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一次可生產(chǎn)多根硅芯及其它晶體材料的高頻線圈的制作方法

文檔序號(hào):8187784閱讀:310來源:國(guó)知局
專利名稱:一次可生產(chǎn)多根硅芯及其它晶體材料的高頻線圈的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及高頻線圈技術(shù)領(lǐng)域,具體的說是一種一次可生產(chǎn)多根硅芯及其它晶體材料的高頻線圈。
背景技術(shù)
目前在硅芯、單晶硅及其它晶體材料區(qū)熔方式的生產(chǎn)工藝過程中,使用的是一種單目高頻線圈,其結(jié)構(gòu)為導(dǎo)電紫銅圓盤及位于中心部位的長(zhǎng)圓孔、開口和冷卻機(jī)構(gòu)及導(dǎo)電紫銅管組成。其工作原理大致如下;首先對(duì)高頻線圈通入高頻電流對(duì)原料棒進(jìn)行感應(yīng)加熱,使原料棒上端頭形成熔化區(qū),再將仔晶插入熔化區(qū),然后慢慢提升仔晶,熔化了的原料就會(huì)跟隨仔晶上升,形成一個(gè)新的圓柱型硅芯或其它單晶體材料。這種高頻線圈的缺點(diǎn)是一次只能拉制一根硅芯或其它晶體材料,效率不高,造成人力及能源的浪費(fèi)。這種高頻線圈也可以采取加大內(nèi)孔,使其能一次拉制出多根硅芯或其它晶體,但需要數(shù)倍地增加功率,對(duì)能源造成更大浪費(fèi),不但加重高頻線圈工作強(qiáng)度。因而這種方法也是不可取的。

發(fā)明內(nèi)容
為克服現(xiàn)有高頻線圈的上述缺陷,本實(shí)用新型的目的是提供一種一次可生產(chǎn)多根硅芯及其它晶體材料的高頻線圈。該一次可生產(chǎn)多根硅芯及其它晶體材料的高頻線圈不僅結(jié)構(gòu)合理,且具有耗電少,一次同時(shí)生產(chǎn)加工多根,大大提高工作效率,降低生產(chǎn)成本等優(yōu)點(diǎn)。
為實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明的目的,本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案該一次可生產(chǎn)多根硅芯及其它晶體材料的高頻線圈,在紫銅圓盤的周圍環(huán)繞有銅管,其紫銅圓盤的內(nèi)部的雙開內(nèi)孔呈“8”字形,在紫銅圓盤上的銅管進(jìn)、出口之間留有防止高頻電流就近回流的段開縫。
該一次可生產(chǎn)多根硅芯及其它晶體材料的高頻線圈,其紫銅圓盤的內(nèi)部的內(nèi)孔可呈三個(gè)半圓弧向心排列。
該一次可生產(chǎn)多根硅芯及其它晶體材料的高頻線圈,其紫銅圓盤的內(nèi)部的內(nèi)孔可呈四個(gè)半圓弧向心排列。
該一次可生產(chǎn)多根硅芯及其它晶體材料的高頻線圈,其紫銅圓盤的內(nèi)部的內(nèi)孔可呈五個(gè)半圓弧向心排列。
該一次可生產(chǎn)多根硅芯及其它晶體材料的高頻線圈,其紫銅圓盤的內(nèi)部的內(nèi)孔可呈多個(gè)半圓弧向心排列。
該一次可生產(chǎn)多根硅芯及其它晶體材料的高頻線圈,其紫銅圓盤的下部面呈漸進(jìn)形階梯狀。
該一次可生產(chǎn)多根硅芯及其它晶體材料的高頻線圈,其紫銅圓盤上的銅管可利用銀銅焊焊接使其與紫銅圓盤形成一體的高頻線圈。
