專利名稱：靜電消除器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種靜電消除器，更具體地說，涉及一種用于消除大尺寸玻璃基板表面靜電的靜電消除器。
背景技術(shù)：
靜電往往會借助于接觸或摩擦而成形在物體的表面上。而存在于物體表面的靜電會吸引四周的帶電微粒，使其吸附于該物體的表面，造成污染；因此，對于潔凈程度嚴(yán)格要求的各種制程，如微影，蝕刻等半導(dǎo)體制程，必須盡量避免靜電的產(chǎn)生；此外，在靜電累積后的放電過程中常會產(chǎn)生巨大的電壓，容易造成半導(dǎo)體元件的損壞。
目前在制造業(yè)中用于解決靜電累積的常用方法有(1)將設(shè)備接地并調(diào)整環(huán)境的相對濕度，以將物體表面的靜電導(dǎo)出四周；(2)在物體外加金屬屏蔽，以避免外在電源對該物體表面產(chǎn)生影響。但除了上述消除靜電的方法外，也可以利用靜電消除器噴灑離子至物體表面以中和物體表面的靜電。
而目前制造業(yè)中所使用的靜電消除器，依據(jù)靜電消除原理以及是否通入有高壓氣體來區(qū)分，可以分為主動式、被動式、吹氣式與非吹氣式，其中主動式靜電消除器，依其外接電源的不同，又可分為直流式與交流式。
如圖1所示，傳統(tǒng)的交流吹氣式靜電消除器包含有一桿體10以及復(fù)數(shù)個放電針組20；在桿體10內(nèi)通有高壓氣體；并有一通有交流電的電源線11裝設(shè)在桿體10內(nèi)；而各放電針組20以5至10公分的間距設(shè)在桿體10上。
如圖2所示，傳統(tǒng)靜電消除器中的放電針組20包括有一放電針21與一噴嘴22；放電針21與電源線11電性連接；噴嘴22設(shè)在上述放電針21的外圍，用于界定離子噴灑角度；上述噴嘴22的離子噴灑角度為35度，該角度是一般制造業(yè)中常用的噴灑角度。
該傳統(tǒng)靜電消除器在進(jìn)行靜電消除時，電源線11與放電針21電性連接并通入交流電，使放電針21持續(xù)尖端放電并產(chǎn)生離子；該離子的電性隨交流電的電性交互改變；此外，通入桿體10內(nèi)的高壓氣體經(jīng)由噴嘴22攜帶上述放電針21產(chǎn)生的離子噴灑至玻璃基板表面。
然而，在現(xiàn)今玻璃基板尺寸不斷加大的情形下，對于靜電消除器的要求已不止于有效去除靜電，同時更要求成本的降低與時間的節(jié)??；因此，上述傳統(tǒng)的靜電消除器存在有下列缺點1.靜電消除器的涵蓋角度不足。如圖3所示，該靜電消除器的涵蓋角度為35度，其與玻璃基板的垂直距離為D，在此條件下靜電消除器的消除面積為F；該玻璃基板的長度為L，寬度為W，并且其以一定速度V沿著長度方向相對于靜電消除器移動。由于上述靜電消除器的涵蓋角度是固定的，因此消除面積受到限制。
2.如圖4所示，當(dāng)玻璃基板的長度在增加一倍時，利用傳統(tǒng)的靜電消除器進(jìn)行靜電消除，若在不改變玻璃基板相對于靜電消除器移動速度V的情形下，該玻璃基板完成靜電消除所需的時間則由L/V增加為2L/V，因而增加了時間成本；若希望減少該玻璃基板完成靜電消除所需的時間至L/V，則需將相對移動速度增加為2V，從而導(dǎo)致玻璃基板單位面積接收到的離子量只有原來的一半，因而造成玻璃基板表面的靜電無法完全被中和。
3.如圖5所示，若將傳統(tǒng)的靜電消除器至玻璃基板的垂直距離由D增加為2D，再利用該靜電消除器進(jìn)行靜電消除時；由于靜電消除器的涵蓋角度是固定的，該垂直距離的增加可以同時增加靜電消除器的消除面積至F’(F’＞F)。但是，伴隨著該垂直距離的增加，放電針21產(chǎn)生的離子密度也會以上述距離的增加而以平方比降低；同時，該離子電性中和的機會也隨著降低；因而導(dǎo)致玻璃基板接受到的離子密度不足，造成靜電消除效率的降低。
4.如圖5所示，當(dāng)靜電消除器至玻璃基板的垂直距離增加至2D后，相對增加了該靜電消除制程所需的設(shè)備空間，因而增加了空間成本。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明中靜電消除器的主要目的是為了解決消除大尺寸玻璃基板靜電時所產(chǎn)生的問題，諸如靜電消除器涵蓋角度不足；靜電消除器與玻璃基板距離增加導(dǎo)致玻璃基板靜電消除效率降低與設(shè)備空間增加；靜電消除器與玻璃基板相對移動速度增加導(dǎo)致玻璃基板表面靜電無法完全被中和。
