專利名稱：高屏蔽性聲表面波濾波器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
高屏蔽性聲表面波濾波器技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實用新型涉及集成于壓電晶體材料上的聲表面波帶通濾波器，特別涉及一種采用特殊屏蔽條結(jié)構(gòu)的具有高屏蔽性的聲表面波濾波器。
背景技術(shù)：
[0002]當電壓加載在具有壓電特性的基片材料的電極上，會在壓電體材料的晶格中形成機械形變。當加載在壓電晶體材料電極上的電壓為輸入的電信號，會在壓電晶體材料表面的晶格中形成聲表面波，該聲表面波是一種在壓電晶體材料表面?zhèn)鞑ィ穹S深入基片材料深度的增加而迅速減少的彈性機械波。[0003]聲表面波濾波器的基本結(jié)構(gòu)是在壓電特性的基片材料上通過半導體工藝形成交叉成對的梳狀金屬結(jié)構(gòu)(稱之為叉指換能器)，在叉指換能器上施加電信號，壓電材料表面產(chǎn)生機械振動同時產(chǎn)生聲表面波，這種聲表面波在壓電材料表面?zhèn)鞑?。叉指換能器包括輸入端叉指換能器和輸出端叉指換能器。電信號通過輸入端叉指換能器轉(zhuǎn)換成聲表面波信號，沿晶體表面?zhèn)鞑ヒ欢ň嚯x后到達輸出端叉指換能器，輸出端叉指換能器將接收到的聲表面波信號轉(zhuǎn)換成電信號輸出。所述輸入端叉指換能器和輸出端叉指換能器根據(jù)不同的切指加權(quán)結(jié)構(gòu)，對聲表面波具有不同的傳輸特性。[0004]在聲表面波濾波器接入電信號的一瞬間，部分信號通過電磁稱合從輸入端叉指換能器直接耦合到輸出端叉指換能器，在輸入端叉指換能器與輸出端叉指換能器之間形成一個電場，這樣會導致電磁信號可以直接傳輸，這種可以直接傳輸?shù)男盘柗Q之為直通信號。直通信號是沒有用的，會影響到阻帶；直通信號越大，阻帶越差。為此通常在輸入端叉指換能器與輸出端叉指換能器之間設置一個接地的金屬屏蔽條，如圖I所示，以減小直通信號對聲表面波濾波器性能的影響。由于電磁信號的傳播是擴散的，采用圖I的結(jié)構(gòu)，仍然會有部分信號從屏蔽條的上方耦合到輸出端。實用新型內(nèi)容[0005]針對現(xiàn)有聲表面波濾波器采用的屏蔽條結(jié)構(gòu)所存在的上述缺陷，申請人行了研究改進，現(xiàn)提供一種高屏蔽性聲表面波濾波器，可大幅改善直通信號，提高濾波器阻帶性能； 并提高成品率，降低生產(chǎn)成本。[0006]本實用新型的技術(shù)方案如下[0007]—種高屏蔽性聲表面波濾波器，包括集成于壓電晶體基片上的輸入端叉指換能器、輸出端叉指換能器以及屏蔽條，所述輸入端叉指換能器的各叉指指條的梳柄部分通過第一匯流條以及第二匯流條相連接，所述屏蔽條包括第一屏蔽條和第二屏蔽條；所述第一屏蔽條設置在輸入端叉指換能器和輸出端叉指換能器之間，所述第一屏蔽條的一端與輸入端叉指換能器的第一匯流條連接并接地，所述第一屏蔽條的另一端與第二屏蔽條成T形連接；所述第二屏蔽條的一端與輸入端叉指換能器的叉指指條連接，另一端延伸并覆蓋輸出端叉指換能器。[0008]其進一步的技術(shù)方案為所述第二屏蔽條的一端延伸至少2倍的屏蔽條寬度；同時將輸入端叉指換能器的第二匯流條附近的叉指指條沿斜線切斷，并將這些切斷的叉指指條連接到延伸的第二屏蔽條上，在第二屏蔽條上形成一組三角形的叉指指條。[0009]其進一步的技術(shù)方案為所述第二屏蔽條另一端的延伸長度到達或超過輸出端叉指換能器的電極引線的最右端。[0010]本實用新型的有益技術(shù)效果是[0011]本實用新型對聲表面波濾波器的屏蔽條進行了改進，在原有屏蔽條的上方再做一個屏蔽條，以T形方式連接到原有屏蔽條。該結(jié)構(gòu)能夠大幅減小直通信號，進而改善阻帶。 本實用新型適用于中頻聲表面波濾波器，特別是中低頻率兩端需要涂吸聲油墨的聲表面波濾波器上。


[0012]圖I是采用現(xiàn)有屏蔽條的聲表面波濾波器的結(jié)構(gòu)圖。[0013]圖2是本實用新型的一個實施例的結(jié)構(gòu)圖。
