本發(fā)明涉及元件安裝裝置中使用的頭單元。

背景技術(shù)：

以往，已知有具備頭單元的元件安裝裝置。頭單元具備頭主體、設(shè)于頭主體的吸嘴、向吸嘴傳遞動(dòng)力而使吸嘴沿上下方向移動(dòng)的電動(dòng)機(jī)、從側(cè)方拍攝吸附于吸嘴的元件的側(cè)方相機(jī)等。例如，在專利文獻(xiàn)1公開的元件安裝裝置中，使用線性電動(dòng)機(jī)作為使吸嘴沿上下方向移動(dòng)的電動(dòng)機(jī)。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2009-171665號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

發(fā)明要解決的課題

然而，在這樣的元件安裝裝置中，為了保護(hù)電動(dòng)機(jī)、側(cè)方相機(jī)等而有時(shí)通過較大的罩進(jìn)行覆蓋。

然而，電動(dòng)機(jī)伴隨著驅(qū)動(dòng)而發(fā)熱，因此會(huì)產(chǎn)生熱量悶閉在由罩覆蓋的內(nèi)部這樣的問題。尤其是線性電動(dòng)機(jī)的發(fā)熱量大，因此這樣的問題變得顯著。

本發(fā)明為了解決這樣的課題而作出，在元件安裝裝置用頭單元中，主要目的在于將由罩覆蓋的內(nèi)側(cè)的熱量高效地放出。

用于解決課題的方案

本發(fā)明的元件安裝裝置用頭單元具備：頭主體；吸嘴，設(shè)置于所述頭主體，能夠吸附元件；驅(qū)動(dòng)源，向所述頭主體及所述吸嘴中的至少一方傳遞動(dòng)力而使所述至少一方動(dòng)作；罩，覆蓋所述驅(qū)動(dòng)源；及傳熱部件，將所述罩與所述驅(qū)動(dòng)源或該驅(qū)動(dòng)源的框架之間連結(jié)，而使從所述驅(qū)動(dòng)源產(chǎn)生的熱量向所述罩釋放。

在該元件安裝裝置用頭單元中，經(jīng)由傳熱部件使從驅(qū)動(dòng)源產(chǎn)生的熱量向表面積比較大的罩釋放。由此，能夠高效地放出由罩覆蓋的內(nèi)側(cè)的熱量。

在本發(fā)明的元件安裝裝置用頭單元中，可以是，所述驅(qū)動(dòng)源是向所述吸嘴傳遞動(dòng)力而使該吸嘴沿上下方向動(dòng)作的線性電動(dòng)機(jī)。線性電動(dòng)機(jī)由于發(fā)熱量比較大，因此適用本發(fā)明的意義高。

在本發(fā)明的元件安裝裝置用頭單元中，可以是，所述罩具有多個(gè)開口。這樣的話，在頭單元移動(dòng)時(shí)，空氣經(jīng)由開口在由罩覆蓋的內(nèi)側(cè)和外側(cè)流通，因此能夠?qū)⒄值膬?nèi)側(cè)的熱量更高效地放出。需要說明的是，罩可以取代多個(gè)開口或者除了多個(gè)開口之外而具有槽。在這種情況下，槽優(yōu)選沿著頭單元移動(dòng)的方向形成。

在本發(fā)明的元件安裝裝置用頭單元中，可以是，所述傳熱部件設(shè)為多個(gè)金屬柱狀部件或多個(gè)熱管。這樣的話，傳熱部件的導(dǎo)熱率升高，因此能夠?qū)⒂烧指采w的內(nèi)側(cè)的熱量更高效地放出。作為金屬柱狀部件的金屬，可列舉例如金、銀、銅、鋁等，但是考慮到成本、比重時(shí)，優(yōu)選鋁。熱管是指在管內(nèi)真空密封有少量的液體且在內(nèi)壁具備稱為油繩的毛細(xì)管構(gòu)造的結(jié)構(gòu)。

