專利名稱：一種鎳的回收方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體集成電路及其制造領(lǐng)域，尤其涉及一種鎳的回收方法。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體加工工業(yè)中，一般采用形成自對(duì)準(zhǔn)硅化物工藝，形成半導(dǎo)體裝置上半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的預(yù)先界定區(qū)域中的集成低電阻材料。其中，自對(duì)準(zhǔn)硅化物工藝，是一種使半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的硅區(qū)域與金屬反應(yīng)形成硅化物區(qū)域的工藝，該自對(duì)準(zhǔn)的硅化物可在半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)上選擇形成，而不必圖案化或蝕刻已沉積的硅化物，藉以形成一些低電阻的區(qū)域。隨著半導(dǎo)體制程的微縮，在65nm及其以下工藝中，鎳(Ni)已經(jīng)被普遍使用來與硅 (Si)材料反應(yīng)，以在半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)上形成自對(duì)準(zhǔn)硅化物。其中，鎳在與硅形成鎳硅化物之后， 殘余的鎳目前一般采用濕法來進(jìn)行處理，如sc2。但是，濕法去除后鎳后，形成包含有鎳羰基和乙醇等的化合物，很難分解回收再利用。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明公開了一種鎳的回收方法，其中，包括以下步驟 步驟Si 收集包含有鎳羰基和乙醇的廢液；
步驟S2 對(duì)該廢液進(jìn)行第一次加熱，以使鎳羰基分解為鎳單質(zhì)和一氧化碳； 步驟S3 過濾回收鎳單質(zhì)或繼續(xù)第二次加熱，乙醇揮發(fā)完后收集鎳單質(zhì)。上述的鎳的回收方法，其中，步驟S2中第一次加熱的溫度為43-60°C。上述的鎳的回收方法，其中，步驟S2中第一次加熱的時(shí)間為30秒至10分鐘。上述的鎳的回收方法，其中，步驟S3中第二次加熱的溫度為80-200°C。上述的鎳的回收方法，其中，步驟S2中第一次加熱的時(shí)間為30秒至10分鐘。綜上所述，由于采用了上述技術(shù)方案，本發(fā)明提出一種鎳的回收方法，通過對(duì)廢液加熱至鎳羰基的分解溫度，使得鎳羰基分解為鎳單質(zhì)和一氧化碳，通過過濾或者再次加熱即可方便的回收鎳單質(zhì)。


圖1是本發(fā)明一種鎳的回收方法的流程示意圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步的說明
圖1是本發(fā)明一種鎳的回收方法的流程示意圖；如圖1所示，本發(fā)明一種鎳的回收方
法
首先，回收包含有鎳羰基和乙醇的廢液，對(duì)該廢液進(jìn)行第一次加熱處理30秒至10分鐘，其溫度范圍為43-60°C。由于，鎳羰基在43°C時(shí)會(huì)分解成鎳單質(zhì)和一氧化碳，且鎳單質(zhì)不溶于乙醇，所以第一次加熱后廢液中不再包含鎳羰基，含有鎳單質(zhì)、一氧化碳和乙醇。
其次，由于此時(shí)廢液中的固體為鎳單質(zhì)，可以采取過濾直接收集鎳，也可以繼續(xù)第二次加熱該廢液30秒至10分鐘，其溫度范圍為80-200°C ；由于在高溫下，一氧化碳和乙醇均被揮發(fā)，剩余的固體就是鎳單質(zhì)。例如在一種去除形成鎳硅化物候多余鎳的方法中，首先，在晶片表面淀積鎳后進(jìn)行快速熱退火工藝，以使得部分鎳與硅形成鎳硅化物；然后，將該晶片置于可旋轉(zhuǎn)的反應(yīng)腔體中，其轉(zhuǎn)速為100-5000rpm，并連續(xù)通入含有氨氣的一氧化碳?xì)怏w，其反應(yīng)壓力為 l-15MPa，溫度為0-50°C，進(jìn)行15秒至分鐘的反應(yīng)；在此過程中，通過硅片的旋轉(zhuǎn)去除大部分生成的液體鎳羰基，并用乙醇清洗，以去除殘余的鎳羰基。將清洗后的廢液收集后，對(duì)該廢液進(jìn)行第一次加熱處理5分鐘，其溫度為50°C ；由于，鎳羰基在43°C時(shí)就會(huì)分解成鎳單質(zhì)和一氧化碳，且鎳單質(zhì)不溶于乙醇，所以第一次加熱后廢液中不再包含鎳羰基，含有鎳單質(zhì)、一氧化碳和乙醇。然后，由于此時(shí)廢液中的固體為鎳單質(zhì)，可以采取過濾直接收集鎳，也可以繼續(xù)第二次加熱該廢液5分鐘，其溫度為100°C ；由于在高溫下，一氧化碳和乙醇均被揮發(fā)，剩余的固體就是鎳單質(zhì)，于是就可簡單、快捷的回收鎳。綜上所述，由于采用了上述技術(shù)方案，本發(fā)明提出一種鎳的回收方法，通過對(duì)廢液加熱至鎳羰基的分解溫度，使得鎳羰基分解為鎳單質(zhì)和一氧化碳，通過過濾或者再次加熱即可方便的回收鎳單質(zhì)。通過說明和附圖，給出了具體實(shí)施方式
的特定結(jié)構(gòu)的典型實(shí)施例，基于本發(fā)明精神，還可作其他的轉(zhuǎn)換。盡管上述發(fā)明提出了現(xiàn)有的較佳實(shí)施例，然而，這些內(nèi)容并不作為局限。對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言，閱讀上述說明后，各種變化和修正無疑將顯而易見。 因此，所附的權(quán)利要求書應(yīng)看作是涵蓋本發(fā)明的真實(shí)意圖和范圍的全部變化和修正。在權(quán)利要求書范圍內(nèi)任何和所有等價(jià)的范圍與內(nèi)容，都應(yīng)認(rèn)為仍屬本發(fā)明的意圖和范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種鎳的回收方法，其特征在于，包括以下步驟 步驟Si 收集包含有鎳羰基和乙醇的廢液；步驟S2 對(duì)該廢液進(jìn)行第一次加熱，以使鎳羰基分解為鎳單質(zhì)和一氧化碳； 步驟S3 過濾回收鎳單質(zhì)或繼續(xù)第二次加熱，乙醇揮發(fā)完后收集鎳單質(zhì)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鎳的回收方法，其特征在于，步驟S2中第一次加熱的溫度為 43-60 "C。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鎳的回收方法，其特征在于，步驟S2中第一次加熱的時(shí)間為 30秒至10分鐘。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鎳的回收方法，其特征在于，步驟S3中第二次加熱的溫度為 80-200 "C。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鎳的回收方法，其特征在于，步驟S2中第一次加熱的時(shí)間為 30秒至10分鐘。
全文摘要
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種鎳的回收方法，通過對(duì)廢液加熱至鎳羰基的分解溫度，使得鎳羰基分解為鎳單質(zhì)和一氧化碳，通過過濾或者再次加熱即可方便的回收鎳單質(zhì)。
文檔編號(hào)C22B7/00GK102443702SQ201110307980
公開日2012年5月9日 申請(qǐng)日期2011年10月12日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月12日
發(fā)明者傅昶, 周軍 申請(qǐng)人:上海華力微電子有限公司