本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造過程中的自動(dòng)化控制技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及半導(dǎo)體設(shè)備與主機(jī)之間的通信，具體地說是一種SECS（SemiconductorEquipmentCommunicationStandard，半導(dǎo)體設(shè)備通訊標(biāo)準(zhǔn)）/GEM（GenericEquipmentModel，通用設(shè)備模型）消息交換設(shè)備和方法。

背景技術(shù)：
SECS/GEM，HSMS（HighspeedSECSMessageSystem，高速SECS消息系統(tǒng)）是由SEMI（SemiconductorEquipmentandMaterialsInstitute，半導(dǎo)體設(shè)備與材料協(xié)會(huì)）制定的半導(dǎo)體行業(yè)通信標(biāo)準(zhǔn)協(xié)議，目前絕大多數(shù)的半導(dǎo)體設(shè)備均遵照該協(xié)議，運(yùn)行在主機(jī)（Host）上的EAP（EquipmentAutomationProgram，設(shè)備自動(dòng)化程序）系統(tǒng)通過該協(xié)議與設(shè)備進(jìn)行通信，實(shí)現(xiàn)修改設(shè)備參數(shù)、下達(dá)指令等，從而控制設(shè)備運(yùn)行，也可以收集量測(cè)數(shù)據(jù)、設(shè)備報(bào)警等。但通常CIM（ComputerIntegratedManufacturing，計(jì)算機(jī)集成制造）上層系統(tǒng)（如：FDC、APC、SPC、RMS，MES等）需要從設(shè)備上收集大量的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)，但是由于SECS，HSMS都是點(diǎn)對(duì)點(diǎn)的通信協(xié)議，所以目前的方案基本上都是通過EAP系統(tǒng)與半導(dǎo)體設(shè)備連接來收集數(shù)據(jù)，并報(bào)送給上層系統(tǒng)，該方案存在以下缺陷：1、EAP系統(tǒng)壓力很大，可能導(dǎo)致系統(tǒng)運(yùn)行緩慢，從而影響生產(chǎn)；2、上層系統(tǒng)收到的數(shù)據(jù)延遲，對(duì)生產(chǎn)而言有一定的風(fēng)險(xiǎn)；3、所有上層系統(tǒng)都依賴于EAP系統(tǒng)，當(dāng)EAP系統(tǒng)出現(xiàn)故障時(shí)所有上層系統(tǒng)都無法工作；4、由于所有上層系統(tǒng)都依賴于EAP系統(tǒng)，這種系統(tǒng)之間的高度耦合給系統(tǒng)維護(hù)帶來不便；5、對(duì)于一些早期的FAB（晶圓廠），可能已經(jīng)無法找到EAP的源代碼，EAP如同一個(gè)暗箱，無法修改，但是由于是點(diǎn)對(duì)點(diǎn)的通信，設(shè)備只能與一個(gè)外圍系統(tǒng)通信，如果要增加新的上層系統(tǒng)（如FDC等），幾乎無法實(shí)現(xiàn)。中國專利（CN101552794A）公開了一種基于SEMI標(biāo)準(zhǔn)的SECS通信方法。包括HSMS通信模塊實(shí)現(xiàn)設(shè)備到主機(jī)的連接，并通過網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行數(shù)據(jù)傳輸步驟；及通過SECS協(xié)議模塊進(jìn)行SECSII編解碼，實(shí)施數(shù)據(jù)收集、設(shè)備控制和異常處理步驟。采用該發(fā)明可實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體工廠的自動(dòng)化管理，能夠滿足半導(dǎo)體器件制造過程中的高真空、高潔度、高無塵等特性要求，可使不同的設(shè)備控制系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)化、提高生產(chǎn)效率、降低生產(chǎn)成本。