專利名稱：光源裝置的點(diǎn)燈控制方法以及光源裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是關(guān)于放射紫外線等光的光源裝置的點(diǎn)燈控制方法及光源裝置，尤其是關(guān)于可對應(yīng)于光源的光輸出的隨著時(shí)間經(jīng)過而變化，對供給至光源的電力進(jìn)行控制，此外，可利用被設(shè)置在光源的IC標(biāo)簽所存儲的數(shù)據(jù)，來校正由用于檢測光源照度的檢測單元輸出的數(shù)據(jù)的光源裝置的點(diǎn)燈控制方法及光源裝置。
背景技術(shù)：
uv/o3洗凈法是作為將紫外線與屬于活性氧種的臭氧(03)加以組合的洗凈方法而廣泛使用，其目的是例如通過在LCD用基板或半導(dǎo)體基板表面照射紫外線，將附著在該等基板表面的有機(jī)化合物等分子鍵結(jié)切斷，從而去除附著在基板表面的有機(jī)化合物等雜質(zhì)。
近年來，以如上所述的UV/03洗凈法中所使用的光源，是使用由將例如氙氣等作為發(fā)光物質(zhì)而射出波長172nm的真空紫外線的洗凈能力佳的準(zhǔn)分子燈，來取代自以往以來所使用的射出波長185nm及254nm的紫外線的低壓水銀燈。如上所示的準(zhǔn)分子燈是被公開于例如專利文獻(xiàn)1等。
在使用如上所示的準(zhǔn)分子燈的光源裝置中，為了進(jìn)行可靠性高的紫外光照射處理，必須確認(rèn)準(zhǔn)分子燈的點(diǎn)燈狀態(tài)。但是，由于主要所放射的光為真空紫外光，因此該準(zhǔn)分子燈的點(diǎn)燈狀態(tài)并無法以目測來確認(rèn)。因此，
用于確認(rèn)準(zhǔn)分子燈的點(diǎn)燈狀態(tài)及在點(diǎn)燈時(shí)由準(zhǔn)分子燈所射出的光輸出的各種手法被提出。
作為確認(rèn)準(zhǔn)分子燈的點(diǎn)燈狀態(tài)的手法，已知一種手法例如專利文獻(xiàn)1所示，其利用真空紫外光感測器來檢測由準(zhǔn)分子燈所放射的真空紫外光。
例如圖ll所示，由該檢測真空紫外光的手法來確認(rèn)準(zhǔn)分子燈的點(diǎn)燈狀態(tài)的準(zhǔn)分子燈裝置具有被裝設(shè)在構(gòu)成外殼80中的頂棚面的冷卻塊81的狀態(tài)下的4個(gè)準(zhǔn)分子燈90，在該冷卻塊81是 各準(zhǔn)分子燈90的正上方區(qū)域形成有屬于貫穿孔的光導(dǎo)入孔81A，在該光導(dǎo)入孔81A的一端側(cè)設(shè)有真空紫外光感測器89。圖中，83是用于將由準(zhǔn)分子燈90所放射的光照射在被處理體的光取出窗部。
但是，檢測真空紫外光的光感測器由于對真空紫外光的靈敏度會隨著時(shí)間經(jīng)過而降低，因此可知隨著使用時(shí)間加長，無法獲得由作為檢測對象的準(zhǔn)分子燈射出的真空紫外光的正確照度數(shù)據(jù)。
例如，若總計(jì)使用6000小時(shí)用于檢測真空紫外光的光感測器時(shí)，該光感測器的檢測量會降低約10%。因此，當(dāng)根據(jù)由光感測器所被輸出的真空紫外光的照度數(shù)據(jù)，來調(diào)整供給至準(zhǔn)分子燈的電力時(shí)，會被判斷出由準(zhǔn)分子燈射出的真空紫外光照度會較低，由于對準(zhǔn)分子燈供給過量的電力，因此會有準(zhǔn)分子燈壽命變短的可能。
另一方面，準(zhǔn)分子燈是當(dāng)在例如總計(jì)點(diǎn)燈3000小時(shí)的情形下，隨著構(gòu)成發(fā)光管的石英玻璃等的劣化，所射出的真空紫外光的照度會比初始點(diǎn)燈時(shí)降低約70%。因此，必須定期替換成新品。
其中，由于檢測真空紫外光的光感測器較為昂貴，因此并不能頻繁地替換成新品，并無法實(shí)際上與準(zhǔn)分子燈同時(shí)作替換。
此外，燈一般難以由其外觀來判斷是否已屆使用壽命末期，尤其準(zhǔn)分子燈是隨著構(gòu)成發(fā)光管的石英玻璃等的劣化而使射出的真空紫外光的照度降低，因此難以由外觀來判斷是否已屆使用壽命。
因此，在各個(gè)燈設(shè)置IC標(biāo)簽，使燈的總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間信息存儲在該IC標(biāo)簽，以管理總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間的裝置已被提出(例如參照專利文獻(xiàn)2)。
圖12是顯示裝載有設(shè)有IC標(biāo)簽的燈的紫外線照射裝置的剖面圖。該圖是以與燈的管軸呈平行的平面所切的剖面圖。其中，在該圖中是顯示使用準(zhǔn)分子燈作為燈的情形。
如該圖所示，紫外線照射裝置具有使惰性氣體在內(nèi)部循環(huán)的金屬制框體101。在框體101內(nèi)部配置有以管軸呈平行的方式并列配置的多支準(zhǔn)分子燈100。沿著準(zhǔn)分子燈100，與各準(zhǔn)分子燈1相對應(yīng)設(shè)有將由準(zhǔn)分子燈所放射的紫外線朝向被處理物方向反射的導(dǎo)水筒狀反射鏡102。設(shè)有反射鏡102的各準(zhǔn)分子燈100是被固定在例如水冷管在內(nèi)部循環(huán)的鋁制冷卻塊103。
準(zhǔn)分子燈100是在使真空紫外光透過的由介電質(zhì)材料所構(gòu)成的發(fā)光管100a的兩端，分別形成埋設(shè)有金屬箔100e的密封部100f，在發(fā)光管100a的內(nèi)部，線圈狀的內(nèi)部電極100b被配置在發(fā)光管100a的管軸上，內(nèi)部電極100b的周圍由絕緣體100d進(jìn)行覆蓋。此外，在發(fā)光管100a的外表面配置有網(wǎng)狀的外部電極100c。
在各金屬箔100e連接有朝發(fā)光管100a外方突出的外部引線100g，在外部引線100g連接有高壓供電纜線120c，且在其端部設(shè)有高壓供電端子120。
在框體101安裝有樹脂制的連接器110，在該連接器110內(nèi)設(shè)有天線140。此外，在高壓供電纜線120c的端部安裝有高壓供電端子120，在高壓供電端子120的絕緣保持具內(nèi)設(shè)有IC標(biāo)簽130。
通過在上述連接器110插入高壓供電端子120的插頭，使內(nèi)部電極100b與高頻點(diǎn)燈電源呈導(dǎo)通。關(guān)于外部電極100c雖未圖示，但是同樣地與高頻點(diǎn)燈電源導(dǎo)通。
圖13是顯示用于使上述具備有IC標(biāo)簽的準(zhǔn)分子燈點(diǎn)燈的控制系統(tǒng)的構(gòu)成例的概念圖。
與準(zhǔn)分子燈1的電極相連接的高壓供電纜線的高壓供電端子120是通過所述的連接器110而與高頻點(diǎn)燈電源200相連接，由高頻點(diǎn)燈電源200供給高壓，高頻電壓，從而使準(zhǔn)分子燈100點(diǎn)燈。
如前所述在連接器110設(shè)有天線140，天線140是與用于對IC標(biāo)簽寫入數(shù)據(jù)、或讀出數(shù)據(jù)的讀取/寫入器230相連接。CPU210是對上述讀取/寫入器230進(jìn)行控制，對IC標(biāo)簽寫入數(shù)據(jù)、或由IC標(biāo)簽讀取數(shù)據(jù)，并且對上述高頻點(diǎn)燈電源200進(jìn)行控制，以控制燈100的點(diǎn)燈。
在圖13中，點(diǎn)燈控制是如下所示來進(jìn)行。
在準(zhǔn)分子燈100點(diǎn)燈開始前，通過天線140由讀取/寫入器230讀出被存儲在IC標(biāo)簽130的前次使用時(shí)為止的總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間信息，使該信息存儲在與CPU210相連接的存儲器220。
在IC標(biāo)簽130也存儲有在各個(gè)準(zhǔn)分子燈100固有的使用壽命時(shí)間信息，CPU210是調(diào)查由IC標(biāo)簽130讀出的總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間是否在使用壽命時(shí)間以下，若總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間在使用壽命時(shí)間以下時(shí)，由CPU210對高頻點(diǎn)燈電源200發(fā)送點(diǎn)燈信號。由此，高頻點(diǎn)燈電源200是對準(zhǔn)分子燈IOO供給高壓高頻電壓，而使準(zhǔn)分子燈100點(diǎn)燈。
準(zhǔn)分子燈100點(diǎn)燈中，是隨時(shí)將最新的點(diǎn)燈時(shí)間信息合計(jì)在被存儲在 存儲器220的總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間。
接著，若總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間到達(dá)使用壽命時(shí)間，CPU210是對高頻點(diǎn)燈電源 200傳送點(diǎn)燈停止信號，而將準(zhǔn)分子燈100滅燈。
此外，在總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間到達(dá)使用壽命時(shí)間的前，若使準(zhǔn)分子燈滅燈， 在準(zhǔn)分子燈滅燈后，即在被存儲在存儲器220的總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間合計(jì)最新點(diǎn) 燈時(shí)間，通過讀取/寫入器230，使最新總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間通過天線而存儲在IC 標(biāo)簽130。
