專利名稱：光源裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光源裝置，特別涉及能夠檢測(cè)燈的燈頭安裝在燈頭座上 的狀態(tài)的光源裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體或液晶基板等的曝光用光照射裝置中，使用將短弧型放電 燈和凹面反射鏡組合的光學(xué)系統(tǒng)，以便能夠高效利用放射光。例如，采 用在中央部具有開口的凹面反射鏡上安裝短弧型放電燈的結(jié)構(gòu)。若將點(diǎn) 光源的燈和凹面反射鏡組合使用，則能夠利用旋轉(zhuǎn)橢圓體反射鏡將光會(huì) 聚到1點(diǎn)上，在拋物面反射鏡中形成平行光，所以得到廣范應(yīng)用(參照 專利文獻(xiàn)1)。為了獲得這樣的特性，需要使短弧型放電燈的亮點(diǎn)準(zhǔn)確位 于凹面反射鏡的焦點(diǎn)上。若安裝規(guī)格不同的燈并點(diǎn)亮，則短弧型放電燈 的亮點(diǎn)的位置從凹面反射鏡的焦點(diǎn)偏移，不能獲得希望的光學(xué)性能。不 僅如此，有時(shí)由于在過(guò)輸入電力狀態(tài)下點(diǎn)亮造成放電燈破裂。因此，以往有使用下述方法在燈的燈頭和光源裝置的燈頭座的對(duì) 置的位置上設(shè)置凹凸，使該凹凸的位置關(guān)系根據(jù)燈的種類而不同，以防 止光源裝置將不能使用的燈點(diǎn)亮(參照專利文獻(xiàn)2)。通過(guò)該方法，將燈 安裝到光源裝置的作業(yè)人員，只要確認(rèn)到燈頭和燈頭座的凹凸未嵌合， 就能夠知道光源裝置上安裝了不合適的燈。本申請(qǐng)人在日本特愿2006-100000號(hào)中提出了在燈頭座上設(shè)置讀取 裝置的方案，該讀取裝置讀取燈頭上顯示的燈/數(shù)據(jù)。自動(dòng)判斷安裝在光 源裝置上的燈是否是合適的燈，若判斷是正確的燈，則管理燈的使用狀 態(tài)以及使用履歷。專利文獻(xiàn)1日本特開2001-135134號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2日本實(shí)全昭59-181576號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3日本特愿2006-100000號(hào)說(shuō)明書 但是，現(xiàn)有的光源裝置存在如下問(wèn)題在將燈信息傳遞給光源裝置 的方法中，由于在放電燈正在點(diǎn)亮?xí)r燈頭座處于高溫狀態(tài)，所以需要耐 高溫性的讀取裝置或冷卻結(jié)構(gòu)復(fù)雜的讀取裝置。并且，在燈點(diǎn)亮?xí)r，尤 其是開始點(diǎn)亮?xí)r，燈頭座處于高電壓狀態(tài)，所以需要將讀取部和燈頭座 可靠地電絕緣。這種結(jié)構(gòu)的讀取裝置非常貴，并且，長(zhǎng)期使用時(shí)，難以 維持讀取裝置的正常動(dòng)作。并且，即使在燈頭和燈頭座的對(duì)置的位置上 設(shè)置凹凸，有時(shí)也會(huì)在凹凸不完全嵌合的狀態(tài)下點(diǎn)亮。因此，在過(guò)輸入 電力狀態(tài)下點(diǎn)亮?xí)r有時(shí)造成放電燈破裂。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于，解決上述現(xiàn)有的問(wèn)題，簡(jiǎn)單準(zhǔn)確地檢測(cè)燈在光 源裝置上的安裝狀態(tài)。為了解決上述課題，本發(fā)明的光源裝置具備燈，其具有燈頭，該 燈頭機(jī)械地保持燈泡并向燈泡供電，該燈泡構(gòu)成放射光的發(fā)光部；燈頭 座，其經(jīng)由燈頭保持燈；以及燈檢測(cè)單元，其利用光來(lái)檢測(cè)燈頭安裝在 燈頭座上的狀態(tài)。光源裝置還具有根據(jù)燈檢測(cè)單元的輸出來(lái)控制燈的點(diǎn) 亮/非點(diǎn)亮的單元。燈檢測(cè)單元具有檢測(cè)用光源；光傳送路徑，其將來(lái) 自檢測(cè)用光源的光傳導(dǎo)到燈頭；以及受光部，其感知來(lái)自檢測(cè)用光源的 光由于燈頭的存在而產(chǎn)生的變化。燈頭座具有可動(dòng)銷，其被燈頭按壓而移動(dòng)；以及光調(diào)制部，其設(shè) 置在可動(dòng)銷上，當(dāng)燈頭安裝到燈頭座上時(shí)，調(diào)制來(lái)自檢測(cè)用光源的光。 可動(dòng)銷具有根據(jù)燈頭的種類來(lái)改變來(lái)自檢測(cè)用光源的光所照射的部分的 多個(gè)光調(diào)制部。燈頭和燈頭座具有凹凸部，該凹凸部形成為能夠使兩者 的抵接部相互嵌合。光傳送路徑是光纖。通過(guò)采用上述結(jié)構(gòu)，能夠以低成本長(zhǎng)期穩(wěn)定地檢測(cè)燈在光源裝置上 的安裝狀態(tài)。


