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固態(tài)圖像傳感器件及其驅(qū)動方法

文檔序號:7583422閱讀:260來源:國知局
專利名稱:固態(tài)圖像傳感器件及其驅(qū)動方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及固態(tài)圖像傳感器件和驅(qū)動固態(tài)圖像傳感器件的方法。
當(dāng)作為圖像拾取器件的固態(tài)圖像傳感器件應(yīng)用于電子相機時,需要確保足夠大的動態(tài)范圍。這是由于固態(tài)圖像傳感器件的動態(tài)范圍比銀鹽膠片的動態(tài)范圍要窄得多。
因此,日本專利申請?zhí)亻_No.8-9260(1996)公開了一種通過在一個成像周期內(nèi)改變襯底電壓以切換光電二極管可累積的電荷量來擴大動態(tài)范圍的技術(shù)。下面說明該常規(guī)技術(shù)。
圖1是表明例如CCD型固態(tài)圖像傳感器件中單元部分的平面圖。單元部分由光電轉(zhuǎn)換部分101、垂直電荷轉(zhuǎn)移電極102、第一電荷轉(zhuǎn)移電極105和第二電荷轉(zhuǎn)移電極106組成。
圖2是沿圖1中I-I′線剖開的截面圖。如圖所示,單元部分由N-型半導(dǎo)體襯底107、P-型半導(dǎo)體襯底108、N型半導(dǎo)體襯底109、P+型半導(dǎo)體襯底110、由第一層多晶硅111形成的第一電荷轉(zhuǎn)移電極105、由第二層多晶硅112形成的第二電荷轉(zhuǎn)移電極106、作為陰影膜的鋁膜113、絕緣膜114和覆蓋絕緣膜115組成。
圖3是表明光電轉(zhuǎn)換部分的電子勢能的特征示意圖。
為了在將電荷累積到光電二極管中之前清除不需要的電荷,首先把襯底電壓VHsub施加到N-型半導(dǎo)體襯底107,用僅在其下形成的低濃度完全排除由光電轉(zhuǎn)換部分101和P-型半導(dǎo)體襯底108組成的N型半導(dǎo)體利底,把所有不需要的電荷移到N-型半導(dǎo)體襯底107。
這種結(jié)構(gòu)通常被稱為"垂直溢出排放結(jié)構(gòu)(垂直O(jiān)FD)"(參見日本電視工程師學(xué)會期刊,Vol.37,No.10(1983),PP.782-787)。
此后,把襯底電壓Vbsub(下文稱之為"襯底電壓")施加到N-型半導(dǎo)體襯底107,光電轉(zhuǎn)換部分101開始根據(jù)入射光量累積信號電荷。于是,通過任意調(diào)節(jié)襯底電壓,利用垂直O(jiān)FD結(jié)構(gòu)把不能累積在光電轉(zhuǎn)換部分101中的過量電荷移入N-型半導(dǎo)體襯底107,從而對可累積的電荷量進行控制。
利用該技術(shù),控制固態(tài)圖像傳感器件以便在一個成像周期內(nèi)把固態(tài)圖像傳感器件中可累積的電荷量依次從第一種可累積的電荷量(Qsat(1)≠0)切換到第二種可累積的電荷量(Qsat(2)≠0,Qsat(1)<Qsat(2))。
通過在成像周期內(nèi)的時間t(1)改變施加到固態(tài)圖像傳感器件的OFD(溢出排放)的襯底電壓執(zhí)行該操作來控制襯底電壓,以使固態(tài)圖像傳感器件中可累積的電荷量在一個成像周期內(nèi)從開始到時間t(1)保持Qsat(1),并在時間t(1)后切換到Qsat(2)。
圖4示出具有該功能的固態(tài)圖像傳感器件中在一個成像周期內(nèi)可累積的電荷量與電荷累積時間之間的關(guān)系(實線)。圖5示出一個成像周期內(nèi)可累積的電荷量與光量之間的關(guān)系(實線)。
圖4和5中的虛線表示可累積的電荷量在一個成像周期內(nèi)不改變的情況下的特征。
如圖4和5所示,與可累積的電荷量不改變的情況相比,增大了動態(tài)范圍。
就是說,通過提供一種在一個成像周期內(nèi)用于把固態(tài)圖像傳感器件中可累積的電荷量順序地第一種可累積的電荷量(Qsat(1)≠0)切換到第二種可累積的電荷量(Qsat(2)≠0,Qsat(1)<Qsat(2))的裝置,可增大動態(tài)范圍。
然而,在常規(guī)固態(tài)圖像傳感器件中,當(dāng)在一個成像周期內(nèi)設(shè)定t(1)和僅在Qsat(1)<Qsat(2)的條件下設(shè)定Qsat(1)和Qsat(2)時,不能明顯改善動態(tài)范圍。另外,可能出現(xiàn)一種動態(tài)范圍的改善與可累積的電荷量不改變的情況相比幾乎每什么差別的情況。
圖6A至6C示出t(1)在t(1a)、t(1b)和t(1c)中改變的電荷累積時間與可累積的電荷量之間的關(guān)系。圖7A至7C示出入射光量與可累積的電荷量之間的關(guān)系。同時,滿足t(1a)<t(1b)<t(1c),t(1b)是一個成像周期的中點,并滿足2Qsat(1)=Qsat(2)。虛線表示可累積電荷的最大量為常量情況下的特征。
如圖從6A至6C和7A至7C所看到的,在t(1c)的情況下,與可累積電荷的最大量為常量的情況相比增大了動態(tài)范圍。然而,在t(1a)和t(1b)的情況下,與可累積電荷的最大量為常量的情況相比未增大動態(tài)范圍。
這是由于僅在Qsat(1)<Qsat(2)的條件下確定t(1)、Qsat(1)和Qsat(2)。在該條件下,與可累積的電荷量為常量的情況相比確實不能改善動態(tài)范圍。另外,與可累積的電荷量為常量的情況相比,該電路較復(fù)雜。
日本專利申請?zhí)亻_No.1-253960(1989)公開了一種固態(tài)圖像傳感器件,其中使信號轉(zhuǎn)移的飽和量大于光接收元件在飽和狀態(tài)中的信號電荷量。然而,它沒有描述一個成像周期內(nèi)以多級形式改變可累積的電荷量。
