專利名稱：在襯底上確定至少一個(gè)標(biāo)記元件的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種在襯底上確定至少一個(gè)標(biāo)記元件的方法。
在襯底上引入標(biāo)記元件是本領(lǐng)域公知的。這些標(biāo)記元件用于借助于相機(jī)在襯底上確定參考位置，在此之后借助于置放機(jī)(placemnetmachine)在相對(duì)于襯底上參考位置的所希望的位置上放置部件。
上述已知方法的缺點(diǎn)在于，其中，出于這個(gè)目的而在襯底上特別引入標(biāo)記元件，是要占用空間的，襯底變得越來越小，因此這是所不希望的。此外，特定標(biāo)記元件也許定位得遠(yuǎn)離隨后要放置部件的位置，其結(jié)果是，測(cè)量可能是不準(zhǔn)確的而且是費(fèi)時(shí)的。
本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種方法，根據(jù)這種方法不再需要在襯底上引入特定的標(biāo)記元件。
這個(gè)目的是使用根據(jù)該發(fā)明的設(shè)備來達(dá)到的，在該設(shè)備中，襯底上至少一個(gè)虛擬標(biāo)記元件是根據(jù)襯底的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)來確定的，其中，對(duì)于襯底的預(yù)定區(qū)域來說，虛擬標(biāo)記元件是唯一的。
通過在襯底的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)中選擇特定屬性，如果所選擇的屬性對(duì)于預(yù)定區(qū)域來說是唯一的，那么就能獲得虛擬標(biāo)記元件。優(yōu)點(diǎn)在于虛擬標(biāo)記元件已經(jīng)存在于襯底上，其結(jié)果就不需要在襯底上引入單獨(dú)的標(biāo)記元件。通過虛擬標(biāo)記元件的幫助，借助于照相機(jī)以簡(jiǎn)單的方式確立了襯底上的位置。如果照相機(jī)僅能照到襯底的有限部分，那么就沒有必要在這個(gè)部分引入特定標(biāo)記元件，只需為那個(gè)部分確定根據(jù)設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的虛擬標(biāo)記元件。而且，這樣可以在襯底的基本所有部分上確立虛擬標(biāo)記元件，這在照相機(jī)僅能照到襯底的有限部分的時(shí)候是很有用的。
根據(jù)本發(fā)明的方法的一個(gè)實(shí)施例，其特征在于虛擬標(biāo)記元件是通過在襯底上選擇至少一個(gè)元件的至少兩個(gè)過渡段(transitions)而獲得的，其中所述過渡段圍成了一個(gè)相對(duì)于彼此的角。
過渡段，例如襯底上導(dǎo)電軌道的邊緣適合于通過照相機(jī)來照取。選擇圍成一個(gè)相對(duì)于彼此的角的兩個(gè)過渡段保證了基于所述兩個(gè)過渡段，在襯底上確立元件位置是完全可行的。所述過渡段可以是相交或不相交的。所述角優(yōu)選的是90°。
根據(jù)本發(fā)明的方法的另一個(gè)實(shí)施例，其特征在于所述兩個(gè)過渡段的定位是基本橫穿彼此的。
上述實(shí)施例的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)在于，基于兩個(gè)定位成基本橫穿彼此的過渡段，在襯底上確定位置是比較簡(jiǎn)單的。此外，襯底上沒有定位成基本橫穿彼此的過渡段是可以被忽略的，所以能夠更迅速地在設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)中選擇虛擬標(biāo)記元件。
根據(jù)本發(fā)明的方法的一個(gè)實(shí)施例，其特征在于，襯底跨越了一個(gè)x，y系統(tǒng)，其中與第二過渡段的y坐標(biāo)結(jié)合的第一過渡段的x坐標(biāo)是從兩個(gè)所選擇的過渡段中選擇的。
通過確定過渡段的坐標(biāo)，虛擬標(biāo)記元件的位置能夠從照相機(jī)所產(chǎn)生的圖像中，相對(duì)簡(jiǎn)單且準(zhǔn)確地確定出來。