本發(fā)明的元件安裝裝置用頭單元可以是，在被所述罩覆蓋的部位具備相機(jī)，所述相機(jī)拍攝吸附于所述吸嘴的元件，所述傳熱部件將所述罩中的與所述相機(jī)相向的面以外的面和所述驅(qū)動(dòng)源或該驅(qū)動(dòng)源的框架之間連結(jié)。這樣的話，罩中的與相機(jī)相向的面難以成為高溫，因此能夠保護(hù)比較容易受到熱量的影響的相機(jī)免于受熱。

附圖說明

圖1是元件安裝裝置10的立體圖。

圖2是頭單元34的立體圖。

圖3是將外罩40拆卸的狀態(tài)的頭單元34的立體圖。

圖4是將外罩40拆卸的狀態(tài)的頭單元34的右側(cè)視圖。

圖5是表示將回轉(zhuǎn)頭42向主框架36安裝的情況的立體圖。

具體實(shí)施方式

參照附圖，以下說明本發(fā)明的優(yōu)選的實(shí)施方式。圖1是元件安裝裝置10的立體圖，圖2是頭單元34的立體圖，圖3是將外罩40拆卸的狀態(tài)的頭單元34的立體圖，圖4是將外罩40拆卸的狀態(tài)的頭單元34的右側(cè)視圖。需要說明的是，在本實(shí)施方式中，左右方向(x軸)、前后方向(y軸)及上下方向(z軸)如圖1所示。而且，在圖2中，把手35當(dāng)拉拽時(shí)被拉出。

如圖1所示，元件安裝裝置10具備安裝裝置主體14、帶盤單元96、控制器100。

安裝裝置主體14具備搬運(yùn)基板16的基板搬運(yùn)裝置18和能夠在xy平面上移動(dòng)的頭單元34。

基板搬運(yùn)裝置18具備：在圖1的前后空出間隔地設(shè)置并沿左右方向延伸的支撐板20、20；設(shè)置在兩支撐板20、20的彼此相向的面上的傳送帶22、22(在圖1中僅圖示一方)。傳送帶22、22成為環(huán)狀地架設(shè)于在支撐板20、20的左右設(shè)置的驅(qū)動(dòng)輪及從動(dòng)輪?；?6乘載于一對(duì)傳送帶22、22的上表面而被從左向右搬運(yùn)。該基板16由在背面?zhèn)蓉Q立設(shè)置多個(gè)的支撐銷23支撐。

頭單元34以能夠拆裝的方式安裝于x軸滑動(dòng)件26的前表面。該頭單元34在前表面具有在更換作業(yè)時(shí)作業(yè)者用于抓握的把手35。x軸滑動(dòng)件26以能夠滑動(dòng)的方式安裝于在y軸滑動(dòng)件30的前表面設(shè)置的沿左右方向延伸的上下一對(duì)導(dǎo)軌28、28。y軸滑動(dòng)件30以能夠滑動(dòng)的方式安裝于沿前后方向延伸的左右一對(duì)導(dǎo)軌32、32。頭單元34伴隨著x軸滑動(dòng)件26沿左右方向的移動(dòng)而沿左右方向移動(dòng)，伴隨著y軸滑動(dòng)件30沿前后方向的移動(dòng)而沿前后方向移動(dòng)。需要說明的是，各滑動(dòng)件26、30分別由驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)(未圖示)驅(qū)動(dòng)。

帶盤單元96具備多個(gè)帶盤97，以能夠拆裝的方式安裝于安裝裝置主體14的前側(cè)。在各帶盤97卷纏帶，在帶的表面沿長度方向保持元件。這些元件由覆蓋帶的表面的膜來保護(hù)。這樣的帶從帶盤朝向后方拆卷，在供料器部98處剝下膜而元件露出的狀態(tài)下，被送出到由吸嘴48吸附的吸附位置。