由于采用上述技術(shù)方案,本實(shí)用新型的有益效果是該一次可生產(chǎn)多根硅芯及其它晶體材料的高頻線圈,在紫銅圓盤的周圍環(huán)繞有銅管,其紫銅圓盤的內(nèi)部的雙開內(nèi)孔呈“8”字形、三個(gè)半圓弧向心排列、四個(gè)半圓弧向心排列、五個(gè)半圓弧向心排列及多個(gè)半圓弧向心排列,這樣就可避免磁力線分散,不能形成閉合,造成不必要的能量損失,在紫銅圓盤上的銅管進(jìn)、出口之間留有防止高頻電流就近回流的段開縫,其紫銅圓盤的下部面為呈漸進(jìn)形階梯狀。本高頻線圈須與高頻加熱設(shè)備配套使用,使其達(dá)到一次同時(shí)生產(chǎn)加工多根,可以大大提高工作效率,且具有結(jié)構(gòu)合理,耗電少,可以實(shí)現(xiàn)為企業(yè)節(jié)省成本,為國(guó)家節(jié)約能源的優(yōu)點(diǎn)。


圖1是本實(shí)用新型的工作原理示意圖。
圖2是圖1的A向視圖。
圖3是本實(shí)用新型的三根硅芯及其它晶體材料同時(shí)生產(chǎn)的高頻線圈示意圖。
圖4是本實(shí)用新型的四根硅芯及其它晶體材料同時(shí)生產(chǎn)的高頻線圈示意圖。
圖5是本實(shí)用新型的五根硅芯及其它晶體材料同時(shí)生產(chǎn)的高頻線圈示意圖。
圖中1-仔晶;2-硅芯;3-磁力線;4-原料棒熔區(qū);5-紫銅圓盤;6-原料棒;7-高頻電流;8-銅管;9-段開縫;10-下部面。
具體實(shí)施例下面結(jié)合副圖給出本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例。
如圖1、2中所示一次可生產(chǎn)多根硅芯及其它晶體材料的高頻線圈,在紫銅圓盤(5)的周圍環(huán)繞有銅管(8),其紫銅圓盤(5)的內(nèi)部的雙開內(nèi)孔呈“8”字形,在紫銅圓盤(5)上的銅管(8)進(jìn)、出口之間留有防止高頻電流(7)就近回流的段開縫(9),其紫銅圓盤(5)的下部面(10)為呈漸進(jìn)形階梯狀,其紫銅圓盤(5)上的銅管(8)可利用銀銅焊焊接使其與紫銅圓盤(5)形成一體的高頻線圈。
如圖3、4、5中所示一次可生產(chǎn)多根硅芯及其它晶體材料的高頻線圈,在紫銅圓盤(5)的周圍環(huán)繞有銅管(8),其紫銅圓盤(5)的內(nèi)部的內(nèi)孔可呈三個(gè)半圓弧向心排列、四個(gè)半圓弧向心排列、五個(gè)半圓弧向心排列及多個(gè)半圓弧向心排列,這樣就可避免磁力線分散,不能形成閉合,造成不必要的能量損失,在紫銅圓盤(5)上的銅管(8)進(jìn)、出口之間留有防止高頻電流(7)就近回流的段開縫(9),其紫銅圓盤(5)的下部面(10)為呈漸進(jìn)形階梯狀。
使用時(shí);本高頻線圈須與高頻加熱設(shè)備配套使用,其高頻設(shè)備必須有一根上軸和一根下軸,上下軸必須豎直安裝且同心,本高頻線圈安裝在上下軸中間。并與上下軸保持垂直,高頻線圈固定不動(dòng),上下軸可以分別做上下升降運(yùn)動(dòng)。工作前,將原料棒(6)豎直安裝在下軸上,通過一個(gè)仔晶夾頭將仔晶(1)豎直安裝在上軸的下部,開始工作時(shí),首先啟動(dòng)下軸上升,將原料棒(6)送至高頻線圈下方,以原料棒上端頭貼近高頻線圈且不與高頻線圈接觸為最佳,對(duì)高頻線圈的銅管(8)通入高頻電流(7),使高頻線圈產(chǎn)生磁力線(3),對(duì)原料棒(6)進(jìn)行感應(yīng)加熱,待原料棒(6)上端頭被熔化以后,啟動(dòng)上軸下降,把仔晶(1)通過紫銅圓盤(5)的雙開內(nèi)孔或多開內(nèi)孔插入原料棒熔區(qū)(4),然后上軸帶著仔晶(1)慢慢上升,這樣原料棒(6)上被熔化的料就會(huì)跟隨仔晶(1)上升,形成一個(gè)新的晶體,這個(gè)新的晶體就是硅芯。