根據(jù)本發(fā)明的方法的更進(jìn)一步的實(shí)施例，其特征在于，將所述兩個(gè)所選擇的過渡段的位置與由至少兩個(gè)過渡段構(gòu)成的其它組進(jìn)行比較，以便確定所述兩個(gè)所選擇的過渡段對(duì)于襯底的預(yù)定區(qū)域來說是不是唯一的。
這樣，借助于處理器來檢驗(yàn)是否已經(jīng)選中了唯一、可靠且可辨認(rèn)的標(biāo)記元件。每一個(gè)對(duì)于預(yù)定區(qū)域來說是唯一的所選擇的過渡段組可以作為虛擬標(biāo)記元件。
根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例，其特征在于，元件包括至少兩個(gè)導(dǎo)電軌道部分，其中通過至少兩個(gè)基本平行延伸的過渡段對(duì)每一個(gè)軌道部分進(jìn)行劃界，直徑在中間延伸，在此之后，選擇圍成一個(gè)相對(duì)于彼此的角的軌道部分的直徑。
選擇軌道部分的直徑是有利的，因?yàn)檐壍缹挾鹊淖兓瞧骄摹?br> 根據(jù)本發(fā)明的方法的再另一個(gè)實(shí)施例，其特征在于，將所述兩個(gè)所選擇的直徑與由至少兩個(gè)直徑構(gòu)成的其它組進(jìn)行比較，以確定所述兩個(gè)所選擇的直徑對(duì)于襯底的預(yù)定區(qū)域來說是不是唯一的。
通過這種方法，來確定所選擇的直徑是否能夠用作虛擬標(biāo)記元件。
根據(jù)本發(fā)明的方法的再另外一個(gè)實(shí)施例，其特征在于，虛擬標(biāo)記元件是通過選擇至少兩個(gè)圓來獲得的，其中所述圓的相互位置相對(duì)于彼此是確定的。
上述實(shí)施例的優(yōu)點(diǎn)是可以將各種圓的屬性用作虛擬標(biāo)記元件。例如，圓的直徑可以用作標(biāo)記元件，其中如果希望的話該直徑可與圓心位置相結(jié)合。
根據(jù)本發(fā)明的方法的再另外一個(gè)實(shí)施例，其特征在于，可以選擇兩個(gè)圓心的位置。
通過選擇圓心，將要被確定的標(biāo)記元件確立起來比較容易。
根據(jù)該發(fā)明的方法的再另一個(gè)實(shí)施例，其特征在于，將所述兩個(gè)所選擇的圓的位置與由至少兩個(gè)圓構(gòu)成的其它組進(jìn)行比較，以確定所述兩個(gè)所選擇的圓對(duì)于襯底的預(yù)定區(qū)域來說是不是唯一的。
這樣就確定了所選擇的圓的組合對(duì)于襯底的預(yù)定區(qū)域來說是不是唯一的，是不是因此可以作為合適的虛擬標(biāo)記元件。
根據(jù)本發(fā)明的方法的更進(jìn)一步的實(shí)施例，其特征在于，為了從設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)中確定標(biāo)記元件，使用到了部件層中的部件的位置、導(dǎo)電層中的軌道的位置、抗焊層中的抗焊劑和/或圖形層(text layer)中的圖形的位置。
原則上，所有有用的襯底數(shù)據(jù)都可以用于確定虛擬標(biāo)記元件。唯一的條件是該屬性在預(yù)定區(qū)域中是唯一的并且能夠預(yù)先確立，也就是說，在襯底上放置部件之前確立。
根據(jù)本發(fā)明的方法的再進(jìn)一步的實(shí)施例，其特征在于，虛擬標(biāo)記元件被用于在襯底上放置部件。
這樣的實(shí)施例是有利的，因?yàn)樵谝r底上正確地放置部件所用到的虛擬標(biāo)記元件屬性，在襯底上已經(jīng)存在了。
現(xiàn)在將參考附圖來闡明本發(fā)明，其中

圖1a-d示出了其中分別顯示了要生產(chǎn)的襯底上的軌道圖案的位置、部件的位置、抗焊劑的位置以及圖形的位置的圖，圖2示出了用放置在上面的部件根據(jù)要生產(chǎn)的襯底的圖1a-1d裝配的圖，圖3示出的圖，是圖2所示的圖的一部分，其中舉例說明了元件之間的過渡段，圖4示出了一個(gè)圖，其中對(duì)圖3所示的圖的選定部分進(jìn)行了顯示，圖5示出了圖4所示的圖，其中舉例說明了由多對(duì)過渡段，圖6顯示的是圖2所示的圖的一部分，其中顯示了不同的區(qū)域。
圖中同樣的部分具有相同的參考數(shù)字。