控制器100構(gòu)成為以cpu為中心的微處理器，具備存儲(chǔ)處理程序的rom、被用作作業(yè)區(qū)域的ram、存儲(chǔ)各種數(shù)據(jù)的hdd等。該控制器100向基板搬運(yùn)裝置18、x軸滑動(dòng)件26的驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)、y軸滑動(dòng)件30的驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)、設(shè)于頭單元34的各種電動(dòng)機(jī)等輸出驅(qū)動(dòng)信號(hào)，輸入來自設(shè)于頭單元34的側(cè)方相機(jī)80的圖像信號(hào)。而且，控制器100以能夠進(jìn)行雙向通信的方式與帶盤單元96連接。

接下來，關(guān)于頭單元34的詳情，參照?qǐng)D2～圖5以下進(jìn)行說明。圖2是將把手35拆卸的狀態(tài)的頭單元34的立體圖，圖3及圖4是將外罩40拆卸的狀態(tài)的頭單元34的立體圖及右側(cè)視圖，圖5是表示將回轉(zhuǎn)頭42向主框架36安裝的情況的立體圖。

頭單元34具備主框架36、副框架38、外罩40、回轉(zhuǎn)頭42、線性電動(dòng)機(jī)促動(dòng)器62、側(cè)方相機(jī)80。

主框架36是拆裝自如地安裝于x軸滑動(dòng)件26(參照?qǐng)D1)的框架，除了回轉(zhuǎn)頭42之外，還具備r軸電動(dòng)機(jī)58、θ軸電動(dòng)機(jī)60等。

副框架38是如圖3及圖4所示固定于主框架36的前方的框架，具備線性電動(dòng)機(jī)促動(dòng)器62、側(cè)方相機(jī)80、步進(jìn)電動(dòng)機(jī)61等。需要說明的是，副框架38以將圖4所示的線性電動(dòng)機(jī)促動(dòng)器62從左右兩側(cè)夾入的方式配置。因此，副框架38也可以看作線性電動(dòng)機(jī)促動(dòng)器62的框架。

外罩40是如圖2所示以將主框架36、副框架38的前表面、兩側(cè)面及上表面覆蓋的方式蓋上的罩，在各面具有多個(gè)開口40a。主框架36、副框架38及外罩40通過比較輕量且導(dǎo)熱良好的材料例如鋁或鋁合金等制作。

回轉(zhuǎn)頭42是圓筒形狀的元件，如圖3～圖5所示，具備吸嘴支架46、吸嘴48、閥桿50。如圖5所示，回轉(zhuǎn)頭42是能夠進(jìn)行軸旋轉(zhuǎn)地安裝于主框架36的圓柱形狀且以插入于上下延伸的r軸52的狀態(tài)卡合，或者能夠解除與r軸52的卡合而拔去。r軸52以伴隨著r軸電動(dòng)機(jī)58的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)的方式通過未圖示的齒輪機(jī)構(gòu)而與r軸電動(dòng)機(jī)58連結(jié)?；剞D(zhuǎn)頭42在與r軸52卡合的狀態(tài)下伴隨著r軸電動(dòng)機(jī)58的旋轉(zhuǎn)而與r軸52成為一體地進(jìn)行軸旋轉(zhuǎn)。吸嘴支架46沿著回轉(zhuǎn)頭42的外周以能夠沿上下方向滑動(dòng)的方式裝配多個(gè)(在此為12個(gè))。該吸嘴支架46在上端附近具有吸嘴操作桿54，由彈簧56向上方施力而被定位在預(yù)定的固定位置(上方位置)。當(dāng)吸嘴操作桿54被按下時(shí)，吸嘴支架46及吸嘴48克服彈簧56的彈性力而下降，當(dāng)吸嘴操作桿54的按下被解除時(shí)，吸嘴支架46及吸嘴48通過彈簧56的彈性力而返回固定位置。在吸嘴支架46的上部外周設(shè)有小齒輪57。各小齒輪57以伴隨著θ軸電動(dòng)機(jī)60的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)的方式通過未圖示的齒輪機(jī)構(gòu)而與θ軸電動(dòng)機(jī)60連結(jié)。吸嘴48能夠拆裝地安裝于吸嘴支架46的下端。在圖3及圖4中，為了簡便起見，示出了僅在1個(gè)吸嘴支架46裝配有吸嘴48的情況，但是實(shí)際上如圖5所示在全部的吸嘴支架46裝配有吸嘴48。該吸嘴48根據(jù)元件的種類、大小等而適當(dāng)更換。而且，吸嘴48伴隨著θ軸電動(dòng)機(jī)60的旋轉(zhuǎn)而與具備小齒輪57的吸嘴支架46成為一體地進(jìn)行軸旋轉(zhuǎn)。閥桿50按照各吸嘴48設(shè)置。該閥桿50是切換向吸嘴前端是供給負(fù)壓還是供給大氣壓的桿。閥桿50由步進(jìn)電動(dòng)機(jī)61操作。