另外,日本專利申請?zhí)亻_No.5-22728(1993)公開了一種根據(jù)與固態(tài)圖像傳感器件對應(yīng)的放大電路的增益和白平衡調(diào)節(jié)電路的增益改變可累積的電荷量的技術(shù)。然而,它沒有描述關(guān)于在一個成像周期內(nèi)以多級的形式改變可累積的電荷量。
另外,日本專利申請?zhí)亻_No.10-150183(1998)公開了一種裝配有驅(qū)動系統(tǒng)的固態(tài)圖像傳感器件,該驅(qū)動系統(tǒng)在讀取電荷量時減少了對固態(tài)圖像傳感器件的OFD偏置。然而,它沒有描述關(guān)于在一個成像周期內(nèi)以多級的形式改變可累積的電荷量。
因此,本發(fā)明的一個目的是提供一種有效地改善動態(tài)范圍的固態(tài)圖像傳感器件和驅(qū)動固態(tài)圖像傳感器件的方法。
本發(fā)明的一個目的是提供固態(tài)圖像傳感器件和驅(qū)動固態(tài)圖像傳感器件的方法,即使光電轉(zhuǎn)換效率隨光量改變,可產(chǎn)生不對眼睛造成不舒服感覺的圖像。
根據(jù)本發(fā)明,一種固態(tài)圖像傳感器件包括以矩陣形式排列的多個傳感裝置;連接到傳感裝置并累積在傳感裝置產(chǎn)生的電荷的電荷累積裝置;調(diào)節(jié)電荷累積裝置可累積的電荷量的可累積電荷調(diào)節(jié)裝置;和控制可累積電荷調(diào)節(jié)裝置的控制裝置;其中控制裝置控制可累積的電荷量,以便在一個成像周期內(nèi)按時序和控制裝置的給定可累積的電荷量內(nèi)連續(xù)或不連續(xù)地改變。
根據(jù)本發(fā)明的另一方面,一種驅(qū)動固態(tài)圖像傳感器件的方法,該固態(tài)圖像傳感器件包括下列裝置以矩陣形式排列的多個傳感裝置。
連接到傳感裝置并累積在傳感裝置產(chǎn)生的電荷的電荷累積裝置,調(diào)節(jié)電荷累積裝置可累積的電荷量的可累積電荷調(diào)節(jié)裝置,和控制可累積電荷調(diào)節(jié)裝置的控制裝置,該方法包括步驟由控制裝置控制可累積的電荷量在一個成像周期內(nèi)按時序和傳感裝置的給定可累積的電荷量內(nèi)連續(xù)或不連續(xù)地改變。
根據(jù)本發(fā)明的另一方面,一種存儲使計算機執(zhí)行驅(qū)動固態(tài)圖像傳感器件的方法的程序的記錄介質(zhì),該固態(tài)圖像傳感器件包括以矩陣形式排列的多個傳感裝置,連接到傳感裝置并累積在傳感裝置產(chǎn)生的電荷的電荷累積裝置,調(diào)節(jié)電荷累積裝置可累積的電荷量的可累積電荷調(diào)節(jié)裝置,和控制可累積電荷調(diào)節(jié)裝置的控制裝置,該方法包括步驟由控制裝置控制可累積的電荷量在一個成像周期內(nèi)按時序和傳感裝置的給定可累積的電荷量內(nèi)連續(xù)或不連續(xù)地改變。
結(jié)合附圖更詳細地說明本發(fā)明,其中圖1是表明常規(guī)固態(tài)圖像傳感器件的光電轉(zhuǎn)換部分的平面圖,圖2是沿圖1中I-I′線剖開的截面圖,圖3是具有垂直O(jiān)FD結(jié)構(gòu)的常規(guī)光電轉(zhuǎn)換部分的電位示意圖,圖4是表明常規(guī)器件中可累積的電荷量與電荷累積時間之間關(guān)系的特征示意圖,圖5是表明常規(guī)器件中可累積的電荷量與光量之間關(guān)系的特征示意圖,圖6A至6C是表明t(1)改變時常規(guī)器件中可累積的電荷量與電荷累積時間之間關(guān)系的特征示意圖,圖7A至7C是表明t(1)改變時常規(guī)器件中可累積的電荷量與電荷累積時間之間關(guān)系的特征示意圖,圖8是表明根據(jù)本發(fā)明的固態(tài)圖像傳感器件的組成實例的方框圖,圖9是表明根據(jù)本發(fā)明的第一優(yōu)選實施例中,在驅(qū)動固態(tài)圖像傳感器件的方法中襯底電壓、累積時間、可累積的電荷量和實際累積的電荷之間關(guān)系的特征示意圖,圖10是表明第一實施例中實際累積的電荷量與光量之間關(guān)系的特征示意圖,圖11是表明根據(jù)本發(fā)明的第二優(yōu)選實施例中,在驅(qū)動固態(tài)圖像傳感器件的方法中襯底電壓、累積時間、可累積的電荷量和實際累積的電荷之間關(guān)系的特征示意圖,圖12是表明第二實施例中實際累積的電荷量與光量之間關(guān)系的特征示意圖,圖13是表明根據(jù)本發(fā)明的第三優(yōu)選實施例中,在驅(qū)動固態(tài)圖像傳感器件的方法中襯底電壓、累積時間、可累積的電荷量和實際累積的電荷之間關(guān)系的特征示意圖,圖14是表明第三實施例中實際累積的電荷量與光量之間關(guān)系的特征示意圖,圖15是表明根據(jù)本發(fā)明的第四優(yōu)選實施例中,在驅(qū)動固態(tài)圖像傳感器件的方法中襯底電壓、累積時間、可累積的電荷量和實際累積的電荷之間關(guān)系的特征示意圖,圖16是表明第四實施例中實際累積的電荷量與光量之間關(guān)系的特征示意圖,圖17是表明根據(jù)本發(fā)明的第五優(yōu)選實施例中,在驅(qū)動固態(tài)圖像傳感器件的方法中襯底電壓、累積時間、可累積的電荷量和實際累積的電荷之間關(guān)系的特征示意圖,圖18是表明第五實施例中實際累積的電荷量與光量之間關(guān)系的特征示意圖,圖19A是表明在本發(fā)明的固態(tài)圖像傳感器件中使用的具有水平OFD結(jié)構(gòu)的光電轉(zhuǎn)換部分的截面圖,和圖19B和19C是圖19A中光電轉(zhuǎn)換部分的電位圖。
下面參考


優(yōu)選實施例中的固態(tài)圖像傳感器件和驅(qū)動固態(tài)圖像傳感器件的方法。