中國專利（CN102467467A）公開了一種半導(dǎo)體設(shè)備通信標(biāo)準(zhǔn)的訊息交換裝置與訊息交換方法，訊息交換裝置包括SECS-II訊息通信部、轉(zhuǎn)譯部以及信息存儲(chǔ)裝置存取部，其中還包括用以定義SECS-II訊息的訊息內(nèi)容與格式的至少一組數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)文件與一訊息格式文件。轉(zhuǎn)譯部根據(jù)該數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)文件與訊息格式文件將SECS-II訊息轉(zhuǎn)譯為各種信息存儲(chǔ)裝置的信息存儲(chǔ)格式的數(shù)據(jù)，以及將信息存儲(chǔ)裝置的各種信息存儲(chǔ)格式的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)譯為SECS-II訊息，以令機(jī)臺(tái)自動(dòng)化程序與信息存儲(chǔ)裝置之間可以通過訊息交換裝置進(jìn)行訊息交換。應(yīng)用訊息交換方法在此種訊息交換裝置，不僅可省卻程序開發(fā)的成本，同時(shí)更具有較高的系統(tǒng)穩(wěn)定性與產(chǎn)業(yè)效益。上述兩個(gè)專利均未解決通過EAP系統(tǒng)進(jìn)行半導(dǎo)體設(shè)備與上層系統(tǒng)之間通信帶來的缺陷。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
針對(duì)上述存在的問題，本發(fā)明公開一種SECS/GEM消息交換設(shè)備和方法，以克服現(xiàn)有技術(shù)中通過EAP系統(tǒng)進(jìn)行半導(dǎo)體設(shè)備與上層系統(tǒng)之間通信帶來的缺陷問題。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案：一種SECS/GEM消息交換設(shè)備，應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備與主機(jī)之間的通信中，其中，包括：配置文件管理器，用于設(shè)定所述半導(dǎo)體設(shè)備與所述主機(jī)之間進(jìn)行消息交換的配置文件；設(shè)備端SECS/GEM驅(qū)動(dòng)器，用于在所述半導(dǎo)體設(shè)備發(fā)送設(shè)備消息時(shí)，對(duì)所述設(shè)備消息進(jìn)行編碼、發(fā)送；或者用于對(duì)轉(zhuǎn)發(fā)后的已編碼主機(jī)消息進(jìn)行解碼，并將已解碼主機(jī)消息發(fā)送到所述半導(dǎo)體設(shè)備；設(shè)備消息緩存器，用于在發(fā)送已編碼設(shè)備消息時(shí)，將已編碼設(shè)備消息進(jìn)行緩存排序；主機(jī)端SECS/GEM驅(qū)動(dòng)器，用于在所述主機(jī)發(fā)送主機(jī)消息時(shí)，對(duì)所述主機(jī)消息進(jìn)行編碼、發(fā)送；或者用于對(duì)轉(zhuǎn)發(fā)后的已編碼設(shè)備消息進(jìn)行解碼，并將已解碼設(shè)備消息發(fā)送到所述主機(jī)；主機(jī)消息緩存器，用于對(duì)轉(zhuǎn)發(fā)后的已編碼設(shè)備消息進(jìn)行緩存排序；轉(zhuǎn)發(fā)器，用于根據(jù)所述配置文件對(duì)發(fā)送后的已編碼設(shè)備消息進(jìn)行轉(zhuǎn)發(fā)；或者用于根據(jù)所述配置文件對(duì)發(fā)送后的已編碼主機(jī)消息進(jìn)行轉(zhuǎn)發(fā)。上述的SECS/GEM消息交換設(shè)備，其中，還包括一個(gè)設(shè)置在近所述設(shè)備端SECS/GEM驅(qū)動(dòng)器處的設(shè)備端口和N個(gè)設(shè)置在近所述主機(jī)端SECS/GEM驅(qū)動(dòng)器處的主機(jī)端口，所述設(shè)備端口和所述主機(jī)端口均用于接收和發(fā)送所述半導(dǎo)體設(shè)備和所述主機(jī)之間的消息交換數(shù)據(jù)；其中，所述設(shè)備端口連接一臺(tái)半導(dǎo)體設(shè)備，每個(gè)所述主機(jī)端口連接一臺(tái)主機(jī)，N個(gè)所述主機(jī)端口連接N臺(tái)主機(jī)，使得一臺(tái)半導(dǎo)體設(shè)備能夠同時(shí)與N臺(tái)主機(jī)進(jìn)行消息交換，N為大于等于1的自然數(shù)。