如圖4所示，線性電動(dòng)機(jī)促動(dòng)器62具備滑動(dòng)件64和線性引導(dǎo)件68?；瑒?dòng)件64內(nèi)置有成為電磁鐵的線圈，且具有桿卡合部66。桿卡合部66的截面成為c字狀，從上下夾持吸嘴操作桿54而與吸嘴操作桿54卡合。多個(gè)吸嘴操作桿54配置在回轉(zhuǎn)頭42每進(jìn)行預(yù)定角度(在此為30°)的軸旋轉(zhuǎn)而能夠依次與桿卡合部66卡合的位置。線性引導(dǎo)件68將滑動(dòng)件64沿直線方向引導(dǎo)，沿直線方向交替地配置有多個(gè)n極和s極。在滑動(dòng)件64的桿卡合部66從上下夾入吸嘴操作桿54的狀態(tài)下，電流流向內(nèi)置于滑動(dòng)件64的線圈時(shí)，通過在線圈產(chǎn)生的磁通與線性引導(dǎo)件68的磁鐵的吸引/排斥作用而滑動(dòng)件64沿著線性引導(dǎo)件68上下移動(dòng)。于是，吸嘴操作桿54也與吸嘴支架46及吸嘴48一起上下移動(dòng)。包圍線性電動(dòng)機(jī)促動(dòng)器62的副框架38經(jīng)由多個(gè)熱管70而與外罩40連接。熱管70是在管內(nèi)真空密封有少量的液體且在內(nèi)壁具備被稱為油繩的毛細(xì)管構(gòu)造的公知的部件。在此，熱管70將外罩40中的與側(cè)方相機(jī)80相向的面以外的面(在本實(shí)施方式中為與線性電動(dòng)機(jī)促動(dòng)器62相向的面)和線性電動(dòng)機(jī)促動(dòng)器62中的發(fā)熱最大的部位之間連結(jié)。

如圖3及圖4所示，側(cè)方相機(jī)80具備光學(xué)系模塊82和相機(jī)主體86。光學(xué)系模塊82將從配置在吸附于吸嘴48的元件的前方的入射口84入射的光經(jīng)由未圖示的棱鏡或反射鏡向配置在上方的相機(jī)主體86引導(dǎo)。在入射口84的兩側(cè)配置有未圖示的發(fā)光體。發(fā)光體是朝向在回轉(zhuǎn)頭42的下表面中央設(shè)置的圓筒形狀的反射體88照射紫外線的光源。反射體88當(dāng)被照射紫外線時(shí)進(jìn)行熒光發(fā)光。因此，吸附于吸嘴48的元件通過該熒光發(fā)光而從后方被照出。相機(jī)主體86具有未圖示的透鏡、攝像元件、圖像處理部。透鏡將由光學(xué)系模塊82引導(dǎo)的光向攝像元件送出。攝像元件當(dāng)通過透鏡進(jìn)行受光時(shí)產(chǎn)生電荷。圖像處理部輸入由攝像元件產(chǎn)生的電荷，生成基于該電荷的圖像數(shù)據(jù)(圖像信號(hào))。

接下來，說明元件安裝裝置10的動(dòng)作。以下，說明控制器100基于生產(chǎn)作業(yè)數(shù)據(jù)而利用頭單元34向基板16安裝元件的動(dòng)作。