圖8是表明根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實施例中的固態(tài)圖像傳感器件1的組成實例的方框圖。如圖所示,固態(tài)圖像傳感器件1包括以矩陣形式排列的多個傳感裝置(傳感器元件)2,連接到傳感裝置2并累積在傳感裝置2產(chǎn)生的電荷的電荷累積裝置3,調(diào)節(jié)電荷累積裝置3可累積的電荷量的可累積電荷調(diào)節(jié)裝置4,和控制可累積電荷調(diào)節(jié)裝置4的控制裝置5。構(gòu)成控制裝置5以便其在一個成像周期內(nèi)按時序和給定的可累積電荷量內(nèi)連續(xù)或不連續(xù)地改變。
對于根據(jù)本發(fā)明的固態(tài)圖像傳感器件1,希望傳感裝置2是從CMOS傳感裝置和垂直溢出排放型傳感裝置中選擇的傳感裝置。
另外,在本發(fā)明中,希望能夠控制固態(tài)圖像傳感器件可累積的電荷量以便按時間順序逐漸增加。
此外,在本發(fā)明中,希望構(gòu)成控制裝置5,以便其控制例如傳感裝置2的襯底電壓或構(gòu)成傳感裝置2的電荷提取裝置的晶體管的選通電壓,以便在改變可累積的電荷量時改變。
對于根據(jù)本發(fā)明的固態(tài)圖像傳感器件,如圖8所示,希望控制裝置5連接到存儲后面描述的某些控制應(yīng)用的程序存儲裝置6,從程序存儲裝置6任意選擇的控制程序控制該控制裝置5。
另外,在根據(jù)本發(fā)明的固態(tài)圖像傳感器件中,在適當(dāng)?shù)亩〞r通過分開設(shè)置的輸出裝置7從與傳感裝置2對應(yīng)的相應(yīng)電荷累積裝置3輸出在電荷累積裝置3累積的電荷。
在圖8中,8是對固態(tài)圖像傳感器件1的各個部件進行總控制的中央處理單元(CPU)。
接下來,參考

驅(qū)動優(yōu)選實施例中構(gòu)成的固態(tài)圖像傳感器件1的方法。
本質(zhì)上,一種驅(qū)動固態(tài)圖像傳感器件1的方法,該固態(tài)圖像傳感器件包括以矩陣形式排列的多個傳感裝置(傳感器元件)2,連接到傳感裝置2并累積在傳感裝置2產(chǎn)生的電荷的電荷累積裝置3,調(diào)節(jié)電荷累積裝置3可累積的電荷量的可累積電荷調(diào)節(jié)裝置4,和控制可累積電荷調(diào)節(jié)裝置4的控制裝置5,該方法包括步驟由控制裝置5控制可累積的電荷量,以便在一個成像周期內(nèi)按時序和給定的可累積電荷量內(nèi)連續(xù)或不連續(xù)地改變。
在本發(fā)明的優(yōu)選實施例中,控制可累積的電荷量在一個成像周期內(nèi)按時間順序逐漸增加。
雖然改變可累積的電荷量的方式不在本發(fā)明中具體限定,希望控制用于改變可累積的電荷量的定時和改變一個成像周期內(nèi)將改變的可累積的電荷量的程度中的一個或二者。
下面說明在電荷累積裝置3中改變可累積的電荷量的具體方式。
在根據(jù)本發(fā)明的第一優(yōu)選實施例中驅(qū)動固態(tài)圖像傳感器件的方法包括步驟在可控制可累積的電荷量的固態(tài)圖像傳感器件1中,在一個成像周期內(nèi)按Qsat(1)和Qsat(2)的順序進行可累積電荷量Qsat(n)的切換操作,同時控制Qsat(1)和Qsat(2)的累積模式以滿足Qsat(1)/t(1)<(Qsat(1)-Qsat(2))/(t(2)-t(1))其中Qsat(1)的累積模式的結(jié)束時間是t(1),與一個成像周期T1的結(jié)束對應(yīng)的Qsat(2)的累積模式的結(jié)束時間是t(2)。
具體地說,在本實施例中,如圖9所示,控制可累積的電荷量Qsat(n)以一個成像周其T1內(nèi)兩級的形式改變。在圖9中,示出襯底電壓、可累積的電荷量和實際累積在光電二極管中的電荷量Qsat(n)。
圖9(a)示出一個成像周期T1內(nèi)的襯底電壓。
就是說,在累積時間之外的周期T0,施加光閘電壓作為穩(wěn)態(tài)或脈沖信號,從而把光電二極管光電轉(zhuǎn)換的電荷清除到襯底中。
在累積時間t(0),施加比光閘電壓低并比散焦抑制電壓高的襯底電壓,由此確定Qsat(1)。
然后,在累積時間t(1),襯底電壓降低,由此確定具有比Qsat(1)更大的可累積電荷量的Qsat(2)。
同時,在該實施例中,t(1)是一個成像周期的中點,并在作為Qsat(2)的累積模式的結(jié)束時間和一個成像周期結(jié)束的t(2)滿足2xt(1)=t(2)的關(guān)系。
另外,設(shè)定襯底電壓以滿足2xQsat(1)<Qsat(2)的關(guān)系。
從而滿足Qsat(1)/t(1)<(Qsat(2)-Qsat(1))/t(2)-t(1))的條件。
圖9示出一個成像周期T1內(nèi)可累積的電荷量。
由于如圖9(a)所示定義襯底電壓,Qsat(2)是比Qsat(1)大兩倍的可累積電荷量。
圖9(c)和(d)示出提供大光量和小光量時累積到光電二極管的電荷量。圖9(c)示出提供小光量的情況,并示出在一個成像周期內(nèi)電荷累積到光電二極管而不溢出的條件。
另一方面,圖9(d)示出提供大光量的情況。在Qsat(1)模式的時域中,暫時出現(xiàn)飽和周期。但是,在Qsat(2)模式的時域中,直到在Qsat(2)模式結(jié)束時的時間t(2),把光電轉(zhuǎn)換的電荷累積到光電二極管中而不飽和。
與常規(guī)器件一個很大的區(qū)別在于即使是對于在Qsat(1)模式的時域中導(dǎo)致飽和的光量,Qsat(2)模式中肯定存在具有不飽和光量的區(qū)域。
圖10示出累積到光電二極管中的電荷量與光量的從屬關(guān)系。實線表示本發(fā)明第一實施例中光量與實際累積的電荷量之間的關(guān)系,虛線表示在可累積的電荷量是常數(shù)的情況下光量和累積的電荷量之間的關(guān)系。