圖1是本發(fā)明的實(shí)施例1中的光源裝置，示出在連接有光學(xué)燈檢測(cè) 裝置的燈頭座上經(jīng)由燈頭安裝燈的狀態(tài)的圖。
圖2是本發(fā)明的實(shí)施例1中的光源裝置，示出在連接有光學(xué)燈檢測(cè) 裝置的燈頭座上安裝燈頭的狀態(tài)的縱剖面圖。
圖3是示出本發(fā)明的實(shí)施例1中的光源裝置的光學(xué)檢測(cè)方法的流程圖。
圖4是本發(fā)明的實(shí)施例2中的光源裝置，示出在具有凹部的燈頭座上安裝具有凸部的燈頭的狀態(tài)的縱剖面圖。
圖5是本發(fā)明的實(shí)施例3中的光源裝置，示出在連接有光學(xué)燈檢測(cè) 裝置的燈頭座上經(jīng)由具有光調(diào)制部的燈頭安裝燈的狀態(tài)的圖。
圖6是本發(fā)明的實(shí)施例4中的光源裝置，示出在連接有光學(xué)燈檢測(cè) 裝置的具有光調(diào)制部的燈頭座上經(jīng)由燈頭安裝燈的狀態(tài)的圖。
圖7是與本發(fā)明的實(shí)施方式4中的光源裝置的光調(diào)制單元的機(jī)構(gòu)相 關(guān)的概念圖。
圖8是與本發(fā)明的實(shí)施方式5中的光源裝置的光調(diào)制單元的機(jī)構(gòu)相 關(guān)的示意圖。
符號(hào)說(shuō)明
1陽(yáng)極；2陰極；3內(nèi)部導(dǎo)棒；4金屬箔；5封閉管部；7外 部導(dǎo)棒；8銀焊料；9發(fā)光部；10燈泡；20燈頭；21圓筒部；22圓筒部的端面；23突出部；24,124,224光調(diào)制部；25凸部；30燈 頭座；31燈頭座的孔部；32燈頭座的端面；35凹部；40，40A，40B光 傳送路徑；41燈檢測(cè)裝置；41A檢測(cè)用光源；41B受光部；42光調(diào) 制單元；44可動(dòng)銷；45彈簧部；46開關(guān)孔。
具體實(shí)施例方式
下面，參照?qǐng)D1 圖8，詳細(xì)說(shuō)明用于實(shí)施本發(fā)明的最佳方式。
實(shí)施例1
本發(fā)明的實(shí)施例1是通過(guò)光透過(guò)還是被遮斷來(lái)檢測(cè)燈的燈頭安裝到 燈頭座的狀態(tài)的光源裝置。 圖1是本發(fā)明的實(shí)施例1中的光源裝置，示出在具有光傳送路徑的燈頭座上安裝燈的狀態(tài)的外觀圖。圖2 (A)是具有光傳送路徑的燈頭座 的縱剖面圖。圖2 (B)是在具有光傳送路徑的燈頭座上安裝燈的燈頭的 狀態(tài)的縱剖面圖。圖1和圖2中，陽(yáng)極l是正極側(cè)的電極。陰極2是負(fù) 極側(cè)的電極。內(nèi)部導(dǎo)棒3是支撐電極并進(jìn)行電連接的部件。金屬箔4是 將內(nèi)部導(dǎo)棒和外部導(dǎo)棒電連接的部件。封閉管部5是將具有電極的放電 空間與外部隔斷地封閉的部分。外部導(dǎo)棒7是將燈頭和金屬箔電連接的 部件。銀焊料8是將燈頭橫外部導(dǎo)棒電連接并機(jī)械連接的部件。發(fā)光部9是通過(guò)電極間的放電來(lái)發(fā)光的部分。燈泡IO是由發(fā)光部和 封閉管部構(gòu)成的燈管。燈頭20是用于機(jī)械地保持燈泡并進(jìn)行電連接的部 件。圓筒部21是燈頭的大徑部。端面22是燈頭的圓筒部的端部。突出 部23是燈頭的小徑部。燈頭座30是機(jī)械地保持燈頭并進(jìn)行電連接的部 件?？撞?1是燈頭的突出部進(jìn)入的燈頭座的空隙。光傳送路徑40A是從 檢測(cè)用光源向燈頭座的光傳送路徑。光傳送路徑40B是從燈頭座向受光 部的光傳送路徑。檢測(cè)用光源41A是用于檢測(cè)燈頭的安裝狀態(tài)的光源。 受光部41B是用于檢測(cè)燈頭的安裝狀態(tài)的受光部。圖3是示出燈的安裝 狀態(tài)的檢測(cè)步驟和可否點(diǎn)亮的判斷步驟的流程圖。如圖1所示，燈由如下部分構(gòu)成燈泡IO，其由發(fā)光部9和2個(gè)封 閉管部5構(gòu)成；陽(yáng)極1和陰極2，它們?cè)诎l(fā)光部中成相對(duì)配置；內(nèi)部導(dǎo)棒 3，其支撐這些陽(yáng)極1和陰極2并且進(jìn)行通電；外部導(dǎo)棒7;以及封閉管 部5，其利用導(dǎo)電性金屬箔4將該內(nèi)部導(dǎo)棒3和外部導(dǎo)棒7連接，并氣密 地進(jìn)行封閉。