首先，控制器100對(duì)x軸滑動(dòng)件26及y軸滑動(dòng)件30進(jìn)行控制，使頭單元34移動(dòng)，以使吸嘴48來到在供料器部98處剝下膜而露出的元件的上方。接下來，控制器100對(duì)線性電動(dòng)機(jī)促動(dòng)器62進(jìn)行控制，使吸嘴48向下方移動(dòng)而來到即將與元件接觸之前的位置。具體而言，控制器100在使線性電動(dòng)機(jī)促動(dòng)器62的桿卡合部66與吸嘴操作桿54卡合的狀態(tài)下使滑動(dòng)件64向下方移動(dòng)預(yù)定量。由此，吸嘴48也與吸嘴操作桿54一起向下方移動(dòng)預(yù)定量。在此狀態(tài)下，控制器100對(duì)步進(jìn)電動(dòng)機(jī)61進(jìn)行控制，對(duì)閥桿50進(jìn)行操作，以向吸嘴48的前端供給負(fù)壓。由此，在吸嘴48的前端吸附元件。接下來，控制器100對(duì)線性電動(dòng)機(jī)促動(dòng)器62進(jìn)行控制，使吸嘴48與吸附的元件一起向上方的固定位置移動(dòng)。接下來，控制器100從側(cè)方相機(jī)80輸入吸附于吸嘴48的元件的圖像數(shù)據(jù)，在通過圖案識(shí)別等而確認(rèn)了元件被吸附的情況之后，對(duì)r軸電動(dòng)機(jī)58進(jìn)行控制而使回轉(zhuǎn)頭42繞中心軸旋轉(zhuǎn)預(yù)定角度(在此為30°)。由此，線性電動(dòng)機(jī)促動(dòng)器62的桿卡合部66與剛才的吸嘴操作桿54的相鄰的吸嘴操作桿54卡合。然后，控制器100按照與剛才同樣的次序，在吸嘴操作桿54與桿卡合部66卡合的吸嘴支架46的吸嘴48吸附元件?？刂破?00反復(fù)進(jìn)行該次序而使全部的(在此為12個(gè))吸嘴48吸附元件。需要說明的是，控制器100在吸附于吸嘴48的元件的朝向從正規(guī)的朝向偏離的情況下，對(duì)θ軸電動(dòng)機(jī)60進(jìn)行控制而使吸嘴支架46進(jìn)行軸旋轉(zhuǎn)，由此將元件的朝向調(diào)整成正規(guī)的朝向。

接下來，控制器100對(duì)x軸滑動(dòng)件26及y軸滑動(dòng)件30進(jìn)行控制，以使首先被吸附的元件來到基板16的預(yù)定位置的上方的方式使頭單元34移動(dòng)。接下來，控制器100對(duì)線性電動(dòng)機(jī)促動(dòng)器62進(jìn)行控制，使吸附于吸嘴48的前端的元件來到基板16的預(yù)定位置的近前的位置。在此狀態(tài)下，控制器100對(duì)步進(jìn)電動(dòng)機(jī)61進(jìn)行控制，以向吸嘴48的前端供給正壓的方式對(duì)閥桿50進(jìn)行操作。由此，元件從吸嘴48的前端分離而向基板16的預(yù)定位置安裝。接下來，控制器100對(duì)線性電動(dòng)機(jī)促動(dòng)器62進(jìn)行控制，使吸嘴48向上方的固定位置移動(dòng)。接下來，控制器100從側(cè)方相機(jī)80輸入吸嘴48的圖像數(shù)據(jù)，在通過圖案識(shí)別等而確認(rèn)了從吸嘴48的元件用盡之后，對(duì)r軸電動(dòng)機(jī)58進(jìn)行控制而使回轉(zhuǎn)頭42繞中心軸旋轉(zhuǎn)預(yù)定角度(在此為30°)。由此，線性電動(dòng)機(jī)促動(dòng)器62的桿卡合部66與剛才的吸嘴操作桿54的相鄰的吸嘴操作桿54卡合。然后，控制器100按照與剛才同樣的次序，將吸嘴操作桿54與桿卡合部66卡合的吸嘴支架46的吸嘴48所吸附的元件向基板16安裝。控制器100反復(fù)進(jìn)行該次序，將吸嘴48所吸附的元件全部向基板16安裝。