本發(fā)明中的靜電消除器包含一桿體以及復(fù)數(shù)個放電針組；并有一電源線裝設(shè)在上述桿體內(nèi)，該放電針組以一定間距(5至10公分)裝設(shè)在上述桿體上，且每一個放電針組包括有復(fù)數(shù)個放電針。該放電針與上述電源線電性連接；籍由調(diào)整上述放電針的針尖方向來提升放電針組的噴灑角度；因此，本發(fā)明中的靜電消除器可以獲得較大的涵蓋角度，可有效作大尺寸玻璃基板表面的靜電。
另外，所述同一放電針組中相鄰二放電針之間的夾角為10到60度。


下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明中的具體實施例作進(jìn)一步詳細(xì)說明。
圖1是傳統(tǒng)交流吹氣式靜電消除器的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是傳統(tǒng)靜電消除器中放電針組的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是傳統(tǒng)靜電消除器在進(jìn)行靜電作時的示意圖；圖4是在玻璃基板的長度增加一倍時利用傳統(tǒng)靜電消除器進(jìn)行靜電消除作業(yè)的示意圖；圖5是在傳統(tǒng)靜電消除器與玻璃基板的距離增加一倍時利用該靜電消除器進(jìn)行靜電消除作業(yè)的示意圖；圖6A與圖6B是本發(fā)明中靜電消除器的結(jié)構(gòu)示意圖；圖7是本發(fā)明中離子噴灑角度的示意圖；圖8是本發(fā)明中靜電消除器在進(jìn)行靜電消除作業(yè)時的示意圖；圖9A與圖9B是本發(fā)明中靜電消除器的一實施例圖；圖10A與圖10B是本發(fā)明中靜電消除器的又一實施例圖；圖11A與圖11B是本發(fā)明中靜電消除器的另一實施例圖。
具體實施例方式
本發(fā)明中的靜電消除器是在每一個放電針組內(nèi)裝設(shè)有復(fù)數(shù)個放電針，以增加該放電針組的離子噴灑角度，因而可提高靜電消除器的涵蓋角度。
如圖6 A與圖6B所示，本發(fā)明第一實施例中的靜電消除器含有一桿體30以及復(fù)數(shù)個放電針組40；在桿體30內(nèi)通有高壓氣體，并有一通有交流電的電源線31裝設(shè)在桿體30內(nèi)；放電針組40以一定間隔(5至10公分)裝設(shè)在桿體30上，且每一個放電針組40包括有二放電針41與一噴嘴42，且在同一放電針組的相鄰二放電針41之間夾有一定角度，該角度為10至60度。
如圖6B所示，該圖示出了垂直桿體30軸線方向的結(jié)構(gòu)；其中放電針41及噴嘴42與圖2中所示傳統(tǒng)技術(shù)的放電針21及噴嘴22的型式相同；放電針41與電源線31電性連接，并通入交流電，導(dǎo)致該放電針41具有高電壓，及可持續(xù)放電產(chǎn)生離子；上述離子的電性是隨上述交流電的電性進(jìn)行交互改變；噴嘴42裝設(shè)在放電針41的外圍，用于界定離子噴灑角度；通入桿體30內(nèi)的高壓氣體經(jīng)由噴嘴42而攜帶放電針41產(chǎn)生的離子噴灑至玻璃基板。
如圖7所示，在該圖中示出了本發(fā)明中離子的噴灑角度，上述放電針組40其中二噴嘴42的噴灑角度是彼此相鄰而不重疊；與圖2中傳統(tǒng)技術(shù)放電針組20僅有35度的離子噴灑角度相比，本實施例的放電針組可以產(chǎn)生約為70度的離子噴灑角度。
如圖8所示，靜電消除器的涵蓋角度為70度，與玻璃基板的垂直距離為D，在此條件下上述靜電消除器的消除面積為F”。與圖3中所示傳統(tǒng)技術(shù)的靜電消除器相比較，由于本發(fā)明中涵蓋角度增加，從而使消除面積也相應(yīng)增加F”＞F。
如圖9A與圖9B所示，本發(fā)明另一實施例的靜電消除器包含有一桿體30以及復(fù)數(shù)個放電針組40，在桿體30內(nèi)通有高壓氣體；并有一通有交流電的電源線31裝設(shè)在其內(nèi)部；放電針組40以一定間隔(5至10公分)裝設(shè)在桿體30上，且每一個放電針組40均包括有三個放電針41與三個噴嘴42；若再增加該放電針41的數(shù)目，上述靜電消除器可以獲得更大的涵蓋角度。
如圖10A與圖10B所示，本發(fā)明又一實施例的靜電消除器包含有一桿體30以及復(fù)數(shù)個放電針組40；在該桿體30內(nèi)通有高壓氣體；并有一通有直流電的電源線31裝設(shè)在內(nèi)；放電針組40以一定間隔(5至10公分)裝設(shè)在該桿體30上；且每一個放電針組40包括有二放電針41與二噴嘴42，該放電針41產(chǎn)生的帶電離子與該直流電源具有相同的電性。