通過以上控制，針對各個(gè)準(zhǔn)分子燈，可有效管理準(zhǔn)分子燈累計(jì)點(diǎn)燈時(shí) 間信息。
(專利文獻(xiàn)1)日本專利特許第2789557號說明書 (專利文獻(xiàn)2)日本特開2007-123069公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
如前所述，準(zhǔn)分子燈是在例如總計(jì)點(diǎn)燈3000小時(shí)時(shí)，所射出的真空紫 外光的照度會比初始點(diǎn)燈時(shí)降低約70%。
另一方面，作為確認(rèn)準(zhǔn)分子燈的點(diǎn)燈狀態(tài)的手法，如前所述，已知一 種利用光感測器來檢測真空紫外光的手法，但是該類光感測器的靈敏度會 隨著時(shí)間經(jīng)過而降低。因此，隨著使用時(shí)間變長，無法獲得由燈射出的光 的正確照度數(shù)據(jù)，即使根據(jù)由光感測器所被輸出的照度數(shù)據(jù)來調(diào)整供給至 燈的電力，也無法將照度維持在一定狀態(tài)。
艮P，如使采用了用于檢測真空紫外光的光感測器的準(zhǔn)分子燈點(diǎn)燈的光 源裝置等，在具備檢測靈敏度隨著時(shí)間經(jīng)過而劣化的光感測器，通過該光 感測器來檢測照度會伴隨著時(shí)間而降低的燈的光，以控制照度的光源裝置 中，除了光感測器的檢測靈敏度劣化以外，燈的照度會隨著時(shí)間經(jīng)過而降 低，因此以歷經(jīng)長時(shí)間而精度佳地成為所希望的值的方式控制由燈所射出 的光的照度是極為困難。
此外，如上所述，在使用靈敏度會隨著時(shí)間經(jīng)過而降低的光感測器時(shí)， 在將光感測器安裝在光源裝置的情況下直接可自動(dòng)校正光感測器的檢測靈敏度為宜，但是具備有如上所示的功能的光源裝置尚未為人所知。
本發(fā)明是鑒于上述情形而完成，本發(fā)明的目的在于在使用光照度會伴 隨著時(shí)間而降低的燈，且用于確認(rèn)燈的點(diǎn)燈狀態(tài)的光感測器的靈敏度會隨 著時(shí)間經(jīng)過而劣化的光源裝置中，可精度佳地控制由燈所射出的光的照度 且將照度保持為一定，此外，可在將光感測器安裝在光源裝置的情況下直 接自動(dòng)校正靈敏度已劣化的光感測器的檢測靈敏度。 在本發(fā)明中，如下所示解決所述課題。
A. 由燈所射出的光的穩(wěn)定化控制
本發(fā)明是以由燈所射出的光的照度與目標(biāo)值相一致的方式進(jìn)行控制， 而將照度維持為一定。
準(zhǔn)分子燈的所射出的光的照度因各種要因而隨著時(shí)間經(jīng)過而降低。如 上所示，為了將照度隨著時(shí)間經(jīng)過而降低的燈的照度維持為一定，當(dāng)照度 相對于目標(biāo)照度降低至規(guī)定比例以下時(shí)，必須以增加供給至燈的電力的方 式進(jìn)行控制。
以如上所示的對供給至燈的電力進(jìn)行控制的手段而言，在本發(fā)明中， 是使用被安裝在燈的IC標(biāo)簽，根據(jù)被記錄在IC標(biāo)簽的該燈的總計(jì)點(diǎn)燈時(shí) 間，對供給至燈的電力進(jìn)行控制。
艮口，在本發(fā)明中，通過檢測單元，進(jìn)行檢測照度降低是否已超過一定 比例，并且當(dāng)照度降低已超過一定比例時(shí)，即對供給至燈的電力進(jìn)行修正 (增加)。
該電力的補(bǔ)正是使用例如將燈的總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間與修正電力數(shù)據(jù)的關(guān)系 加以規(guī)定的修正表等。接著，求出與總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間相對應(yīng)的修正電力，對 供給至燈的電力進(jìn)行控制。
艮P，通過使用IC標(biāo)簽，可記錄燈的總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間，且可根據(jù)被記錄在 IC標(biāo)簽的總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間，來取得修正電力的數(shù)據(jù)。
B. 光感測器的修正
在本發(fā)明中，因裝配在光源裝置的光感測器的劣化，為了與光的感測 靈敏度的降低相對應(yīng)，對由裝配在裝置的真空紫外光感測器所被輸出的照 度數(shù)據(jù)進(jìn)行校正。
該校正是使用由有別于被設(shè)在光源裝置的光感測器的其他新品的光感測器所測定出的值來進(jìn)行。
例如使用被設(shè)在工廠等的新品的感測器，通過該新品的感測器，求出 每個(gè)燈的光的正確照度數(shù)據(jù)，且寫入至被設(shè)在各燈的IC標(biāo)簽。
接著，例如在燈替換時(shí)，將該照度與由被裝配在準(zhǔn)分子燈裝置的感測 器所被輸出的照度數(shù)據(jù)作對比，以后者的值與前者的值相一致的方式來對 后者的值作上方修正。
根據(jù)以上所述，在本發(fā)明中，如以下解決所述課題。
(1) 在被設(shè)在光源的IC標(biāo)簽至少記錄固有照度數(shù)據(jù)及該光源的總計(jì)
點(diǎn)燈時(shí)間，上述固有照度數(shù)據(jù)與當(dāng)使光源以規(guī)定的基準(zhǔn)電力點(diǎn)燈時(shí)由該光 源射出的光的照度相關(guān)。
光源裝置具有來自上述IC標(biāo)簽的信息的讀取/寫入單元；對由光源 所射出的光的照度檢測的檢測單元；及控制光源的點(diǎn)燈的控制部的光源裝 置，光源裝置的控制部是根據(jù)由所述光源的IC標(biāo)簽所讀出的固有照度數(shù)據(jù) 及所被設(shè)定的目標(biāo)照度數(shù)據(jù)，求出為了獲得該目標(biāo)照度數(shù)據(jù)所需的目標(biāo)電 力數(shù)據(jù)，使所述光源根據(jù)目標(biāo)電力數(shù)據(jù)而進(jìn)行點(diǎn)燈，利用所述檢測單元來 檢測該時(shí)間點(diǎn)中由該光源所射出的光的照度，將所檢測到的照度作為基準(zhǔn) 照度數(shù)據(jù)加以記錄。
接著，通過所述檢測單元檢測根據(jù)上述目標(biāo)電力數(shù)據(jù)而使該光源繼續(xù) 點(diǎn)燈時(shí)的光源的照度，判定由該檢測單元所被檢測的所述光源的照度數(shù)據(jù) 相對于所述所被記錄的基準(zhǔn)照度數(shù)據(jù)是否已降低至規(guī)定比例以下。當(dāng)光源 的照度數(shù)據(jù)相對于所述所被記錄的基準(zhǔn)照度數(shù)據(jù)已降低至規(guī)定比例以下 時(shí)，根據(jù)由所述IC標(biāo)簽所讀出的光源的總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間，求出該光源的總計(jì) 點(diǎn)燈時(shí)間所對應(yīng)的修正電力數(shù)據(jù)，根據(jù)該修正電力數(shù)據(jù)來對所述目標(biāo)電力 數(shù)據(jù)進(jìn)行修正，將所修正的目標(biāo)電力數(shù)據(jù)供給至光源。
(2) 在上述(1)中，目標(biāo)電力數(shù)據(jù)被修正，且根據(jù)所修正的目標(biāo)電 力數(shù)據(jù)來使光源點(diǎn)燈時(shí)，將在所述檢測單元所測定的由該光源所射出的光 的照度作為新的基準(zhǔn)照度數(shù)據(jù)加以記錄，判定由所述檢測單元檢測的所述 光源的照度數(shù)據(jù)相對于上述新的基準(zhǔn)照度數(shù)據(jù)是否已降低至規(guī)定比例以 下。
(3) 在上述(1) (2)中，在上述IC標(biāo)簽記錄由校正完畢的檢測單元來測定并記錄當(dāng)以所述規(guī)定的基準(zhǔn)電力點(diǎn)燈時(shí)的由該光源所射出的光的照
度，作為由設(shè)有該IC標(biāo)簽的光源射出的光的照度相關(guān)的固有照度數(shù)據(jù)。
接著，上述光源裝置的控制部是當(dāng)在光源裝置被安裝有新的光源時(shí)， 使該光源以上述基準(zhǔn)電力點(diǎn)燈，通過被設(shè)置在該光源裝置的檢測單元，測 定由該光源所射出的光的照度。
接著，根據(jù)由被設(shè)置在光源裝置的檢測單元所測定的照度數(shù)據(jù)、及由
所述IC標(biāo)簽所讀出的固有照度數(shù)據(jù)，求出用于校正被設(shè)在上述光源裝置的
檢測單元的測定值的校正參數(shù)，根據(jù)該校正參數(shù)，對檢測單元的輸出進(jìn)行 修正。
(4) 在被設(shè)在光源的IC標(biāo)簽至少記錄固有照度數(shù)據(jù)及該光源的總計(jì) 點(diǎn)燈時(shí)間，上述固有照度數(shù)據(jù)與當(dāng)使光源以規(guī)定的基準(zhǔn)電力點(diǎn)燈時(shí)由該光 源射出的光的照度相關(guān)。