就是說,S′(1)表示在可累積的電荷量Qsat(n)為常數(shù)的情況下飽和光電二極管的最小光量。
另一方面,對于大于s(1)的光量,雖然光電二極管在Qsat(1)模式的時域中飽和,但對于大于S(1)且小于S(2)的光量,光電二極管在Qsat(2)模式的時域中不飽和。
同時,對于大于S(2)的光量,光電二極管在Qsat(1)和Qsat(2)模式的時域中飽和。
在此,給出S(2)>S′(1)的關(guān)系,并且根據(jù)第一實施例證明,與常規(guī)器件相比可增大動態(tài)范圍。
同時,在滿足S′(1)>S(1)的范圍內(nèi)可任意設(shè)定S(1)。但是,由滿足條件2Qsat(1)<Qsat(2)的Qsat(1)和Qsat(2)單獨設(shè)確定S(2)。
下面說明在根據(jù)本發(fā)明的第二優(yōu)選實施例中驅(qū)動固態(tài)圖像傳感器件的方法。在第二實施例中,象在第一實施例中那樣進行控制操作,但控制條件與第一實施例中的那些略有不同。
就是說,在該實施例中,如圖11所示,控制可累積的電荷量在一個成像周期T1內(nèi)以兩級的形式改變。在圖11中,示出襯底電壓,可累積的電荷量和實際累積到光電二極管中的電荷量。
圖11(a)示出一個成像周期T1內(nèi)的襯底電壓。在累積時間之外的周期T0,如同圖9中的情況,施加光閘電壓作為穩(wěn)態(tài)或脈沖信號,從而把光電二極管光電轉(zhuǎn)換的電荷清除到襯底中。
在累積時間t(0),施加比光閘電壓低并比散焦抑制電壓高的襯底電壓,由此確定Qsat(1)。
然后,在累積時間t(1),襯底電壓降低,由此確定具有比Qsat(1)大的可累積電荷量的Qsat(2)。
同時,在該實施例中,在比一個成像周期的中點靠后的時域設(shè)定t(1),并對于作為Qsat(2)的累積模式的結(jié)束時間和一個成像周期的結(jié)束的t(2)來說滿足2xt(1)>t(2)的關(guān)系。
另外,設(shè)定襯底電壓滿足2xQsat(1)=Qsat(2)的關(guān)系。
從而滿足Qsat(1)/t(1)<(Qsat(2)-Qsat(1))/(t(2)-t(1))的條件。
圖11示出一個成像周期T1內(nèi)可累積的電荷量。
由于如圖11(a)所示定義襯底電壓,Qsat(2)模式的時域Qsat(1)的短。
圖11(c)和(d)示出在提供大光量和光量時累積到光電二極管中的電荷量。如在圖9(c)中的情況下,圖11(c)示出提供小光量的情況,并示出在一個成像周期內(nèi)電荷累積到光電二極管而不溢出的條件。
另一方面,在提供大光量時(圖11(d)),暫時出現(xiàn)飽和周期。但是,在Qsat(2)模式的時域中,把光電轉(zhuǎn)換的電荷累積到光電二極管中而不飽和。
圖12示出累積到光電二極管中的電荷量與光量的從屬關(guān)系。實線表示本發(fā)明第二實施例中光量與實際累積的電荷量之間的關(guān)系,虛線表示在可累積的電荷量是常數(shù)的情況下光量和累積的電荷量之間的關(guān)系。
S′(1)表示在可累積的電荷量為常數(shù)的情況下使光電二極管飽和的最小光量。
對于大于s(1)的光量,光電二極管在Qsat(1)模式的時域中飽和,對于大于S(1)且小于S(2)的光量,光電二極管在Qsat(2)模式的時域中不飽和。
同時,對于大于S(2)的光量,光電二極管在Qsat(1)和Qsat(2)模式的兩個時域中飽和。
在此,給出S(2)>S′(1)的關(guān)系,并且根據(jù)第二實施例證明,與常規(guī)器件相比可增大動態(tài)范圍。
同時,可任意設(shè)定S(2)。但是由滿足2t(1)>t(2)條件的t(1)單獨確定S(1)。
在根據(jù)本發(fā)明的第三優(yōu)選實施例中驅(qū)動固態(tài)圖像傳感器件的方法包括步驟在可控制可累積電荷量的固態(tài)圖像傳感器件中在一個成像周期內(nèi)按Qsat(1)、Qsat(2)、…、Qsat(n)的順序進行切換可累積電荷量Qsat(n)的操作,并從第一可累積電荷量(Qsat(1)≠0)到第n個可累積電荷量(Qsat(1)<Qsat(2)<…<Qsat(n))的順序切換。
具體地說,在本實施例中,如圖13所示,控制可累積的電荷量在一個成像周期T1內(nèi)以三級或更多級的形式改變。圖13(a)至(d)示出用于實現(xiàn)該控制的襯底電壓、可累積的電荷量和實際累積到光電二極管中的電荷量。
圖13(a)示出一個成像周其T1內(nèi)的襯底電壓。在累積時間t(0),施加比光閘電壓低并比散焦抑制電壓高的襯底電壓,由此確定Qsat(1)。
然后,在累積時間從開始時間t(0)多至t(1)時,襯底電壓降低,由此確定具有比Qsat(1)大的可累積電荷量的Qsat(2)。因此,當(dāng)其達到累積時間t(m-1)(2≤m≤n)時,襯底電壓降低,由此確定具有比Qsat(m-1)大的可累積電荷量的Qsat(m)。
在該實施例中,在一個成像周期內(nèi),獲得t(1)=t(2)-t(1)=…=t(m)-t(m-1)=…=t(n)-t(n-1)。確定襯底電壓以便對于任何整數(shù)m滿足Qsat(m)-Qsat(m-1)<Qsat(m+1)-Qsat(m)的關(guān)系。
因此,對于任何整數(shù)m,滿足Qsat(m)-Qsat(m-1)/t(m)-t(m-1)<Qsat(m+1)-Qsat(m)/t(m+1)-t(m)的關(guān)系。
圖13(b)示出一個成像周期T1內(nèi)可累積的電荷量。
在該實施例中,由于如圖13(a)所示定義襯底電壓,對于任意整數(shù)m(2≤m≤n),保持Qsat(m)-Qsat(m-1)<Qsat(m+1)-Qsat(m)的關(guān)系。
圖13(c)和(d)示出提供大光量和小光量時累積到光電二極管中的電荷量。圖13(c)示出提供小光量的情況,并示出在一個成像周期內(nèi)將電荷累積到光電二極管而不溢出的條件。
