本公開的實施例的各個方面涉及掩模以及使用該掩模制造顯示面板的方法。

背景技術(shù)：

1、諸如電視機(jī)、移動電話、平板計算機(jī)、導(dǎo)航裝置和游戲裝置等的顯示裝置向用戶提供圖像，并且包括用于產(chǎn)生和顯示圖像的顯示面板。顯示面板包括用于封裝發(fā)光元件的無機(jī)層和有機(jī)層。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、當(dāng)顯示面板的有機(jī)層是通過固化具有流動性的液態(tài)有機(jī)材料形成時，由于在固化工藝期間液態(tài)有機(jī)材料流過顯示面板上的壩并到達(dá)單元的一端，可能(例如，很可能)發(fā)生回流現(xiàn)象。在這種情況下，可以使用灰化工藝去除有機(jī)層的由于回流現(xiàn)象形成的一部分。然而，在灰化工藝期間，有機(jī)材料中可能產(chǎn)生含氧等的氣體，并且發(fā)光元件的電極可能被氣體氧化，從而導(dǎo)致顯示面板上出現(xiàn)黑點。

2、本公開的一個或多個實施例涉及一種用于預(yù)處理工藝的掩模，所述掩模能夠在顯示面板的制造工藝期間控制有機(jī)材料的鋪展(spread)。

3、本公開的一個或多個實施例涉及一種使用掩模制造顯示面板的方法。

4、根據(jù)本公開的一個或多個實施例，一種掩模包括：第一部分；和第二部分，圍繞所述第一部分，并且在平面圖中具有比所述第一部分的尺寸小的尺寸，所述第二部分包括：第一阻擋部分；和多個第一開口，在平面圖中沿著一個方向與所述第一阻擋部分交替地定位。

5、在實施例中，所述第一部分可以包括：掩?？祝缓偷谝粎^(qū)域，在平面圖中圍繞所述掩模孔，并且包括在平面圖中定位在所述掩?？字車牡诙_口。

6、在實施例中，所述多個第一開口中的每一個可以具有多邊形形狀。

7、在實施例中，所述多個第一開口中的每一個可以具有圓形形狀。

8、在實施例中，所述多個第一開口可以具有彼此相同的尺寸。

9、根據(jù)本公開的一個或多個實施例，一種制造顯示面板的方法包括：提供包括顯示區(qū)域、與所述顯示區(qū)域相鄰的外圍區(qū)域以及定位在所述顯示區(qū)域中的發(fā)光元件的初步顯示面板；在所述發(fā)光元件上形成第一無機(jī)層，以與所述顯示區(qū)域和所述外圍區(qū)域重疊；通過使用第一掩模的等離子體工藝對所述第一無機(jī)層的與所述外圍區(qū)域重疊的至少一部分進(jìn)行預(yù)處理，所述第一掩模包括：第一部分，與所述顯示區(qū)域重疊；和第二部分，與所述顯示區(qū)域隔開并與所述外圍區(qū)域重疊，所述第二部分包括：第一阻擋部分；和多個第一開口，在平面圖中沿著一個方向與所述第一阻擋部分交替地定位；以及在所述第一無機(jī)層上形成有機(jī)層。

10、在實施例中，可以使用第二掩模在所述發(fā)光元件上形成所述第一無機(jī)層，所述第二掩模包括與所述顯示區(qū)域重疊并且具有比所述第一開口的尺寸大的尺寸的掩模開口，并且所述第一無機(jī)層可以沉積為與所述掩模開口相對應(yīng)。

11、在實施例中，可以在所述等離子體工藝中使用含氮氣體。

12、在實施例中，所述第一無機(jī)層的在與所述第一開口重疊的區(qū)域中經(jīng)過預(yù)處理的表面可以具有比所述第一無機(jī)層的與所述第一部分重疊的所述表面的疏水性高的疏水性。

13、在實施例中，所述方法還可以包括通過使用氫氣的等離子體工藝處理所述有機(jī)層的表面。

14、在實施例中，所述方法還可以包括在所述有機(jī)層上形成第二無機(jī)層。

15、在實施例中，所述第二無機(jī)層的所述形成可以包括：使用第一功率形成第一子無機(jī)層；和使用高于所述第一功率的第二功率在所述第一子無機(jī)層上形成第二子無機(jī)層。