光源裝置具有來自IC標(biāo)簽的信息的讀取/寫入單元對由光源所射 出的光的照度進(jìn)行檢測的檢測單元；及控制光源的點(diǎn)燈的控制部，該控制 部具有目標(biāo)電力數(shù)據(jù)計(jì)算單元，根據(jù)由所述光源的IC標(biāo)簽所讀出的固有 照度數(shù)據(jù)、及所被設(shè)定的目標(biāo)照度數(shù)據(jù)，求出為了獲得該目標(biāo)照度數(shù)據(jù)所 需的目標(biāo)電力數(shù)據(jù)；基準(zhǔn)照度數(shù)據(jù)取得單元，使所述光源根據(jù)上述目標(biāo)電 力數(shù)據(jù)而進(jìn)行點(diǎn)燈，使在該時(shí)間點(diǎn)中利用所述檢測單元所檢測的由該光源 所射出的光的照度數(shù)據(jù)作為基準(zhǔn)照度數(shù)據(jù)而記錄在存儲部；修正單元，判 定根據(jù)上述目標(biāo)電力數(shù)據(jù)而使該光源繼續(xù)點(diǎn)燈時(shí)由所述檢測單元檢測的光 源的照度，相對于所述基準(zhǔn)照度數(shù)據(jù)是否已降低至規(guī)定比例以下，當(dāng)判定 出光源的照度數(shù)據(jù)相對于所述所被記錄的基準(zhǔn)照度數(shù)據(jù)已降低至規(guī)定比例 以下時(shí)，求出根據(jù)由所述IC標(biāo)簽讀出的光源的總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間所求出的該光 源的總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間所對應(yīng)的修正電力數(shù)據(jù)，且根據(jù)該修正電力數(shù)據(jù)來對所 述目標(biāo)電力數(shù)據(jù)進(jìn)行修正；及點(diǎn)燈控制單元，以上述目標(biāo)電力供給至光源 的方式進(jìn)行控制。
(5) 在上述(4)中，在上述IC標(biāo)簽記錄有由校正完畢的檢測單元來 測定出當(dāng)以所述規(guī)定的基準(zhǔn)電力點(diǎn)燈時(shí)的由該光源所射出的光的照度的 值，作為由設(shè)有該IC標(biāo)簽的光源所射出的光的照度相關(guān)的固有照度數(shù)據(jù)。
上述光源裝置的控制部具有靈敏度隨著時(shí)間經(jīng)過而劣化的上述檢測單元的校正單元，該校正單元在上述光源裝置被安裝有新的光源時(shí)，使該光 源以上述基準(zhǔn)電力進(jìn)行點(diǎn)燈，根據(jù)由被設(shè)置在該光源裝置的檢測單元所被
檢測的由該光源所射出的光的照度、及由所述ic標(biāo)簽所讀出的固有照度數(shù)
據(jù)，求出用于校正被設(shè)置在上述該光源裝置的檢測單元的測定值的校正參 數(shù)，根據(jù)該校正參數(shù)，對檢測單元的輸出進(jìn)行修正。
(6)在安裝有IC標(biāo)簽的光源中，在該IC標(biāo)簽記錄有該光源的總計(jì)點(diǎn) 燈時(shí)間、及光的照度，該光的照度為當(dāng)使該光源以規(guī)定的基準(zhǔn)電力點(diǎn)燈時(shí) 由校正完畢的檢測單元所測定的由該光源所射出的，并作為由設(shè)有該IC標(biāo) 簽的光源所射出的光的照度相關(guān)的固有照度數(shù)據(jù)。 在本發(fā)明中，可得以下效果。
(1) 在本發(fā)明中，為了獲得目標(biāo)照度數(shù)據(jù)通過所需的目標(biāo)電力數(shù)據(jù)對 光源進(jìn)行點(diǎn)燈，將此時(shí)的照度由檢測單元進(jìn)行檢測且作為基準(zhǔn)照度數(shù)據(jù)進(jìn) 行記錄，當(dāng)由該檢測單元檢測的所述光源的照度相對于上述記錄的基準(zhǔn)照 度數(shù)據(jù)降低至規(guī)定比例以下時(shí)，根據(jù)由IC標(biāo)簽所讀出的光源的總計(jì)點(diǎn)燈時(shí) 間，求出修正電力數(shù)據(jù)，通過該修正電力數(shù)據(jù)，對所述目標(biāo)電力數(shù)據(jù)進(jìn)行 修正且供給至光源，因此即使在燈的真空紫外光的照度隨著時(shí)間經(jīng)過而降 低的情形下，也可將光源的照度維持為一定。
而且，根據(jù)本發(fā)明的光源裝置，在每次由所述檢測單元檢測到的光的 照度超過規(guī)定范圍而降低時(shí)，記錄考慮到燈的隨著時(shí)間經(jīng)過而照度降低及 檢測單元的靈敏度降低的最新基準(zhǔn)照度數(shù)據(jù)，據(jù)此求出修正電力數(shù)據(jù)，來 控制光源，由此能夠以高精度將照度維持為大致一定。
(2) 在IC標(biāo)簽先將由校正完畢的檢測單元來測定以規(guī)定基準(zhǔn)電力點(diǎn) 燈時(shí)由光源射出的光的照度作為固有照度數(shù)據(jù)進(jìn)行記錄，當(dāng)在光源裝置被 安裝有新的光源時(shí)，使該光源以上述基準(zhǔn)電力點(diǎn)燈，通過被設(shè)在該光源裝 置的檢測單元，測定由該光源射出的光的照度，根據(jù)該照度數(shù)據(jù)、及由IC 標(biāo)簽讀出的固有照度數(shù)據(jù)，對上述光源裝置的檢測單元進(jìn)行校正，因此在 每次將已結(jié)束使用壽命的準(zhǔn)分子燈替換成新品時(shí)，可對由感測器輸出的照 度數(shù)據(jù)進(jìn)行校正，即使裝配在光源裝置的光感測器因長時(shí)間的使用而劣化， 也可獲得正確的照度。
因此，可精度佳地控制由燈射出的光的照度，并且可解決自以往以來所成為問題的因向準(zhǔn)分子燈供給過量電力，而產(chǎn)生被照射在被處理體的光
的照度大幅超過目標(biāo)照度的所謂的過沖(overshoot),或燈的壽命變短等不 良情形。


圖1是顯示本發(fā)明的一實(shí)施方式的光源裝置的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖； 圖2是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的光源裝置的功能框圖； 圖3是說明光感測器的靈敏度降低的圖4是記錄有總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間與電力修正系數(shù)(電力增加量)的關(guān)系的 修正表；
圖5是顯示在IC標(biāo)簽記錄與固有照度數(shù)據(jù)X,相對應(yīng)的百分率Y的處 理的流程圖6是顯示根據(jù)被記錄在IC標(biāo)簽的數(shù)據(jù)來校正光感測器15的處理的 流程圖7是顯示本實(shí)施方式的光源裝置的全體處理流程的流程圖； 圖8是顯示將由燈射出的光的照度維持在一定的控制處理的流程圖； 圖9是顯示對點(diǎn)燈時(shí)間的照度變化與供給至燈的電力變化的說明圖； 圖10是顯示滅燈時(shí)的處理的流程圖11是顯示確認(rèn)點(diǎn)燈狀態(tài)的準(zhǔn)分子燈裝置的構(gòu)成例的圖； 圖12是在與裝載設(shè)有IC標(biāo)簽的燈的紫外線照射裝置的燈的管軸呈平 行的平面所切的剖面圖13是顯示圖12所示的紫外線照射裝置的構(gòu)成例的概念圖。
附圖標(biāo)號說明
1:燈(準(zhǔn)分子燈)
la: IC標(biāo)簽
2:點(diǎn)燈電源
3:變壓器
4:控制部
4a:總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間更新單元 4b:目標(biāo)電力計(jì)算單元 4C:修正電力計(jì)算單元4d:基準(zhǔn)照度數(shù)據(jù)取得單元
4e:點(diǎn)燈控制單元
4f:校正單元
4g:累計(jì)計(jì)時(shí)器
5:輸入部
10:光源裝置
11: CPU
12: IC標(biāo)簽R/W部 13-存儲部 13a:存儲器(RAM) 13b:存儲器(ROM) 13c:存儲器(EEPROM)
14:天線
15:光感測器
16a、 16b: A/D轉(zhuǎn)換器
17: D/A轉(zhuǎn)換器
80:外殼
81:冷卻塊
81A:光導(dǎo)入孔
83:光取出窗部
89:真空紫外光感測器
90:準(zhǔn)分子燈
100:準(zhǔn)分子燈
100a:發(fā)光管
100b:內(nèi)部電極
100c:外部電極
100d:絕緣體
100e:金屬箔
100f:密封部
100g:外部引線102:反射鏡 103:冷卻塊 101:框體 101a:光照射窗 110:連接器 120:高壓供電端子
120c:高壓供電纜線
130: IC標(biāo)簽
140:天線
200:點(diǎn)燈電源
210: CPU
220:存儲器
230:讀取/寫入器
具體實(shí)施例方式
圖1是顯示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的光源裝置的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖。
如該圖所示，本發(fā)明的光源裝置具有具有可以非接觸輸入記錄信息
的IC標(biāo)簽la的光源(以下稱為燈)1;用于將高頻高電壓供給至燈1的點(diǎn)
燈電源2;被設(shè)置在點(diǎn)燈電源2的輸出側(cè)的變壓器3;控制燈l的點(diǎn)燈的控 制部4;及輸入部5。
控制部4具有檢測由燈1射出的真空紫外光等光而輸出照度信號的 作為檢測單元的光感測器15;根據(jù)該光感測器15的照度數(shù)據(jù)等，對燈1
的點(diǎn)燈進(jìn)行控制，并且執(zhí)行用于進(jìn)行光感測器15的校正的運(yùn)算處理的運(yùn)算 處理部(CPU) 11;存儲部13;用于在與IC標(biāo)簽la之間進(jìn)行數(shù)據(jù)的傳送 接收的天線14;用于控制與IC標(biāo)簽la之間的數(shù)據(jù)的傳送接收的IC標(biāo)簽 R/W部12; A/D轉(zhuǎn)換器16a、 16b;及D/A轉(zhuǎn)換器17。 A/D轉(zhuǎn)換器16a、 16b 是將來自光感測器15的信號及來自點(diǎn)燈光源2的信號轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號而送 出至CPUll， D/A轉(zhuǎn)換器17是將來自CPU11的數(shù)字信號轉(zhuǎn)換成模擬信號 而送出至點(diǎn)燈電源2。
