專利名稱：固體攝像器件、其制造方法和攝像機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及排列有多個像素單元的固體攝像器件，尤其涉及對光譜靈敏度誤差進(jìn)行了改良的固體攝像器件及其制造方法。
背景技術(shù)：
在固體攝像器件(CCD)中，隨著攝像機(jī)的小型化、高像素化，攝像機(jī)鏡頭和固體攝像器件的出射光瞳距離在縮短，像素單元在微細(xì)化。因此，迫切需要確立這樣一種技術(shù)，它能夠使固體攝像器件的主要特性即光靈敏度不會因此而降低。
圖1是過去的固體攝像器件的像素部分的斷面圖。在半導(dǎo)體襯底上光電二極管排列形成二維狀，在光電二極管部1上利用BPSG(硼磷硅玻璃)等平坦膜2來進(jìn)行平坦化處理，在平坦膜2上形成濾色器3。濾色器3的包括由補(bǔ)色黃、青、品紅、綠構(gòu)成的濾色器，或者由基色紅、綠、藍(lán)構(gòu)成的濾色器等。
過去，濾色器層例如通過染色法，或者著色防染，即對含有染料、顏料的光致抗蝕劑膜進(jìn)行選擇曝光、顯影處理，形成目的濾色器。再者，形成微透鏡下平坦膜(透明膜)4，減小濾色器形成后的表面高低差，形成誤差小的微透鏡5。
在這樣的固體攝像器件中，隨著攝像機(jī)鏡頭和固體攝像器件之間的出射光瞳距離在縮短、以及像素尺寸的縮小，僅依靠濾色器的薄膜化，很難控制住光譜靈敏度的降低以及和相鄰像素的混色。
因此，根據(jù)專利文獻(xiàn)1內(nèi)公開的改進(jìn)例，則由于像素單元微細(xì)化為了緩解傾斜方向的入射光9的光靈敏度降低和蹭傷，必須使從半導(dǎo)體襯底表面到微透鏡下平坦膜的距離縮短，其方法是提出了如圖2所示具有濾色器功能的有色微透鏡6的方案。
該濾色器的制造方法是，通過涂敷、曝光、顯影而形成各濾色器之后，對用于形成微透鏡形狀的透鏡形成層在濾色器上進(jìn)行層壓、構(gòu)圖、用熱流等形成半圓球狀，進(jìn)行各向同性腐蝕，以此來實現(xiàn)從半導(dǎo)體襯底表面到微透鏡下平坦膜的薄膜化。
這樣，提出的方案是，通過使微透鏡具有顏色來使微透鏡具有濾色器的作用。
特開平5-206429號公報。
然而，根據(jù)上述現(xiàn)有技術(shù)，則提出了這樣的方案，也就是說，使微透鏡具有濾色器作用，使微透鏡具有顏色。但存在的問題是光譜靈敏度的F值依存性大。例如垂直光和斜光等光，若入射角度不同，則通過濾色器的光路長度不同，所以，F(xiàn)值(光圈值)不同使光譜靈敏度的變化產(chǎn)生誤差。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供減小光譜靈敏度的F值依存性的固體攝像器件、其制造方法和攝像機(jī)。
為了解決上述問題，在半導(dǎo)體襯底上排列有多個像素單元，所述像素單元具有對入射光進(jìn)行光電變換的光電變換部；以及微透鏡，在上述光電變換部的上方，與各上述光電變換部相對應(yīng)地形成，其特征在于上述微透鏡由透明層和濾色層這兩層形成。
根據(jù)該結(jié)構(gòu)，則并非全部微透鏡都兼用作濾色器，而是在構(gòu)成微透鏡的二層中只有一層兼用作濾色器，所以，能夠減小通過濾色器層的入射光的角度所造成的光路長度變化，因此，在傾斜光、垂直光中也能夠獲得誤差小的光譜靈敏度，能夠減小光譜靈敏度隨F值的變動。
在此，也可以是，上述濾色層形成在上述透明層的下層并包括上述微透鏡的底面；各像素單元中的上述濾色層以均勻的厚度形成。
在此，也可以是，各像素單元中的上述濾色器層的中央部分，膜厚大于周邊部分。
