1.一種層流等離子發(fā)生器，包括陰極柱(1)、陰極罩(2)和陽極體(3)，其特征在于：所述陽極體(3)設(shè)置在陰極罩(2)的一端，所述陰極罩(2)套在陰極柱(1)外側(cè)，所述陽極體(3)內(nèi)部設(shè)置有電弧通道(4)，陰極柱(1)的陰極頭(5)對應設(shè)置在電弧通道(4)的入口處；所述陰極柱(1)與陰極罩(2)之間設(shè)置有氣流通道(6)，所述氣流通道(6)包括至少三條繞陰極柱(1)螺旋環(huán)繞的氣流槽(7)，工作氣體從氣流槽(7)進入到陰極罩(2)與陽極體(3)之間形成的氣流腔(8)內(nèi)，所述氣流槽(7)沿陰極柱(1)軸向螺旋分布，所述至少三條氣流槽(7)的螺旋方向相同。
2.如權(quán)利要求1所述的一種層流等離子發(fā)生器，其特征在于：所述氣流槽(7)的數(shù)量為3-8條，且沿陰極柱(1)外側(cè)圓周均勻分布。
3.如權(quán)利要求1或2所述的一種層流等離子發(fā)生器，其特征在于：所述氣流槽(7)在陰極柱(1)軸向至少包括(3)個螺旋，所述螺旋是指氣流槽(7)繞陰極柱(1)一周為一個螺旋。
4.如權(quán)利要求1或2所述的一種層流等離子發(fā)生器，其特征在于：所述氣流槽(7)的氣流出口端射出的氣流與陰極柱(1)的軸線呈25o-35o夾角。
5.如權(quán)利要求1或2所述的一種層流等離子發(fā)生器，其特征在于：所述氣流槽(7)設(shè)置在陰極柱(1)上。
6.如權(quán)利要求1或2所述的一種層流等離子發(fā)生器，其特征在于：所述氣流槽(7)設(shè)置在陰極罩(2)上。
7.如權(quán)利要求1所述的一種層流等離子發(fā)生器，其特征在于：所述陽極體(3)上設(shè)置有進氣口(9)和出氣口(10)；所述進氣口(9)和出氣口(10)分別與冷卻通道(11)連通，工作氣體從進氣口(9)進入到陽極體(3)內(nèi)部的冷卻通道(11)中，然后從出氣口(10)輸送至陰極罩(2)與陽極體(3)之間形成的氣流腔(8)內(nèi)。
8.如權(quán)利要求7所述的一種層流等離子發(fā)生器，其特征在于：所述冷卻通道(11)環(huán)狀分布在陽極體(3)內(nèi)部。