此外，在兩端的封閉管部5上固定有燈頭20。燈頭20由圓 筒部21和突出部23構(gòu)成，該圓筒部21固定在封閉管部5上，該突出部 23與圓筒部21連設(shè)。燈頭座30固定在光源裝置上。由檢測(cè)用光源41A 和受光部41B構(gòu)成的燈檢測(cè)裝置41經(jīng)由光傳送路徑40與燈頭20連接。如圖2所示，設(shè)置有通過(guò)燈頭座30的第一光傳送路徑40A。在該光 傳送路徑40的一個(gè)端面上連接有檢測(cè)用光源41A。另一端面40AA在燈 頭座30的孔部31敞開。以一個(gè)端面40BB與端面40AA對(duì)置的方式設(shè)置 通過(guò)燈頭座30的第二光傳送路徑40B。另一端與受光部41B連接。兩個(gè)
光傳送路徑40A、 40B優(yōu)選光傳送良好且電絕緣性良好的光纖，但也可 以是玻璃棒。向光傳送路徑放射光的燈檢測(cè)裝置的檢測(cè)用光源41A是 LED (light-emitting diode:發(fā)光二極管)等。檢測(cè)用光源41A使用單色 光(例如紅色)的LED等，以便不與燈的光等外部光混淆。并且，從檢 測(cè)用光源41A發(fā)出的光可以是恒定的單色光，但只要能夠防止與外部光 混淆，也可以是多色光或脈沖狀的光。說(shuō)明以上述方式構(gòu)成的本發(fā)明的實(shí)施例1中的光源裝置的功能和動(dòng) 作。首先，參照?qǐng)Dl，說(shuō)明光源裝置的功能的概要。將燈頭20的突出部 23嵌合于燈頭座30的孔部31中，利用光源裝置保持燈。來(lái)自檢測(cè)用光 源41A的光通過(guò)光傳送路徑40A到達(dá)燈頭座30的孔部31。若燈頭座30 上沒(méi)有燈頭20，則光通過(guò)光傳送路徑40B到達(dá)受光部41B。受光部41B 將來(lái)自光傳送路徑的光轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。若燈頭座30上存在燈頭20，則光 不到達(dá)受光部41B,所以能夠檢測(cè)到燈頭座30上存在燈頭20。若受光部 41B被燈的高能量的光照射，則受光性能劣化。因此，在光傳送路徑上 使用光纖等，遮蔽外部光進(jìn)入到受光部41B，從而防止受光部41B劣化。 并且，防止成為干擾的外部光，能夠高精度地進(jìn)行檢測(cè)。接著，參照?qǐng)D2，說(shuō)明燈頭的檢測(cè)方法。如圖2 (A)所示，燈頭座 30上未安裝燈頭20時(shí)，來(lái)自燈檢測(cè)裝置的檢測(cè)用光源41A的光經(jīng)由光 傳送路徑40A傳輸，從端面40AA放射到燈頭座30的孔部31內(nèi)。光通 過(guò)燈頭座30的孔部31的空間，從端面40BB入射到光傳送路徑40B，傳 導(dǎo)到燈檢測(cè)裝置的受光部41B。利用受光部41B檢測(cè)光，從而檢測(cè)到未 安裝燈頭20。如圖2 (B)所示，燈頭座30上安裝有燈頭20時(shí)，燈頭座30的孔 部31的空間內(nèi)插入有燈頭20的突出部23，所以經(jīng)由光傳送路徑40A傳 導(dǎo)的光被燈頭20的突出部23遮蔽，不能入射到光傳送路徑40B。采用 這種方式，根據(jù)受光部41B檢測(cè)不到光，能夠檢測(cè)到光源裝置的燈頭座 30上安裝有燈的燈頭20。進(jìn)一步，僅在燈頭20可靠地安裝在燈頭座30 上的狀態(tài)(燈頭20的圓筒部21的端面22與燈頭座30的端面抵接的狀 態(tài))時(shí)，利用燈頭20的突出部23遮蔽光，通過(guò)采用上述結(jié)構(gòu)，從而能 夠檢測(cè)到燈頭20可靠地安裝在燈頭座30上的狀態(tài)。這樣，燈頭20的突 出部23作為對(duì)入射的光進(jìn)行調(diào)制的光調(diào)制單元發(fā)揮作用。該情況下的調(diào) 制是指將來(lái)自檢測(cè)用光源的光遮斷或使光通過(guò)。接著，參照?qǐng)D3，說(shuō)明檢測(cè)燈的安裝狀態(tài)、判斷可否點(diǎn)亮的方法。(A) 光源裝置處于燈的更換待機(jī)狀態(tài)時(shí)，根據(jù)來(lái)自系統(tǒng)部的輸出信 號(hào)，從燈檢測(cè)裝置的檢測(cè)用光源41A發(fā)出的光經(jīng)由光傳送路徑40A傳送 到燈頭座30。光從光傳送路徑40A的端面40AA照射到燈頭座30的孔 部31內(nèi)。