另一方面,圖13(d)示出提供大光量的情況。在Qsat(m-1)的時域中或之前,暫時出現(xiàn)飽和周期。但是,在Qsat(m)模式的時域中或之后,即使直到Qsat(n)模式結(jié)束時的時間t(n),光電轉(zhuǎn)換的電荷累積到光電二極管中而不飽和。
圖14示出累積到光電二極管中的電荷量與光量的從屬關(guān)系。實線表示本發(fā)明第三實施例中光量與實際累積的電荷量之間的關(guān)系,虛線表示在可累積的電荷量是常數(shù)的情況下光量和累積的電荷量之間的關(guān)系。
S′(1)表示在可累積的電荷量是常數(shù)的情況下使光電二極管飽和的最小光量。
在本實施例中,當(dāng)襯底電壓以n級的形式改變時,存在著可累積電荷量的改變速度改變?yōu)楣饬康?n-1)個切換點,和保持S(1)<S(2)<……<S(m)<……S(n)的關(guān)系,其中S(n)表示一個成像周期的結(jié)束時間。
對于大于S(m)的光量,雖然光電二極管在Qsat(1)至Qsat(m)模式的任何時域中飽和,對于大于S(m)且小于S(m+1)的光量,光電二極管在Qsat(m+1)至Qsat(n)模式的任何時域中不飽和。
同時,對于大于S(n)的光量,光電二極管在Qsat(1)和Qsat(n)模式的任何時域中飽和。
同時,可在滿足S′(1)>S(1)的范圍中任意設(shè)定S(1),但由滿足Qsat(m)-Qsat(m-1)<(Qsat(m+1)-Qsat(m)條件的Qsat(2)至Qsat(n)單獨確定S(m)(2≤m≤n)。
圖14中,給出S(2)>S′(1)的關(guān)系,它證明根據(jù)本發(fā)明,與常規(guī)器件相比可增大動態(tài)范圍。
另外,與第一和第二實施例相比,在本實施例中,與可累積的電荷量不改變的情況相比可改善動態(tài)范圍,即使光電轉(zhuǎn)換效率隨著光量改變,其變化較小并可設(shè)定為接近于連續(xù)變化。因此,可產(chǎn)生不給眼睛造成不舒服感覺的圖像。
同時,即使對于特定整數(shù)m,不滿足如權(quán)利要求3中定義的Qsat(m)-Qsat(m-1)/t(m)-t(m-1)<Qsat(m+1)-Qsat(m)/t(m+1)-t(m)的關(guān)系,與不改變可累積電荷量的情況相比,可期望改善動態(tài)范圍。然而,由于可累積電荷量的變化速度改變成光量的切換點變得小于(n-1),對于任何整數(shù)m,與滿足權(quán)利要求3中定義的關(guān)系的情況不同,可能產(chǎn)生使眼睛感覺不舒服的圖像。
在根據(jù)本發(fā)明的第四優(yōu)選實施例中驅(qū)動固態(tài)圖像傳感器件的方法在于控制第三實施例中可累積電荷量Qsat(n)的切換操作,以便對于特定整數(shù)m或等于2或大于和小于n的任何整數(shù)m滿足Qsat(m)-Qsat(m-1)/t(m)-t(m-1)<Qsat(m+1)-Qsat(m)/t(m+1)-t(m)的關(guān)系,其中t(m)是從累積開始到具有累積電荷量Qsat(m)的第m級(2≤m≤n)累積模式的結(jié)束的時間,一個成像周期的結(jié)束時間是t(n)。
具體地說,在第四實施例中基本上與第三實施例相同,如圖15所示,控制可累積的電荷量,在一個成像周其T1內(nèi)以三級或更多級的形式改變。依次縮短用于切換可累積的電荷量的定時。
圖15(a)至(d)示出實現(xiàn)該控制的襯底電壓、可累積的電荷量和實際累積到光電二極管中的電荷量。
圖15(a)示出一個成像周其T1內(nèi)的襯底電壓。在累積時t(0),施加比光閘電壓低并比散焦抑制電壓高的襯底電壓,由此確定Qsat(1)。
然后,當(dāng)累積時間從開始時間t(0)向t(1)移動時,襯底電壓降低,由此確定具有比Qsat(1)大的可累積電荷量的Qsat(2)。
因此,當(dāng)其達到累積時間t(m-1)(2≤m≤n)時,襯底電壓降低,由此確定具有比Qsat(m-1)大的可累積電荷量的Qsat(m)。
在該實施例中,在一個成像周期內(nèi),獲得t(1)>t(2)-t(1)>…>t(m)-t(m-1)>…t(n)-t(n-1)。確定襯底電壓以便對于任何整數(shù)m滿足Qsat(m)-Qsat(m-1)=Qsat(m+1)-Qsat(m)的關(guān)系。
因此,對于任何整數(shù)m,滿足Qsat(m)-Qsat(m-1)/t(m)-t(m-l)<Qsat(m+1)-Qsat(m)/t(m+1)-t(m)的關(guān)系。
圖15(b)示出一個成像周期T1內(nèi)可累積的電荷量。
在該實施例中,由于如圖15(a)所示定義襯底電壓,對于任意整數(shù)m(2≤m≤n),保持Qsat(m)-Qsat(m-1)=Qsat(m+1)-Qsat(m)的關(guān)系。
圖15(c)和(d)示出提供大光量和小光量時累積到光電二極管中的電荷量。圖15(c)表出提供小光量的情況,并給出在一個成像周期內(nèi)將電荷累積到光電二極管而不溢出的條件。
另一方面,圖15(d)示出提供大光量的情況。在Qsat(m-1)模式的時域中或之前,暫時出現(xiàn)飽和周期。但是,在Qsat(m)模式的時域中或之后,即使直到Qsat(n)模式結(jié)束時的時間t(n),光電轉(zhuǎn)換的電荷累積到光電二極管中而不飽和。
圖16示出累積到光電二極管中的電荷量與光量的從屬關(guān)系。實線表示光量與本發(fā)明第三實施例中的實際累積的電荷量之間的關(guān)系,虛線表示在可累積的電荷量是常數(shù)的情況下光量和累積的電荷量之間的關(guān)系。
S′(1)表示在可累積的電荷量是常數(shù)的情況下使光電二極管飽和的最小光量。