上述存儲部13具有可讀寫的易失性存儲器(RAM13a);讀取專用的非易失性存儲器(ROM13b);及可重寫的非易失性存儲器(EEPROM13c)， 用于存儲程序或數(shù)據(jù)。
在存儲部13的ROM13b記錄有用于按照總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間來修正供給 至燈1的電力的修正表Tab、準(zhǔn)分子燈的標(biāo)準(zhǔn)照度數(shù)據(jù)Xc、基準(zhǔn)電力數(shù)據(jù) Z()等信息，在EEPROM13c記錄有作為穩(wěn)定維持由準(zhǔn)分子燈射出的真空紫 外光的照度所需信息。
上述光源1封入有例如氙氣等放電氣體，且射出波長172nm的真空紫 外光的準(zhǔn)分子燈。其中，以下是針對燈l為準(zhǔn)分子燈的情形加以說明。
IC標(biāo)簽la是按各燈而設(shè)置，記錄有與有關(guān)各準(zhǔn)分子燈固有照度的固有 照度數(shù)據(jù)X,相對應(yīng)的百分率Y[=(固有照度數(shù)據(jù)X"標(biāo)準(zhǔn)照度數(shù)據(jù)Xo) xl00]、總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間Ts。
若燈為準(zhǔn)分子燈，光感測器15為真空紫外光感測器，例如ALGN(氮 化鋁鎵)等半導(dǎo)體光感測器，由將紫外光轉(zhuǎn)換成可見光的熒光體等構(gòu)成。
如所述的圖11所示，光感測器15被配置在形成于冷卻塊的光導(dǎo)入孔 的一端側(cè)，來自燈1的真空紫外線通過該光導(dǎo)入孔而入射至光感測器15的 光入射面。
真空紫外光感測器中的靈敏度是如前所述，隨著使用時(shí)間加長而降低。
例如圖3 (C)所示，對真空紫外光的靈敏度是在從使用開始經(jīng)過3000 小時(shí)的后降低30%左右。
也即，由光感測器15所輸出的照度數(shù)據(jù)成為低于實(shí)際上由燈1所射出 的真空紫外光的照度的值。因此，以由燈1所射出的真空紫外光的照度被 維持為一定的方式，若要根據(jù)來自光感測器15的照度數(shù)據(jù)來對供給至燈1 的電力進(jìn)行控制時(shí)，對燈l進(jìn)行過量的電力供給。
因此，如圖3 (A)所示，準(zhǔn)分子燈的照度變得高于圖3 (B)的目標(biāo) 照度，而會引起過沖(overshoot)。為了避免如上所述的過沖，需要將伴隨 著光感測器15的劣化所發(fā)生的真空紫外光的靈敏度降低進(jìn)行修正。
控制部4的CPU11如后所述，根據(jù)由輸入部5所提供的目標(biāo)照度數(shù)據(jù) 或由光感測器15所檢測到的照度數(shù)據(jù)，以使由燈1射出的真空紫外光的照 度與作為目標(biāo)的照度相一致的方式，對點(diǎn)燈電源2發(fā)送指令而控制供給至 燈1的電力。此外，基于由光感測器15檢測到的照度數(shù)據(jù)、及由燈1所具
16備的IC標(biāo)簽la所讀出的固有照度數(shù)據(jù)，以由光感測器15輸出的照度數(shù)據(jù) 與固有照度數(shù)據(jù)相一致的方式來校正光感測器15的輸出。
輸入部5具有例如液晶顯示畫面等的觸控面板式，被使用在光源裝置 的使用者將按每一被處理體所需的真空紫外光的照度相關(guān)的目標(biāo)照度數(shù)據(jù) 輸入至CPUll。
在此，匯整顯示本實(shí)施方式中所使用的各種數(shù)據(jù)。該等數(shù)據(jù)是例如以 下所示，被存儲在IC標(biāo)簽、讀取專用的非易失性存儲器(ROM13b)、可 重寫的非易失性存儲器(EEPROM13c)等，在執(zhí)行時(shí)，根據(jù)需要被轉(zhuǎn)送至 可讀取寫入的存儲器(RAM13a)并被存儲。
其中，該等數(shù)據(jù)的存儲部位可適當(dāng)變更，例如可未設(shè)置ROM，而將所 有數(shù)據(jù)存儲在EEPROM，也可先存儲在所謂的存儲器介質(zhì)(例如非易失性 存儲器或磁碟等)，在執(zhí)行時(shí)在RAM13a展開，在結(jié)束時(shí)存儲至非易失性存 儲器或存儲介質(zhì)。
此外，在以下說明中，為了易于理解，在數(shù)據(jù)被轉(zhuǎn)送至RAM的情形 下，也會根據(jù)需要，在裝置起動(dòng)時(shí)存儲的場所來確定數(shù)據(jù)的存儲場所的情 形。
標(biāo)準(zhǔn)照度XQ:由標(biāo)準(zhǔn)的準(zhǔn)分子燈所照射的真空紫外光的照度(存儲 在ROM)
固有照度x1:記錄在IC標(biāo)簽的該燈的固有照度(存儲在IC標(biāo)簽、 EEPROM)
實(shí)測照度X2:由裝置裝配的光感測器所得的照度數(shù)據(jù)
目標(biāo)照度&:由輸入部所被設(shè)定的目標(biāo)照度(存儲在EEPROM) 基準(zhǔn)照度X4:初始或電力修正后，由目標(biāo)電力數(shù)據(jù)&或修正電力數(shù)
據(jù)Z2使該燈點(diǎn)燈時(shí)，由裝置裝配的光感測器所得的照度數(shù)據(jù)(存儲在
EEPROM)
基準(zhǔn)電力ZQ:標(biāo)準(zhǔn)的準(zhǔn)分子燈輸出標(biāo)準(zhǔn)照度Xc所需電力(存儲在 ROM)
目標(biāo)電力Z".獲得目標(biāo)照度所需電力(存儲在EEPROM)
修正電力Zy由修正電力系數(shù)修正的目標(biāo)電力(存儲在EEPROM)
修正系數(shù)K^固有照度X^實(shí)測照度X2 百分率￥=(固有照度X,/標(biāo)準(zhǔn)照度X》X100 (存儲在IC標(biāo)簽、EEPROM)
總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間Ts:燈點(diǎn)燈時(shí)間的累計(jì)值(存儲在IC標(biāo)簽、EEPROM)
修正表Tab:記錄有對總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間的電力增加量(修正電力系數(shù)) 的表(存儲在ROM)
圖2是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的光源裝置的功能框圖，將由利用控制 部4的CPUll執(zhí)行的處理所實(shí)現(xiàn)的功能顯示為框圖。
在被設(shè)在燈1的IC標(biāo)簽la是如前所述記錄有百分率Y=(固有照度 X"標(biāo)準(zhǔn)照度Xo) XIOO、及該燈1的總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間Ts。
上述固有照度Xi是由例如新品的光感測器等般輸出正確照度數(shù)據(jù)的校 正完畢的光感測器，來測定出在以上述基準(zhǔn)電力使燈1點(diǎn)燈時(shí)，由燈1所 被射出的光的照度的數(shù)據(jù)。
IC標(biāo)簽R/W部12如前所述通過天線14,讀入記錄在上述IC標(biāo)簽la 的上述數(shù)據(jù)，且作為IC標(biāo)簽數(shù)據(jù)而存儲在存儲部13。
控制部4的校正單元4f在光源裝置被安裝新品的燈1 (總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間 Ts為0的燈)時(shí)，由點(diǎn)燈控制單元4e，使該燈1以上述基準(zhǔn)電力Zo點(diǎn)燈， 根據(jù)由光感測器15所檢測的該燈1射出的光的照度、及由所述IC標(biāo)簽la 讀出的固有照度Xi，求出用于校正被設(shè)置在上述該光源裝置的檢測單元的 測定值的校正參數(shù)。接著，根據(jù)校正參數(shù)，將光感測器15的輸出進(jìn)行修正。
由此，在燈1每次被替換成新的燈時(shí)，能夠以光感測器15輸出正確測 定值的方式進(jìn)行校正。
控制部4的累計(jì)計(jì)時(shí)器4g將燈1呈點(diǎn)燈的時(shí)間作累計(jì)計(jì)數(shù)，總計(jì)點(diǎn)燈 時(shí)間更新單元4a在每次達(dá)到規(guī)定的累計(jì)時(shí)間時(shí)，更新被存儲在存儲部13 的總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間。該被更新的總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間Ts在使光源裝置的動(dòng)作停止時(shí)， 寫入至被設(shè)置在燈1的IC標(biāo)簽la。
如前所述由輸入部5將目標(biāo)照度X3輸入至CPUll，該數(shù)據(jù)被存儲在存 儲部13。
控制部4的目標(biāo)電力計(jì)算單元4b根據(jù)基于由IC標(biāo)簽la讀出的百分率 Y所計(jì)算出的固有照度Xi與基準(zhǔn)電力ZQ、上述目標(biāo)照度X3，計(jì)算出為了 獲得該目標(biāo)照度X3所需的目標(biāo)電力Z,。計(jì)算出的目標(biāo)電力Zj皮存儲在存儲部13。
基準(zhǔn)照度數(shù)據(jù)取得單元4d在裝置起動(dòng)時(shí)或后述的電力修正時(shí)，由點(diǎn)燈 控制單元4e使燈1根據(jù)上述目標(biāo)電力Zi或修正電力Z2點(diǎn)燈，獲得在該時(shí) 間點(diǎn)由光感測器15檢測的光的照度數(shù)據(jù)。該值是作為基準(zhǔn)照度數(shù)據(jù)X4而 被存儲在存儲部13。