根據(jù)該結(jié)構(gòu)，則進(jìn)一步減小由光入射角度所造成的濾色器層的光路長度變化，所以，能夠進(jìn)一步減小光譜靈敏度誤差。
在此也可以是，上述透明層具有底面比上述微透鏡的底面更靠內(nèi)側(cè)、高度比上述微透鏡的高度低的透鏡形狀，上述濾色層形成在上述透明層的上層，覆蓋上述透明層的上側(cè)表面。
根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，也能夠使光入射角度所造成的濾色器層中的光路長度變化更小，因此，能夠控制光入射角度造成的光譜靈敏度誤差。
在此也可以是，上述濾色器層的厚度是上述微透鏡的厚度的1/4～2/3。
并且，本發(fā)明的固體攝像器件的制造方法，該固體攝像器件在半導(dǎo)體襯底上排列多個像素單元，所述像素單元具有對入射光進(jìn)行光電變換的光電變換部；以及微透鏡，在上述光電變換部的上方，與各上述光電變換部相對應(yīng)地形成，所述固體攝像器件的制造方法的特征在于，包括以下工序在上述半導(dǎo)體襯底上形成光電變換部的工序；利用平坦膜來使上述光電變換部上面平坦化的工序；在上述平坦膜上面，與各個上述光電變換部相對應(yīng)地形成具有透明層和濾色層這兩層的微透鏡。
根據(jù)本發(fā)明的固體攝像器件，則能夠使濾色器層和微透鏡一體化，把濾色器層布置在微透鏡的下部或表面部上，因此，光入射角度所造成的通過濾色器的光路長度變化減小，所以光譜隨F值的變化減小，因此，能夠減小垂直光和傾斜光的光譜靈敏度的誤差或變化。


根據(jù)下面的說明本發(fā)明的實施方式的附圖和對實施方式的說明，本發(fā)明的其他目的和優(yōu)點將會更加明了。
圖1是過去的固體攝像器件的斷面圖。
圖2是使微透鏡具有濾色器功能的結(jié)構(gòu)斷面圖。
圖3是第1實施方式中的固體攝像器件的斷面圖。
圖4是第2實施方式中的固體攝像器件的斷面圖。
圖5是第3實施方式中的固體攝像器件的斷面圖。
圖6A～6C是表示圖3所示的固體攝像器件的第1制造方法的說明圖。
圖7A～7C是表示圖3所示的固體攝像器件的第2制造方法的說明圖。
圖8A～8D是表示圖3所示的固體攝像器件的第3制造方法的說明圖。
圖9A～9D是表示圖3所示的固體攝像器件的第4制造方法的說明圖。
圖10A～10C是表示圖3所示的固體攝像器件的第5制造方法的說明圖。
圖11A～11C是表示圖3所示的固體攝像器件的第6制造方法的說明圖。
圖12A、12B是表示圖3所示的固體攝像器件的第7制造方法的說明圖。
圖13A～13C是表示圖4所示的固體攝像器件的第1制造方法的說明圖。
圖14A～14C是表示圖5所示的固體攝像器件的第1制造方法的說明圖。
圖15A～15D是表示圖5所示的固體攝像器件的第2制造方法的說明圖。
具體實施例方式以下參照附圖，詳細(xì)說明本發(fā)明的實施方式的固體攝像器件。
圖3～圖5表示第1實施方式的固體攝像器件的結(jié)構(gòu)。這些固體攝像器件在光電二極管部1上用PBSG等來對表面進(jìn)行平坦化，使濾色器形成為微透鏡的一部分。
在此，圖3～圖5說明結(jié)構(gòu)的特征及其效果。圖3是表示第1實施方式的固體攝像器件的結(jié)構(gòu)的圖之一。利用BPSG等平坦膜2來使光電二極管1上的表面平坦化，根據(jù)需要涂敷0.1～10μm厚度范圍內(nèi)的丙烯等透明膜4，利用濾色器3按照微透鏡5高度的1/4～2/3的均勻厚度來形成微透鏡5的下部，并且在其上面形成微透鏡5的上部。