光源裝置上沒(méi)有安裝燈時(shí)，光通過(guò)燈頭座30的孔部31的空間 從端面40BB入射到光傳送路徑40B，傳導(dǎo)到受光部41B。利用受光部 41B的光傳感器，將光轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。另一方面，光源裝置上安裝有燈 時(shí)，燈頭20的突出部23插入到燈頭座30的孔部31的空間中，所以經(jīng) 由光傳送路徑40A傳導(dǎo)的光被燈頭20的突出部23遮蔽，不會(huì)入射到光 傳送路徑40B，不會(huì)從受光部41B輸出表示光檢測(cè)的電信號(hào)。(B) 來(lái)自受光部40B的輸出被輸入到系統(tǒng)部，系統(tǒng)部根據(jù)有無(wú)來(lái) 自受光部40B的光檢測(cè)信號(hào)，判斷可否點(diǎn)亮燈。從燈檢測(cè)裝置的檢測(cè)用 光源41A發(fā)出多色光或脈沖狀的光時(shí)，通過(guò)在系統(tǒng)部中比較從系統(tǒng)部發(fā) 送給檢測(cè)用光源41A的輸出信號(hào)和來(lái)自受光部41B的輸入信號(hào)，從而能 夠排除外部的干擾光所產(chǎn)生的輸入信號(hào)，防止錯(cuò)誤動(dòng)作。(C) 通過(guò)確認(rèn)到?jīng)]有來(lái)自受光部40B的光檢測(cè)信號(hào)以及光源裝置 中的其它安全(例如、光源裝置的門是否保持未打開等)，在系統(tǒng)部判斷 為可以點(diǎn)亮燈的情況下，顯示/動(dòng)作部許可點(diǎn)亮燈，自動(dòng)點(diǎn)亮或由作業(yè)人 員點(diǎn)亮。具有來(lái)自受光部40B的光檢測(cè)信號(hào)，系統(tǒng)部判斷為不可點(diǎn)亮燈 時(shí)，強(qiáng)制地不可點(diǎn)亮燈，或向作業(yè)人員發(fā)出警告，以防止在不適當(dāng)?shù)臓?態(tài)下點(diǎn)亮燈。燈頭座30、燈檢測(cè)裝置的檢測(cè)用光源41A以及受光部41B僅利用光 傳送路徑連接。通過(guò)充分延長(zhǎng)光傳送路徑，能夠?qū)⒂蓹z測(cè)用光源41A、 受光部41B構(gòu)成的燈檢測(cè)裝置放置在被與點(diǎn)亮燈時(shí)的高溫環(huán)境或高能量 的光(包括紫外線或紅外線)等隔離的環(huán)境中。即使燈頭座30處于高溫 狀態(tài)、高電壓狀態(tài)，光學(xué)裝置也不會(huì)受到影響，所以能夠準(zhǔn)確地收發(fā)光。
因此，無(wú)論耐高溫性且耐高電壓性的價(jià)格高的燈檢測(cè)裝置還是用于冷卻 燈檢測(cè)裝置的裝置等都不需要。并且，能夠防止熱等所引起的燈檢測(cè)裝 置的劣化，能夠長(zhǎng)期維持可靠地檢測(cè)燈的燈頭安裝在光源裝置的燈頭座 上的狀態(tài)。如上所述，本發(fā)明的實(shí)施例1中，光源裝置采用了通過(guò)使光透過(guò)還 是使光遮斷來(lái)檢測(cè)燈的燈頭安裝在燈頭座上的狀態(tài)的結(jié)構(gòu)，所以能夠簡(jiǎn) 單容易可靠地檢測(cè)燈的安裝狀態(tài)。實(shí)施例2本發(fā)明的實(shí)施例2是在燈的燈頭和光源裝置的燈頭座的對(duì)置的位置 上設(shè)置凹凸、并使該凹凸的位置關(guān)系根據(jù)燈的種類而不同的光源裝置。圖4是本發(fā)明的實(shí)施例2中的光源裝置，示出在具有凹部的燈頭座 上安裝具有凸部的燈頭的狀態(tài)的縱剖面圖。圖4中，凸部25是設(shè)置于燈 頭的端面的凸部。端面32是燈頭座的燈頭側(cè)的端面。凹部35是設(shè)置于 燈頭座的燈頭側(cè)的端面的凹部。其它的基本結(jié)構(gòu)與實(shí)施例l相同。如圖4所示，燈頭20的圓筒部21的端面22上具有凸部25。燈頭 座30的端面32上具有凹部35。由于燈頭20的凸部25未插入到燈頭座 30的凹部35中，所以燈頭20的凸部25與燈頭座30的端面32抵接。圓 筒部21的端面22與燈頭座30的端面32不抵接。因此，燈沒(méi)有正確地 安裝到光源裝置上。相對(duì)于此，若燈正確地安裝在光源裝置上，則燈頭20的凸部25插 入到燈頭座30的凹部35中，圓筒部21的端面22與燈頭座30的端面32 抵接。僅在燈頭20的圓筒部21的端面22與燈頭座30的端面32抵接的 狀態(tài)時(shí)，光才被遮斷，通過(guò)采用上述結(jié)構(gòu)能夠檢測(cè)到燈頭20可靠地安裝到 燈頭座30上的狀態(tài)，能夠防止在不適當(dāng)?shù)陌惭b狀態(tài)下點(diǎn)亮燈。