在這樣元件安裝裝置10動(dòng)作的期間，線性電動(dòng)機(jī)促動(dòng)器62發(fā)熱，但是該熱量經(jīng)由熱管70向外罩40釋放。而且，在頭單元34沿xy方向移動(dòng)時(shí)，外罩40被空冷。尤其是外罩40在前表面、兩側(cè)面及上表面具有多個(gè)開口40a，因此在頭單元34移動(dòng)時(shí)，空氣經(jīng)由這些開口40a而高效地在外罩40的內(nèi)側(cè)與外側(cè)流通。

在此，明確本實(shí)施方式的構(gòu)成要素與本發(fā)明的構(gòu)成要素的對(duì)應(yīng)關(guān)系。本實(shí)施方式的頭單元34相當(dāng)于本發(fā)明的元件安裝裝置用頭單元，回轉(zhuǎn)頭42相當(dāng)于頭主體，吸嘴48相當(dāng)于吸嘴，線性電動(dòng)機(jī)促動(dòng)器62相當(dāng)于驅(qū)動(dòng)源，熱管70相當(dāng)于傳熱部件。

根據(jù)以上說明的本實(shí)施方式的頭單元34，經(jīng)由熱管70，使從線性電動(dòng)機(jī)促動(dòng)器62產(chǎn)生的熱量向表面積比較大的外罩40釋放。由此，能夠?qū)⒂赏庹?0覆蓋的內(nèi)側(cè)的熱量高效地放出。

另外，外罩40具有多個(gè)開口40a，因此在頭單元34沿xy方向移動(dòng)時(shí)，空氣經(jīng)由這些開口40a而在由外罩40覆蓋的內(nèi)側(cè)與外側(cè)高效地流通。其結(jié)果是，能夠?qū)⒂赏庹?0覆蓋的內(nèi)側(cè)的熱量高效地放出。

此外，采用了導(dǎo)熱率高的熱管70作為傳熱部件，因此能夠?qū)⒂赏庹?0覆蓋的內(nèi)側(cè)的熱量更高效地放出。

此外，熱管70以將外罩40中的與側(cè)方相機(jī)80相向的面以外的面和包圍線性電動(dòng)機(jī)促動(dòng)器62的副框架38之間連結(jié)的方式設(shè)置，因此外罩40中的與側(cè)方相機(jī)80相向的面難以成為高溫。因此，能夠保護(hù)比較容易受到熱量的影響的側(cè)方相機(jī)80免于受熱。

需要說明的是，本發(fā)明不受上述的實(shí)施方式任何限定，只要屬于本發(fā)明的技術(shù)范圍，當(dāng)然就能以各種形態(tài)實(shí)施。

例如，在上述的實(shí)施方式中，在外罩40的前表面、兩側(cè)面及上表面這4個(gè)面設(shè)置了多個(gè)開口40a，但是可以將這些開口40a設(shè)置于4個(gè)面中的僅1個(gè)面，也可以設(shè)置于僅2個(gè)面，還可以設(shè)置于僅3個(gè)面?；蛘撸梢栽?個(gè)面都不設(shè)置開口40a。但是，在設(shè)有開口40a的情況下，空氣在外罩40的內(nèi)側(cè)與外側(cè)容易流通，冷卻效率提高，因此優(yōu)選。開口40a的形狀并不局限于圓孔，可以是任意的形狀，例如可以是方孔，也可以是細(xì)長的狹縫狀的孔。也可以取代設(shè)于外罩40的多個(gè)開口40a或者除了這多個(gè)開口40a之外還設(shè)有槽(凹陷)或凸片。通過設(shè)置槽或凸片而散熱面積增加，因此能夠?qū)⑼庹?0高效地冷卻。槽或凸片可以沿著例如頭單元34的移動(dòng)方向形成。