在本實施例中,當(dāng)襯底電壓以n級的形式改變時,存在著可累積電荷量的改變速度改變?yōu)楣饬康?n-1)個切換點,和保持S(1)<S(2)<……<S(m)<……S(n)的關(guān)系,其中S(n)表示一個成像周期的結(jié)束時間。
對于大于S(m)的光量,雖然光電二極管在Qsat(1)至Qsat(m)模式的任何時域中飽和,對于大于S(m)且小于S(m+1)的光量,光電二極管在Qsat(m+1)至Qsat(n)模式的任何時域中不飽和。
同時,對于大于S(n)的光量,光電二極管在Qsat(1)和Qsat(n)模式的任何時域中飽和。
同時,使圖16中的S(1)至S(n)等于圖9中的S(1)至S(n)。但實際上,可任意設(shè)定S(n),但對于2≤m≤n-1的任何m,由滿足t(m+1)-t(m)<t(m)-t(m-1)條件的t(1)至t(n-1)單獨確定S(m)(1≤m≤n-1)。
它證實,與常規(guī)器件相比,根據(jù)本發(fā)明的第四實施例可增大動態(tài)范圍。
另外,與第一和第二實施例相比,在本實施例中,與不改變可累積電荷量的情況相比可改善動態(tài)范圍,并且即使光電轉(zhuǎn)換效率隨著光量變化,其變化較小并可設(shè)定為接近于連續(xù)變化。因此,可產(chǎn)生不使眼睛感覺不舒服的圖像。
下面在說明根據(jù)本發(fā)明的第五優(yōu)選實施例中驅(qū)動固態(tài)圖像傳感器件的方法。在第五實施例中,控制可控制可累積電荷量的固態(tài)圖像傳感器件中可累積的電荷量,以便在一個成像周期內(nèi)連續(xù)改變,并控制一個成像周期內(nèi)可累積電荷量的改變速度,以滿足d(Qsat)/dt>0。
具體地說,在第五實施例中,控制可累積的電荷量在一個成像周期內(nèi)連續(xù)改變。
圖17(a)至(d)示出實現(xiàn)該控制的襯底電壓、可累積的電荷量和實際累積到光電二極管中的電荷量。
圖17(a)示出一個成像周期T1內(nèi)的襯底電壓。在累積時間,施加比光閘電壓低并比散焦抑制電壓高的襯底電壓,由此逐漸降低襯底電壓。
于是,確定從累積開始在一個成像周期T1內(nèi)在累積時間T1的可累積電荷量Qsat(t)。
另外,從累積開始到一個成像周期T1的結(jié)束時間(表示為tp),對于任意t,設(shè)定襯底電壓滿足d(Qsat(t))/dt>0和d2(Qsat(t))/dt2>0。
圖17(b)示出一個成像周期T1內(nèi)可累積的電荷量。
在該實施例中,由于如圖17(a)所示定義襯底電壓,可累積的電荷量描繪了一條以向下凸出的形式增加的連續(xù)曲線。
圖17(c)和(d)示出提供大光量和小光量時累積到光電二極管中的電荷量。如圖所示,對于小和大兩種光量,電荷直到某個累積時間為止飽和。然而,在小光量的累積時間t1后和在大光量的t1后的累積時間t2后,光電轉(zhuǎn)換的電荷累積到光電二極管中,直到一個成像周期的結(jié)束時間不出現(xiàn)飽和情況。
圖18示出累積到光電二極管中的電荷量與光量的從屬關(guān)系。實曲線表示本發(fā)明第五實施例中的光量與實際累積的電荷量之間的關(guān)系,虛線表示在可累積電荷量是常數(shù)的情況下光量和累積的電荷量之間的關(guān)系。
在本實施例中,當(dāng)襯底電壓連續(xù)改變以滿足d(Qsat(t))/dt>0和d2(Qsat(t))/dt2>0時,可累積的電荷量對光量的變化描繪了以向上凸出的形式增加的連續(xù)曲線。
對于大于S(m)的光量,雖然光電二極管在直到與該m一對一對應(yīng)的某個累積時間tm(當(dāng)S(m)<S(n)時tm<tn)的時域中飽和,對于大于S(m)且小于S(tp)的光量,光電二極管不飽和。
同時,對于大于S(tp)的光量,光電二極管在一個成像周期內(nèi)一直飽和。
同時,可任意設(shè)定S(tp),但對滿足0≤t<tp的任何t,由滿足d(Qsat(t))/dt>0和d2(Qsat(t))/dt2>0的Qsat(t)(0≤t≤tp)單獨確定表示與光量的實際變化對應(yīng)的可累積電荷量的曲線。
它表明,根據(jù)第五實施例,與常規(guī)器件相比,可增大動態(tài)范圍。
另外,與可累積的電荷量不連續(xù)變化的第四實施例相比,在本實施例中,即使光電轉(zhuǎn)換效率隨光量變化,其變化連續(xù)發(fā)生。因此,可產(chǎn)生不對眼睛造成不舒服感覺的圖像。
作為第五實施例的改進,希望在一個成像周期的全部或其中的一部分,控制可累積的電荷量,以使二次變化速度滿足d2(Qsat(t))/dt2>0。
同時,即使二次改變速度不滿足本實施例中的控制條件d2(Qsat(t))/dt2>0,和從某個累積時間t(m)至t(n)滿足d2(Qsat(t))/dt2=0,與可累積的電荷量不改變的情況相比,可預(yù)期增大動態(tài)范圍。另外,即使光電轉(zhuǎn)換效率隨光量變化,其變化連續(xù)發(fā)生。因此,可產(chǎn)生不對眼睛造成不舒服感覺的圖像。
然而,在從t(m)到t(n)的周期中,對于大于與t(m)一對一對應(yīng)的S(m)的某個光量,光電二極管一直飽和。
另外,當(dāng)在從t(m)到t(n)的周期中d2(Qsat(t))/dt2<0時,對于光量S(m),光電轉(zhuǎn)換效率變得不連續(xù),并產(chǎn)生對眼睛造成不舒服感覺得的圖像。
另外,在本實施例中,希望將剛好在有關(guān)的一個成像周期開始前使累積到電荷累積裝置中的電荷量基本為零。在如圖17(a)和(b)中的虛線所示的某些情況下,最好有意地增加預(yù)定的電荷量,而不是剛好在有關(guān)的一個成像周期開始前將累積到電荷累積裝置的電荷量設(shè)定為零。
就是說,在上面的實施例中,當(dāng)在有關(guān)的一個成像周期的開始時刻t(0)未將電荷累積到電荷累積裝置時,累積的電荷量很可能分散。由于此刻累積電荷量的分散強烈影響人的視覺,可能對眼睛造成不舒服的感覺。因此,為解決該問題,希望將預(yù)定的電荷給予電荷累積裝置。