圖1a-1d示出了基于處理器存儲(chǔ)的襯底設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)以及要在其上引入的部件的圖。通過焊劑，將所述部件與襯底上的導(dǎo)電軌道連接起來。出于提供信息的目的，已經(jīng)在襯底上提供了圖形。這樣提供的上述帶有部件的襯底是本領(lǐng)域公知的。
圖1a示出了襯底1的圖，其中示出了襯底1上出現(xiàn)的軌道2的位置。存儲(chǔ)在處理器中的襯底設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)包括x，y平面中的每一個(gè)軌道的確切位置。
圖1b示出了一個(gè)圖，其中顯示了要在襯底上放置的部件3的位置。
圖1c示出了一個(gè)圖，其中示出了襯底上出現(xiàn)的抗焊劑的位置。當(dāng)通過焊接而將部件3固定到襯底1上的時(shí)候，任何焊劑都不會(huì)粘在這些位置上。圖1c中可見的黑點(diǎn)是沒有抗焊劑的區(qū)域。
圖1d示出了一個(gè)圖，根據(jù)該圖可以得出襯底1上出現(xiàn)的圖形的位置。
圖2示出了一個(gè)根據(jù)圖1a-1d中所示的圖而裝配的圖，所以獲得了存儲(chǔ)在設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)中的襯底1的全圖。
到此為止所描述的信息存儲(chǔ)在襯底的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)中，很容易借助于處理器來訪問。
借助于根據(jù)本發(fā)明的方法，從這些設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)中選選擇過渡段，其中借助于照相機(jī)很容易在實(shí)際襯底上照到所述過渡段。而且，這些過渡段會(huì)具有比較準(zhǔn)確的相對(duì)于襯底的位置。
由于以比較不準(zhǔn)確的方式在襯底上引入了圖形，所以從圖1d獲知的圖形以及每一個(gè)圖形周圍的區(qū)域的位置，對(duì)于確定所希望的過渡段來說，被認(rèn)為是襯底1上不可靠的部分，其中由于在襯底1上的圖形的不準(zhǔn)確定位，也可以將圖形定位在所述每一個(gè)圖形周圍的區(qū)域中。
在這個(gè)根據(jù)本發(fā)明的方法的實(shí)施例中，襯底上的沒有抗焊劑的區(qū)域也被規(guī)定為不希望的區(qū)域。事實(shí)上部件的連接元件可以位于這些區(qū)域中。為了使得要確定的標(biāo)記元件不受在那里在要借助于照相機(jī)來檢查的襯底上是否已經(jīng)放置了部件3的事實(shí)的支配，部件3可能存在的區(qū)域也被規(guī)定為不適合的區(qū)域。在已這樣處理設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)之后，只剩下圖1a中所示的軌道圖案2的部分。要檢查的襯底中的軌道圖案2位于抗焊層的下面，但是透過抗焊層是足夠可見的。
圖3示出的圖是圖3所示的襯底1的一部分，其中示出了軌道2的垂直和水平邊界6、7。在圖3所示的圖中，邊界6形成了軌道2的垂直延伸的過渡段，而邊界7形成了另一個(gè)軌道2的水平上邊界。對(duì)于襯底來說，圖3和5中的實(shí)線示出了軌道2的北和東的過渡段N和O，虛線表示的是南和西的過渡段Z和W。然后，關(guān)于圖3中所示的過渡段6和7的信息通過處理器來這樣加以處理，即只有水平和垂直延伸的過渡段留下。過渡段的選擇在圖4中示出了。
然后通過處理器來規(guī)定由過渡段構(gòu)成的組S，其中一組S每次包括一個(gè)水平延伸的過渡段和一個(gè)垂直延伸的過渡段。為了清楚起見，圖5僅顯示了幾組S的過渡段。然而，處理器能夠在將一定區(qū)域中出現(xiàn)的所有水平和垂直過渡段的組合定義成組的方面起作用。根據(jù)每一組S的過渡段，相對(duì)于彼此的過渡段的相互位置以及例如過渡段6、7的長(zhǎng)度L可以根據(jù)設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)來確定。然后，也可以根據(jù)過渡段來指示它是北過渡段N、東過渡段0、南過渡段Z或是西過渡段W。