點(diǎn)燈控制單元4e以被供給至燈1的電力與利用上述目標(biāo)電力計(jì)算單元 4b計(jì)算出的目標(biāo)電力2 (修正后為修正電力Z2)相一致的方式來控制點(diǎn)燈 電源2。
艮P，檢測施加至燈1的電壓與燈電流，從點(diǎn)燈電源2傳送至控制部4 的點(diǎn)燈控制單元4e。其中，由點(diǎn)燈電源2所檢測到的電壓、電流為模擬信 號，該模擬信號是如前所述由A/D轉(zhuǎn)換器被轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號，且被傳送至 控制部4的CPU。
點(diǎn)燈控制單元4e根據(jù)上述電壓、電流計(jì)算出供給至燈的電力，且將所 計(jì)算出的電力與所述目標(biāo)電力Zi (修正后為修正電力Z2)進(jìn)行比較。接著， 將上述計(jì)算出的電力與目標(biāo)電力Z,(修正后為修正電力Z2)相一致的燈電 壓與頻率進(jìn)行運(yùn)算。該燈電壓與頻率作為電壓指令、頻率指令而被送出至 點(diǎn)燈電源2。
點(diǎn)燈電源2按照該電壓指令、頻率指令來控制燈1的驅(qū)動(dòng)電壓、頻率。
由此，以被供給至燈l的電力與上述目標(biāo)電力Zi (修正后為修正電力Z2)
相一致的方式被控制，燈l以與目標(biāo)電力Z！(修正后為修正電力Z2)相對 應(yīng)的照度而點(diǎn)燈。
在此，準(zhǔn)分子燈是如前所述射出的光的照度會隨著時(shí)間經(jīng)過而降低。 因此，在點(diǎn)燈初期，是對燈l供給與目標(biāo)電力數(shù)據(jù)相對應(yīng)的電力，由此燈l 以與目標(biāo)照度相一致的照度而點(diǎn)燈，但是隨著點(diǎn)燈時(shí)間的經(jīng)過，燈1的照 度會降低。
修正電力計(jì)算單元4c以上述燈1的照度降低被修正的方式，求出已將 目標(biāo)電力Zi修正后的修正電力Z2。
艮口，修正電力計(jì)算單元4c根據(jù)上述目標(biāo)電力Zi (修正后為修正電力 Z2)，取得使燈1繼續(xù)點(diǎn)燈時(shí)由所述光感測器15檢測的照度(實(shí)測照度X2)，
進(jìn)行判定該實(shí)測照度X2相對于所述基準(zhǔn)照度X4是否已降低至規(guī)定比例以下。
接著，修正電力計(jì)算單元4C當(dāng)燈1的實(shí)測照度X2相對于所述基準(zhǔn)照 度X4降低至規(guī)定比例以下時(shí)，讀出被存儲在所述存儲部13的燈1的總計(jì)
點(diǎn)燈時(shí)間Ts，參照被存儲在存儲部13的修正表Tab，求出與總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間 Ts相對應(yīng)的修正電力數(shù)據(jù)Z2，且使其存儲在存儲部13。
準(zhǔn)分子燈射出的真空紫外光的照度是因各種原因而隨著時(shí)間經(jīng)過而降 低。為了修正該照度降低，必須使供給至準(zhǔn)分子燈的電力增加，如圖4所 示，在修正表Tab被規(guī)定有準(zhǔn)分子燈的總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間與電力修正系數(shù)的關(guān) 系。
艮口，事前按每個(gè)準(zhǔn)分子燈求出總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間與真空紫外光的照度降低 率的關(guān)系，根據(jù)該關(guān)系，求出為了將真空紫外光的照度維持為一定所需的 電力增加率，在修正表登錄總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間與電力修正系數(shù)的關(guān)系。因此， 讀出該修正表的電力修正系數(shù)，通過乘上目標(biāo)電力Zi，可求出修正電力數(shù)
據(jù)Z2。
點(diǎn)燈控制單元4e在計(jì)算出修正電力數(shù)據(jù)&時(shí)，將如前所述供給至燈
的電力成為修正后的修正電力數(shù)據(jù)Z2的燈電壓與頻率進(jìn)行運(yùn)算而送出至點(diǎn)
燈電源2。點(diǎn)燈電源2通過該燈電壓與頻率而使燈1點(diǎn)燈。
此外，當(dāng)計(jì)算出修正電力數(shù)據(jù)Z2，且根據(jù)該修正電力數(shù)據(jù)Z2而使燈1
點(diǎn)燈時(shí)，所述基準(zhǔn)照度數(shù)據(jù)取得單元4d將由光感測器15測定的由燈1射 出的光的照度作為新的基準(zhǔn)照度X4而被存儲在存儲部13。
以下，與所述相同地，判定相對于上述基準(zhǔn)照度X4，由所述光感測器 15檢測的照度是否已降低至規(guī)定比例以下，若已降低至規(guī)定比例以下，與 上述相同，求出與總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間相對應(yīng)的修正電力數(shù)據(jù)Z2。
如上所示，使燈1基本上以一定的電力點(diǎn)燈，在每次燈1的照度相對 于最新的修正后基準(zhǔn)照度降低至規(guī)定比例以下時(shí)，按照燈的總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間， 增加供給至燈1的電力，將燈1的照度進(jìn)行上方修正，因此即使燈1的照 度隨著時(shí)間經(jīng)過而降低，也可將燈1的照度保持為大致一定。此外，由光 感測器15所得的檢測值是使用在判定燈1的照度相對于基準(zhǔn)照度是否已降 低至規(guī)定比例以下，因此即使光感測器15的檢測靈敏度隨著時(shí)間經(jīng)過而降 低，也不會大幅受到其影響。接著，針對本實(shí)施方式的光源裝置的動(dòng)作，通過流程圖詳加說明。
1.對于IC標(biāo)簽的數(shù)據(jù)記錄與光感測器的校正 (1)對于IC標(biāo)簽的數(shù)據(jù)記錄
首先，通過圖5，針對在所述IC標(biāo)簽記錄與固有照度數(shù)據(jù)Xi相對應(yīng)的 百分率Y的處理加以說明。
有別于圖1所示的光源裝置所具備的有靈敏度劣化的可能性的光感測 器15,而在使用配置在例如工廠等的新品的光感測器或校正完畢的光感測 器的光源裝置設(shè)置燈1，在該燈1的IC標(biāo)簽la記錄上述數(shù)據(jù)。該光源裝置 是除了例如光感測器為新品或校正完畢者以外，具有與圖1所示相同結(jié)構(gòu) 即可，以下針對使用圖1所示的光源裝置而在IC標(biāo)簽la寫入數(shù)據(jù)的情況 加以說明，但是也可使用IC標(biāo)簽寫入用的專用裝置。g卩，也可使用專用的 裝置，由新品的光感測器或校正完畢的光感測器來測定燈的照度，計(jì)算與 固有照度數(shù)據(jù)X,相對應(yīng)的百分率Y，使用IC標(biāo)簽寫入用的裝置而寫入數(shù) 據(jù)至IC標(biāo)簽la。
其中，在以下流程圖中，是針對與固有照度數(shù)據(jù)X,相對應(yīng)的百分率Y 的記錄加以說明，但是在IC標(biāo)簽，除了該數(shù)據(jù)以外，另外如前所述記錄有 總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間，且為新品的燈時(shí)，即記錄0作為總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間。 (步驟S101)
首先，讀出被記錄在讀取專用存儲器(ROM) 13b的基準(zhǔn)電力Zo，以 基準(zhǔn)電力Zq使燈1點(diǎn)燈。 (步驟S102)
確認(rèn)由燈1所射出的真空紫外光的照度是否穩(wěn)定。該確認(rèn)進(jìn)行判斷例 如在5分鐘內(nèi)是否照度變化為1%以下。照度穩(wěn)定時(shí)，即進(jìn)至步驟S104。 (步驟S103)
照度不穩(wěn)定時(shí)，進(jìn)行確認(rèn)是否超時(shí)(time-cmt)。照度在30分鐘以內(nèi)為 穩(wěn)定時(shí)，返回步驟SIOI。即使經(jīng)過30分鐘，照度也如上所述為不穩(wěn)定時(shí)， 即判斷燈l為劣品，而結(jié)束程序。 (步驟S104)
取得照度穩(wěn)定時(shí)的固有照度數(shù)據(jù)X,。來自光感測器15的模擬信號由 A/D轉(zhuǎn)換器16b轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號，并且該數(shù)字信號作為固有照度數(shù)據(jù)X,而
21被輸入至CPUll。
(步驟S105)
與被輸入至CPU的固有照度數(shù)據(jù)Xi相對應(yīng)的值被記錄在IC標(biāo)簽la。 在此，固有照度數(shù)據(jù)X,是如以下(1)式所示，作為被存儲在讀取專用存 儲器(ROM) 13b的固有照度數(shù)據(jù)Xi對標(biāo)準(zhǔn)照度數(shù)據(jù)X。的百分率Y而被 記錄在IC標(biāo)簽12。
Y= (Xi/Xo) X100... (1) (2)光感測器的校正
接著，針對光感測器的校正動(dòng)作，通過流程圖加以說明。其中，該動(dòng) 作與利用圖2的校正單元4f所實(shí)現(xiàn)的動(dòng)作相對應(yīng)。
圖6是根據(jù)被記錄在IC標(biāo)簽的數(shù)據(jù)來校正光感測器15的流程。上述 校正在每次將已結(jié)束使用壽命的燈替換成新品時(shí)，即在執(zhí)行對于被處理體 的光照射處理的前進(jìn)行。至燈的使用壽命結(jié)束為止，并不進(jìn)行光感測器15 的修正。
(步驟S201)