上述的SECS/GEM消息交換設(shè)備，其中，還包括日志管理器，所述配置文件包括用于向所述日志管理器提供日志記錄規(guī)則的日志規(guī)則配置文件，所述日志管理器用于根據(jù)所述日志規(guī)則配置文件中的日志記錄規(guī)則記錄所述半導(dǎo)體設(shè)備與所述主機(jī)之間的所有消息交換日志。上述的SECS/GEM消息交換設(shè)備，其中，還包括過濾器，所述配置文件包括用于向所述過濾器提供過濾驗(yàn)證規(guī)則的過濾規(guī)則配置文件，所述過濾器用于根據(jù)所述過濾規(guī)則配置文件中的過濾驗(yàn)證規(guī)則在轉(zhuǎn)發(fā)已編碼設(shè)備消息時(shí)進(jìn)行過濾驗(yàn)證，并按照緩存排序發(fā)送通過過濾驗(yàn)證的重要消息。上述的SECS/GEM消息交換設(shè)備，其中，所述過濾器還設(shè)有用于控制所述過濾器開啟和關(guān)閉的過濾器開關(guān)，在所述過濾器開關(guān)打開時(shí)，所述過濾器啟動(dòng)。上述的SECS/GEM消息交換設(shè)備，其中，還包括消息監(jiān)控器，用于實(shí)時(shí)監(jiān)控所述半導(dǎo)體設(shè)備與所述主機(jī)之間的消息交換數(shù)據(jù)。上述的SECS/GEM消息交換設(shè)備，其中，所述消息監(jiān)控器還設(shè)有用于控制所述消息監(jiān)控器開啟和關(guān)閉的監(jiān)控開關(guān)，在所述監(jiān)控開關(guān)打開時(shí)，所述消息監(jiān)控器啟動(dòng)。上述的SECS/GEM消息交換設(shè)備，其中，所述配置文件包括用于向所述轉(zhuǎn)發(fā)器提供轉(zhuǎn)發(fā)規(guī)則的轉(zhuǎn)發(fā)規(guī)則配置文件；所述轉(zhuǎn)發(fā)器根據(jù)所述轉(zhuǎn)發(fā)規(guī)則配置文件中的轉(zhuǎn)發(fā)規(guī)則轉(zhuǎn)發(fā)接收到的已編碼設(shè)備消息，或者根據(jù)所述轉(zhuǎn)發(fā)規(guī)則配置文件中的轉(zhuǎn)發(fā)規(guī)則轉(zhuǎn)發(fā)接收到的已編碼主機(jī)消息。一種SECS/GEM消息交換方法，應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備與主機(jī)之間的通信中，其中，包括如下步驟：S1，設(shè)定所述半導(dǎo)體設(shè)備與所述主機(jī)之間進(jìn)行消息交換的配置文件；S2，在所述半導(dǎo)體設(shè)備發(fā)送設(shè)備消息時(shí)，對(duì)所述設(shè)備消息進(jìn)行編碼，將已編碼設(shè)備消息進(jìn)行緩存排序并按照順序發(fā)送；或者在所述主機(jī)發(fā)送主機(jī)消息時(shí)，對(duì)所述主機(jī)消息進(jìn)行編碼、發(fā)送；S3，根據(jù)所述配置文件對(duì)發(fā)送后的已編碼設(shè)備消息進(jìn)行轉(zhuǎn)發(fā)；或者根據(jù)所述配置文件對(duì)發(fā)送后的已編碼主機(jī)消息進(jìn)行轉(zhuǎn)發(fā)；S4，對(duì)轉(zhuǎn)發(fā)后的已編碼設(shè)備消息進(jìn)行緩存排序后解碼，并將已解碼設(shè)備消息發(fā)送到所述主機(jī)；或者對(duì)轉(zhuǎn)發(fā)后的已編碼主機(jī)消息進(jìn)行解碼，并將已解碼主機(jī)消息發(fā)送到所述半導(dǎo)體設(shè)備。上述的SECS/GEM消息交換方法，其中，在所述步驟S2和S4中，通過一個(gè)設(shè)備端口和N個(gè)主機(jī)端口接收和發(fā)送所述半導(dǎo)體設(shè)備和所述主機(jī)之間的消息交換數(shù)據(jù)；其中，所述設(shè)備端口連接一臺(tái)半導(dǎo)體設(shè)備，每個(gè)所述主機(jī)端口連接一臺(tái)主機(jī)，N個(gè)所述主機(jī)端口連接N臺(tái)主機(jī)，使得一臺(tái)半導(dǎo)體設(shè)備能夠同時(shí)與N臺(tái)主機(jī)進(jìn)行消息交換，N為大于等于1的自然數(shù)。