專利名稱：Mems麥克風(fēng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種麥克風(fēng)，尤其涉及一種MEMS麥克風(fēng)。背景技術(shù)：
隨著無(wú)線通訊的發(fā)展，全球移動(dòng)電話用戶越來(lái)越多，用戶對(duì)移動(dòng)電話的要求已不 僅滿足于通話，而且要能夠提供高質(zhì)量的通話效果，尤其是目前移動(dòng)多媒體技術(shù)的發(fā)展，移 動(dòng)電話的通話質(zhì)量更顯重要，移動(dòng)電話的麥克風(fēng)作為移動(dòng)電話的語(yǔ)音拾取裝置，其設(shè)計(jì)好 壞直接影響通話質(zhì)量。而目前應(yīng)用較多且性能較好的麥克風(fēng)是微電機(jī)系統(tǒng)麥克風(fēng)(Micro-E Iectro-Mechanical-System Microphone，簡(jiǎn)稱MEMS)，相關(guān)技術(shù)中，麥克風(fēng)用來(lái)釋放振膜的 內(nèi)應(yīng)力、減少聲阻方面明顯作用有限，因此有必要提供一種新型的MEMS麥克風(fēng)。

發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明需解決的技術(shù)問(wèn)題是提供了一種應(yīng)力釋放能力強(qiáng)、阻尼調(diào)節(jié)能力好的MEMS 麥克風(fēng)。根據(jù)上述需解決的技術(shù)問(wèn)題，設(shè)計(jì)了一種MEMS麥克風(fēng)，包括設(shè)有聲學(xué)后腔的基 底，與基底相連的背板，背板上設(shè)有聲孔，其還包括與背板相對(duì)且位于背板與基底之間的振 膜，該振膜與背板之間形成聲學(xué)前腔，振膜邊緣區(qū)域設(shè)有透氣孔，該透氣孔組成靠近振膜中 心的第一透氣孔陣列和遠(yuǎn)離振膜中心的第二透氣孔陣列，且任一陣列中的一個(gè)透氣孔位于 另一陣列中相鄰兩個(gè)透氣孔之間，該三個(gè)透氣孔的中心點(diǎn)的連線組成三角形。優(yōu)選的，所述三個(gè)透氣孔的中心點(diǎn)的連線組成正三角形。優(yōu)選的，任一陣列的透氣孔的中心點(diǎn)的連線組成一個(gè)圓。優(yōu)選的，所述任一透氣孔陣列組成的圓與其他透氣孔陣列組成的圓為同心圓。優(yōu)選的，透氣孔的形狀為圓形或矩形。本發(fā)明的有益效果在于設(shè)有兩圈或多圈同心圓均勻分布的透氣孔的振膜，圈與 圈之間的透氣孔采用三角點(diǎn)陣分布，當(dāng)振膜面積不斷縮小時(shí)，有很好的應(yīng)力調(diào)解和阻尼調(diào) 節(jié)作用，從而可進(jìn)一步提高小尺寸振膜結(jié)構(gòu)的靈敏度性能和可靠性能。

圖1是本發(fā)明一實(shí)施例的剖面圖；圖2是本發(fā)明一實(shí)施例振膜結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本發(fā)明實(shí)施例振膜A部放大結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式下面結(jié)合附圖和實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明。如圖1所示，在本發(fā)明提供的一個(gè)實(shí)施例中，MEMS麥克風(fēng)包括設(shè)有聲學(xué)后腔6的 基底1，與基底1相連的背板3，背板3上設(shè)有聲孔31，其還包括與背板3相對(duì)且位于背板3與基底1之間的振膜4，該振膜4與背板3之間形成聲學(xué)前腔5。如圖2所示，為本發(fā)明實(shí)施例振膜4結(jié)構(gòu)示意圖，振膜4邊緣區(qū)域設(shè)有透氣孔2，該 透氣孔2組成靠近振膜4中心的第一透氣孔2陣列和遠(yuǎn)離振膜中心的第二透氣孔2陣列， 且任一陣列中的一個(gè)透氣孔2位于另一陣列中相鄰兩個(gè)透氣孔2之間，該三個(gè)透氣孔2的 中心點(diǎn)的連線組成正三角形。任一陣列的透氣孔2的中心點(diǎn)的連線組成一個(gè)圓，且任一透 氣孔2陣列組成的圓與其他透氣孔2陣列組成的圓為同心圓；陣列數(shù)大于等于二。本發(fā)明產(chǎn)品在應(yīng)用時(shí)，當(dāng)聲音氣流通過(guò)聲孔31傳遞到振膜4上時(shí)，透氣2隨著振 膜4的收縮或擴(kuò)張調(diào)整相應(yīng)的應(yīng)力，可有效的提高產(chǎn)品的靈敏度；同時(shí)當(dāng)聲壓過(guò)大時(shí)，可起 到減弱聲壓的作用。透氣孔2為小圓孔，但相同條件下，透氣孔2也可為矩形孔等其他形狀 的孔；透氣孔2使麥克風(fēng)靈敏度提高，同時(shí)有助于整體聲學(xué)性能的提升。以上所述的僅是本發(fā)明的實(shí)施方式，在此應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員 來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明創(chuàng)造構(gòu)思的前提下，還可以做出改進(jìn)，但這些均屬于本發(fā)明的保護(hù)范 圍。
權(quán)利要求
一種MEMS麥克風(fēng)，包括設(shè)有聲學(xué)后腔的基底，與基底相連的背板，背板上設(shè)有聲孔，其還包括與背板相對(duì)且位于背板與基底之間的振膜，該振膜與背板之間形成聲學(xué)前腔，其特征在于振膜邊緣區(qū)域設(shè)有透氣孔，該透氣孔組成靠近振膜中心的第一透氣孔陣列和遠(yuǎn)離振膜中心的第二透氣孔陣列，且任一陣列中的一個(gè)透氣孔位于另一陣列中相鄰兩個(gè)透氣孔之間，該三個(gè)透氣孔的中心點(diǎn)的連線組成三角形。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于所述三個(gè)透氣孔的中心點(diǎn)的連線 組成正三角形。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于任一陣列的透氣孔的中心點(diǎn)的連 線組成一個(gè)圓。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于所述任一透氣孔陣列組成的圓與 其他透氣孔陣列組成的圓為同心圓。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于透氣孔的形狀為圓形或矩形。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種MEMS麥克風(fēng)，包括設(shè)有聲學(xué)后腔的基底，與基底相連的背板，背板上設(shè)有聲孔，其還包括與背板相對(duì)且位于背板與基底之間的振膜，該振膜與背板之間形成聲學(xué)前腔，振膜邊緣區(qū)域設(shè)有透氣孔，該透氣孔組成靠近振膜中心的第一透氣孔陣列和遠(yuǎn)離振膜中心的第二透氣孔陣列，且任一陣列中的一個(gè)透氣孔位于另一陣列中相鄰兩個(gè)透氣孔之間，該三個(gè)透氣孔的中心點(diǎn)的連線組成三角形，從而進(jìn)一步提高M(jìn)EMS麥克風(fēng)的聲學(xué)靈敏度和整體結(jié)構(gòu)性能。
文檔編號(hào)H04R19/04GK101959107SQ20101015349
公開日2011年1月26日 申請(qǐng)日期2010年4月19日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月19日
發(fā)明者孟珍奎 申請(qǐng)人:瑞聲聲學(xué)科技(深圳)有限公司;瑞聲微電子科技(常州)有限公司