具體實施方式
[0014]
以下結(jié)合附圖對本實用新型的具體實施方式
做進一步說明。[0015]如圖2所示，本實用新型包括集成于同一個壓電晶體基片上的輸入端叉指換能器I、輸出端叉指換能器2以及屏蔽條3。輸入端叉指換能器I內(nèi)的各叉指指條的梳柄部分通過匯流條4. I以及匯流條4. 2相連接。[0016]本實用新型在常規(guī)屏蔽條結(jié)構(gòu)的上方加一個一定寬度的屏蔽條向兩邊延伸。如圖 2所示，屏蔽條3包括屏蔽條3. I和屏蔽條3. 2。屏蔽條3. I為常規(guī)屏蔽條，設置在輸入端叉指換能器I和輸出端叉指換能器2之間。屏蔽條3. I的下端與輸入端叉指換能器I的匯流條4. I連接并接地,屏蔽條3. I的上端與本實用新型新增加的屏蔽條3. 2的中間部分成 T形連接，但兩者不一定垂直。在本實施例中，屏蔽條3. 2的左端延伸至少2倍的屏蔽條寬度，通常在400um以上；將輸入端叉指換能器I的匯流條4. 2附近的叉指指條沿斜線切開， 匯流條4. 2延伸并覆蓋在切開的叉指指條斷面上；將切斷的叉指指條連接到延伸的屏蔽條 3. 2上，在屏蔽條3. 2上形成一組三角形的叉指指條。上述叉指指條切開的位置及三角形的形狀對本實用新型性能的影響不大，只要有此形狀即可提升屏蔽效果。屏蔽條3. 2的右端延伸并在長度上到達或超過輸出端叉指換能器2的電極引線的最右端(即圖2中右側(cè)夾角的頂點處)。[0017]以上所述的僅是本實用新型的優(yōu)選實施方式，本實用新型不限于以上實施例?？梢岳斫猓绢I(lǐng)域技術(shù)人員在不脫離本實用新型的基本構(gòu)思的前提下直接導出或聯(lián)想到的其他改進和變化，均應認為包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種高屏蔽性聲表面波濾波器，包括集成于壓電晶體基片上的輸入端叉指換能器(I)、輸出端叉指換能器(2)以及屏蔽條(3)，所述輸入端叉指換能器(I)的各叉指指條的梳柄部分通過第一匯流條(4. I)以及第二匯流條(4. 2)相連接，其特征在于所述屏蔽條(3)包括第一屏蔽條(3. I)和第二屏蔽條(3. 2);所述第一屏蔽條(3. I)設置在輸入端叉指換能器(I)和輸出端叉指換能器(2)之間，所述第一屏蔽條(3. I)的一端與輸入端叉指換能器(O的第一匯流條(4. I)連接并接地，所述第一屏蔽條(3. I)的另一端與第二屏蔽條(3. 2)成T形連接；所述第二屏蔽條(3. 2)的一端與輸入端叉指換能器(I)的叉指指條連接，另一端延伸并覆蓋輸出端叉指換能器(2 )。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述高屏蔽性聲表面波濾波器，其特征在于所述第二屏蔽條(3.2)的一端延伸至少2倍的屏蔽條寬度；同時將輸入端叉指換能器(I)的第二匯流條(4. 2)附近的叉指指條沿斜線切斷，并將這些切斷的叉指指條連接到延伸的第二屏蔽條(3. 2)上，在第二屏蔽條(3. 2)上形成一組三角形的叉指指條。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述高屏蔽性聲表面波濾波器，其特征在于所述第二屏蔽條(3.2)另一端的延伸長度到達或超過輸出端叉指換能器(2)的電極引線的最右端。
專利摘要本實用新型公開一種高屏蔽性聲表面波濾波器，包括集成于壓電晶體基片上的輸入端叉指換能器、輸出端叉指換能器以及屏蔽條，所述屏蔽條包括第一屏蔽條和第二屏蔽條；第一屏蔽條設置在輸入端叉指換能器和輸出端叉指換能器之間，第一屏蔽條與第二屏蔽條成T形連接；第二屏蔽條的一端與輸入端叉指換能器的叉指指條連接，另一端延伸并覆蓋輸出端叉指換能器。本實用新型能夠大幅減小直通信號，進而改善阻帶，適用于中頻聲表面波濾波器，特別是中低頻率兩端需要涂吸聲油墨的聲表面波濾波器上。
文檔編號H03H9/64GK202818248SQ20122052107
公開日2013年3月20日 申請日期2012年10月11日 優(yōu)先權(quán)日2012年10月11日
發(fā)明者王紹安 申請人:無錫市好達電子有限公司