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可收集寄生光生電荷的圖像傳感器的制作方法

文檔序號:12627495閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種可收集寄生光生電荷的圖像傳感器,包括襯底(1)及生長在襯底(1)上的存儲節(jié)點(4),其特征在于所述襯底(1)上靠近存儲節(jié)點(4)寄生p-n結(jié)的區(qū)域生長保護區(qū)(6);存儲節(jié)點(4)和保護區(qū)(6)均為n+型半導體,保護區(qū)(6)接高電位。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可收集寄生光生電荷的圖像傳感器,其特征在于所述的保護區(qū)(6)由多個保護柱組成,多個保護柱均勻分布在存儲節(jié)點(4)周圍。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可收集寄生光生電荷的圖像傳感器,其特征在于所述的保護區(qū)(6)由多個保護柱組成,多個保護柱沿平行于存儲節(jié)點(4)長度的方向均勻分布。

4.根據(jù)權(quán)利要求2、3所述的可收集寄生光生電荷的圖像傳感器,其特征在于所述保護柱為正方形,其邊長在0.1-60um之間,相鄰保護柱之間的間隙t在0.1-0.56um之間,保護柱與存儲節(jié)點(4)之間的間隙w在0.1-0.56um之間。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可收集寄生光生電荷的圖像傳感器,其特征在于所述的保護區(qū)(6)三面圍繞存儲節(jié)點(4)形成保護開環(huán)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可收集寄生光生電荷的圖像傳感器,其特征在于所述的保護區(qū)(6)平行于存儲節(jié)點(4)的長度方向形成保護層。

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