首先，由CPU11訪問(access) IC標(biāo)簽R/W部12，對于IC標(biāo)簽la 經(jīng)由天線14而以135kHz的傳輸頻率傳送指令，通過雙向通信，由IC標(biāo)簽 la讀出信息，經(jīng)由IC標(biāo)簽R/W部12而在CPUll接收該信息。
CPUll是由被記錄在IC標(biāo)簽la的總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間，來確認(rèn)燈1是否為 新品。若總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間Ts-O，即判斷燈1為新品而進(jìn)至步驟S202。另一方 面，若非為總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間T^0，則并未進(jìn)行光感測器15的校正，且結(jié)束處 理。
(步驟S202)
取得由CPUll記錄在IC標(biāo)簽la的固有照度數(shù)據(jù)X!的百分率Y。艮口， 由IC標(biāo)簽R/W部12對IC標(biāo)簽la以135kHz的傳輸頻率傳送指令，經(jīng)由 天線14而由IC標(biāo)簽la取得百分率Y。 (步驟S203)
接著，以被記錄在存儲部13的讀取專用存儲器(ROM13b)的基準(zhǔn)電 力Zo使燈l點(diǎn)燈。 (步驟S204)確認(rèn)由燈1射出的光的照度是否已穩(wěn)定。該確認(rèn)判斷例如在5分鐘內(nèi)是否照度變化為1%以下。若照度穩(wěn)定，即進(jìn)至步驟S206。(步驟S205)
照度不穩(wěn)定時(shí)，進(jìn)行確認(rèn)是否超時(shí)(time-out)。照度在30分鐘以內(nèi)為穩(wěn)定時(shí)，返回步驟S201，且執(zhí)行步驟S201至S204的程序。即使經(jīng)過30分鐘，照度也如上所述為不穩(wěn)定時(shí)，即判斷燈l為劣品，而結(jié)束程序。(步驟S206)
接著，利用光感測器15來檢測由燈1所射出的光的照度。來自光感測器15的模擬信號由A/D轉(zhuǎn)換器16b轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號，該數(shù)字信號作為實(shí)測照度數(shù)據(jù)X2而被輸入至CPU11 。(步驟S207)
最后，根據(jù)在步驟S202中所取得的固有照度數(shù)據(jù)X,及在步驟S206中所取得的實(shí)測照度數(shù)據(jù)X2，來對由光感測器15所被輸出的照度數(shù)據(jù)進(jìn)行修正。步驟S207的修正如以下所述來進(jìn)行。
(i) 根據(jù)由存儲部13的讀取專用存儲器(R0M13b)所讀出的標(biāo)準(zhǔn)照度數(shù)據(jù)Xo、及由IC標(biāo)簽la所讀出的百分率Y,對固有照度數(shù)據(jù)&的值進(jìn)行運(yùn)算。
如以下的(2)所示，求出作為固有照度數(shù)據(jù)Xi對實(shí)測照度數(shù)據(jù)X2的比率的修正系數(shù)K。
修正系數(shù)K^ (固有照度數(shù)據(jù)Xi) / (實(shí)測照度數(shù)據(jù)X2) ... (2)
(ii) 在實(shí)測照度數(shù)據(jù)X2乘以(2)式中所求得的修正系數(shù)K。如以上所述，事前在工廠等中使用新品的光感測器或校正完畢的光感
測器而在IC標(biāo)簽記錄表示固有照度數(shù)據(jù)X，的百分率Y，根據(jù)由其所求出的固有照度數(shù)據(jù)Xb及由裝配在光源裝置的光感測器所得的實(shí)測照度數(shù)據(jù)X2求出的修正系數(shù)K，可對由真空紫外光感測器輸出的實(shí)測照度數(shù)據(jù)進(jìn)行修正。
因此，每次在將已結(jié)束使用壽命的準(zhǔn)分子燈替換成新品時(shí)，即先求出上述修正系數(shù)K并進(jìn)行存儲，由該修正系數(shù)K來對由感測器所輸出的照度數(shù)據(jù)進(jìn)行修正，從而，即使裝配在準(zhǔn)分子燈的真空紫外光感測器因長時(shí)間使用而劣化，也可獲得正確的真空紫外光的照度。因此，根據(jù)本發(fā)明，可解決自以往以來成為問題的因?qū)?zhǔn)分子燈供給過量電力，而產(chǎn)生被照射在被處理體的真空紫外光的照度大幅超過目標(biāo)照
度的所謂的過沖(overshoot)、或準(zhǔn)分子燈壽命變短等不良情形。2.光穩(wěn)定化控制
(1)全體處理流程首先，針對本實(shí)施方式的光源裝置的全體處理流程加以說明。圖7是顯示本實(shí)施方式的光源裝置的全體處理流程的流程圖。如圖7所示，光源裝置如下進(jìn)行動(dòng)作。
(步驟S1)裝置被起動(dòng)。
(步驟S2、 S3)
由被設(shè)在燈的IC標(biāo)簽取得數(shù)據(jù)。根據(jù)由IC標(biāo)簽所取得的總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間數(shù)據(jù)，判定該燈是否為新品的燈(總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間為O)。(步驟S4)
若該燈為新品的燈，貝U使燈1以基準(zhǔn)電力Zo點(diǎn)燈，且由光感測器15來測定照度。接著，如前所述，根據(jù)所測定出的實(shí)測照度、及根據(jù)由IC標(biāo)簽讀出的百分率Y所求出的固有照度X,，求出用于校正光感測器15的輸出的校正參數(shù)，根據(jù)該校正參數(shù)，對光感測器15的輸出進(jìn)行修正。(步驟S5)
若該燈非為新品的燈，如前所述，根據(jù)由IC標(biāo)簽讀出的固有照度&及被設(shè)定的目標(biāo)照度X3來求出目標(biāo)電力Zp且以燈電力與目標(biāo)電力Z,相一致的方式進(jìn)行控制。
在此，利用光感測器15檢測如前所述根據(jù)目標(biāo)電力Zi而使燈1點(diǎn)燈時(shí)的照度，當(dāng)該照度相對于基準(zhǔn)照度X4降低至規(guī)定比例以下時(shí)，求出根據(jù)總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間Ts所求得的修正電力Z2，來對目標(biāo)電力Zi進(jìn)行修正。
(步驟S6、 S7)
持續(xù)以上動(dòng)作至燈滅燈為止，在燈滅燈時(shí)，進(jìn)行燈的滅燈處理，并且將所需數(shù)據(jù)進(jìn)行對于存儲部13的可重寫的非易失性存儲器(EEPROM)的存儲、及IC標(biāo)簽的總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間的重寫。
(2)光穩(wěn)定化控制由燈所射出的光的照度隨著時(shí)間的經(jīng)過而降低。為了將照度維持為一 定，當(dāng)燈的照度相對于目標(biāo)照度降低至規(guī)定比例以下時(shí)，必須以增加供給 至燈的電力的方式進(jìn)行控制。
在本實(shí)施形態(tài)的光源裝置中，如以下圖8的流程的說明所示，為了控 制供給至燈的電力，使用被記錄在IC標(biāo)簽的燈的總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間，據(jù)此求出 電力的修正量(修正電力)。
圖8是顯示用于將由燈射出的光的照度維持為一定的控制處理的流程圖。
(步驟S301)
由CPU11訪問IC標(biāo)簽R / W部12，對于IC標(biāo)簽la，通過天線14以135kHz 的傳輸頻率發(fā)送指令，通過雙向通信，由IC標(biāo)簽la讀出信息，通過IC標(biāo) 簽R/W部12而由CPU11接收該信息。由此，可取得與被記錄在IC標(biāo)簽的 固有照度數(shù)據(jù)X,相對應(yīng)的百分率Y及總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間Ts。 (步驟S302)
根據(jù)在步驟S301中所得的總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間Ts，確認(rèn)燈1是否為新品。若 總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間T^0，則判斷燈1為新品且進(jìn)至步驟S304。另一方面，若非 為總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間丁8=0，則進(jìn)至步驟S303。 (步驟S303)
若非總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間Ts=0，在存儲部13 (EEPROM13c)存儲有當(dāng)使該 燈先點(diǎn)燈時(shí)的目標(biāo)電力數(shù)據(jù)Zp且取得該存儲完畢的目標(biāo)電力數(shù)據(jù)Zp (步驟S304)
取得由輸入部5輸入且存儲在存儲部13的目標(biāo)照度數(shù)據(jù)X3。 (步驟S305)
根據(jù)在步驟S304中所得的目標(biāo)照度數(shù)據(jù)X3、由IC標(biāo)簽la讀出的百 分率Y、以及由存儲部13 (ROM13b)所讀出的標(biāo)準(zhǔn)照度數(shù)據(jù)Xo及基準(zhǔn)電 力數(shù)據(jù)Zo，取得為了獲得目標(biāo)照度所需的目標(biāo)電力數(shù)據(jù)Zi。
目標(biāo)電力數(shù)據(jù)Zi如下所示所求得。
固有照度X"目標(biāo)照度X產(chǎn)基準(zhǔn)電力Z。目標(biāo)電力Z!