例如,適用于向電荷累積裝置施加預(yù)定電壓和保留預(yù)定量的電荷。
因此,在本實施例中,在一個成像周期的開始時刻,如圖17(a)中的虛線所示,襯底電壓突然下降一級。
在根據(jù)本發(fā)明的第一至第五實施例中,由具有通常在CCD型固態(tài)圖像傳感器件中使用的垂直O(jiān)FD結(jié)構(gòu)的光電轉(zhuǎn)換部分中的襯底電壓的變化來改變可累積的電荷量。然而,第一至第五實施例的方法也可同樣用于具有水平OFD結(jié)構(gòu)的光電轉(zhuǎn)換部分。這將在下面說明。
圖19(a)是表明通常在CMOS型固態(tài)圖像傳感器件中使用的光電轉(zhuǎn)換部分的截面圖。它由一個P型半導(dǎo)體襯底221,一個P型半導(dǎo)體區(qū)222,一個P+型半導(dǎo)體區(qū)223,一個n型半導(dǎo)體區(qū)224,一個n+型半導(dǎo)體區(qū)225,一個復(fù)位晶體管211,和用于源極輸出電路的驅(qū)動晶體管212和選擇晶體管213組成。
首先,為在一個成像周期前復(fù)位不必要的電荷,通過向復(fù)位晶體管211施加如圖19B所示的電壓VHg,加深復(fù)位晶體管211下的電位,并將n型半導(dǎo)體區(qū)224的電位設(shè)定為電源電壓VDD。
然后,通過向復(fù)位晶體管211施加如圖19C所示的電壓VBg,光電轉(zhuǎn)換部分201開始根據(jù)入射光量累積信號電荷,并進行散焦控制,以便將不能累積在光電轉(zhuǎn)換部分201中的過量電荷移入用垂直O(jiān)FD結(jié)構(gòu)施加電源電壓VDD的n+型半導(dǎo)體襯底205。
于是,由電壓VBg確定可累積的電荷量。因此,通過在一個成像周期內(nèi)改變VBg,可任意控制可累積的電荷量。
如上所述,固態(tài)圖像傳感器件1可包括根據(jù)預(yù)定時間的入射光量累積信號電荷,并設(shè)置有通過由襯底電壓控制勢壘將過量電荷移入襯底和控制可累積的電荷量的垂直O(jiān)FD結(jié)構(gòu)的多個光電轉(zhuǎn)換部分。另外,固態(tài)圖像傳感器件1可包括根據(jù)預(yù)定時間的入射光量累積信號電荷,并設(shè)置有通過由選通電壓控制勢壘將過量電荷移入相鄰的擴散層和控制可累積的電荷量的水平OFD結(jié)構(gòu)的多個光電轉(zhuǎn)換部分。
另外,本發(fā)明的另一方面是一種存儲使用計算機執(zhí)行驅(qū)動固態(tài)圖像傳感器件的方法的程序的記錄介質(zhì)。本發(fā)明的優(yōu)點如上所述,根據(jù)本發(fā)明,當(dāng)可累積的電荷量在一個成像周期內(nèi)以兩級的形式改變時,與可累積的電荷量在整個一個成像周期不改變的情況相比可明顯改善動態(tài)范圍。
另外,當(dāng)可累積的電荷量以大于兩級的形式間斷地改變時,與可累積的電荷量不改變的情況相比,可明顯改善動態(tài)范圍。此外,與可累積的電荷量以兩級的形式改變的情況相比,即使光電轉(zhuǎn)換效率隨光量而改變,其變化較小并可設(shè)定為接近于連續(xù)變化。因此,可產(chǎn)生不對眼睛造成不舒服感覺的圖像。
此外,當(dāng)可累積的電荷量連續(xù)變化時,與可累積的電荷量不改變的情況相比,可明顯改善動態(tài)范圍。此外,與可累積的電荷量間斷變化的情況相比,即使光電轉(zhuǎn)換效率隨光量變化,其變化是連續(xù)出現(xiàn)的。因此,可產(chǎn)生不對眼睛造成不舒服感覺的圖像。
雖然已根據(jù)完整和清楚公開的具體實施例描述了本發(fā)明,所附權(quán)利要求不限于此,而是由所述基本技術(shù)所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員可實施的所有改進和替換結(jié)構(gòu)構(gòu)成。
權(quán)利要求
1.一種固態(tài)圖像傳感器件,包括以矩陣形式排列的多個傳感裝置;連接到所述傳感裝置并累積在所述傳感裝置產(chǎn)生的電荷的電荷累積裝置;調(diào)節(jié)所述電荷累積裝置可累積的電荷量的可累積電荷調(diào)節(jié)裝置;和控制所述可累積電荷調(diào)節(jié)裝置的控制裝置;其中所述控制裝置控制可累積的電荷量,以便在一個成像周期內(nèi)按時序和所述控制裝置的給定可累積的電荷量內(nèi)連續(xù)或不連續(xù)地改變。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固態(tài)圖像傳感器件,其中所述傳感裝置是從CMOS傳感裝置和垂直溢出排放型傳感裝置中選擇的傳感裝置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固態(tài)圖像傳感器件,其中控制可累積的電荷量在一個成像周期內(nèi)按時序逐漸增加。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固態(tài)圖像傳感器件,其中構(gòu)成所述控制裝置,以便其控制所述傳感裝置的襯底電壓或構(gòu)成所述傳感裝置的電荷提取裝置的晶體管的選通電壓,以便在改變可累積的電荷量時改變。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固態(tài)圖像傳感器件,進一步包括根據(jù)預(yù)定時間的入射光量累積信號電荷,并設(shè)置有通過由襯底電壓控制勢壘將過量電荷移入襯底和控制可累積的電荷量的垂直O(jiān)FD結(jié)構(gòu)的多個光電轉(zhuǎn)換部分。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固態(tài)圖像傳感器件,進一步包括根據(jù)預(yù)定時間的入射光量累積信號電荷,并設(shè)置有通過由選通電壓控制勢壘將過量電荷移入相鄰的擴散層和控制可累積的電荷量的水平OFD結(jié)構(gòu)的多個光電轉(zhuǎn)換部分。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固態(tài)圖像傳感器件,其中所述控制裝置控制可累積的電荷量,以便在一個成像周期內(nèi)按時序和所述傳感裝置的給定可累積的電荷量內(nèi)連續(xù)或不連續(xù)地改變。
