǒng)工藝生產(chǎn)的鍺紅外單晶，放肩過程 占料越來越多，受當(dāng)時的設(shè)備及熱系統(tǒng)的限制，很難在原系統(tǒng)中拉制長度和直徑都能滿足 的單晶，直徑150匪左右的單晶按傳統(tǒng)放肩工藝生產(chǎn)僅放肩需耗鍺10KG左右，而整個系統(tǒng) 只能裝料25KG左右，這樣直徑150MM的單晶，等徑長度最長也不足10CM 了 。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷，本專利尋求了放平肩工藝來生產(chǎn)鍺紅外單晶， 以實現(xiàn)同樣系統(tǒng)，拉制出盡量長的單晶。本發(fā)明采用如下技術(shù)方案
—種拉制平肩鍺紅外單晶的方法，其特征在于 采用堝轉(zhuǎn)、晶轉(zhuǎn)，不提拉，熱量隨籽晶桿帶走，待液面出現(xiàn)需要控制的鍺單晶直徑 時，啟動提拉按鈕開始提拉，根據(jù)鍺單晶直徑不同，提拉速度控制在10 50mm/h。
上述的拉制平肩鍺紅外單晶的方法，工藝要點在于 配備適當(dāng)?shù)谋叵到y(tǒng)，保證有足夠的徑向溫度梯度，利于鍺單晶放肩過程的正常 生產(chǎn)； 放肩時，將晶升停止； 轉(zhuǎn)肩前先升溫，確保鍺單晶肩邊緣溫度夠高再調(diào)晶升速率至正常拉晶值。
本發(fā)明創(chuàng)造的有益效果 1、節(jié)約原料，降低原料消耗； 2、放肩較快，節(jié)省拉晶時間，降低電力消耗； 3、擴大有限的鍺紅外單晶的熱系統(tǒng)的生產(chǎn)能力，提高了生產(chǎn)效率。
具體實施例方式
以下通過具體實施例對本發(fā)明技術(shù)方案做進一步的說明。
拉制平肩鍺紅外單晶工藝的依據(jù) 根據(jù)鍺單晶生產(chǎn)的最基本條件要有一個平坦的生長界面。為實現(xiàn)這基本條件，熱 系統(tǒng)應(yīng)滿足1、軸向溫度梯度要足夠大；2、徑向溫度梯度要足夠小。 在傳統(tǒng)生產(chǎn)工藝中，徑向和軸向溫度梯度分別要求越小越好和越大越好，當(dāng)然也 是相對的小和大，否則徑向太小，小到整個液面都是結(jié)晶點或都如堝邊溫度就無法引晶了 。 軸向溫度梯度太大，達到一頭結(jié)晶一頭高溫液態(tài)也顯然不行。 根據(jù)鍺單晶生長的特定條件，既要保證有徑向溫度梯度，利于晶種下到液面有結(jié) 晶點，還能降溫，保證晶體正常放肩。為使放肩過程不占料，采用停止拉速，降低堝位，一方 面確保徑向溫度梯度盡量夠大，堝邊溫度始終比中間溫度高，使得放平肩正常進行，不至于堝邊結(jié)晶。經(jīng)過反復(fù)試驗發(fā)現(xiàn)，保溫太強，會導(dǎo)致結(jié)晶潛熱難以散發(fā)而引起變晶，后采取減小保溫蓋或用較薄保溫蓋，解決了此變晶問題。
拉制鍺紅外單晶的要點 1、配備適當(dāng)?shù)谋叵到y(tǒng)，保證有足夠的徑向溫度梯度，利于鍺單晶放肩過程的正常生產(chǎn)； 2、放肩時，將晶升停止； 3、轉(zhuǎn)肩前先升溫，確保鍺單晶肩邊緣溫度夠高在調(diào)晶升速率至正常拉晶值，否則因單晶在提拉過程中由鍺單晶體帶走的熱量一下子太多，導(dǎo)致鍺單晶邊緣溫度過冷，形成新晶核，引起鍺單晶轉(zhuǎn)肩時變晶。 雖然本發(fā)明已以較佳實施例公開如上，但它們并不是用來限定本發(fā)明，任何熟悉
此技藝者，在不脫離本發(fā)明之精神和范圍內(nèi)，自當(dāng)可作各種變化或潤飾，因此本發(fā)明的保護范圍應(yīng)當(dāng)以本申請的權(quán)利要求保護范圍所界定的為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
一種拉制平肩鍺紅外單晶的方法，其特征在于采用堝轉(zhuǎn)、晶轉(zhuǎn)，不提拉，熱量隨籽晶桿帶走，待液面出現(xiàn)需要控制的鍺單晶直徑時，啟動提拉按鈕開始提拉，根據(jù)鍺單晶直徑不同，提拉速度控制在10～50mm/h。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的拉制平肩鍺紅外單晶的方法，其特征在于配備適當(dāng)?shù)谋叵到y(tǒng)，保證有足夠的徑向溫度梯度，利于鍺單晶放肩過程的正常生產(chǎn)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的拉制平肩鍺紅外單晶的方法，其特征在于放肩時，將晶升停止。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的拉制平肩鍺紅外單晶的方法，其特征在于轉(zhuǎn)肩前先升溫，確保鍺單晶肩邊緣溫度夠高再調(diào)晶升速率至正常拉晶值。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種拉制平肩鍺紅外單晶的方法，其特征在于采用堝轉(zhuǎn)、晶轉(zhuǎn)，不提拉，熱量隨籽晶桿帶走，待液面出現(xiàn)需要控制的鍺單晶直徑時，啟動提拉按鈕開始提拉，根據(jù)鍺單晶直徑不同，提拉速度控制在10～50mm/h。其工藝要點在于配備適當(dāng)?shù)谋叵到y(tǒng)，保證有足夠的徑向溫度梯度，利于鍺單晶放肩過程的正常生產(chǎn)；放肩時，將晶升停止；轉(zhuǎn)肩前先升溫，確保鍺單晶肩邊緣溫度夠高再調(diào)晶升速率至正常拉晶值。
文檔編號C30B15/00GK101705517SQ200910233349
公開日2010年5月12日 申請日期2009年10月20日 優(yōu)先權(quán)日2009年10月20日
發(fā)明者薛玲玲 申請人:南京中鍺科技股份有限公司