此外，若 安裝了不能用于光源裝置的燈，則凹凸不嵌合，所以能夠防止點(diǎn)亮不合 適的燈。該例中，在燈頭側(cè)設(shè)置凸部，在燈頭座側(cè)設(shè)置凹部，但也可以在燈 頭側(cè)設(shè)置凹部，在燈頭座側(cè)設(shè)置凸部。并且，也可以設(shè)置多個(gè)凸部和凹 部，或者設(shè)置外形不同的凸部和凹部，或者將它們組合。 如上所述，本發(fā)明的實(shí)施例2中，光源裝置采用在燈的燈頭和光源 裝置的燈頭座的對(duì)置的位置上設(shè)置凹凸、使該凹凸的位置關(guān)系根據(jù)燈的 種類而不同的結(jié)構(gòu)，所以能夠檢測(cè)到安裝了不合適的燈，能夠防止點(diǎn)亮 不合適的燈。實(shí)施例3本發(fā)明的實(shí)施例3是通過(guò)設(shè)置于燈頭的光調(diào)制部所調(diào)制的光來(lái)檢測(cè) 燈的安裝的光源裝置。圖5是本發(fā)明的實(shí)施例3中的光源裝置，示出在具有光傳送路徑的 燈頭座上安裝具有光調(diào)制部的燈頭的狀態(tài)的縱剖面圖。圖5中，光調(diào)制 部24是反射光的部件。其它的基本結(jié)構(gòu)與實(shí)施例l相同。如圖5所示，在燈頭20的突出部23上設(shè)置有光調(diào)制部24。光傳送 路徑40在燈頭座30上僅設(shè)置有1條。光傳送路徑40的一端與燈檢測(cè)裝 置的檢測(cè)用光源41A和受光部41B連接。光傳送路徑40的另一端在燈 頭座30的孔部31內(nèi)敞開。此處，調(diào)制光是指將來(lái)自檢測(cè)用光源的光反射、不反射光(非反射)、 改變光的反射量(包括漫射)以及將反射光的特性改變?yōu)槿肷涔?改變 光的波長(zhǎng)分布)。并且，光調(diào)制部是指進(jìn)行如下動(dòng)作的部分將來(lái)自檢測(cè) 用光源的光反射、或不反射、或改變反射量、或改變反射光的光譜特性。 也可以形成為發(fā)出熒光的光調(diào)制部。受光部41B是具有與光調(diào)制方法對(duì) 應(yīng)的檢測(cè)能力的光傳感器。在以燈頭座30的端面與燈頭20的圓筒部21的端面22抵接的方式 在光源裝置上安裝燈的情況下，燈頭20的突出部23和光調(diào)制部24對(duì)光 具有不同的調(diào)制特性，所以受光部41B能夠利用經(jīng)由光傳送路徑40傳送 來(lái)的光，檢測(cè)燈是以什么樣的圓周方向的朝向安裝在燈頭座30上的。光調(diào)制部24與光傳送路徑40的端面對(duì)置時(shí)，從燈檢測(cè)裝置的檢測(cè) 用光源41A送出的光照射到光調(diào)制部24，所以利用光調(diào)制部24調(diào)制的 光被受光部41B受到光。光調(diào)制部24未與光傳送路徑40的端面對(duì)置時(shí)， 從燈檢測(cè)裝置的檢測(cè)用光源41A送出的光照射到光調(diào)制部24以外的突出 部23，所以由突出部23調(diào)制的光被送出到燈檢測(cè)裝置的受光部41B。如
上所述，受光部41B能夠根據(jù)受到的光來(lái)檢測(cè)光調(diào)制部24或突出部23 的哪一個(gè)與光傳送路徑40的端面對(duì)置，所以能夠判斷燈在圓周方向的朝 向。相對(duì)于此，燈頭座30上未安裝有燈頭20時(shí)，檢測(cè)用光源41A發(fā)出 的光經(jīng)由光傳送路徑40傳輸，放射到燈頭座30的孔部31內(nèi)。放射到燈 頭座30的孔部31內(nèi)的光在孔部31內(nèi)漫射，所以光不能被送到受光部41B。 由此，光源裝置能夠檢測(cè)到未安裝燈。也可以通過(guò)受到由孔部31調(diào)制的 光，檢測(cè)到燈未安裝在光源裝置上。接著，說(shuō)明實(shí)施例3的變形例。燈頭整體使用光反射率高且耐熱性 和導(dǎo)電性良好的材質(zhì)時(shí)，利用僅光調(diào)制部24使用光反射率低的材質(zhì)，就 能夠形成耐熱性和導(dǎo)電性良好的燈頭。并且，通過(guò)設(shè)置光的調(diào)制特性根 據(jù)燈的種類而不同的光調(diào)制部，還能夠檢測(cè)燈的種類。燈頭的材質(zhì)和光 調(diào)制部的材質(zhì)相同時(shí)，受到根據(jù)燈頭的材質(zhì)的光反射特性調(diào)制的光。光 源裝置根據(jù)受光部上產(chǎn)生的電信號(hào)，判斷出燈被正常安裝。此處，示出調(diào)制光的例子。