或多個(gè)制動(dòng)部件與"內(nèi)插"式 基底形成為一個(gè)整體。
[0173] 在圖9中，示出了一個(gè)替代性實(shí)施例，其中，揚(yáng)聲器包括與膜片的兩個(gè)面相對(duì)的制 動(dòng)部件。該實(shí)施例特別地適于圖1A到1C中的聲使能器，該聲使能器包括能夠使膜片向上和 向下運(yùn)動(dòng)的如圖8C中所示的兩個(gè)致動(dòng)器。如上所述，在兩個(gè)方向上致動(dòng)膜片能夠更加良好 地再現(xiàn)聲音。
[0174] 例如根據(jù)圖8A和8B中所描述的方法來(lái)制造圖9中的揚(yáng)聲器，但并不限于此。
[0175] 之后，制作諸如圖8B中的基底的第二基底。
[0176]之后，削減支承膜片的基底的厚度，以使得該厚度小于膜片的最大行程。可以整體 壓縮支承基底。
[0177] 之后，基底300被組裝成面對(duì)膜片的一個(gè)面，該面與膜片的承載致動(dòng)器的面相反。
[0178] 在示出的示例中，位于膜片2兩側(cè)的制動(dòng)部件14具有相同的高度，但是他們可以具 有不同的高度，例如根據(jù)膜片的支承基底的薄厚水平來(lái)確定該高度。
[0179] 此外，可以設(shè)想在圖6C的子組件上進(jìn)行組裝，并組裝成圖8B中的基底。
[0180]在制動(dòng)部件將由膜片承載的實(shí)施例中，例如可在圖5P所示的步驟或圖5Q所示的步 驟之后通過(guò)沉積材料來(lái)完成制動(dòng)部件的制作。例如，將通過(guò)保持原始基底100的部分來(lái)制作 制動(dòng)部件。之后，將基底的厚度削減至制動(dòng)部件的期望厚度，之后將通過(guò)刻蝕基底來(lái)釋放膜 片，之后可以顯露出制動(dòng)部件。
[0181] 根據(jù)本發(fā)明的數(shù)字聲學(xué)裝置以相對(duì)簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)提供了增強(qiáng)的聲功率。此外，特別 在制作微凸塊的情況中，相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)中數(shù)字聲學(xué)裝置的制造方法，本發(fā)明的制作方法 幾乎沒(méi)有被復(fù)雜化。
[0182] 該方法特別地適于制造包括多個(gè)聲使能器的數(shù)字揚(yáng)聲器。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種數(shù)字聲學(xué)裝置，其包括面對(duì)支承件(4)的至少一個(gè)懸置膜片(2)以及與所述膜片 相關(guān)聯(lián)的至少一個(gè)致動(dòng)器(6、10)，相關(guān)聯(lián)的所述致動(dòng)器(6、10)被配置成使所述膜片(2)遠(yuǎn) 離和/或接近所述支承件(4)，所述裝置還包括制動(dòng)機(jī)構(gòu)（14)，該制動(dòng)機(jī)構(gòu)（14)被配置成當(dāng) 所述膜片具有非零速度時(shí)中斷所述膜片（2)的運(yùn)動(dòng)進(jìn)而激活所述致動(dòng)器(6、10)，所述制動(dòng) 機(jī)構(gòu)（14)的尺寸被確定為使得當(dāng)所述膜片的運(yùn)動(dòng)大于或等于所述膜片的理論最大行程的 50%并且小于或等于所述膜片的理論最大行程的75%時(shí)中斷所述膜片(2)的運(yùn)動(dòng)。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的數(shù)字聲學(xué)裝置，其中，所述制動(dòng)機(jī)構(gòu)的尺寸被確定為使得當(dāng)所 述膜片的運(yùn)動(dòng)介于所述膜片的理論最大行程的50%到60%之間時(shí)中斷所述膜片的運(yùn)動(dòng)。3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的數(shù)字聲學(xué)裝置，其中，所述制動(dòng)機(jī)構(gòu)的尺寸被確定為使得 當(dāng)所述膜片以其最大速度或以接近其最大速度的速度運(yùn)動(dòng)時(shí)中斷所述膜片的運(yùn)動(dòng)。4. 根據(jù)權(quán)利要求1到3中任一項(xiàng)所述的數(shù)字聲學(xué)裝置，其中，所述制動(dòng)機(jī)構(gòu)包括至少一 個(gè)制動(dòng)部件（14)，所述至少一個(gè)制動(dòng)部件（14)從所述支承件(4)朝向所述膜片（2)伸出和/ 或從所述膜片（2)朝向所述支承件(4)伸出，并且所述至少一個(gè)制動(dòng)部件（14)具有自由端 (14.1) ，該自由端(14.1)與靜止?fàn)顟B(tài)下的所述膜片(2)和/或所述支承件由非零距離隔開(kāi)。