這的確能夠用照相機(jī)來有效地獲取。過渡段的長(zhǎng)度不需要確定。如果在一個(gè)區(qū)域內(nèi)確定了單個(gè)過渡段N或Z以及單個(gè)過渡段0或W，這些過渡段的組合在該區(qū)域內(nèi)是唯一的，那么這本身就是足夠的。隨后，根據(jù)每一個(gè)由過渡段6、7構(gòu)成的組來確定在所選擇的區(qū)域中它們是僅出現(xiàn)了一次還是出現(xiàn)了若干次。例如圖5中顯示了由導(dǎo)電軌道的垂直或水平延伸的過渡段所構(gòu)成的組S1，所述過渡段對(duì)應(yīng)于組S2。如果組S1被用作虛擬標(biāo)記元件，那么就會(huì)有這樣的風(fēng)險(xiǎn)，在照相機(jī)的幫助下，代替組S1的組S2會(huì)被確立為虛擬標(biāo)記元件。這將意味著在稍后相對(duì)于虛擬標(biāo)記元件的位置在襯底上放置部件的步驟中，將不在相對(duì)于所希望的標(biāo)記元件的正確位置上，而是相對(duì)于不正確地規(guī)定為襯底上的標(biāo)記元件的過渡段的組S2，在襯底上放置這個(gè)部件，以至于將不會(huì)在正確位置上將這些部件定位在襯底上。其結(jié)果是，處理器將認(rèn)為過渡段的組S1和過渡段的組S2都是不可用。
圖6示出了襯底的平面圖，其中規(guī)定了三個(gè)區(qū)域。中心的、最小的區(qū)域10是可以借助于照相機(jī)在某一時(shí)刻照到的區(qū)域。區(qū)域10的大小在很大程度上取決于所使用的照相機(jī)。周圍區(qū)域11是在借助于該方法搜索并確定根據(jù)設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)而確立的虛擬標(biāo)記元件位置的時(shí)候，照相機(jī)以分步或連續(xù)的方式掃描的區(qū)域。圍繞區(qū)域11的區(qū)域12是這樣的區(qū)域，其中根據(jù)設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)而確定的標(biāo)記元件是唯一的。區(qū)域11的大小尤其取決于在照相機(jī)下面定位襯底1的精確度。區(qū)域11應(yīng)該足夠大，使得在已經(jīng)將襯底放置在照相機(jī)之下之后，具有基本絕對(duì)確定性的虛擬標(biāo)記元件將出現(xiàn)在區(qū)域11之內(nèi)。如果選擇了太大尺寸的區(qū)域11，那么照相機(jī)就將掃描比較大的區(qū)域，這是費(fèi)時(shí)的。但是，如果選擇了太小尺寸的區(qū)域，那么如果是不準(zhǔn)確地定位的襯底的話，就會(huì)有在區(qū)域11內(nèi)標(biāo)記元件不存在的風(fēng)險(xiǎn)。在這里所描述的實(shí)施例中，區(qū)域11的表面大約是區(qū)域10的尺寸的九倍大。包圍區(qū)域11的區(qū)域12將具有這樣的尺寸，如果相對(duì)于區(qū)域11所示的位置稍微移動(dòng)襯底1，那么在周圍區(qū)域12內(nèi)就沒有對(duì)應(yīng)于虛擬標(biāo)記元件6、7的過渡段的組。如果這個(gè)區(qū)域12被選擇得比較大，那么在處理設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的時(shí)候，就應(yīng)該在比較大的區(qū)域上確立虛擬標(biāo)記元件的唯一性，這也許是費(fèi)時(shí)的。但是，如果區(qū)域12被選擇得太小，那么就會(huì)有在相對(duì)于照相機(jī)稍微移動(dòng)襯底時(shí)存在相似的過渡段的組的風(fēng)險(xiǎn)，以致于有混淆的風(fēng)險(xiǎn)。在圖6中所示的實(shí)例中，區(qū)域12的表面大約是區(qū)域11的表面的2.5倍大。