光調(diào)制部24中使用具有將白色光全反射 的特性的材質(zhì)，利用檢測(cè)用光源發(fā)出白色光并照射到光調(diào)制部時(shí)，白色 光直接被受光部返送。若光調(diào)制部24中使用具有將白色光調(diào)制成藍(lán)色光 的光調(diào)制特性的材質(zhì)，則來(lái)自檢測(cè)用光源的白色光被調(diào)制成藍(lán)色光，發(fā) 送到受光部。若光調(diào)制部24中使用具有將白色光漫射或吸収的特性的材 質(zhì)，則即使將來(lái)自檢測(cè)用光源的白色光照射到光調(diào)制部，光也不會(huì)返回 到受光部。該情況下，未安裝燈時(shí)全反射的光傳送到受光部。如上所述，在本發(fā)明的實(shí)施例3中，光源裝置采用通過(guò)設(shè)置于燈頭 的光調(diào)制部所調(diào)制的光來(lái)檢測(cè)燈的結(jié)構(gòu)，所以還能夠檢測(cè)燈的種類，能 夠防止安裝不適于光源裝置的燈。實(shí)施例4本發(fā)明的實(shí)施例4是在可動(dòng)銷上設(shè)置光調(diào)制部的光源裝置，所述可 動(dòng)銷在燈頭嵌入到燈頭座上時(shí)移動(dòng)。圖6是本發(fā)明的實(shí)施例4中的光源裝置，示出在設(shè)置有光調(diào)制單元 的燈頭座上安裝燈的狀態(tài)的縱剖面圖。圖7是連接有光傳送路徑的燈頭
座的光調(diào)制單元的部分放大縱剖面圖。圖6和圖7中，可動(dòng)銷44是設(shè)置 于燈頭座內(nèi)的銷，并安裝有光調(diào)制部，且通過(guò)燈頭進(jìn)行移動(dòng)。彈簧部45 是推出可動(dòng)銷的彈簧。開關(guān)孔46是可動(dòng)銷進(jìn)行移動(dòng)的孔。其它的基本結(jié) 構(gòu)與實(shí)施例l相同。如圖6所示，燈頭座30由孔部31、光傳送路徑40以及光調(diào)制單元 42構(gòu)成?？撞?1是通過(guò)插入燈的燈頭21的突出部23來(lái)將燈保持在光源 裝置上的部分。光調(diào)制單元42是根據(jù)燈的安裝狀態(tài)來(lái)調(diào)制來(lái)自檢測(cè)用光 源的光的單元。調(diào)制光是指將來(lái)自檢測(cè)用光源的光反射、不反射光(非 反射)、改變光的反射量(包括漫射)、改變反射光的特性(改變光的波 長(zhǎng)分布)。光調(diào)制單元是指將來(lái)自檢測(cè)用光源的光反射、或不反射、或改 變反射量、或者改變反射光的光譜特性的單元。根據(jù)燈的安裝狀態(tài)，使 光調(diào)制部移動(dòng)，以便與光傳送路徑40的端面40C對(duì)置，所以光源裝置能 夠檢測(cè)燈的安裝狀態(tài)。參照?qǐng)D7，說(shuō)明光調(diào)制單元。光調(diào)制單元42由開關(guān)孔46、彈簧部 45、可動(dòng)銷44以及光調(diào)制部124構(gòu)成。彈簧部45的一端固定在開關(guān)孔 46的底部。在另一端施加力，以便從燈頭座的端面推出可動(dòng)銷44?？蓜?dòng) 銷44為圓柱狀，插入于圓筒狀的開關(guān)孔46中。燈頭座上未安裝燈頭時(shí)， 從燈頭座的端面32推出可動(dòng)銷44的一部分。燈頭座上安裝有燈頭時(shí)， 通過(guò)燈頭的圓筒部的端面22將可動(dòng)銷44推入到開關(guān)孔46的內(nèi)部。光調(diào) 制部124連設(shè)在可動(dòng)銷44上所以與可動(dòng)銷連動(dòng)，并且根據(jù)可動(dòng)銷被推入 的量移動(dòng)。光調(diào)制單元根據(jù)可動(dòng)銷44被推入的量，改變與光傳送路徑的 端面44C對(duì)置的光調(diào)制部。通過(guò)改變向燈檢測(cè)裝置的受光部送出的光， 光源裝置能夠檢測(cè)燈的安裝狀態(tài)。即，使光調(diào)制單元作為一種光開關(guān)發(fā) 揮作用。如圖7 (A)所示，燈的燈頭未安裝在燈頭座上時(shí)，光調(diào)制單元沒(méi)有 被推入，所以可動(dòng)銷44從燈頭座的端面32突出。光傳送路徑的端面40C 處于敞開狀態(tài)，來(lái)自燈檢測(cè)裝置的光照射到開關(guān)孔46的內(nèi)部，發(fā)生漫射。 因此，即使燈檢測(cè)裝置的受光部沒(méi)有受到光、或者漫射光少量地返回到 受光部，也能夠根據(jù)受光部輸出判斷不是達(dá)到預(yù)定量的反射光，從而光
