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改進(jìn)的靜電式換能器的制作方法

文檔序號:11852855閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種靜電式換能器,包括:具有通孔陣列的導(dǎo)電第一構(gòu)件;以及一個以上的另外構(gòu)件,

其中所述一個以上的另外構(gòu)件包括柔性導(dǎo)電第二構(gòu)件,其布置成在使用中通過響應(yīng)于應(yīng)用到所述第一構(gòu)件和所述第二構(gòu)件中的一個或全部的電勢的靜電力從平衡位置朝向所述第一構(gòu)件移位,

并且其中所述一個以上的另外構(gòu)件中的至少一個是可彈性變形的,并布置成在使用中施加彈性偏向力以使所述第二構(gòu)件在由于所述電勢偏離所述平衡位置時偏置返回至所述平衡位置。

2.如權(quán)利要求1所述的靜電式換能器,其中所述換能器布置成在使用中應(yīng)用電勢,所述電勢只產(chǎn)生所述導(dǎo)電第一構(gòu)件和所述柔性導(dǎo)電第二構(gòu)件之間的靜電吸引力。

3.如權(quán)利要求1或2所述的靜電式換能器,其中所述柔性導(dǎo)電第二構(gòu)件也是所述可彈性變形構(gòu)件。

4.如權(quán)利要求1、2或3所述的靜電式換能器,其中所述靜電式換能器包括至少三個構(gòu)件,所述至少三個構(gòu)件包括在所述第一和第二構(gòu)件之間的柔性電絕緣第三構(gòu)件。

5.如權(quán)利要求4所述的靜電式換能器,其中所述第三構(gòu)件是可彈性變形的。

6.如權(quán)利要求1到3中任一所述的靜電式換能器,其中所述柔性導(dǎo)電第二構(gòu)件延伸遍布所述第一構(gòu)件,并且可彈性變形的第三構(gòu)件延伸遍布所述第二構(gòu)件。

7.如權(quán)利要求4到6所述的靜電式換能器,其中所述第二構(gòu)件是可彈性變形的。

8.如前述任一權(quán)利要求所述的靜電式換能器,其中所述可彈性變形的構(gòu)件憑借其具有的非平面輪廓可彈性變形。

9.如權(quán)利要求8所述的靜電式換能器,其中所述非平面輪廓包括多個局部突出部分。

10.如前述任一權(quán)利要求所述的靜電式換能器,其中所述可彈性變形的構(gòu)件被壓印。

11.如權(quán)利要求9或10所述的靜電式換能器,其中所述突出部分平行于所述可彈性變形的構(gòu)件的中間面的最大尺寸在1mm至20mm之間,優(yōu)選在5mm至10mm之間。

12.如前述任一權(quán)利要求所述的靜電式換能器,其中所述可彈性變形的構(gòu)件的有效厚度在0.25mm至10mm之間。

13.如權(quán)利要求8到12中任一所述的靜電式換能器,其中所述第二構(gòu)件和所述第三構(gòu)件都具有各自的輪廓圖案以便可彈性變形,并且其中所述第二和第三構(gòu)件各自的輪廓圖案相反。

14.如前述任一權(quán)利要求所述的靜電式換能器,其中所述第一構(gòu)件和所述一個以上的另外構(gòu)件僅在所述換能器的邊緣連接。

15.如權(quán)利要求1到13中任一所述的靜電式換能器,進(jìn)一步包括在所述第一和第二構(gòu)件之間的結(jié)合;在所述第一構(gòu)件和第三構(gòu)件之間的結(jié)合;和/或在所述第二構(gòu)件和第三構(gòu)件之間的結(jié)合。

16.如前述任一權(quán)利要求所述的靜電式換能器,其中所述第一構(gòu)件中的孔平行于所述第一構(gòu)件的中間面的最大尺寸在0.5mm至10mm之間,例如大約1.5mm。

17.如前述任一權(quán)利要求所述的靜電式換能器,其中所述第一構(gòu)件中的孔之間的間距在0.5mm至2mm之間。

18.如前述任一權(quán)利要求所述的靜電式換能器,其中所述導(dǎo)電第一構(gòu)件為包括聚合物片的復(fù)合層,所述聚合物片具有通過金屬化應(yīng)用在其上的導(dǎo)電層。

19.如前述任一權(quán)利要求所述的靜電式換能器,其中所述柔性導(dǎo)電第二構(gòu)件由金屬化聚合物片制成。

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