上述的SECS/GEM消息交換方法，其中，在所述步驟S1中，所述配置文件包括用于提供日志記錄規(guī)則的日志規(guī)則配置文件；在所述步驟S2-S4中，根據(jù)所述日志規(guī)則配置文件中的日志記錄規(guī)則記錄所述半導(dǎo)體設(shè)備與所述主機(jī)之間的所有消息交換日志。上述的SECS/GEM消息交換方法，其中，在所述步驟S1中，所述配置文件包括用于提供過濾驗(yàn)證規(guī)則的過濾規(guī)則配置文件；在所述步驟S3-S4中，根據(jù)所述過濾規(guī)則配置文件中的過濾驗(yàn)證規(guī)則在轉(zhuǎn)發(fā)已編碼設(shè)備消息時(shí)進(jìn)行過濾驗(yàn)證，并按照緩存排序發(fā)送通過過濾驗(yàn)證的重要消息。上述的SECS/GEM消息交換方法，其中，在所述步驟S2-S4中，實(shí)時(shí)監(jiān)控所述半導(dǎo)體設(shè)備與所述主機(jī)之間的消息交換數(shù)據(jù)。上述的SECS/GEM消息交換方法，其中，在所述步驟S1中，所述配置文件包括用于提供轉(zhuǎn)發(fā)規(guī)則的轉(zhuǎn)發(fā)規(guī)則配置文件；在所述步驟S3中，根據(jù)所述轉(zhuǎn)發(fā)規(guī)則配置文件中的轉(zhuǎn)發(fā)規(guī)則轉(zhuǎn)發(fā)接收到的已編碼設(shè)備消息，或者根據(jù)所述轉(zhuǎn)發(fā)規(guī)則配置文件中的轉(zhuǎn)發(fā)規(guī)則轉(zhuǎn)發(fā)接收到的已編碼主機(jī)消息。本發(fā)明具有如下優(yōu)點(diǎn)或者有益效果：1、可以實(shí)現(xiàn)一臺(tái)半導(dǎo)體設(shè)備連接多個(gè)主機(jī)，使一臺(tái)半導(dǎo)體設(shè)備可以同時(shí)與多個(gè)主機(jī)同時(shí)通信，增加了消息交換的速度，提高了生產(chǎn)效率。2、在有多個(gè)上層系統(tǒng)的情況下可以有效解耦，使得各上層系統(tǒng)耦合度最低，便于系統(tǒng)維護(hù)。3、降低了EAP系統(tǒng)的壓力，同時(shí)也縮短了上層系統(tǒng)在數(shù)據(jù)接收時(shí)的延遲。4、通過過濾器的過濾功能，可根據(jù)需要過濾不需要的消息，只發(fā)送重要消息。5、采用消息監(jiān)控器，可實(shí)時(shí)監(jiān)控半導(dǎo)體設(shè)備和主機(jī)之間的消息交換數(shù)據(jù)。6、可即插即用，對(duì)于遺留系統(tǒng)基本無需改動(dòng)。具體附圖說明通過閱讀參照以下附圖對(duì)非限制性實(shí)施例所作的詳細(xì)描述，本發(fā)明及其特征、外形和優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得更加明顯。在全部附圖中相同的標(biāo)記指示相同的部分。并未可以按照比例繪制附圖，重點(diǎn)在于示出本發(fā)明的主旨。圖1是本發(fā)明第一實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本發(fā)明第二實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖。具體實(shí)施方式下面結(jié)合附圖和具體的實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的說明，但是不作為本發(fā)明的限定。本發(fā)明的第一實(shí)施方式涉及一種SECS/GEM消息交換設(shè)備，應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備與主機(jī)之間的通信中，如圖1所示，包括：配置文件管理器，依次連接的設(shè)備端SECS/GEM驅(qū)動(dòng)器、設(shè)備消息緩存器、轉(zhuǎn)發(fā)器、主機(jī)消息緩存器和主機(jī)端SECS/GEM驅(qū)動(dòng)器，配置文件管理器還與轉(zhuǎn)發(fā)器連接。具體而言，配置文件管理器，用于設(shè)定所述半導(dǎo)體設(shè)備與所述主機(jī)之間進(jìn)行消息交換的配置文件，還可以查看、修改、更新配置文件，本實(shí)施方式的SECS/GEM消息交換設(shè)備啟動(dòng)時(shí)自動(dòng)加載配置文件，配置文件更新后無需重啟便可自動(dòng)重新加載配置文件。