源裝置能夠檢測(cè)到未安裝燈。如圖7 (B)所示，若燈的燈頭安裝在燈頭座上，則光調(diào)制單元的可動(dòng)銷44被推入到燈頭座端面32。此時(shí)，光傳送路徑的端面40C與光調(diào) 制部124對(duì)置，所以光照射到光調(diào)制部124，燈檢測(cè)裝置的受光部受到光 調(diào)制部124所調(diào)制的光，從而光源裝置能夠檢測(cè)到燈的安裝狀態(tài)。燈檢 測(cè)裝置能夠根據(jù)光調(diào)制單元的可動(dòng)銷被推入的量檢測(cè)出未安裝燈、或不 完全地安裝燈或正確地安裝燈等。如上所述，本發(fā)明的實(shí)施例4中，光源裝置在燈頭座上設(shè)置能夠改 變與光傳送路徑的端面對(duì)置的光調(diào)制部的光調(diào)制單元，所以能夠檢測(cè)燈 頭的安裝狀態(tài)。實(shí)施例5本發(fā)明的實(shí)施例5是在燈頭的圓筒部端面上設(shè)置的凸部插入到燈頭 座的光調(diào)制單元、利用與凸部的長(zhǎng)度對(duì)應(yīng)的光調(diào)制部調(diào)制光的光源裝置。圖8是本發(fā)明的實(shí)施例5的光源裝置之中、連接有光傳送路徑的燈 頭座的光調(diào)制單元的局部放大縱剖面圖。圖8 (A)是示出未安裝燈的狀 態(tài)的圖。圖8 (B)是示出安裝了沒(méi)有凸部的燈頭的燈的狀態(tài)的圖。圖8 (C)是示出安裝了具有凸部的燈頭的燈的狀態(tài)的圖。如圖8 (A)所示，燈的燈頭未安裝在燈頭座時(shí)，光調(diào)制單元未被推 入，所以可動(dòng)銷44從燈頭座的端面32突出。光傳送路徑的端面40C處 于敞開狀態(tài)，從燈檢測(cè)裝置的檢測(cè)用光源發(fā)出的光照射到開關(guān)孔46的內(nèi) 部并被漫射。因此，燈檢測(cè)裝置的受光部不受到光，所以光源裝置能夠 檢測(cè)到未安裝燈。如圖8 (B)所示，若在燈頭座上安裝具有在圓筒部的端面22上沒(méi) 有凸部的燈頭的燈，則光調(diào)制單元的可動(dòng)銷44被推入到燈頭座端面32。 此時(shí)，光傳送路徑的端面40C與光調(diào)制部224A對(duì)置，所以光照射到光 調(diào)制部224A，燈檢測(cè)裝置的受光部受到光調(diào)制部224A所調(diào)制的光。由 此，光源裝置檢測(cè)到安裝了端面平坦的(沒(méi)有凸部)燈。由此，能夠判 斷安裝了光源裝置中不能使用的不合適的燈。如圖8 (C)所示，若在燈頭座30上安裝了具有凸部25的燈頭20， 則光調(diào)制單元的可動(dòng)銷44被凸部25從燈頭座端面32推入到里面。若光 調(diào)制單元的可動(dòng)銷被推入到光調(diào)制單元的孔部的內(nèi)部，則光傳送路徑的 端面40C與光調(diào)制部224B對(duì)置。光照射到光調(diào)制部224B，燈檢測(cè)裝置 的受光部受到光調(diào)制部224B所調(diào)制的光。由此，光源裝置能夠檢測(cè)到燈 的安裝狀態(tài)。光調(diào)制單元的可動(dòng)銷進(jìn)一步推入到內(nèi)部，光傳送路徑的端面40C與 可動(dòng)銷44對(duì)置。光照射到可動(dòng)銷44，將與可動(dòng)銷44的光調(diào)制特性對(duì)應(yīng) 的光反射。由此，能夠檢測(cè)到安裝有不能使用的種類的燈。若凸部25引 起的光調(diào)制單元的可動(dòng)銷44的推入不充分，則光傳送路徑的端面40C與 光調(diào)制部224A和光調(diào)制部224B的雙方對(duì)置。光照射到光調(diào)制部224A 和光調(diào)制部224B的雙方。該情況下，光源裝置判斷為燈處于未完全安裝 狀態(tài)。根據(jù)光調(diào)制單元的可動(dòng)銷被推入的量，能夠檢測(cè)到燈的安裝狀態(tài)是 未安裝燈、或不完全地安裝燈、或安裝了種類不同的燈或正確地安裝了 正確種類的燈等的哪個(gè)狀態(tài)。尤其，對(duì)于有可能錯(cuò)誤安裝的種類的燈， 根據(jù)每個(gè)燈的極性而改變凸部的設(shè)置方式或變更凸部的高度、外形。通 過(guò)這種方式，能夠使光源裝置不點(diǎn)亮不合適的燈或不適當(dāng)?shù)陌惭b狀態(tài)的 燈。并且，能夠向作業(yè)人員警告是不適合的燈、燈的極性或種類錯(cuò)誤的 情況。如上所述，本發(fā)明的實(shí)施例5中，光源裝置采用了在燈頭的圓筒部 端面上設(shè)置凸部、將凸部插入到燈頭座的光調(diào)制單元的結(jié)構(gòu)，所以能夠 檢測(cè)到合適的燈適當(dāng)?shù)匕惭b。產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明的光源裝置優(yōu)選作為能夠與凹面反射鏡組合來(lái)簡(jiǎn)單準(zhǔn)確地檢 測(cè)進(jìn)行半導(dǎo)體或液晶基板等的曝光的短弧型放電燈的安裝狀態(tài)的光源裝 置使用。也適合作為其它的能夠簡(jiǎn)單準(zhǔn)確地檢測(cè)燈的安裝狀態(tài)的光源裝 置使用。
