專利名稱：改良的真空室角閥的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種改良的真空室角閥，特別是涉及一種用于真空室角閥中的密封結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
角閥是閥門的一種，能夠起到連接管件以及控制管件中氣體流動(dòng)的作用。隨著各種高新技術(shù)的不斷涌現(xiàn)，角閥的應(yīng)用領(lǐng)域也得到了不斷的擴(kuò)展。比如在納米工藝中，往往需要首先創(chuàng)造出一個(gè)真空的環(huán)境即通過一定的抽真空設(shè)備在某一封閉空間中產(chǎn)生、改善和維持真空。然而，在抽真空時(shí)，抽真空裝置往往需要通過角閥與真空室即被抽氣封閉空間進(jìn)行密封連接。為了能滿足實(shí)際生產(chǎn)中對(duì)真空室中真空度的要求，在抽真空過程中，對(duì)角閥內(nèi)部的結(jié)構(gòu)及其密封性提出了新的要求，因此，也導(dǎo)致了現(xiàn)有的普通角閥已不再能夠勝任。比如，在現(xiàn)有的一些普通角閥中，其采用的密封結(jié)構(gòu)是，將一個(gè)密封片固定在一個(gè)壓桿頂端， 工作時(shí)通過外部的壓力借助壓桿將密封片蓋在角閥接口處以起到密封作用。但是，在上述過程中，當(dāng)密封片蓋住角閥接口時(shí)，由于密封片與角閥接口的連接處并非每次都可以完全貼合在一起，因此會(huì)導(dǎo)致密封片受力不均，進(jìn)而影響了密封效果。綜上所述，亟待解決的問題是，對(duì)現(xiàn)有的角閥結(jié)構(gòu)加以改進(jìn)以改善其密封性和穩(wěn)定性。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是，提供一種改良的真空室角閥，其在工作時(shí)具有更好的密封性和穩(wěn)定性。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是一種改良的真空室角閥，該角閥包括氣缸，其固定于角閥體上；進(jìn)氣口，其用于與真空室密封連接；抽氣口一，其用于與外部機(jī)械泵密封連接；抽氣口二，其作為分子泵的出氣口 ；以及密封片，其通過活動(dòng)接頭安裝于所述活塞桿的頂端，該密封片通過所述活塞桿的壓力可以密封住所述分子泵的進(jìn)氣口 ； 其中，所述活動(dòng)接頭包括連接槽，其位于所述密封片的中部；弧形接頭，其固定于所述活塞桿的頂端，該弧形接頭被卡在所述連接槽中且所述弧形接頭與連接槽之間留有空隙。所述的改良的真空室角閥的活動(dòng)接頭中，所述連接槽為頂端開口的長方體。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是，本發(fā)明改良的真空室角閥中，所述密封片通過活動(dòng)接頭安裝于所述活塞桿的頂端，以及在所述活動(dòng)接頭中所述弧形接頭被卡在所述連接槽內(nèi)且所述弧形接頭與連接槽之間留有間隙。因此，當(dāng)密封片通過所述活塞桿的壓力密封住所述分子泵的進(jìn)氣口時(shí)，如果所述密封片與所述分子泵的進(jìn)氣口處并非完全貼合在一起，可以通過弧形接頭在所述連接槽內(nèi)的活動(dòng)而加以自動(dòng)調(diào)整，使得密封片與進(jìn)氣口均勻且緊密的結(jié)合在一起，從而提高了密封效果和密封的穩(wěn)定性。


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圖1為本發(fā)明改良的真空室角閥的整體結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2為本發(fā)明改良的真空室角閥中活動(dòng)接頭的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式為進(jìn)一步揭示本發(fā)明的技術(shù)方案，茲結(jié)合附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的實(shí)施方式。