另一個(gè)可能是為具有若干圓形元件的襯底選擇一個(gè)圓形元件作為標(biāo)記元件。以與參考圖2-5所描述的相同的方式，可以僅從襯底13的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)中選擇圓形元件，在此之后，隨后分析所有可能的由例如兩個(gè)圓形元件構(gòu)成的組的組合，并檢查它們?cè)谝r底13的選定區(qū)域內(nèi)出現(xiàn)了一次還是出現(xiàn)了若干次。只有當(dāng)某組圓形元件在所選擇的區(qū)域內(nèi)出現(xiàn)了一次，這組圓形元件才能夠作為所選擇的區(qū)域的虛擬標(biāo)記元件。
例如，根據(jù)設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)，能夠?qū)С鰣A形元件的直徑。如果在所選擇的區(qū)域內(nèi)沒有其它具有相似直徑的圓形元件存在，那么這個(gè)圓形元件就可以作為虛擬標(biāo)記元件。但是，在像這樣的情況下，還是存在這樣的可能在照相機(jī)的幫助下能夠確定這個(gè)圓形元件的位置，這是真的，但容納該圓形元件的襯底卻相對(duì)于這個(gè)圓形元件進(jìn)行了旋轉(zhuǎn)。因此，在可能輕微旋轉(zhuǎn)襯底的情況下，使用至少兩個(gè)除例如直徑之外還確立了相互位置的圓形元件是很有益的。然后可以將這種可能的組合用作虛擬標(biāo)記元件。
作為選擇，可以利用由圖3中按照一個(gè)角度定位的過渡段17、18構(gòu)成的組來代替由水平和垂直過渡段構(gòu)成的組。所述過渡段優(yōu)選地應(yīng)該圍成一個(gè)相對(duì)于彼此的角，以便基于照相機(jī)檢測(cè)到的虛擬標(biāo)記元件的位置，不但知道該位置，而且還知道襯底1相對(duì)于這個(gè)位置的定向。如果還從設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)得知過渡段7的末端，那么，作為選擇，就可以使用單個(gè)過渡段7作為虛擬標(biāo)記元件。
為了進(jìn)一步提高在確定虛擬標(biāo)記元件的位置方面的準(zhǔn)確性，代替確定導(dǎo)電軌道2的邊緣或過渡段的位置，可以確定該位置，即該軌道的兩側(cè)的任一側(cè)上的過渡段。然后根據(jù)這個(gè)確定軌道的直徑15的位置(例如，參見圖6)。這樣做的優(yōu)點(diǎn)是軌道寬度可能由于制造方法而輕微變化。但是，直徑的位置保持不變。因此，直徑15形成了比軌道2和襯底1之間的過渡段更準(zhǔn)確的軌道位置。在圖6所示的實(shí)施例中，這意味著根據(jù)軌道2’將要確定西過渡段W和東過渡段0的位置，反之根據(jù)軌道2”將要確定北過渡段N和南過渡段Z的位置，在此之后可以計(jì)算直徑的位置。
使用虛擬標(biāo)記元件是有利的，因?yàn)椴恍枰谝r底上放置任何僅用作標(biāo)記元件的元件。
如果在照相機(jī)下面僅能看到襯底的有限部分，就往往可以在這有限部分內(nèi)規(guī)定虛擬標(biāo)記元件，所以該襯底相對(duì)于照相機(jī)的位置能夠以簡(jiǎn)單的方式來檢查。如果多個(gè)并排設(shè)置的部件置放機(jī)被用來在單個(gè)襯底上同時(shí)放置多個(gè)部件，而只有一個(gè)位于部件置放機(jī)附近的襯底部分能夠借助于屬于各部件置放機(jī)的照相機(jī)來照取，這點(diǎn)就特別重要。
可以將在襯底上出現(xiàn)的任意部件用作虛擬標(biāo)記元件。例如，倘若已經(jīng)相對(duì)于要放置的部件的位置準(zhǔn)確地規(guī)定了圖形的位置，那么也可以采用在襯底上出現(xiàn)的圖形。
可以針對(duì)每一個(gè)軌道確定多個(gè)，例如六個(gè)彼此遠(yuǎn)離的點(diǎn)，以確定相關(guān)軌道的位置。
如果一個(gè)標(biāo)記元件具有更多的過渡段，那么確定標(biāo)記元件位置的準(zhǔn)確性就會(huì)提高，這是顯而易見的。
權(quán)利要求
1.一種在襯底(1)上確定至少一個(gè)標(biāo)記元件的方法，其特征在于，該襯底(1)上的至少一個(gè)虛擬標(biāo)記元件(5)是根據(jù)襯底(1)的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)來確定，其中對(duì)于襯底(1)的預(yù)定區(qū)域，該虛擬標(biāo)記元件(5)是唯一的。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，虛擬標(biāo)記元件是通過在襯底上選擇至少一個(gè)元件的至少兩個(gè)過渡段(6，7，17，18)而獲得的，其中過渡段(6，7，17，18)圍成一個(gè)相對(duì)于彼此的角。