權(quán)利要求
1.一種光源裝置，其特征在于，所述光源裝置具備燈，其具有燈頭，該燈頭機(jī)械地保持燈泡并向燈泡供電，該燈泡構(gòu)成放射光的發(fā)光部；燈頭座，其經(jīng)由所述燈頭保持所述燈；以及燈檢測(cè)單元，其利用光來(lái)檢測(cè)所述燈頭安裝在所述燈頭座上的狀態(tài)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的光源裝置，其特征在于，所述光源裝置還 具有根據(jù)所述燈檢測(cè)單元的輸出來(lái)控制所述燈的點(diǎn)亮/非點(diǎn)亮的單元。10
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光源裝置，其特征在于，所述燈檢測(cè)單元具有檢測(cè)用光源；光傳送路徑，其將來(lái)自所述檢測(cè)用光源的光傳 導(dǎo)到所述燈頭；以及受光部，其感知來(lái)自所述檢測(cè)用光源的光由于所述 燈頭的存在而產(chǎn)生的變化。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光源裝置，其特征在于，所述燈檢測(cè) 15單元具有檢測(cè)用光源；光傳送路徑，其將來(lái)自所述檢測(cè)用光源的光傳導(dǎo)到所述燈頭；以及受光部，其感知來(lái)自所述檢測(cè)用光源的光由于所述燈頭的存在而產(chǎn)生的變化，所述燈頭具有對(duì)來(lái)自所述檢測(cè)用光源的光進(jìn) 行調(diào)制的光調(diào)制部。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光源裝置，其特征在于，所述燈檢測(cè) 20單元具有檢測(cè)用光源；光傳送路徑，其將來(lái)自所述檢測(cè)用光源的光傳導(dǎo)到所述燈頭；以及受光部，其感知來(lái)自所述檢測(cè)用光源的光由于所述 燈頭的存在而產(chǎn)生的變化，所述燈頭座具有可動(dòng)銷，其被所述燈頭按 壓而移動(dòng)；以及光調(diào)制部，其設(shè)置在所述可動(dòng)銷上，當(dāng)所述燈頭安裝到 所述燈頭座上時(shí)，調(diào)制來(lái)自所述檢測(cè)用光源的光。 25
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光源裝置，其特征在于，所述可動(dòng)銷具有根據(jù)所述燈頭的種類來(lái)改變來(lái)自所述檢測(cè)用光源的光照射到的部分的多 個(gè)光調(diào)制部。
7.根據(jù)權(quán)利要求1 6的任意一項(xiàng)所述的光源裝置，其特征在于， 所述燈頭和所述燈頭座具有凹凸部，所述凹凸部形成為使得兩者的抵接部相互嵌合。
8.根據(jù)權(quán)利要求1 7的任意一項(xiàng)所述的光源裝置，其特征在于， 所述光傳送路徑是光纖。
全文摘要
本發(fā)明提供一種光源裝置，其能夠簡(jiǎn)單且準(zhǔn)確地檢測(cè)到燈在光源裝置上的安裝狀態(tài)。光源裝置的燈頭座(30)上設(shè)置有檢測(cè)用光源(41A)、通過(guò)燈頭座(30)的光纖的光傳送路徑(40A、40B)以及受光部(41B)。在未安裝燈的燈頭(20)的狀態(tài)下，來(lái)自檢測(cè)用光源(41A)的光經(jīng)由光傳送路徑(40A、40B)被受光部(41B)感知。當(dāng)燈的燈頭(20)安裝在燈頭座(30)上時(shí)，從檢測(cè)用光源(41A)發(fā)出的光被燈頭的突出部遮斷，能夠利用受光部(41B)感知到安裝有燈。通過(guò)受光部(41B)的檢測(cè)輸出，控制燈的點(diǎn)亮/非點(diǎn)亮。
文檔編號(hào)H05B37/00GK101131231SQ200710139069
公開日2008年2月27日 申請(qǐng)日期2007年7月24日 優(yōu)先權(quán)日2006年8月23日
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