專利名稱：真空室角閥的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種真空室角閥，特別是涉及一種用于對真空室進(jìn)行抽真空的真空室角閥。
背景技術(shù)：
近些年來，真空工業(yè)發(fā)展十分迅速，究其原因，主要是利用真空這個物理條件來完成在大氣壓下無法實現(xiàn)的各種嶄新工藝。目前，其他工業(yè)技術(shù)領(lǐng)域特別是高新技術(shù)領(lǐng)域?qū)φ婵占夹g(shù)的需求還在不斷增加，比如在納米技術(shù)領(lǐng)域中，需要利用真空環(huán)境來實現(xiàn)納米級加工。然而，應(yīng)用真空技術(shù)的前提是要創(chuàng)造出一個真空的環(huán)境即通過一定的抽真空設(shè)備在某一封閉空間中產(chǎn)生、改善和維持真空。在抽真空時，抽真空裝置往往需要通過角閥與真空室即被抽氣封閉空間進(jìn)行密封連接，該角閥除了起到密封連接作用外，還需要對整個抽真空過程起輔助控制作用以滿足實際生產(chǎn)中對封閉空間中真空度的要求。但是，針對上述需求，現(xiàn)有的只具有簡單開關(guān)功能的普通角閥已不能再勝任。綜上所述，亟待解決的問題是，針對抽真空過程中的特殊要求，設(shè)計出相應(yīng)的角閥以滿足實際生產(chǎn)要求。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是，提供一種真空室角閥，其除了具有更好的密封性和穩(wěn)定性外，還可以對角閥中分子泵的開與關(guān)進(jìn)行自動控制，進(jìn)而能夠滿足抽真空過程中對角閥的要求。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是一種真空室角閥，該角閥包括 氣缸，其固定于角閥體上，該氣缸的活塞桿通過無油軸承伸入所述角閥體內(nèi)部；進(jìn)氣口，其用于與真空室密封連接；抽氣口一，其與外部機(jī)械泵密封連接；抽氣口二，其作為分子泵的出氣口 ；以及密封片，其安裝于所述活塞桿的頂端，該密封片通過所述活塞桿的壓力可以密封住所述分子泵的進(jìn)氣口。所述的真空室角閥中，所述進(jìn)氣口、抽氣口一、以及抽氣口二通過法蘭與外部管件密封連接。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是，本發(fā)明真空室角閥上固定有一個氣缸，通過氣缸可以實現(xiàn)對角閥中分子泵的開與關(guān)進(jìn)行自動控制；另外，所述氣缸的活塞桿通過無油軸承伸入所述角閥內(nèi)部，該無油軸承可以保證缸的活塞桿的在工作時作直線往復(fù)運(yùn)動，進(jìn)而保證密封片對所述分子泵的進(jìn)氣口進(jìn)行密封時其位置不會產(chǎn)生偏差，使得密封片具有更好的密封性和穩(wěn)定性；最后，本發(fā)明真空室角閥通過所述進(jìn)氣口、抽氣口一、以及抽氣口二之間配合對真空室進(jìn)行抽真空。


圖1為本發(fā)明真空室角閥的整體結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式為進(jìn)一步揭示本發(fā)明的技術(shù)方案，茲結(jié)合附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的實施方式。圖1為本發(fā)明真空室角閥的整體結(jié)構(gòu)示意圖，圖中，包括氣缸11，其固定于角閥體10上，該氣缸11的活塞桿12通過無油軸承13伸入所述角閥體10內(nèi)部，該無油軸承13 可以保證活塞桿12沿直線作往復(fù)運(yùn)動；進(jìn)氣口 19，其用于與真空室即被抽氣封閉空間密封連接；抽氣口一 14，其與外部機(jī)械泵密封連接以通過外部機(jī)械泵對真空室進(jìn)行粗抽氣；抽氣口二 18，其作為分子泵17的出氣口，該分子泵17在上述機(jī)械泵通過抽氣口一 14對真空室進(jìn)行粗抽氣后，可對真空室進(jìn)行進(jìn)一步的抽氣；以及密封片15，其通過接頭16安裝于所述活塞桿12的頂端，該密封片15通過所述活塞桿12的壓力可以密封住所述分子泵17的進(jìn)氣口 ；另外，所述進(jìn)氣口 19、抽氣口一 14、以及抽氣口二 18通過法蘭與外部管件密封連接。以下結(jié)合

本發(fā)明真空室角閥在工作時的動作情況。首先，所述進(jìn)氣口 19、抽氣口一 14和抽氣口二 18分別通過法蘭與真空室、機(jī)械泵和出氣管道密封連接，所述密封片15通過所述活塞桿12的壓力密封住所述分子泵17的進(jìn)氣口 ；然后，通過機(jī)械泵對真空室進(jìn)行粗抽真空；最后，在進(jìn)行粗抽真空后，通過控制氣缸 11中活塞桿12的運(yùn)動使得密封片15離開分子泵17的進(jìn)氣口，并通過該分子泵12繼續(xù)對真空室抽真空直至達(dá)到生產(chǎn)要求。同時，在以上過程中，所述氣缸11可接收外部的控制，實現(xiàn)了對角閥中分子泵的開與關(guān)的自動控制。以上通過對所列實施方式的介紹，闡述了本發(fā)明的基本構(gòu)思和基本原理。但本發(fā)明絕不限于上述所列實施方式，凡是基于本發(fā)明的技術(shù)方案所作的等同變化、改進(jìn)及故意變劣等行為，均應(yīng)屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種真空室角閥，其特征在于，該角閥包括氣缸(11)，其固定于角閥體(10)上，該氣缸(11)的活塞桿(12)通過無油軸承(13)伸入所述角閥體(10)內(nèi)部；進(jìn)氣口(19)，其用于與真空室密封連接；抽氣口一(14)，其與外部機(jī)械泵密封連接；抽氣口二(18)，其作為分子泵(17)的出氣口 ；以及密封片(15)，其安裝于所述活塞桿(12)的頂端，該密封片(15)通過所述活塞桿(12)的壓力可以密封住所述分子泵(17)的進(jìn)氣口。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空室角閥，其特征在于，所述進(jìn)氣口(19)、抽氣口一(14)、 以及抽氣口二( 18)通過法蘭與外部管件密封連接。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種真空室角閥，該角閥包括氣缸、進(jìn)氣口、抽氣口一、抽氣口二、以及密封片。本發(fā)明真空室角閥中，通過氣缸可以實現(xiàn)對角閥中分子泵的開與關(guān)進(jìn)行自動控制；另外，所述氣缸的活塞桿通過無油軸承伸入所述角閥內(nèi)部，該無油軸承可以保證缸的活塞桿的在工作時作直線往復(fù)運(yùn)動，進(jìn)而保證密封片對所述分子泵的進(jìn)氣口進(jìn)行密封時其位置不會產(chǎn)生偏差，使得密封片具有更好的密封性和穩(wěn)定性；最后，本發(fā)明真空室角閥通過所述進(jìn)氣口、抽氣口一、以及抽氣口二之間配合對真空室進(jìn)行抽真空。
文檔編號F04D27/00GK102220994SQ201110165888
公開日2011年10月19日 申請日期2011年6月20日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月20日
發(fā)明者康進(jìn)昌, 阮佳龍 申請人:昆山振昆納米科技有限公司