3.如權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，所述兩個(gè)過渡段(6，7，17，18)被定位成彼此基本橫穿。
4.如權(quán)利要求2或3所述的方法，其特征在于，襯底(1)跨越了一個(gè)x，y系統(tǒng)，其中根據(jù)所述兩個(gè)所選擇的過渡段(6，7)，選擇與第二過渡段的y坐標(biāo)相結(jié)合的第一過渡段的x坐標(biāo)。
5.如權(quán)利要求2-4中的任一個(gè)所述的方法，其特征在于，將所述兩個(gè)所選擇的過渡段(6，7，17，18)的位置與由至少兩個(gè)過渡段(6，7，17，18)所構(gòu)成的其它組(S)進(jìn)行比較，以便確定所述兩個(gè)所選擇的過渡段對(duì)于襯底(1)的預(yù)定區(qū)域是否是唯一的。
6.如權(quán)利要求2中所述的方法，其特征在于，該元件包括至少兩個(gè)導(dǎo)電軌道部分(2)，其中通過兩個(gè)基本平行延伸的過渡段(6，7，17，18)來對(duì)每個(gè)軌道部分劃界，直徑(15)在中間延伸，在此之后選擇該軌道部分的直徑(15)，該直徑(15)圍成了一個(gè)相對(duì)于彼此的角。
7.如權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，將所述兩個(gè)所選擇的直徑(15)與由至少兩個(gè)直徑(15)所構(gòu)成的其它組(S)進(jìn)行比較，以確定所述兩個(gè)所選擇的直徑對(duì)于襯底的預(yù)定區(qū)域是否是唯一的。
8.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，虛擬標(biāo)記元件(5)是根據(jù)選擇至少兩個(gè)圓而獲得的，其中所述圓的位置相對(duì)于彼此是確定的。
9.如權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，選擇所述兩個(gè)圓心的位置。
10.如權(quán)利要求8或9所述的方法，其特征在于，將兩個(gè)所選擇的圓的位置與由至少兩個(gè)圓所構(gòu)成的其它組進(jìn)行比較，以確定所述兩個(gè)所選擇的圓對(duì)于襯底的預(yù)定區(qū)域是否是唯一的。
11.如前述權(quán)利要求中的任一權(quán)利要求所述的方法，其特征在于，為了根據(jù)設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)確定標(biāo)記元件，使用的部件層中的部件的位置，導(dǎo)電層中的軌道的位置、抗焊層中的抗焊劑和/或圖形層中的圖形的位置。
12.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，該虛擬標(biāo)記元件被用來在襯底上放置部件。
全文摘要
一種在襯底(1)上確定至少一個(gè)標(biāo)記元件的方法。借助于襯底(1)的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)來確定該襯底(1)上的至少一個(gè)虛擬標(biāo)記元件(5)。然后，對(duì)于襯底(1)的預(yù)定區(qū)域，虛擬標(biāo)記元件(5)應(yīng)該是唯一的。虛擬標(biāo)記元件是通過在襯底上選擇至少一個(gè)元件的至少兩個(gè)過渡段(6，7，17，18)而獲得的，而且過渡段(6，7，17，18)圍成一個(gè)相對(duì)于彼此的角。
文檔編號(hào)H05K3/00GK1765167SQ200480008340
公開日2006年4月26日 申請(qǐng)日期2004年3月25日 優(yōu)先權(quán)日2003年3月28日
發(fā)明者H·J·L·M·沃林格斯, J·J·G·M·范奧斯特豪特, J·L·霍里喬 申請(qǐng)人:皇家飛利浦電子股份有限公司