16、在實施例中，所述初步顯示面板還可以提供有模塊孔和孔區(qū)域，所述模塊孔穿過所述初步顯示面板限定以與所述顯示區(qū)域重疊，所述孔區(qū)域限定在所述初步顯示面板中以圍繞所述模塊孔。所述第一部分可以提供有穿過所述第一部分限定的掩模孔和在平面圖中圍繞所述掩?？椎牡谝粎^(qū)域。所述第一區(qū)域可以包括在平面圖中定位于所述掩?？字車牡诙_口。

17、根據(jù)本公開的一個或多個實施例，一種制造顯示面板的方法包括：提供初步顯示面板，所述初步顯示面板包括顯示區(qū)域、與所述顯示區(qū)域相鄰的外圍區(qū)域以及定位于所述顯示區(qū)域中的發(fā)光元件；在所述發(fā)光元件上形成第一無機(jī)層，以與所述顯示區(qū)域和所述外圍區(qū)域重疊；使用第一掩模在與所述外圍區(qū)域重疊的所述第一無機(jī)層上形成第一層，以對所述第一無機(jī)層進(jìn)行預(yù)處理，所述第一掩模包括與所述顯示區(qū)域重疊的第一部分和與所述顯示區(qū)域隔開并與所述外圍區(qū)域重疊的第二部分，所述第二部分包括第一阻擋部分和在平面圖中沿著一個方向與所述第一阻擋部分交替地定位的多個第一開口；以及在所述第一無機(jī)層上形成有機(jī)層。所述第一層與所述第一開口相對應(yīng)地沉積。

18、在實施例中，所述第一層的表面可以具有比所述第一無機(jī)層的表面的氮原子含量高的氮原子含量。

19、在實施例中，所述第一層可以包括氮化硅。

20、在實施例中，所述方法還可以包括在所述有機(jī)層上形成第二無機(jī)層。

21、在實施例中，所述方法還可以包括：使用第一功率在所述有機(jī)層上形成第一子無機(jī)層；以及使用高于所述第一功率的第二功率在所述第一子無機(jī)層上形成第二子無機(jī)層。

22、在實施例中，所述第一層可以包括疏水材料。

23、在實施例中，所述初步顯示面板還可以提供有模塊孔和孔區(qū)域，所述模塊孔穿過所述初步顯示面板限定以與所述顯示區(qū)域重疊，所述孔區(qū)域限定在所述初步顯示面板中以圍繞所述模塊孔。所述第一部分可以提供有穿過所述第一部分限定的掩模孔和在平面圖中圍繞所述掩?？椎牡谝粎^(qū)域。所述第一區(qū)域可以包括第二阻擋部分以及在平面圖中沿著一個方向與所述第二阻擋部分交替地定位的第二開口。

24、根據(jù)本公開的一個或多個實施例，設(shè)置在有機(jī)層下面的無機(jī)層被預(yù)處理，并且因此，有機(jī)層在無機(jī)層上向顯示面板的外部的鋪展被控制。因此，形成有機(jī)層的區(qū)域可以容易地控制。

25、根據(jù)本公開的一個或多個實施例，不需要用于去除外圍區(qū)域上的有機(jī)層的灰化工藝，并且因此，可以減少工藝時間并且可以降低工藝成本。

26、根據(jù)本公開的一個或多個實施例，因為不需要灰化工藝，所以可以防止或基本上防止從有機(jī)層產(chǎn)生氣體(諸如氧氣)，可以防止或基本上防止由氣體造成的發(fā)光元件的電極的氧化，并且可以防止或基本上防止在顯示面板中出現(xiàn)暗點。因此，可以改善顯示面板的可靠性。

技術(shù)特征：

1.一種掩模，其特征在于，所述掩模包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模，其特征在于，所述第一部分包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模，其特征在于，所述多個第一開口中的每一個具有多邊形形狀。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模，其特征在于，所述多個第一開口中的每一個具有圓形形狀。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模，其特征在于，所述多個第一開口具有彼此相同的尺寸。

技術(shù)總結(jié)
掩模包括：第一部分；和第二部分，圍繞所述第一部分，并且在平面圖中具有比所述第一部分的尺寸小的尺寸，所述第二部分包括：第一阻擋部分；和多個第一開口，在平面圖中沿著一個方向與所述第一阻擋部分交替地定位。

技術(shù)研發(fā)人員：金南珍
受保護(hù)的技術(shù)使用者：三星顯示有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240131
技術(shù)公布日：2024/12/19