目標(biāo)電力Z產(chǎn)基準(zhǔn)電力ZGX目標(biāo)照度X3/固有照度Xj
將如上所述所求出的該目標(biāo)電力數(shù)據(jù)Z,記錄在存儲部13(EEPROM13c)。 (步驟S306)
使累計(jì)計(jì)時(shí)器(圖2的4g)為ON，開始計(jì)量被合計(jì)在總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間 的點(diǎn)燈時(shí)間。
(步驟S307)
根據(jù)在步驟S303或步驟S305中所求出的目標(biāo)電力數(shù)據(jù)Zp使燈1點(diǎn)燈。
圖9是為了易于理解以下步驟S308至S313的程序，概念性顯示對點(diǎn) 燈時(shí)間的照度變化與供給至燈的電力變化的說明圖。該圖的縱軸是表示燈 的光照度(利用靈敏度劣化的光感測器所測定的照度的值與目標(biāo)照度)，該 圖的橫軸是表示燈的點(diǎn)燈時(shí)間。
其中，該圖的實(shí)線是表示目標(biāo)照度，加粗實(shí)線是表示由已劣化的感測 器所測定出的照度的值。此外，該圖的一點(diǎn)鏈線是表示由燈射出的真空紫 外光的照度因各種原因而隨著時(shí)間經(jīng)過而降低的情況，該圖的虛線系表示 隨著光感測器的靈敏度降低，由感測器所被輸出的照度數(shù)據(jù)會隨著時(shí)間經(jīng) 過而降低的情況。
使用圖9，說明由以下步驟S308至S313所執(zhí)行的程序的概要。
在燈替換時(shí)間點(diǎn)，執(zhí)行所述圖6的流程圖所示的光感測器15的修正， 在燈的點(diǎn)燈中，并不進(jìn)行該圖的流程所示的光感測器15的修正。
圖9的To時(shí)間點(diǎn)的照度Pl是在步驟S307中根據(jù)目標(biāo)電力數(shù)據(jù)A而 對準(zhǔn)分子燈進(jìn)行點(diǎn)燈時(shí)的初期的基準(zhǔn)照度X4。
如圖9所示，使燈以定電力(目標(biāo)電力)點(diǎn)燈，在燈的照度相對于初期基 準(zhǔn)照度P,降低至規(guī)定比例以下的P2的！\的時(shí)間點(diǎn)，將供給至燈的電力進(jìn)
行修正，且將燈的照度由P2至P3進(jìn)行上方修正。
該修正是如后所述，如以下來進(jìn)行。
參照圖4所示的修正表Tab，讀出被存儲在存儲部13的該時(shí)間點(diǎn)的總 計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間Ts所對應(yīng)的修正電力系數(shù)，將該修正電力系數(shù)乘以存儲在存儲 部13的該時(shí)間點(diǎn)的目標(biāo)電力，求出修正電力Z2，且將該電力供給至燈l。 接著，利用光感測器15檢測此時(shí)的燈1的照度，且形成為修正后的基準(zhǔn)照 度P3(=X4)。
26將該經(jīng)上方修正的照度P3設(shè)為修正后的基準(zhǔn)照度。修正后的基準(zhǔn)照度 P3與燈的光照度隨著時(shí)間經(jīng)過而降低、并且光感測器中的光的靈敏度隨著 時(shí)間經(jīng)過而降低的情形相對應(yīng)，因此被設(shè)定為該圖的一點(diǎn)鏈線上的值。
之后，使燈繼續(xù)以定電力點(diǎn)燈，在燈的照度相對于修正后基準(zhǔn)照度P3 降低至規(guī)定比例以下的P4的T2時(shí)間點(diǎn)，與上述相同地，對供給至燈的電力 進(jìn)行修正，將燈的照度由P4進(jìn)行上方修正為P5。將該經(jīng)上方修正的照度Ps 設(shè)為修正后的基準(zhǔn)照度X4。
修正后的基準(zhǔn)照度P5 (=X4)與上述P3相同地，與燈的光照度隨著時(shí) 間經(jīng)過而降低、并且光感測器中的真空紫外光的靈敏度隨著時(shí)間經(jīng)過而降 低的情形相對應(yīng)，因此被設(shè)定為該圖的一點(diǎn)鏈線上的值。
如上所示，基本上使燈以定電力點(diǎn)燈，每次燈的照度相對于最新的修 正后基準(zhǔn)照度降低至規(guī)定比例以下時(shí)，即增加供給至燈的電力，由此對燈 的照度作上方修正。因此，在每次執(zhí)行電力的修正時(shí)，以時(shí)間序列為較舊 的修正后基準(zhǔn)照度數(shù)據(jù)X4依序被更新為較新的修正后基準(zhǔn)照度數(shù)據(jù)X4，僅
有最新的修正后基準(zhǔn)照度數(shù)據(jù)被記錄在存儲部13 (EEPROM13c)。 返回圖8的流程，針對步驟S308以后的程序加以說明。 (步驟S308)
由光感測器，對由燈所射出的光的照度進(jìn)行檢測。來自光感測器15的 模擬信號通過圖1所示的A/D轉(zhuǎn)換器16b轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號，作為初期的基 準(zhǔn)照度數(shù)據(jù)& (與圖9的照度Pi相對應(yīng))而被輸入至CPU。該初期的基 準(zhǔn)照度數(shù)據(jù)X4被記錄在存儲部13 (EEPROM13c)。 (步驟S309)
確認(rèn)由光感測器所被檢測的光的照度數(shù)據(jù)相對于在步驟S308中所得 的基準(zhǔn)照度數(shù)據(jù)X4是否已降低至規(guī)定比例以下。規(guī)定比例依執(zhí)行光照射處 理的被處理體的種類而異，例如是10%。
若例如使用圖9加以說明，1\時(shí)間點(diǎn)的照度數(shù)據(jù)P2相對于照度數(shù)據(jù)P, 降低10%以上時(shí)，進(jìn)至步驟S310。照度數(shù)據(jù)P2相對于照度數(shù)據(jù)Pi的降低 未超過10%時(shí)，進(jìn)至步驟S313。 (步驟S310)
讀出被記錄在存儲部13 (ROM13b)的修正表Tab (參照圖4)，在該修正表Tab應(yīng)用被存儲在存儲部13的總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間Ts，取得與總計(jì)點(diǎn)燈時(shí) 間Ts相對應(yīng)的修正電力系數(shù)。
修正電力系數(shù)是如前所述，將用于被供給至燈的電力形成為將圖9中
的照度數(shù)據(jù)P2進(jìn)行上方修正到P3所需的等級而進(jìn)行設(shè)定。
其中，圖9的P3是參照圖4的修正表Tab，與光感測器的靈敏度的隨 著時(shí)間經(jīng)過而降低相對應(yīng)而設(shè)定。例如準(zhǔn)分子燈的總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間為2000小 時(shí)時(shí)，修正電力系數(shù)被求出為1.1。根據(jù)該修正電力系數(shù)所被決定的修正電 力數(shù)據(jù)Z2被記錄在存儲部13。 (步驟S311、步驟S312)
CPU11是根據(jù)在步驟S310中所得的修正電力數(shù)據(jù)Z2，對點(diǎn)燈電源2 傳送指令，通過點(diǎn)燈電源2而使供給至燈1的電力增加。
使燈1根據(jù)修正電力數(shù)據(jù)Z2而點(diǎn)燈時(shí)，由光感測器15來感測由燈1 所射出的光的照度。來自光感測器15的模擬信號由A/D轉(zhuǎn)換器16b (參照 圖l)而被轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號，作為修正后的基準(zhǔn)照度數(shù)據(jù)X4輸入至CPU11， 并且被記錄在存儲部13。修正后的基準(zhǔn)照度數(shù)據(jù)X4是與圖9的照度&相 對應(yīng)。
(步驟S313)
CPU11確認(rèn)是否已被輸入燈滅燈信號。若已被輸入燈滅燈信號，即停 止對燈1供給電力而使燈滅燈。
若在步驟S313中未被輸入有準(zhǔn)分子燈滅燈信號時(shí)，即返回步驟S309， 反復(fù)執(zhí)行步驟S309至S312的程序。
由步驟S313返回至步驟S309時(shí)的處理與上述相同，在步驟S309中， 確認(rèn)由光感測器15所檢測的照度數(shù)據(jù)是否相對于在步驟S312中所得的修 正后的基準(zhǔn)照度數(shù)據(jù)X4為降低例如10%以上，若降低10%以上，即進(jìn)至 步驟S310。若照度降低未超過10%，則進(jìn)至步驟S313。
接著，如前所述參照修正表Tab，取得與總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間Ts相對應(yīng)的修 正電力系數(shù)，根據(jù)該修正電力系數(shù)所被決定的修正電力數(shù)據(jù)Z2被記錄在存 儲部13。
CPU11是如前所述根據(jù)上述修正電力數(shù)據(jù)Z2而對點(diǎn)燈電源2傳送指 令，使供給至燈l的電力增加。此外，通過光感測器來檢測根據(jù)修正電力數(shù)據(jù)Z2而使燈1點(diǎn)燈時(shí)的照 度，且作為修正后的基準(zhǔn)照度數(shù)據(jù)X4進(jìn)行存儲。
如上所示，燈滅燈信號被輸入至CPUll為止的期間，是一面將以時(shí)間 序列為較舊的基準(zhǔn)照度數(shù)據(jù)及修正電力數(shù)據(jù)依序更新為最新的基準(zhǔn)照度數(shù)
據(jù)及修正電力數(shù)據(jù)， 一面記錄在EEPROM13c僅有最新的基準(zhǔn)照度數(shù)據(jù)及 修正電力數(shù)據(jù)被存儲在存儲部13 (EEPROM13c)。
圖IO是顯示滅燈時(shí)的處理的流程圖。
在該圖中，滅燈時(shí)是進(jìn)行以下的處理。 (步驟Sll)
進(jìn)行燈的滅燈處理。在燈為準(zhǔn)分子燈的情形下，例如在滅燈時(shí)，以低 電壓施加高頻率的電壓，抑制放電容器的分極而滅燈。 (步驟S12)
將點(diǎn)燈電源2關(guān)斷(off)，且將累計(jì)計(jì)時(shí)器形成為關(guān)斷。 (步驟S13)
在燈的IC標(biāo)簽寫入存儲部13的數(shù)據(jù)，此外，根據(jù)需要使屬于讀取寫 入存儲器的RAM的內(nèi)容存儲至EEPROM等非易失性存儲器等。 (步驟S14) 將控制部的電源形成為關(guān)斷(off)。
如以上所示，本實(shí)施方式的光源系統(tǒng)當(dāng)燈的光的照度超過規(guī)定范圍而 降低時(shí)，根據(jù)修正表、及被記錄在IC標(biāo)簽的總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間，求出修正電力 數(shù)據(jù)，且根據(jù)該修正電力數(shù)據(jù)來對供給至準(zhǔn)分子燈的電力進(jìn)行控制。