設(shè)備端SECS/GEM驅(qū)動(dòng)器，用于在所述半導(dǎo)體設(shè)備發(fā)送設(shè)備消息時(shí)，對(duì)所述設(shè)備消息進(jìn)行編碼、發(fā)送；或者用于對(duì)轉(zhuǎn)發(fā)后的已編碼主機(jī)消息進(jìn)行解碼，并將已解碼主機(jī)消息發(fā)送到所述半導(dǎo)體設(shè)備；該設(shè)備端SECS/GEM驅(qū)動(dòng)器采用第三方標(biāo)準(zhǔn)的SECS/GEM驅(qū)動(dòng)協(xié)議。設(shè)備消息緩存器，用于在發(fā)送已編碼設(shè)備消息時(shí)，將已編碼設(shè)備消息按照時(shí)間順序進(jìn)行緩存排序，當(dāng)已編碼設(shè)備消息的量非常大且無法及時(shí)發(fā)送的時(shí)候?qū)⒈粫捍嬖谠O(shè)備消息緩存器中。主機(jī)端SECS/GEM驅(qū)動(dòng)器，用于在所述主機(jī)發(fā)送主機(jī)消息時(shí)，對(duì)所述主機(jī)消息進(jìn)行編碼、發(fā)送；或者用于對(duì)轉(zhuǎn)發(fā)后的已編碼設(shè)備消息進(jìn)行解碼，并將已解碼設(shè)備消息發(fā)送到所述主機(jī)；該主機(jī)端SECS/GEM驅(qū)動(dòng)器采用第三方標(biāo)準(zhǔn)的SECS/GEM驅(qū)動(dòng)協(xié)議。主機(jī)消息緩存器，用于對(duì)轉(zhuǎn)發(fā)后的已編碼設(shè)備消息按照時(shí)間順序進(jìn)行緩存排序?qū)⑥D(zhuǎn)發(fā)的已編碼設(shè)備消息排序，當(dāng)轉(zhuǎn)發(fā)的已編碼設(shè)備消息的量非常大且無法及時(shí)發(fā)送的時(shí)候?qū)⒈粫捍嬖谠O(shè)備消息緩存器中。轉(zhuǎn)發(fā)器，用于根據(jù)所述配置文件對(duì)發(fā)送后的已編碼設(shè)備消息進(jìn)行轉(zhuǎn)發(fā)；或者用于根據(jù)所述配置文件對(duì)發(fā)送后的已編碼主機(jī)消息進(jìn)行轉(zhuǎn)發(fā)。采用本實(shí)施方式的SECS/GEM消息交換設(shè)備，無需使用EAP系統(tǒng)交換半導(dǎo)體設(shè)備和主機(jī)之間的通信，有效降低了EAP系統(tǒng)的壓力，同時(shí)也縮短了主機(jī)（即上層系統(tǒng)）在數(shù)據(jù)接收時(shí)的延遲，更是避免了當(dāng)EAP系統(tǒng)出現(xiàn)故障時(shí)所有上層系統(tǒng)都無法工作的情況發(fā)生。值得一提的是，本實(shí)施方式中所涉及到的各器件均為邏輯器件，在實(shí)際應(yīng)用中，一個(gè)邏輯單元可以是一個(gè)物理單元，也可以是一個(gè)物理單元的一部分，還可以以多個(gè)物理單元的組合實(shí)現(xiàn)。此外，為了突出本發(fā)明的創(chuàng)新部分，本實(shí)施方式中并沒有將與解決本發(fā)明所提出的技術(shù)問題關(guān)系不太密切的單元引入，但這并不表明本實(shí)施方式中不存在其它的單元。本發(fā)明的第二實(shí)施方式涉及一種SECS/GEM消息交換設(shè)備。本實(shí)施方式在第一實(shí)施方式的基礎(chǔ)上進(jìn)行了改進(jìn)，參見圖2，具體為：還包括一個(gè)設(shè)置在近所述設(shè)備端SECS/GEM驅(qū)動(dòng)器處的設(shè)備端口和N個(gè)設(shè)置在近所述主機(jī)端SECS/GEM驅(qū)動(dòng)器處的主機(jī)端口，所述設(shè)備端口和所述主機(jī)端口均用于接收和發(fā)送所述半導(dǎo)體設(shè)備和所述主機(jī)之間的消息交換數(shù)據(jù)；其中，所述設(shè)備端口采用數(shù)據(jù)線連接一臺(tái)半導(dǎo)體設(shè)備，每個(gè)所述主機(jī)端口采用數(shù)據(jù)線連接一臺(tái)主機(jī)，N個(gè)所述主機(jī)端口連接N臺(tái)主機(jī)，可即插即用，對(duì)于遺留系統(tǒng)基本無需改動(dòng)，使得一臺(tái)半導(dǎo)體設(shè)備能夠同時(shí)與N臺(tái)主機(jī)進(jìn)行消息交換，N為大于等于1的自然數(shù)。