圖1為本發(fā)明改良的真空室角閥的整體結(jié)構(gòu)示意圖，圖2為本發(fā)明改良的真空室角閥中活動(dòng)接頭的結(jié)構(gòu)示意圖，圖中，包括氣缸11，其固定于角閥體10上，該氣缸11的活塞桿12通過無油軸承13伸入所述角閥體10內(nèi)部，該無油軸承13可以保證活塞桿12沿直線作往復(fù)運(yùn)動(dòng)；進(jìn)氣口 19，其用于與真空室即被抽氣封閉空間密封連接；進(jìn)氣口 19，其用于與真空室密封連接；抽氣口一 14，其與外部機(jī)械泵密封連接；抽氣口二 18，其作為分子泵17 的出氣口 ；以及密封片15，其通過活動(dòng)接頭16安裝于所述活塞桿12的頂端，該密封片15 通過所述活塞桿12的壓力可以密封住所述分子泵17的進(jìn)氣口 ；其中，所述活動(dòng)接頭16包括連接槽21，其位于所述密封片15的中部，該連接槽21為頂端開口的長方體；弧形接頭 20，其固定于所述活塞桿12的頂端，該弧形接頭20被卡在所述連接槽21中且所述弧形接頭20與連接槽21之間留有活動(dòng)空隙以保證所述弧形接頭20可以在連接槽21中進(jìn)行一定的活動(dòng)。以下結(jié)合

本發(fā)明改良的真空室角閥在工作時(shí)的動(dòng)作情況。在需要對(duì)所述分子泵17的進(jìn)氣口進(jìn)行密封時(shí)，利用所述活塞桿12的壓力使得所述密封片15封蓋在所述分子泵17的進(jìn)氣口上，此時(shí)如果所述密封片15與所述分子泵17 的進(jìn)氣口處并非完全貼合在一起，可以通過弧形接頭在所述連接槽內(nèi)的活動(dòng)而加以自動(dòng)調(diào)整，使得密封片與進(jìn)氣口均勻且緊密的結(jié)合在一起。通常，本領(lǐng)域技術(shù)人員在面對(duì)本發(fā)明中的技術(shù)問題時(shí)，通常會(huì)想到采用凸球面和與凸球面外形相配合的凹球面結(jié)合在一起的方式實(shí)現(xiàn)活動(dòng)連接，但采用該種活動(dòng)連接方式時(shí)，不但制作工藝較為復(fù)雜，而且球面之間的摩擦也較大甚至?xí)a(chǎn)生卡死的現(xiàn)象。因此，本發(fā)明克服了本領(lǐng)域技術(shù)人員在技術(shù)方面的一些偏見，同時(shí)也取得了較為明顯的有益技術(shù)效^ ο以上通過對(duì)所列實(shí)施方式的介紹，闡述了本發(fā)明的基本構(gòu)思和基本原理。但本發(fā)明絕不限于上述所列實(shí)施方式，凡是基于本發(fā)明的技術(shù)方案所作的等同變化、改進(jìn)及故意變劣等行為，均應(yīng)屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種改良的真空室角閥，其特征在于，該角閥包括氣缸(11)，其固定于角閥體(10) 上；進(jìn)氣口(19)，其用于與真空室密封連接；抽氣口一(14)，其用于與外部機(jī)械泵密封連接；抽氣口二(18)，其作為分子泵(17)的出氣口 ；以及密封片(15)，其通過活動(dòng)接頭(16) 安裝于所述活塞桿(12)的頂端，該密封片(15)通過所述活塞桿(12)的壓力可以密封住所述分子泵(17)的進(jìn)氣口 ；其中，所述活動(dòng)接頭(16)包括連接槽(21)，其位于所述密封片 (15)的中部；弧形接頭(20)，其固定于所述活塞桿(12)的頂端，該弧形接頭(20)被卡在所述連接槽(21)中且所述弧形接頭(20 )與連接槽(21)之間留有空隙。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的改良的真空室角閥，其特征在于，所述活動(dòng)接頭(16)中，所述連接槽(21)為頂端開口的長方體。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種改良的真空室角閥，該角閥包括氣缸、進(jìn)氣口、抽氣口一、抽氣口二、密封片、以及活動(dòng)接頭等。本發(fā)明改良的真空室角閥中，所述密封片通過活動(dòng)接頭安裝于所述活塞桿的頂端，以及在所述活動(dòng)接頭中所述弧形接頭被卡在所述連接槽內(nèi)且所述弧形接頭與連接槽之間留有間隙。因此，當(dāng)密封片通過所述活塞桿的壓力密封住所述分子泵的進(jìn)氣口時(shí)，如果所述密封片與所述分子泵的進(jìn)氣口處并非完全貼合在一起，可以通過弧形接頭在所述連接槽內(nèi)的活動(dòng)而加以自動(dòng)調(diào)整，使得密封片與進(jìn)氣口均勻且緊密的結(jié)合在一起，從而提高了密封效果和密封的穩(wěn)定性。
文檔編號(hào)F04D27/00GK102220995SQ20111016594
公開日2011年10月19日 申請(qǐng)日期2011年6月20日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月20日
發(fā)明者康進(jìn)昌, 阮佳龍 申請(qǐng)人:昆山振昆納米科技有限公司