5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的數(shù)字聲學(xué)裝置，其中，所述制動(dòng)部件被定位成面向所述膜片的 中心區(qū)域，或所述制動(dòng)部件被固定在所述膜片的中心區(qū)域中。6. 根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的數(shù)字聲學(xué)裝置，其中，將所述制動(dòng)部件（14)的自由端 (14.1) 與所述膜片(2)隔開(kāi)的所述距離或?qū)⑺鲋苿?dòng)部件（14'）的自由端（14. Γ)與所述支 承件(4)隔開(kāi)的所述距離介于所述膜片的理論最大行程的50%到75%之間。7. 根據(jù)權(quán)利要求1到6中任一項(xiàng)所述的數(shù)字聲學(xué)裝置，其中，所述制動(dòng)機(jī)構(gòu)包括多個(gè)制 動(dòng)部件（14、14'），該多個(gè)制動(dòng)部件（14、14'）從所述支承件(4)朝向所述膜片(2)伸出和/或 從所述膜片（2)朝向所述支承件（4)伸出，并且該多個(gè)制動(dòng)部件（14、14'）具有自由端 (14.1) ，該自由端（14.1)與靜止?fàn)顟B(tài)下的所述膜片(2)和/或所述支承件分別由非零距離隔 開(kāi)。8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的數(shù)字聲學(xué)裝置，其中，所述制動(dòng)部件（14、14'）所分布的區(qū)域?qū)?應(yīng)的表面積介于所述膜片表面積的10 %到50 %之間。9. 根據(jù)權(quán)利要求4到8中任一項(xiàng)所述的數(shù)字聲學(xué)裝置，其中，所述一個(gè)或多個(gè)制動(dòng)部件 (14、14'）為具有圓形截面、正方形截面、橢圓形截面或梯形截面的柱體。10. 根據(jù)權(quán)利要求4到9中任一項(xiàng)所述的數(shù)字聲學(xué)裝置，其中，所述一個(gè)或多個(gè)制動(dòng)部件 (14)與所述支承件和/或所述膜片形成為一體。11. 根據(jù)權(quán)利要求4到10中任一項(xiàng)所述的數(shù)字聲學(xué)裝置，其中，所述一個(gè)或多個(gè)制動(dòng)部 件(14)由附著在基底和/或所述膜片上的一層或多層材料形成。12. 根據(jù)權(quán)利要求4到11中任一項(xiàng)所述的數(shù)字聲學(xué)裝置，其中，所述致動(dòng)器(6、10)由所 述膜片(2)承載并且面對(duì)所述制動(dòng)部件（14)的自由端（14.1)，所述裝置包括沉積在所述致 動(dòng)器(6、10)上的保護(hù)層以致防止該致動(dòng)器(6、10)與所述制動(dòng)部件（14)的自由端（14.1)接 觸。13. 根據(jù)權(quán)利要求1到12中任一項(xiàng)所述的數(shù)字聲學(xué)裝置，該數(shù)字聲學(xué)裝置在所述膜片與 所述支承件之間包含有氣態(tài)流體，所述裝置的所述支承件(4)中包括至少一個(gè)供所述氣態(tài) 流體流動(dòng)的通道(16)，以致減小粘滯阻尼。14. 根據(jù)權(quán)利要求13并結(jié)合權(quán)利要求7或8所述的數(shù)字聲學(xué)裝置，所述通道（16)形成于 兩個(gè)制動(dòng)部件(14、14'）之間。15. 根據(jù)權(quán)利要求1到14中任一項(xiàng)所述的數(shù)字聲學(xué)裝置，其中，至少一個(gè)致動(dòng)器(6、10) 由壓電致動(dòng)器形成。16. 根據(jù)權(quán)利要求1到15中任一項(xiàng)所述的數(shù)字聲學(xué)裝置，該數(shù)字聲學(xué)裝置包括與所述膜 片(2)接觸的第一致動(dòng)器(6、6'）以及與所述膜片(2)接觸的第二致動(dòng)器(10、10'），所述第一 致動(dòng)器(6、6'）被配置成沿第一方向?qū)λ瞿て?2)施加壓力，所述第二致動(dòng)器（10、10'）被 配置成沿與所述第一方向相反的第二方向?qū)λ瞿て?2)施加壓力。17. 根據(jù)權(quán)利要求16所述的數(shù)字聲學(xué)裝置，其中，所述第一致動(dòng)器和所述第二致動(dòng)器包 括鐵電壓電材料，所述第一致動(dòng)器(6)和所述第二致動(dòng)器（10)中的每個(gè)被配置成使所述膜 片(2)沿著相反的方向發(fā)生形變。18. 根據(jù)權(quán)利要求16或17所述的數(shù)字聲學(xué)裝置，其中，所述第一致動(dòng)器(6)限定所述膜 片(2)的外緣，并且所述第二致動(dòng)器(10)基本位于所述膜片(2)的中心區(qū)域中。19. 