如圖3所示，濾色器3以均勻厚度形成在微透鏡5的底部上，所以如圖1所示，與濾色器和微透鏡獨立的原有結(jié)構(gòu)相比較，在斜入射時，光很難通過鄰接像素的濾色器邊緣部分而射入，能夠抑制混色，能夠有效防止線條濃淡不勻以及顏色暗影。并且，如圖2所示，具有如下優(yōu)點與使微透鏡本身具有濾色器功能的結(jié)構(gòu)相比，光入射角度所造成的光譜靈敏度產(chǎn)生誤差的情況較少，光譜靈敏度的F值依存性較小。
<第2實施方式>
圖4表示第2實施方式的固體攝像器件的結(jié)構(gòu)。利用BPSG等來使光電二極管1上的表面平坦化，根據(jù)需要涂敷在0.1～10μm厚度范圍內(nèi)的丙烯等透明膜4，利用濾色器3按照微透鏡5高度的1/4～2/3的厚度來形成微透鏡5的下部，并且在其上面形成微透鏡5的上部。
在此，濾色器3的膜厚如圖4所示，在像素單元的中央部分較厚，在周邊部分較薄，所以如圖1所示，與濾色器和微透鏡獨立的現(xiàn)有結(jié)構(gòu)相比，在斜入射時，光很難通過鄰接像素的濾色器邊緣部分射入，能夠抑制混色，能夠有效地防止線條濃淡不勻以及顏色暗影。并且，如圖2所示，具有如下優(yōu)點與使整個微透鏡具有濾色器功能的結(jié)構(gòu)相比，光入射角度所造成的光譜靈敏度產(chǎn)生誤差的情況較少，光譜靈敏度的F值依存性較小。此外，與第1實施方式相比，光入射角度引起的濾色器2中的光路長變化較小，所以能夠進(jìn)一步抑制光譜靈敏度的誤差。
<第3實施方式>
圖5是表示第3實施方式的固體攝像器件的結(jié)構(gòu)的圖之一。
利用BPSG等來對光電二極管1上的表面進(jìn)行平坦化，根據(jù)需要涂敷在0.1～10μm厚度范圍內(nèi)的丙烯等透明膜4，先形成小型微透鏡5，在其表面上覆蓋濾色器3，這樣形成最終的微透鏡形狀。
如圖5所示，通過用濾色器3來覆蓋微透鏡5的表面，如圖1所示，與濾色器和微透鏡獨立的現(xiàn)有結(jié)構(gòu)相比，在斜入射時，光很難通過鄰接像素的濾色器邊緣部分射入，能夠抑制混色，能夠有效地防止線條濃淡不勻以及顏色暗影。并且，如圖2所示，具有如下優(yōu)點與使微透鏡本身具有濾色器功能的結(jié)構(gòu)相比，光入射角度所造成的光譜靈敏度誤差較小，光譜靈敏度的F值依存性較小。并且，與第1實施方式和第2實施方式相比，光入射角度所造成的濾色器2中的光路長度變化較小，所以能夠進(jìn)一步抑制光入射角度造成的光譜靈敏度的誤差。
<制造方法>
以下，說明圖3～圖5所示的固體攝像器件的濾色器部分的制造方法。
圖6A～圖6C是表示圖3所示的固體攝像器件的第1制造方法的說明圖。
首先，利用圖6A～圖6C，詳細(xì)說明圖3所示的第1實施方式的固體攝像器件的制造方法。在這些圖中，利用BPSG等來對光電二極管1上的表面進(jìn)行平坦化，根據(jù)需要涂敷在0.1～10μm厚度范圍內(nèi)的丙烯等透明膜4(圖6A(a))。在透明膜4上涂敷濾色器用抗蝕劑(圖6A(b))，進(jìn)行曝光、顯影。用規(guī)定圖形來形成濾色器3(圖6A(c))。在此，濾色器3的形成為達(dá)到微透鏡5的加工完成高度的1/4～2/3。然后，對濾色器3的各色，在同樣的工序中進(jìn)行涂敷、顯影、曝光，形成濾色器層(圖6B(d))。
再者，在濾色器3上涂敷微透鏡抗蝕劑(圖6B(e))，進(jìn)行曝光、顯影，用規(guī)定圖形來形成微透鏡5的圖形(圖6B(f))。再用紫外線進(jìn)行脫色(圖6C(g))，利用熱流形成微透鏡形狀(圖6C(h))。此外，從上方來對微透鏡形狀進(jìn)行深腐蝕，并轉(zhuǎn)印形成到濾色器上(圖6C(i))，從而能夠形成固體攝像器件。