在上軸上升的同時(shí)下軸也要上升,因?yàn)樵习羯媳蝗鄣牟糠直蛔芯?1)帶走以后,原料棒(6)需要向高頻線圈靠近,以形成新的熔區(qū)。這樣,當(dāng)硅芯(2)的生長(zhǎng)達(dá)到所需長(zhǎng)度時(shí),此生產(chǎn)過程即完成。
權(quán)利要求1.一種一次可生產(chǎn)多根硅芯及其它晶體材料的高頻線圈,其特征在于在紫銅圓盤(5)的周圍環(huán)繞有銅管(8),其紫銅圓盤(5)的內(nèi)部的雙開內(nèi)孔呈“8”字形,在紫銅圓盤(5)上的銅管(8)進(jìn)、出口之間設(shè)有段開縫(9)。
2.如權(quán)利要求1所述的一次可生產(chǎn)多根硅芯及其它晶體材料的高頻線圈,其特征在于紫銅圓盤(5)的內(nèi)部的內(nèi)孔可呈三個(gè)半圓弧向心排列。
3.如權(quán)利要求1所述的一次可生產(chǎn)多根硅芯及其它晶體材料的高頻線圈,其特征在于紫銅圓盤(5)的內(nèi)部的內(nèi)孔可呈四個(gè)半圓弧向心排列。
4.如權(quán)利要求3所述的一次可生產(chǎn)多根硅芯及其它晶體材料的高頻線圈,其特征在于紫銅圓盤(5)的內(nèi)部的內(nèi)孔可呈五個(gè)半圓弧向心排列。
5.如權(quán)利要求1所述的一次可生產(chǎn)多根硅芯及其它晶體材料的高頻線圈,其特征在于紫銅圓盤(5)的內(nèi)部的內(nèi)孔可呈多個(gè)半圓弧向心排列。
6.如權(quán)利要求1所述的一次可生產(chǎn)多根硅芯及其它晶體材料的高頻線圈,其特征在于紫銅圓盤(5)的下部面(10)呈漸進(jìn)形階梯狀。
7.如權(quán)利要求1所述的一次可生產(chǎn)多根硅芯及其它晶體材料的高頻線圈,其特征在于其紫銅圓盤(5)與銅管(8)利用銀銅焊焊接。
專利摘要一種一次可生產(chǎn)多根硅芯及其它晶體材料的高頻線圈,涉及高頻線圈技術(shù)領(lǐng)域,在紫銅圓盤(5)的周圍環(huán)繞有銅管(8),其紫銅圓盤(5)的內(nèi)部的雙開內(nèi)孔呈“8”字形,三個(gè)半圓弧向心排列、四個(gè)半圓弧向心排列、五個(gè)半圓弧向心排列及多個(gè)半圓弧向心排,在紫銅圓盤(5)上的銅管(8)進(jìn)、出口之間留有防止高頻電流(7)就近回流的段開縫(9),其紫銅圓盤(5)的下部面(10)為呈漸進(jìn)形階梯狀。本高頻線圈須與高頻加熱設(shè)備配套使用,使其在加工硅芯及其它晶體材料時(shí)達(dá)到一次同時(shí)生產(chǎn)加工多根,可以大大提高工作效率,且具有結(jié)構(gòu)合理,耗電少,可以實(shí)現(xiàn)為企業(yè)節(jié)省成本,為國(guó)家節(jié)約能源的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)H05B6/36GK2918456SQ20062003158
公開日2007年7月4日 申請(qǐng)日期2006年4月14日 優(yōu)先權(quán)日2006年4月14日
發(fā)明者劉朝軒, 李文智 申請(qǐng)人:洛陽金諾機(jī)械工程有限公司
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