相應(yīng)的，主機(jī)消息緩存器也設(shè)有N個(gè)，每個(gè)主機(jī)消息緩存器均對(duì)應(yīng)一臺(tái)主機(jī)，轉(zhuǎn)發(fā)器轉(zhuǎn)發(fā)的已編碼設(shè)備消息根據(jù)某幾個(gè)主機(jī)的需要，發(fā)送至這幾個(gè)主機(jī)對(duì)應(yīng)的主機(jī)消息緩存器中排序，再經(jīng)解碼后通過相應(yīng)主機(jī)端口發(fā)送到主機(jī)。另外，所述半導(dǎo)體設(shè)備和所述主機(jī)之間的消息交換數(shù)據(jù)包括主要由錯(cuò)誤數(shù)據(jù)、警告數(shù)據(jù)、調(diào)試數(shù)據(jù)和消息數(shù)據(jù)等組成的由半導(dǎo)體設(shè)備發(fā)送的設(shè)備消息和由主機(jī)發(fā)送的主機(jī)消息。此外，本實(shí)施方式的SECS/GEM消息交換設(shè)備還包括用于記錄所述半導(dǎo)體設(shè)備與所述主機(jī)之間的所有消息交換日志的日志管理器，用于在轉(zhuǎn)發(fā)已編碼設(shè)備消息時(shí)進(jìn)行過濾驗(yàn)證，并按照時(shí)間順序排序發(fā)送通過過濾驗(yàn)證的重要消息的過濾器，以及用于實(shí)時(shí)監(jiān)控所述半導(dǎo)體設(shè)備與所述主機(jī)之間的消息交換數(shù)據(jù)的消息監(jiān)控器。而配置文件管理器設(shè)定的配置文件包括用于向所述日志管理器提供日志記錄規(guī)則的日志規(guī)則配置文件，用于向所述過濾器提供過濾驗(yàn)證規(guī)則的過濾規(guī)則配置文件，以及用于向所述轉(zhuǎn)發(fā)器提供轉(zhuǎn)發(fā)規(guī)則的轉(zhuǎn)發(fā)規(guī)則配置文件。日志規(guī)則配置文件中的日志記錄規(guī)則包括將日志文件保存的目錄，以及記錄的日志文件的內(nèi)容類別等，日志管理器根據(jù)日志規(guī)則配置文件中的日志記錄規(guī)則記錄所述半導(dǎo)體設(shè)備與所述主機(jī)之間的所有消息交換日志，即記錄從設(shè)備端口到主機(jī)端口或者從主機(jī)端口到設(shè)備端口之間的所有消息交換數(shù)據(jù)，這些消息交換日志可以完整的保存到相應(yīng)的目錄中，當(dāng)工程師需要查詢半導(dǎo)體設(shè)備和主機(jī)之間的歷史消息交互數(shù)據(jù)時(shí)，直接到相應(yīng)的目錄中查找即可。過濾規(guī)則配置文件中的過濾驗(yàn)證規(guī)則包括驗(yàn)證重要消息通過和屏蔽非重要消息，過濾器根據(jù)過濾規(guī)則配置文件中的過濾驗(yàn)證規(guī)則在轉(zhuǎn)發(fā)已編碼設(shè)備消息時(shí)進(jìn)行過濾驗(yàn)證，并按照時(shí)間順序排序發(fā)送通過過濾驗(yàn)證的重要消息。過濾器還設(shè)有用于控制所述過濾器開啟和關(guān)閉的過濾器開關(guān)，在所述過濾器開關(guān)打開時(shí)，所述過濾器啟動(dòng)。如果過濾器不啟動(dòng)，那么轉(zhuǎn)發(fā)后的已編碼設(shè)備消息將直接通過主機(jī)消息緩存器發(fā)送給主機(jī)。消息監(jiān)控器，用于實(shí)時(shí)監(jiān)控所述半導(dǎo)體設(shè)備與所述主機(jī)之間的消息交換數(shù)據(jù)，例如消息的出發(fā)地（如設(shè)備端口）和目的地（如某個(gè)或某幾個(gè)主機(jī)端口）。消息監(jiān)控器還設(shè)有用于控制所述消息監(jiān)控器開啟和關(guān)閉的監(jiān)控開關(guān)，在所述監(jiān)控開關(guān)打開時(shí)，所述消息監(jiān)控器啟動(dòng)。在不需要監(jiān)控的時(shí)候，可以關(guān)閉消息監(jiān)控器，不影響消息交換。轉(zhuǎn)發(fā)規(guī)則配置文件中的轉(zhuǎn)發(fā)規(guī)則包括把已編碼設(shè)備消息轉(zhuǎn)發(fā)到不同的主機(jī)消息緩存器，以及把接收到的已編碼主機(jī)消息直接轉(zhuǎn)發(fā)到設(shè)備端SECS/GEM驅(qū)動(dòng)器等。