圖7A～圖7C是表示第3所示的固體攝像器件的第2制造方法的說明圖。圖7A～圖7C與圖6A～圖6C相比，不同之處是圖6B(f)以后的工序置換成圖7B(f)以后的工序。以下，對相同點省略說明，集中說明不同點。在圖7B(f)以后的工序中，最后進(jìn)行微透鏡5的紫外線脫色，這樣來形成由透明層和濾色器層的兩層構(gòu)成的微透鏡5。
圖8A～圖8D是表示圖3所示的固體攝像器件的第3制造方法的說明圖。圖8A～圖8D與圖6A～圖6C相比，不同點是圖6C(g)以后的工序置換成圖8C(g)以后的工序。以下對相同點省略說明，集中說明不同點。
在圖8C(g)～圖8D(k)工序中，表示微透鏡5所使用的材料沒有熱流性的情況下的制造方法。如圖8A～圖8D所示，涂敷微透鏡抗蝕劑5(圖8B(e))之后，進(jìn)行曝光、顯影后，用規(guī)定圖形來形成微透鏡5的圖形(圖8B(f))。然后，用紫外線進(jìn)行脫色(圖8C(g))，并在微透鏡5的圖形上涂敷具有熱流性的微透鏡形狀形成用抗蝕劑10(圖8C(h))，進(jìn)行曝光、顯影，用規(guī)定圖形來形成微透鏡5的圖形(圖8D(i))，使其受熱流動，形成微透鏡形狀(圖8D(j))，通過深腐蝕，即可轉(zhuǎn)印微透鏡形狀(圖8D(k))。
圖9A～圖9D是表示圖3所示的固體攝像器件的第4制造方法的說明圖。圖9A～圖9D，與圖8A～圖8D相比，不同點是圖8C(g)以后的工序置換成圖9C(g)以后的工序。以下對相同點省略說明，集中說明不同點。在圖9C(g)以后的工序中，通過最后進(jìn)行微透鏡5的紫外線脫色，來形成由透明層和濾色器層這兩層構(gòu)成的微透鏡5。
圖10A～圖10C是表示圖3所示的固體攝像器件的第5制造方法的說明圖。圖10A～圖10C與圖8A～圖8D相比，不同點是圖8B(f)以后的工序置換成圖10B(f)以后的工序。以下對相同點省略說明，集中說明不同點。
在圖8(f)以后的工序中，結(jié)果利用具有熱流性的抗蝕劑來形成微透鏡，其形狀通過深腐蝕而形成。如圖10(f)以后所示，在涂敷了微透鏡形狀形成用抗蝕劑10之后，省略微透鏡的曝光、顯影，也能夠形成。
圖11A～圖11C是表示圖3所示的固體攝像器件的第6制造方法的說明圖。圖11A～圖11C，與圖10A～圖10C相比，不同點是圖10B(f)以后的工序置換成圖11B(f)以后的工序。以下對相同點省略說明，集中說明不同點。在圖10B(f)以后的工序中，通過最后進(jìn)行微透鏡5的紫外線脫色，來形成由透明層和濾色器層這兩層構(gòu)成的微透鏡5。
并且，如圖12A、圖12B、圖13A、圖13B所示，也可以用灰色調(diào)掩模來形成濾色器、微透鏡。在此說明灰色調(diào)掩模?，F(xiàn)行掩模是為了以黑白圖形的狀態(tài)來留下或除掉抗蝕劑而使用的掩模。但灰色調(diào)掩模是為了形成灰色圖形，即對抗蝕劑既進(jìn)行清除而又不清除干凈，使其留下一薄層的掩模。利用該特性，灰色調(diào)掩模能夠調(diào)整抗蝕劑的加工完成余膜。也就是說，能夠使抗蝕劑不是“完全除掉或完全留下”，而是留下必要的膜厚。例如，在利用現(xiàn)用的一般掩模來形成微透鏡的情況下，在涂敷抗蝕劑之后，用掩模來構(gòu)圖，形成矩形形狀。然后通過熱流來形成。但在使用灰色調(diào)掩模的情況下，因為掩模圖形是灰色圖形，所以，如果制成能夠獲得必要殘膜的灰色圖形掩模，那么，在曝光、顯影后能獲得透鏡形狀。
圖12A、圖12B是表示圖3所示的固體攝像器件的第7制造方法的說明圖。