根據(jù)權(quán)利要求16到18中任一項(xiàng)所述的數(shù)字聲學(xué)裝置，該數(shù)字聲學(xué)裝置包括第二支 承件，所述第二支承件與第一支承件面對(duì)所述膜片的相反側(cè)，所述第二支承件包括制動(dòng)機(jī) 構(gòu)，該制動(dòng)機(jī)構(gòu)被配置成中斷所述膜片的運(yùn)動(dòng)進(jìn)而激活所述第二致動(dòng)器。20. 根據(jù)權(quán)利要求1到19中任一項(xiàng)所述的數(shù)字聲學(xué)裝置，該數(shù)字聲學(xué)裝置包括多個(gè)膜片 以及與所述多個(gè)膜片中的每個(gè)相關(guān)聯(lián)的多個(gè)致動(dòng)器。21. 根據(jù)權(quán)利要求1到20中任一項(xiàng)所述的數(shù)字聲學(xué)裝置，數(shù)字聲學(xué)裝置形成數(shù)字揚(yáng)聲 器。22. -種用于制造根據(jù)權(quán)利要求1到21中任一項(xiàng)所述的數(shù)字聲學(xué)裝置的方法，該方法包 括下述步驟： a) 制作所述膜片和所述致動(dòng)器； b) 在所述支承件和/或所述膜片上制作所述制動(dòng)機(jī)構(gòu)； c) 將所述膜片和所述致動(dòng)器與所述支承件進(jìn)行組裝，以使得當(dāng)所述膜片靜止時(shí)，所述 制動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述膜片之間和/或所述制動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述支承件之間分別以給定的距離(h)相 對(duì)。23. 根據(jù)權(quán)利要求22所述的制造方法，其中，在所述支承件與所述致動(dòng)器之間同時(shí)制作 所述制動(dòng)部件和所述致動(dòng)器的至少一個(gè)電連接件。24. 根據(jù)權(quán)利要求23所述的制造方法，其中，在制作所述制動(dòng)部件和所述電連接件之 前，制作導(dǎo)電線，在所述導(dǎo)電線上形成所述電連接件，以使得所述導(dǎo)電線連接件的組件的高 度大于所述制動(dòng)部件的高度。25. 根據(jù)權(quán)利要求23所述的制造方法，其中，在制作所述制動(dòng)部件之前，在所述支承件 上用于形成所述制動(dòng)部件的區(qū)域中制作凹部，以使得所述支承件與所述電連接件的組件的 高度大于所述支承件與所述制動(dòng)部件的組件的高度。26. 根據(jù)權(quán)利要求24或25所述的制造方法，其中，通過(guò)刻蝕將所述制動(dòng)部件制作在基底 和/或所述膜片上。27. 根據(jù)權(quán)利要求22到26中任一項(xiàng)所述的制造方法，其中，通過(guò)熱壓和/或膠合，例如通 過(guò)分子膠合，來(lái)實(shí)現(xiàn)所述支承件與所述膜片的組裝。28.根據(jù)權(quán)利要求22到27中任一項(xiàng)所述的制造方法，其中，步驟a)和b)通過(guò)微電子技術(shù) 實(shí)現(xiàn)。
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種數(shù)字聲學(xué)裝置，其包括面對(duì)支承件(4)的至少一個(gè)懸置膜片(2)以及與所述膜片相關(guān)聯(lián)的至少一個(gè)致動(dòng)器(6、10)，相關(guān)聯(lián)的所述致動(dòng)器(6、10)用于使得所述膜片(20)遠(yuǎn)離和/或接近所述支承件(4)，所述裝置還包括制動(dòng)機(jī)構(gòu)(14)，該制動(dòng)機(jī)構(gòu)(14)被設(shè)置成當(dāng)所述膜片具有非零速度時(shí)中斷所述膜片(2)的運(yùn)動(dòng)進(jìn)而激活所述致動(dòng)器，所述制動(dòng)機(jī)構(gòu)(14)的尺寸被確定為使得當(dāng)所述膜片的運(yùn)動(dòng)大于或等于所述膜片的理論最大行程的50％并且小于或等于所述膜片的理論最大行程的95％時(shí)中斷所述膜片(2)的運(yùn)動(dòng)。
【IPC分類】H04R31/00, H04R17/00, H04R1/00, H04R7/26
【公開(kāi)號(hào)】CN105519134
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201480049130
【發(fā)明人】法布瑞司·卡賽特, 萊米·德雅熱, 史蒂芬·凡蓋, 大衛(wèi)·亨利, 昆丁·萊昂內(nèi)爾
【申請(qǐng)人】原子能和替代能源委員會(huì)
【公開(kāi)日】2016年4月20日
【申請(qǐng)日】2014年9月4日
【公告號(hào)】EP3042509A1, US20160205478, WO2015032855A1