所述轉(zhuǎn)發(fā)器根據(jù)所述轉(zhuǎn)發(fā)規(guī)則配置文件中的轉(zhuǎn)發(fā)規(guī)則轉(zhuǎn)發(fā)接收到的已編碼設(shè)備消息，或者根據(jù)所述轉(zhuǎn)發(fā)規(guī)則配置文件中的轉(zhuǎn)發(fā)規(guī)則轉(zhuǎn)發(fā)接收到的已編碼主機(jī)消息，設(shè)備端SECS/GEM驅(qū)動(dòng)器將接收到的轉(zhuǎn)發(fā)的已編碼主機(jī)消息進(jìn)行解碼。轉(zhuǎn)發(fā)器將接收到的已編碼設(shè)備消息轉(zhuǎn)發(fā)到不同的主機(jī)消息緩存器，并通過不同的主機(jī)端口發(fā)送給若干個(gè)主機(jī)，半導(dǎo)體設(shè)備發(fā)送過來的設(shè)備消息經(jīng)過轉(zhuǎn)發(fā)器后，同一消息可以同時(shí)發(fā)送給多個(gè)主機(jī)消息緩存器（也就是說可以同時(shí)發(fā)送給多個(gè)主機(jī)）。采用本實(shí)施方式的SECS/GEM消息交換設(shè)備，可以實(shí)現(xiàn)一臺(tái)半導(dǎo)體設(shè)備連接多個(gè)主機(jī)，使一臺(tái)半導(dǎo)體設(shè)備可以同時(shí)與多個(gè)主機(jī)同時(shí)通信，增加了消息交換的速度，提高了生產(chǎn)效率。同時(shí)，在有多個(gè)上層系統(tǒng)（即主機(jī)）的情況下可以有效解耦，使得各上層系統(tǒng)耦合度最低，便于系統(tǒng)維護(hù)。此外，通過過濾器的過濾功能，可根據(jù)需要過濾不需要的消息，只發(fā)送重要消息。本發(fā)明的第三實(shí)施方式涉及一種SECS/GEM消息交換方法，應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備與主機(jī)之間的通信中，半導(dǎo)體設(shè)備與主機(jī)之間的通信包括半導(dǎo)體設(shè)備將設(shè)備消息發(fā)送到主機(jī)以及主機(jī)將主機(jī)消息發(fā)送到半導(dǎo)體設(shè)備這兩個(gè)消息交換的方法。半導(dǎo)體設(shè)備將設(shè)備消息發(fā)送到主機(jī)包括如下步驟：S1，設(shè)定所述半導(dǎo)體設(shè)備與所述主機(jī)之間進(jìn)行消息交換的配置文件；S2，在所述半導(dǎo)體設(shè)備發(fā)送設(shè)備消息時(shí)，對(duì)所述設(shè)備消息進(jìn)行編碼，將已編碼設(shè)備消息進(jìn)行緩存排序并按照順序發(fā)送；S3，根據(jù)所述配置文件對(duì)發(fā)送后的已編碼設(shè)備消息進(jìn)行轉(zhuǎn)發(fā)；S4，對(duì)轉(zhuǎn)發(fā)后的已編碼設(shè)備消息進(jìn)行緩存排序后解碼，并將已解碼設(shè)備消息發(fā)送到所述主機(jī)。主機(jī)將主機(jī)消息發(fā)送到半導(dǎo)體設(shè)備包括如下步驟：S1，設(shè)定所述半導(dǎo)體設(shè)備與所述主機(jī)之間進(jìn)行消息交換的配置文件；S2，在所述主機(jī)發(fā)送主機(jī)消息時(shí)，對(duì)所述主機(jī)消息進(jìn)行編碼、發(fā)送；S3，根據(jù)所述配置文件對(duì)發(fā)送后的已編碼主機(jī)消息進(jìn)行轉(zhuǎn)發(fā)；S4，對(duì)轉(zhuǎn)發(fā)后的已編碼主機(jī)消息進(jìn)行解碼，并將已解碼主機(jī)消息發(fā)送到所述半導(dǎo)體設(shè)備。上面各種方法的步驟劃分，只是為了描述清楚，實(shí)現(xiàn)時(shí)可以合并為一個(gè)步驟或者對(duì)某些步驟進(jìn)行拆分，分解為多個(gè)步驟，只要包含相同的邏輯關(guān)系，都在本專利的保護(hù)范圍內(nèi)；對(duì)算法中或者流程中添加無關(guān)緊要的修改或者引入無關(guān)緊要的設(shè)計(jì)，但不改變其算法和流程的核心設(shè)計(jì)都在該專利的保護(hù)范圍內(nèi)。不難發(fā)現(xiàn)，本實(shí)施方式為與第一實(shí)施方式相對(duì)應(yīng)的方法實(shí)施例，本實(shí)施方式可與第一實(shí)施方式互相配合實(shí)施。