8.一種驅(qū)動固態(tài)圖像傳感器件的方法,該固態(tài)圖像傳感器件包括以矩陣形式排列的多個傳感裝置,連接到所述傳感裝置并累積在所述傳感裝置產(chǎn)生的電荷的電荷累積裝置,調(diào)節(jié)所述電荷累積裝置可累積的電荷量的可累積電荷調(diào)節(jié)裝置,和控制所述可累積電荷調(diào)節(jié)裝置的控制裝置,該方法包括步驟由所述控制裝置控制可累積的電荷量在一個成像周期內(nèi)按時序和所述傳感裝置的給定可累積的電荷量內(nèi)連續(xù)或不連續(xù)地改變。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的驅(qū)動固態(tài)圖像傳感器件的方法,其中在可控制可累積的電荷量的固態(tài)圖像傳感器件中,在一個成像周期內(nèi)按Qsat(1)和Qsat(2)的順序進行可累積電荷量Qsat(n)的切換操作,同時控制Qsat(1)和Qsat(2)的累積模式以滿足Qsat(1)/t(1)<(Qsat(1)-Qsat(2))/(t(2)-t(1))其中Qsat(1)的累積模式的結(jié)束時間是t(1),與一個成像周期T1的結(jié)束對應(yīng)的Qsat(2)的累積模式的結(jié)束時間是t(2)。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的驅(qū)動固態(tài)圖像傳感器件的方法,其中在可控制可累積電荷量的固態(tài)圖像傳感器件中在一個成像周期內(nèi)按Qsat(1)、Qsat(2)、…、Qsat(n)的順序進行切換可累積電荷量Qsat(n)的操作,并從第一可累積電荷量(Qsat(1)≠0)到第n個可累積電荷量順序切換,其中滿足Qsat(1)<Qsat(2)<…<Qsat(n)。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的驅(qū)動固態(tài)圖像傳感器件的方法,其中控制切換可累積電荷量的操作,以便對于特定整數(shù)m或等于2或大于和小于n的任何整數(shù)m滿足Qsat(m)-Qsat(m-1)/t(m)-t(m-1)<Qsat(m+1)-Qsat(m)/t(m+1)-t(m)的關(guān)系,其中t(m)是從累積開始到具有可累積電荷量Qsat(m)的第m級(2≤m≤n)累積模式的結(jié)束的時間,一個成像周期的結(jié)束時間是t(n)。
12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的驅(qū)動固態(tài)圖像傳感器件的方法,其中控制可控制可累積電荷量的固態(tài)圖像傳感器件中可累積的電荷量,以便在一個成像周期內(nèi)連續(xù)改變,并控制一個成像周期內(nèi)可累積電荷量的改變速度,以滿足d(Qsat)/dt>0。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的驅(qū)動固態(tài)圖像傳感器件的方法,其中在整個一個成像周期或一個成像周期的一部分中,控制可累積的電荷量,以便二次改變速度滿足d2(Qsat(t))/dt2>0。
14.根據(jù)權(quán)利要求8所述的驅(qū)動固態(tài)圖像傳感器件的方法,其中剛好在有關(guān)的一個成像周期開始前使累積到電荷累積裝置中的電荷量基本為零。
15.根據(jù)權(quán)利要求8所述的驅(qū)動固態(tài)圖像傳感器件的方法,其中剛好在有關(guān)的一個成像周期開始前,增加預(yù)定的電荷量作為累積到電荷累積裝置的電荷量。
16.一種存儲使計算機執(zhí)行驅(qū)動固態(tài)圖像傳感器件的方法的程序的記錄介質(zhì),該固態(tài)圖像傳感器件包括以矩陣形式排列的多個傳感裝置,連接到所述傳感裝置并累積在所述傳感裝置產(chǎn)生的電荷的電荷累積裝置,調(diào)節(jié)所述電荷累積裝置可累積的電荷量的可累積電荷調(diào)節(jié)裝置,和控制所述可累積電荷調(diào)節(jié)裝置的控制裝置,該方法包括步驟由所述控制裝置控制可累積的電荷量在一個成像周期內(nèi)按時序和傳感裝置的給定可累積的電荷量內(nèi)連續(xù)或不連續(xù)地改變。
全文摘要
一種固態(tài)圖像傳感器件,具有:以矩陣形式排列的多個傳感裝置;連接到傳感裝置并累積在傳感裝置產(chǎn)生的電荷的電荷累積裝置;調(diào)節(jié)電荷累積裝置可累積的電荷量的可累積電荷調(diào)節(jié)裝置;和控制可累積電荷調(diào)節(jié)裝置的控制裝置??刂蒲b置控制可累積的電荷量,以便在一個成像周期內(nèi)按時序和控制裝置的給定可累積的電荷量內(nèi)連續(xù)或不連續(xù)地改變。
文檔編號H04N5/353GK1255015SQ9912248
公開日2000年5月31日 申請日期1999年9月10日 優(yōu)先權(quán)日1998年9月11日
發(fā)明者村上一朗, 中柴康隆 申請人:日本電氣株式會社
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