如圖11A與11B所示，本發(fā)明再一實施例的靜電消除器包含有一桿體30以及復(fù)數(shù)個放電針組40；并有一通有交流電的電源線31裝設(shè)在內(nèi)該放電針組40以一定間隔(5至10公分)裝設(shè)在桿體30上；且該放電針組40包括有一放電針41。本實施例是一非吹氣式靜電消除器，在其中的桿體30內(nèi)并不加入有高壓氣體，同時也去除裝設(shè)在每一放電針41外圍的噴嘴42，從而籍由增加放電針組40放電針41的數(shù)目來增加靜電消除器的涵蓋角度。
另外，上述僅對本發(fā)明中的較佳實施例作了說明，但并不能作為本發(fā)明的保護(hù)范圍，因作為本領(lǐng)域的技術(shù)人員對其作出相應(yīng)的修改與修飾是可以的，因此，凡是依據(jù)本發(fā)明的設(shè)計精神而作出的等效變化或修飾，均應(yīng)認(rèn)為落入本發(fā)明的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種靜電消除器，尤其適用于大尺寸玻璃基板的靜電消除器，其包含有一桿體，在該桿體內(nèi)通有一電源線；復(fù)數(shù)個放電針組，該復(fù)數(shù)個放電針組以一定間距裝設(shè)在所述桿體上；其特征在于所述每一放電針組包含有復(fù)數(shù)個放電針，該復(fù)數(shù)個放電針垂直于所述桿體的軸線方向，且同一放電針組的相鄰二放電針夾有一定角度；所述放電針與所述電源線相接，并用于產(chǎn)生離子，該離子噴灑至玻璃基板表面后用于中和其表面的靜電。
2.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的靜電消除器，其特征在于所述同一放電針組的相鄰二放電針之間的夾角為10到60度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的靜電消除器，其特征在于所述電源線通以交流電，為此，所述放電針產(chǎn)生的離子電性隨上述電源電性而作交互改變。
4.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的靜電消除器，其特征在于所述電源線通以直流電，為此，所述放電針產(chǎn)生的離子電性與直流電源電性相同。
5.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的靜電消除器，其特征在于所述相鄰兩放電針組的距離為5至10公分。
6.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的靜電消除器，其特征在于在所述每一放電針外圍裝設(shè)有一噴嘴，且噴嘴以一定噴灑角度將該放電針?biāo)a(chǎn)生的離子噴灑至玻璃基板表面。
7.根據(jù)權(quán)利要求6中所述的靜電消除器，其特征在于所述桿體通有高壓氣體，該高壓氣體經(jīng)由所述噴嘴將放電產(chǎn)生的離子噴灑至玻璃基板表面。
8.根據(jù)權(quán)利要求7中所述的靜電消除器，其特征在于所述噴嘴的噴灑角度為35度。
9.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的靜電消除器，其特征在于所述每一放電針沒有裝設(shè)噴嘴，且在其中的桿體中沒有通入高壓氣體。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種靜電消除器，該靜電消除器適用于消除大尺寸玻璃基板的靜電；該靜電消除器包含一桿體以及復(fù)數(shù)個放電針組；該桿體內(nèi)通有電源線；各放電針組以一定間距裝設(shè)在桿體上；每一個放電針組包括有復(fù)數(shù)個放電針與復(fù)數(shù)個噴嘴，該放電針與電源線電性連接，該噴嘴裝設(shè)在上述放電針的外圍，并以一定噴灑角度將上述放電針?biāo)a(chǎn)生的離子噴灑至玻璃基板上。
文檔編號H05F3/06GK1512832SQ02159708
公開日2004年7月14日 申請日期2002年12月30日 優(yōu)先權(quán)日2002年12月30日
發(fā)明者盧聰林, 陳盈吉 申請人:友達(dá)光電股份有限公司