在圖12A中，用BPSG等來使光電二極管1上的表面平坦化，根據(jù)需要涂敷在0.1～10μm厚度范圍內(nèi)的丙烯等透明膜4(圖12A(a))。在透明膜4上涂敷濾色器用抗蝕劑(圖12A(b))，利用上述灰色調(diào)掩模進(jìn)行曝光、顯影，利用規(guī)定的圖形來形成作為微透鏡5的下部的濾色器3(圖12A(c))。在此，濾色器3形成的狀態(tài)是微透鏡5的加工完成后的高度的1/4～2/3。對于濾色器3的各色，按照同樣的工序進(jìn)行涂敷、曝光、顯影，形成濾色器層。
再者，在濾色器3上涂敷微透鏡抗蝕劑(圖12B(d))，進(jìn)行曝光、顯影，按規(guī)定圖形來形成微透鏡5的圖形(圖12B(e))。再者，用紫外線進(jìn)行脫色(圖12B(f))，進(jìn)行熱流處理，形成微透鏡形狀(圖12B(g))。而且，如圖13A～圖13C所示，也可以最后進(jìn)行微透鏡5的紫外線脫色。
圖13A～圖13C是表示圖4所示的固體攝像器件的第1制造方法的說明圖。圖13A～圖13C與圖12A～12C相比，不同點是圖12A(c)以后的工序置換成圖13A(c)以后的工序。以下對相同點省略說明，集中說明不同點。
在此，由于使用灰色調(diào)掩模11，所以濾色器斷面形狀能夠調(diào)整自如。如圖4所示，把濾色器形成在微透鏡的底部上，而且，在濾色器3的單元的中央部分較厚，周邊部分較薄，在這樣形成的情況下，濾色器按照微透鏡5高度的1/4～2/3(單元中央部分膜厚)進(jìn)行涂敷后(圖13A(b))，把灰色調(diào)掩模11的圖形更改成與圖12A(c)不同的圖形，進(jìn)行曝光、顯影(圖13A(c))，然后，對濾色器3的各色，按同樣的工序進(jìn)行涂敷、曝光、顯影，形成濾色器3(圖13B(d))。然后，在濾色器3上涂敷微透鏡抗蝕劑(圖13B(e))，利用灰色調(diào)掩模11進(jìn)行曝光、顯影(圖13C(f))，用紫外線脫色(圖13C(g))。
圖14A～圖14C是表示圖5所示的固體攝像器件的第1制造方法的說明圖。
如圖5所示，在形成用濾色器來覆蓋微透鏡表面的形狀的情況下，把微透鏡5和濾色器3均制成具有熱流性的抗蝕劑，涂敷微透鏡抗蝕劑(圖14A(b))，進(jìn)行曝光、顯影，制成圖形(圖14A(c))，利用紫外線來使已形成的微透鏡圖形脫色(圖14B(d))，其上涂敷熱流制的濾色器3(圖14B(e))，并且，對于濾色器3的各色按同樣的工序進(jìn)行涂敷、顯影、曝光(圖14B(f))，通過曝光、顯影，使濾色器3殘留在上述微透鏡圖形的上面和側(cè)面上(圖14C(g))，同時對微透鏡5和濾色器3進(jìn)行熱流處理，即可形成(圖14C(h))。而且，如圖15A～圖15D所示，微透鏡5的紫外線脫色處理，也可以在形成微透鏡3和濾色器5的圖形之后進(jìn)行熱流處理之前來進(jìn)行。
圖15A～圖15D是表示圖5所示的固體攝像器件的第2制造方法的說明圖。圖15A～圖15D與圖14A～14C相比，不同點是圖14B(e)以后的工序置換成圖15B(e)以后的工序。以下省略相同的說明，集中說明不同點。
在濾色器3不是熱流性的情況下，也能夠如圖15A以后的工序所示，涂敷微透鏡抗蝕劑(圖15A(b))，進(jìn)行曝光、顯影，構(gòu)圖(圖15A(c))，用紫外線來使已形成的微透鏡圖形脫色(圖15B(d))，進(jìn)行熱流處理，形成小型微透鏡形狀(圖15B(e))。然后涂敷濾色器3(圖15B(f))，進(jìn)行曝光、顯影，形成濾色器圖形3(圖15B(g))。并且，對濾色器3的各色，用同樣的工序進(jìn)行涂敷、顯影、曝光，形成濾色器3(圖15C(h))。涂敷具有熱流性的抗蝕劑(圖15C(i)，進(jìn)行、曝光、顯影，構(gòu)圖(圖15C(j))，進(jìn)行熱流處理(圖15D(k))，進(jìn)行深腐蝕，把微透鏡形狀轉(zhuǎn)印到濾色器上，即可形成(圖15D(l))。