因此，即使在燈的真空紫外光的照度隨著時(shí)間經(jīng)過而降低的情況下， 也可將燈的照度維持在一定。
而且，在每次燈的光照度超過規(guī)定范圍而降低時(shí)，記錄有與燈的隨著 時(shí)間經(jīng)過而照度降低及光感測器的靈敏度降低相對應(yīng)的最新基準(zhǔn)照度數(shù) 據(jù)，因此即使光感測器的靈敏度降低，也可以將燈的照度以高精度維持為 一定。
權(quán)利要求
1.一種光源裝置的點(diǎn)燈控制方法，該光源裝置具有來自被設(shè)置在光源的IC標(biāo)簽的信息的讀取/寫入單元；對由光源所射出的光的照度進(jìn)行檢測的檢測單元；及控制光源的點(diǎn)燈的控制部，該光源裝置的點(diǎn)燈控制方法的特征為，在上述IC標(biāo)簽至少記錄有固有照度數(shù)據(jù)、及該光源的總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間，上述固有照度數(shù)據(jù)與當(dāng)使光源以規(guī)定的基準(zhǔn)電力點(diǎn)燈時(shí)由該光源射出的光的照度相關(guān)，上述光源裝置的控制部，根據(jù)從所述光源的IC標(biāo)簽讀出的固有照度數(shù)據(jù)及所設(shè)定的目標(biāo)照度數(shù)據(jù)，求出為了獲得該目標(biāo)照度數(shù)據(jù)所需的目標(biāo)電力數(shù)據(jù)，使所述光源根據(jù)目標(biāo)電力數(shù)據(jù)進(jìn)行點(diǎn)燈，利用所述檢測單元來檢測該時(shí)間點(diǎn)由該光源射出的光的照度，并將所檢測到的照度作為基準(zhǔn)照度數(shù)據(jù)進(jìn)行記錄，通過所述檢測單元來檢測根據(jù)上述目標(biāo)電力數(shù)據(jù)而使該光源繼續(xù)點(diǎn)燈時(shí)的光源的照度，判定由該檢測單元所檢測的所述光源的照度數(shù)據(jù)相對于所述記錄的基準(zhǔn)照度數(shù)據(jù)是否已降低至規(guī)定比例以下，當(dāng)光源的照度數(shù)據(jù)相對于所述記錄的基準(zhǔn)照度數(shù)據(jù)已降低至規(guī)定比例以下時(shí)，求出與該光源的總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間所對應(yīng)的修正電力數(shù)據(jù)，該光源的總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間是根據(jù)由所述IC標(biāo)簽讀出的光源的總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間所求出，根據(jù)該修正電力數(shù)據(jù)對所述目標(biāo)電力數(shù)據(jù)進(jìn)行修正，并根據(jù)所修正的目標(biāo)電力數(shù)據(jù)，使光源點(diǎn)燈。
2. 如權(quán)利要求1所述的光源裝置的點(diǎn)燈控制方法，其特征為， 在所述目標(biāo)電力數(shù)據(jù)被修正，且根據(jù)所修正的目標(biāo)電力數(shù)據(jù)來使光源進(jìn)行點(diǎn)燈時(shí)，將由所述檢測單元所測定的由該光源射出的光的照度作為新 的基準(zhǔn)照度數(shù)據(jù)進(jìn)行記錄，判定由所述檢測單元所檢測的所述光源的照度數(shù)據(jù)相對于上述新的基 準(zhǔn)照度數(shù)據(jù)是否已降低至規(guī)定比例以下。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的光源裝置的點(diǎn)燈控制方法，其特征在于，在上述IC標(biāo)簽記錄有由校正完畢的檢測單元來測定出以所述規(guī)定的基準(zhǔn)電力點(diǎn)燈時(shí)的由該光源所射出的光的照度的值，作為與由設(shè)置有該ic標(biāo)簽的光源所射出的光的照度相關(guān)的固有照度數(shù)據(jù)，被設(shè)置在上述光源裝置的檢測單元的靈敏度隨著時(shí)間經(jīng)過而劣化， 上述光源裝置的控制部，在上述光源裝置安裝有新的光源時(shí)，使該光源以上述基準(zhǔn)電力進(jìn)行點(diǎn)燈，并通過被設(shè)置在該光源裝置的檢測單元，測定由該光源所射出的光的照度，根據(jù)由被設(shè)置在上述光源裝置的檢測單元所測定的照度數(shù)據(jù)、及從所述IC標(biāo)簽讀出的固有照度數(shù)據(jù)，求出校正被設(shè)置在上述該光源裝置的檢測單元的測定值的校正參數(shù)，根據(jù)該校正參數(shù)，對檢測單元的輸出進(jìn)行修正。
4. 一種光源裝置，具有來自被設(shè)置在光源的IC標(biāo)簽的信息的讀取/ 寫入單元；對由光源所射出的光的照度進(jìn)行檢測的檢測單元；及控制光源 的點(diǎn)燈的控制部，該光源裝置特征為在上述IC標(biāo)簽至少記錄有固有照度數(shù)據(jù)、及該光源的總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間， 該固有照度數(shù)據(jù)與使光源以規(guī)定的基準(zhǔn)電力進(jìn)行點(diǎn)燈時(shí)由該光源所射出的 光的照度相關(guān)，上述光源裝置的控制部具有目標(biāo)電力數(shù)據(jù)計(jì)算單元，根據(jù)由所述光源的IC標(biāo)簽讀出的固有照度數(shù) 據(jù)、及被設(shè)定的目標(biāo)照度數(shù)據(jù)，求出為了獲得該目標(biāo)照度數(shù)據(jù)所需的目標(biāo) 電力數(shù)據(jù)；基準(zhǔn)照度數(shù)據(jù)取得單元，使所述光源根據(jù)上述目標(biāo)電力數(shù)據(jù)而進(jìn)行點(diǎn) 燈，使在該時(shí)間點(diǎn)利用所述檢測單元檢測的由該光源所射出的光的照度數(shù) 據(jù)，作為基準(zhǔn)照度數(shù)據(jù)而記錄在存儲部；修正電力計(jì)算單元，判定根據(jù)上述目標(biāo)電力數(shù)據(jù)而使該光源繼續(xù)點(diǎn)燈 時(shí)由所述檢測單元檢測的光源的照度，相對于所述基準(zhǔn)照度數(shù)據(jù)是否已降 低至規(guī)定比例以下，當(dāng)判定出光源的照度數(shù)據(jù)相對于所述被記錄的基準(zhǔn)照 度數(shù)據(jù)已降低至規(guī)定比例以下時(shí)，求出與該光源的總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間所對應(yīng)的 修正電力數(shù)據(jù)，且根據(jù)該修正電力數(shù)據(jù)對所述目標(biāo)電力數(shù)據(jù)進(jìn)行修正，該 光源的總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間是根據(jù)由所述IC標(biāo)簽讀出的光源的總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間所求 出；及點(diǎn)燈控制單元，以上述所修正的目標(biāo)電力被供給至光源的方式進(jìn)行控制。
5. 如權(quán)利要求4所述的光源裝置，其特征在于，在上述IC標(biāo)簽記錄有由校正完畢的檢測單元來測定以所述規(guī)定的基準(zhǔn)電力進(jìn)行點(diǎn)燈時(shí)的由該光源所射出的光的照度的值，作為與由設(shè)有該IC標(biāo)簽的光源射出的光的照度相關(guān)的固有照度數(shù)據(jù)，被設(shè)置在上述光源裝置的檢測單元的靈敏度隨著時(shí)間經(jīng)過而劣化，上述光源裝置的控制部具有上述檢測單元的校正單元，該校正單元在上述光源裝置安裝有新的光源時(shí)，使該光源以上述基準(zhǔn)電力點(diǎn)燈，根據(jù)由設(shè)置在該光源裝置的檢測單元檢測的由該光源射出的光的照度、及由所述IC標(biāo)簽讀出的固有照度數(shù)據(jù)，求出校正被設(shè)置在上述該光源裝置的檢測單元的測定值的校正參數(shù)，并根據(jù)該校正參數(shù)，對檢測單元的輸出進(jìn)行修正。
6. —種安裝有IC標(biāo)簽的光源，其特征在于，在上述IC標(biāo)簽記錄有該光源的總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間、及光的照度，該光的照度為當(dāng)使該光源以規(guī)定的基準(zhǔn)電力點(diǎn)燈時(shí)的由校正完畢的檢測單元測定的由該光源所射出的，并作為與由設(shè)置有該IC標(biāo)簽的光源射出的光的照度相關(guān)的固有照度數(shù)據(jù)。
全文摘要
一種光源裝置的點(diǎn)燈控制方法以及光源裝置，可將由燈所射出的光的照度保持為一定，此外，可自動(dòng)校正靈敏度已劣化的光感測器的檢測靈敏度。先在被安裝于燈1的IC標(biāo)簽1a記錄該燈1的總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間。以作為規(guī)定的目標(biāo)照度的目標(biāo)電力使燈1點(diǎn)燈，通過光感測器15來測定照度。若照度的降低超過一定比例，即對供給至燈1的電力進(jìn)行修正。該修正是參照將上述總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間與修正電力的關(guān)系加以規(guī)定的修正表，求出與總計(jì)點(diǎn)燈時(shí)間相對應(yīng)的修正電力，控制供給至燈1的電力。此外，由未劣化的光感測器來求出每個(gè)燈的光的正確照度數(shù)據(jù)，且寫入至IC標(biāo)簽1a。當(dāng)將該燈安裝在裝置時(shí)，將該照度數(shù)據(jù)與由被設(shè)在光源裝置的光感測器15所被輸出的照度作對比，來校正光感測器15的輸出。
文檔編號H05B41/36GK101636030SQ20091016464
公開日2010年1月27日 申請日期2009年7月23日 優(yōu)先權(quán)日2008年7月23日
發(fā)明者中村雅規(guī) 申請人:優(yōu)志旺電機(jī)株式會社