在上述的實(shí)施方式中，采用了熱管70作為傳熱部件，但是也可以取代熱管70而采用金屬柱狀部件。作為金屬柱狀部件的金屬，可列舉例如金、銀、銅、鋁等，但是考慮成本、重量(比重)時(shí)優(yōu)選鋁。

在上述的實(shí)施方式中，通過水平地延伸的熱管70將線性電動(dòng)機(jī)促動(dòng)器62與外罩40連結(jié)，但是也可以通過彎折或彎曲的熱管70將線性電動(dòng)機(jī)促動(dòng)器62與外罩40連結(jié)。這樣的話，能夠使熱量向外罩40中的從線性電動(dòng)機(jī)促動(dòng)器62分離的位置釋放。

在上述的實(shí)施方式中，例示了同步型的線性電動(dòng)機(jī)，但是也可以采用利用電流流向放置在磁場中的導(dǎo)體時(shí)產(chǎn)生的洛倫茲力的感應(yīng)型的線性電動(dòng)機(jī)。

在上述的實(shí)施方式中，例示了線性電動(dòng)機(jī)促動(dòng)器62作為產(chǎn)生熱量的驅(qū)動(dòng)源，但是也可以將例如向回轉(zhuǎn)頭42傳遞動(dòng)力的r軸電動(dòng)機(jī)58、向吸嘴48傳遞動(dòng)力的θ軸電動(dòng)機(jī)60等其他的驅(qū)動(dòng)源經(jīng)由熱管(傳熱部件)與外罩40連結(jié)。線性電動(dòng)機(jī)促動(dòng)器62可以具有包圍滑動(dòng)件64和線性引導(dǎo)件68的電動(dòng)機(jī)罩，在這種情況下，熱管70可以貫通副框架38而將電動(dòng)機(jī)罩與外罩40連結(jié)。

在上述的實(shí)施方式中，例示了保持12個(gè)吸嘴48的回轉(zhuǎn)頭42作為頭主體，但也可以使用僅保持一個(gè)吸嘴的頭，還可以使用保持4個(gè)吸嘴的頭。

在上述的實(shí)施方式中，通過熱管70將外罩40與線性電動(dòng)機(jī)促動(dòng)器62的框架(副框架38)之間連結(jié)，但也可以是線性電動(dòng)機(jī)促動(dòng)器62經(jīng)由樹脂等的導(dǎo)熱率比金屬低的低導(dǎo)熱部件而固定于副框架38，線性電動(dòng)機(jī)促動(dòng)器62與熱管70(傳熱部件)直接接觸。這樣的話，成為外罩40與線性電動(dòng)機(jī)促動(dòng)器62其本身由熱管70連結(jié)的構(gòu)造。

工業(yè)實(shí)用性

本發(fā)明能夠利用于向基板安裝元件的元件安裝裝置。

附圖標(biāo)記說明

10元件安裝裝置

14安裝裝置主體

16基板

18基板搬運(yùn)裝置

20支撐板

22搬運(yùn)帶

23支撐銷

26x軸滑動(dòng)件

28導(dǎo)軌

30y軸滑動(dòng)件

32導(dǎo)軌

34頭單元

35把手

36主框架

38副框架

40外罩

40a開口

42回轉(zhuǎn)頭

46吸嘴支架

48吸嘴

50閥桿

52r軸

54吸嘴操作桿

56彈簧

57小齒輪

58r軸電動(dòng)機(jī)

60θ軸電動(dòng)機(jī)

61步進(jìn)電動(dòng)機(jī)

62線性電動(dòng)機(jī)促動(dòng)器

64滑動(dòng)件

66桿卡合部

68線性引導(dǎo)件

70熱管

80側(cè)方相機(jī)

82光學(xué)系模塊

84入射口

86相機(jī)主體

88反射體

96帶盤單元

97帶盤

98供料器部

100控制器