而且，在上述實施方式中，在透鏡形狀的形成中，利用過去的黑白掩模進(jìn)行顯影、曝光，構(gòu)圖，進(jìn)行熱流處理的方法，該方法可以置換為利用灰色調(diào)掩模11來形成各層形狀以構(gòu)成微透鏡5的方法。
并且，在上述實施方式中，微透鏡5的紫外線脫色處理也可以在構(gòu)成微透鏡5形狀之前或之后進(jìn)行。
如以上說明的那樣，本發(fā)明適用于具有多個光電二極管的固體攝像器件、攝像機(jī)，例如適用于圖像傳感器、靜態(tài)數(shù)碼攝像機(jī)、帶攝像機(jī)的移動電話機(jī)、筆記本電腦所具有的攝像機(jī)、以及與信息處理設(shè)備相連接的攝像機(jī)組件等。
已經(jīng)結(jié)合附圖對本發(fā)明的實施方式進(jìn)行了詳細(xì)說明，可以在不脫離本發(fā)明進(jìn)行各種變形和修改。此外，基于本發(fā)明精神所做的各種變形和修改應(yīng)該屬于本發(fā)明。
權(quán)利要求
1.一種固體攝像器件，在半導(dǎo)體襯底上排列有多個像素單元，所述像素單元具有對入射光進(jìn)行光電變換的光電變換部；以及微透鏡，在上述光電變換部的上方，與各上述光電變換部相對應(yīng)地形成，其特征在于上述微透鏡由透明層和濾色層這兩層形成。
2.如權(quán)利要求1所述的固體攝像器件，其特征在于上述濾色層形成在上述透明層的下層并包括上述微透鏡的底面；各像素單元中的上述濾色層以均勻的厚度形成。
3.如權(quán)利要求1所述的固體攝像器件，其特征在于上述濾色層形成在上述透明層的下層并包括上述微透鏡的底面，各像素單元中的上述濾色層的中央部分的膜厚比周邊部分厚。
4.如權(quán)利要求1所述的固體攝像器件，其特征在于上述透明層具有底面比上述微透鏡的底面更靠內(nèi)側(cè)、高度比上述微透鏡的高度低的透鏡形狀，上述濾色層形成在上述透明層的上層，覆蓋上述透明層的上側(cè)表面。
5.如權(quán)利要求2所述的固體攝像器件，其特征在于上述濾色層的厚度是上述微透鏡的厚度的1/4～2/3。
6.一種固體攝像器件的制造方法，該固體攝像器件在半導(dǎo)體襯底上排列多個像素單元，所述像素單元具有對入射光進(jìn)行光電變換的光電變換部；以及微透鏡，在上述光電變換部的上方，與各上述光電變換部相對應(yīng)地形成，所述固體攝像器件的制造方法的特征在于，包括以下工序在上述半導(dǎo)體襯底上形成光電變換部的工序；利用平坦膜來使上述光電變換部上面平坦化的工序；在上述平坦膜上面，與各個上述光電變換部相對應(yīng)地形成具有透明層和濾色層這兩層的微透鏡。
7.如權(quán)利要求6所述的固體攝像器件的制造方法，其特征在于，形成上述微透鏡的工序包括如下工序在上述平坦膜上構(gòu)圖形成濾色器抗蝕劑的工序，在上述濾色器上面構(gòu)圖形成具有熱流性的微透鏡抗蝕劑的工序，對上述微透鏡抗蝕劑進(jìn)行熱流處理，并在上面形成凸形狀的上述微透鏡的工序，對上述微透鏡抗蝕劑和上述濾色器抗蝕劑進(jìn)行深腐蝕，形成由上述微透鏡抗蝕劑層和上述濾色層這兩層構(gòu)成的透鏡形狀。
8.如權(quán)利要求6所述的固體攝像器件的制造方法，其特征在于，形成上述微透鏡的工序包括如下工序在上述平坦膜上構(gòu)圖形成濾色器抗蝕劑的工序，在上述濾色器上面構(gòu)圖形成微透鏡抗蝕劑的工序，在上述濾色器上面構(gòu)圖形成具有熱流性的抗蝕劑的工序，對上述具有熱流性的抗蝕劑進(jìn)行熱流處理，并在上面形成凸形狀的上述微透鏡的工序，對上述具有熱流性的抗蝕劑、上述微透鏡抗蝕劑和上述濾色器抗蝕劑進(jìn)行深腐蝕，形成由上述微透鏡抗蝕劑層和上述濾色層這兩層構(gòu)成的透鏡形狀。