第一實(shí)施方式中提到的相關(guān)技術(shù)細(xì)節(jié)在本實(shí)施方式中依然有效，為了減少重復(fù)，這里不再贅述。相應(yīng)地，本實(shí)施方式中提到的相關(guān)技術(shù)細(xì)節(jié)也可應(yīng)用在第一實(shí)施方式中。本發(fā)明的第四實(shí)施方式涉及一種SECS/GEM消息交換方法。本實(shí)施方式在第三實(shí)施方式的基礎(chǔ)進(jìn)行了改進(jìn)，具體為：在所述步驟S2和S4中，通過一個(gè)設(shè)備端口和N個(gè)主機(jī)端口接收和發(fā)送所述半導(dǎo)體設(shè)備和所述主機(jī)之間的消息交換數(shù)據(jù)；其中，所述設(shè)備端口連接一臺(tái)半導(dǎo)體設(shè)備，每個(gè)所述主機(jī)端口連接一臺(tái)主機(jī)，N個(gè)所述主機(jī)端口連接N臺(tái)主機(jī)，使得一臺(tái)半導(dǎo)體設(shè)備能夠同時(shí)與N臺(tái)主機(jī)進(jìn)行消息交換，N為大于等于1的自然數(shù)。在所述步驟S1中，所述配置文件包括用于提供日志記錄規(guī)則的日志規(guī)則配置文件；在所述步驟S2-S4中，根據(jù)所述日志規(guī)則配置文件中的日志記錄規(guī)則記錄所述半導(dǎo)體設(shè)備與所述主機(jī)之間的所有消息交換日志。在所述步驟S1中，所述配置文件包括用于提供過濾驗(yàn)證規(guī)則的過濾規(guī)則配置文件；在所述步驟S3-S4中，根據(jù)所述過濾規(guī)則配置文件中的過濾驗(yàn)證規(guī)則在轉(zhuǎn)發(fā)已編碼設(shè)備消息時(shí)進(jìn)行過濾驗(yàn)證，并按照時(shí)間順序排序發(fā)送通過過濾驗(yàn)證的重要消息。在所述步驟S2-S4中，實(shí)時(shí)監(jiān)控所述半導(dǎo)體設(shè)備與所述主機(jī)之間的消息交換數(shù)據(jù)。在所述步驟S1中，所述配置文件包括用于提供轉(zhuǎn)發(fā)規(guī)則的轉(zhuǎn)發(fā)規(guī)則配置文件；在所述步驟S3中，根據(jù)所述轉(zhuǎn)發(fā)規(guī)則配置文件中的轉(zhuǎn)發(fā)規(guī)則轉(zhuǎn)發(fā)接收到的已編碼設(shè)備消息，或者根據(jù)所述轉(zhuǎn)發(fā)規(guī)則配置文件中的轉(zhuǎn)發(fā)規(guī)則轉(zhuǎn)發(fā)接收到的已編碼主機(jī)消息。同樣，本實(shí)施方式可與第二實(shí)施方式互相配合實(shí)施。第二實(shí)施方式中提到的相關(guān)技術(shù)細(xì)節(jié)在本實(shí)施方式中依然有效，為了減少重復(fù)，這里不再贅述。相應(yīng)地，本實(shí)施方式中提到的相關(guān)技術(shù)細(xì)節(jié)也可應(yīng)用在第二實(shí)施方式中。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該理解，本領(lǐng)域技術(shù)人員在結(jié)合現(xiàn)有技術(shù)以及上述實(shí)施例可以實(shí)現(xiàn)所述變化例，在此不做贅述。這樣的變化例并不影響本發(fā)明的實(shí)質(zhì)內(nèi)容，在此不予贅述。以上對(duì)本發(fā)明的較佳實(shí)施例進(jìn)行了描述。需要理解的是，本發(fā)明并不局限于上述特定實(shí)施方式，其中未盡詳細(xì)描述的設(shè)備和結(jié)構(gòu)應(yīng)該理解為用本領(lǐng)域中的普通方式予以實(shí)施；任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍情況下，都可利用上述揭示的方法和技術(shù)內(nèi)容對(duì)本發(fā)明技術(shù)方案作出許多可能的變動(dòng)和修飾，或修改為等同變化的等效實(shí)施例，這并不影響本發(fā)明的實(shí)質(zhì)內(nèi)容。因此，凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所做的任何簡單修改、等同變化及修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案保護(hù)的范圍內(nèi)。