9.如權(quán)利要求6所述的固體攝像器件的制造方法，其特征在于，形成上述微透鏡的工序包括如下工序在上述平坦膜上構(gòu)圖形成濾色器抗蝕劑的工序，在上述濾色器上面，在排列多個的上述像素單元整面上形成微透鏡抗蝕劑的工序，在上述微透鏡抗蝕劑上面構(gòu)圖形成具有熱流性的抗蝕劑的工序，對上述具有熱流性的抗蝕劑進(jìn)行熱流處理，并在上面形成凸形狀的上述微透鏡的工序，對上述具有熱流性的抗蝕劑、上述微透鏡抗蝕劑以及上述濾色器抗蝕劑進(jìn)行深腐蝕，形成由上述微透鏡抗蝕劑層和上述濾色層這兩層構(gòu)成的透鏡形狀的工序。
10.如權(quán)利要求6所述的固體攝像器件的制造方法，其特征在于，形成上述微透鏡的工序包括如下工序在上述平坦膜上，用灰色調(diào)掩模來對濾色器抗蝕劑進(jìn)行曝光和顯影，形成上述微透鏡的透鏡形狀的下層部分的工序，在上述濾色器上面構(gòu)圖形成具有熱流性的微透鏡抗蝕劑的工序，對上述微透鏡抗蝕劑進(jìn)行熱流處理，在上面形成凸形狀的透鏡，形成上述微透鏡的透鏡形狀的上層部分的工序。
11.如權(quán)利要求6所述的固體攝像器件的制造方法，其特征在于，形成上述微透鏡的工序包括如下工序在上述平坦膜上，用灰色調(diào)掩模來對濾色器抗蝕劑進(jìn)行曝光和顯影，形成上述微透鏡的透鏡形狀的下層部分的工序，在上述濾色器上面用灰色調(diào)掩模來對微透鏡抗蝕劑進(jìn)行曝光和顯影，形成上述微透鏡的透鏡形狀的上層部分的工序。
12.如權(quán)利要求6所述的固體攝像器件的制造方法，其特征在于，包括以下工序在上述平坦膜上面構(gòu)圖形成具有熱流性的微透鏡抗蝕劑的工序，以覆蓋上述微透鏡抗蝕劑的上面和側(cè)壁的方式，構(gòu)圖形成具有熱流性的濾色器抗蝕劑的工序，對上述微透鏡抗蝕劑和濾色器抗蝕劑進(jìn)行熱流處理，在上面形成凸形狀的透鏡的工序。
13.如權(quán)利要求6所述的固體攝像器件的制造方法，其特征在于，包括以下工序在上述平坦膜上構(gòu)圖形成具有熱流性的微透鏡抗蝕劑的工序，對上述微透鏡抗蝕劑進(jìn)行熱流處理，在上面形成凸形狀的透鏡的工序，在上述平坦膜和上述微透鏡抗蝕劑上面構(gòu)圖形成濾色器抗蝕劑的工序，在上述濾色器抗蝕劑上面構(gòu)圖形成具有熱流性的抗蝕劑的工序，對上述具有熱流性的抗蝕劑進(jìn)行熱流處理，并在上面形成凸形狀的上述微透鏡的工序，對上述具有熱流性的抗蝕劑、上述微透鏡抗蝕劑以及上述濾色器抗蝕劑進(jìn)行深腐蝕，形成由上述微透鏡抗蝕劑層和上述濾色層這兩層構(gòu)成的透鏡形狀的工序。
14.具有如權(quán)利要求1所述的固體攝像器件的攝像機(jī)。
全文摘要
本發(fā)明的固體攝像器件，在半導(dǎo)體襯底上排列有多個像素單元，所述像素單元具有對入射光進(jìn)行光電變換的光電變換部；以及微透鏡，在上述光電變換部的上方，與各上述光電變換部相對應(yīng)地形成，其特征在于上述微透鏡由透明層和濾色層這兩層形成。
文檔編號H04N9/07GK1819230SQ20051010737
公開日2006年8月16日 申請日期2005年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月28日
發(fā)明者酒匈宏 申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社