專利名稱：壓電振動(dòng)片、壓電模塊以及電子裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種壓電振動(dòng)片以及使用了此壓電振動(dòng)片的壓電模塊，尤其涉及一種能夠緩和在安裝后產(chǎn)生的位于貼裝位置處的應(yīng)力對振動(dòng)部的影響的技術(shù)。
背景技術(shù)：
一直以來，在壓電振動(dòng)片的安裝方式中，具有通過涂布導(dǎo)電性粘合劑而粘接在封裝件上的形式。以此種方式，在用于使導(dǎo)電性粘合劑固化的干燥等的熱處理工序中，由于壓電振動(dòng)片、封裝件、以及導(dǎo)電性粘合劑各自的線膨脹系數(shù)互不相同而導(dǎo)致的變形，將存留于冷卻后的導(dǎo)電性粘合劑的粘接部分處，從而存在從粘合部分向振動(dòng)部的應(yīng)力、即熱變形給振動(dòng)帶來惡劣影響等問題。而且，當(dāng)想要實(shí)現(xiàn)壓電振動(dòng)片的小型化時(shí)，由于被涂布在壓電振動(dòng)片的支承部上的粘合劑的固化而產(chǎn)生的殘余應(yīng)力，將導(dǎo)致壓電振動(dòng)片的共振頻率隨著時(shí)間而產(chǎn)生變化， 或者，必須減小激勵(lì)電極的面積，由此將明顯出現(xiàn)作為壓電振動(dòng)片的電特性發(fā)生劣化的問題。例如，明顯出現(xiàn)阻抗變大、或無法得到良好的特性等問題。因此，鑒于此種問題，在專利文獻(xiàn)1中，提出了如下的結(jié)構(gòu)，S卩，關(guān)于呈矩形的平板形狀的AT切割水晶基板等的厚度切變壓電振子，在支承部和振動(dòng)部之間設(shè)置切口或槽。在圖21 (a)至圖21 (d)中圖示了專利文獻(xiàn)1所涉及的壓電振子的模式圖。圖21 (a) 為構(gòu)成壓電振子的壓電振動(dòng)片的俯視圖，圖21(b)為構(gòu)成壓電振子的壓電振動(dòng)片的仰視圖，圖21 (c)為構(gòu)成將壓電振動(dòng)片搭載于容器的內(nèi)部的壓電振子的俯視圖，圖21(d)為沿圖 21(c)中的A-A'線的剖視圖。在圖21(a)至圖21(d)中圖示了具有支承部602和振動(dòng)部604的矩形形狀的壓電振子600。在激勵(lì)電極606A、606B和輸入輸出端子部608A、608B之間的、壓電振子600的主面上配置形成有槽610，其中，所述激勵(lì)電極606A、606B分別形成在所述壓電振子600的振動(dòng)部604的上表面和下表面上，所述輸入輸出端子部608A、608B從所述激勵(lì)電極606A、606B 向壓電振子600的支承部602的邊緣被引出。由此，采用了將所述激勵(lì)電極606A、606B和所述輸入輸出端子部608A、608B物理性地隔離的結(jié)構(gòu)。在上述結(jié)構(gòu)中，當(dāng)用于對壓電振子600的支承部602、和收納壓電振子600的容器 612內(nèi)的底部614的連接電極(未圖示)進(jìn)行粘合以及電連接的粘合劑發(fā)生固化時(shí)，將在遍及由圖21(c)中的雙點(diǎn)劃線所示的方向、范圍內(nèi)，產(chǎn)生相對于壓電振子600的殘余應(yīng)力。 但是，在這種結(jié)構(gòu)中，構(gòu)成為該殘余應(yīng)力由于槽610而不會(huì)向振動(dòng)部604傳播，并且通過將槽610的長度方向上的長度設(shè)定為最佳的長度，從而能夠?qū)堄鄳?yīng)力的傳播方向限制在用上述的雙點(diǎn)劃線所示的區(qū)域的外側(cè)。由此，能夠制造出不會(huì)損壞壓電振子600的電氣特性、 且壓電振子的共振頻率的隨時(shí)間的變化較小的小型壓電振子600。而且，作為類似的技術(shù)， 公開了在涂布導(dǎo)電性粘合劑的位置和振動(dòng)部之間設(shè)置有槽(參照專利文獻(xiàn)2至6)或切口 (參照專利文獻(xiàn)2、3、4、5、7、8、9)的結(jié)構(gòu)。而且，為了確保強(qiáng)度等，而實(shí)施在壓電振動(dòng)片的中央部形成凹陷從而構(gòu)成倒臺(tái)型的方案(參照專利文獻(xiàn)10至12)。
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但是，如下文所示，本申請的發(fā)明者們發(fā)現(xiàn)了如下的情況，S卩，近幾年，在使用這種壓電振動(dòng)片的裝置的小型化及高性能化加速發(fā)展的狀態(tài)下，無論采用上述的哪種結(jié)構(gòu)，均難以充分地消除安裝變形。圖22(a)至圖22(b)中圖示了在壓電振動(dòng)片的貼裝部和振動(dòng)部之間形成了槽的情況下的應(yīng)力分布，圖22 (a)圖示了將壓電振動(dòng)片的槽在Z'軸方向上的寬度設(shè)為150μπι的情況下的應(yīng)力分布，圖22(b)圖示了將壓電振動(dòng)片的槽在Z'軸方向上的寬度設(shè)為250μπι 的情況下的應(yīng)力分布。而且，圖23(a)至圖23(b)、圖對⑷至圖M(b)中圖示了在壓電振動(dòng)片的寬度方向上的兩側(cè)，于成為貼裝部和振動(dòng)部之間的位置處形成有切口，并形成有對貼裝部和振動(dòng)部進(jìn)行連接的連接部的情況下的應(yīng)力分布，圖23(a)為將連接部的X軸方向上的寬度設(shè)為400 μ m的情況下的應(yīng)力分布，圖23 (b)為將連接部的X軸方向上的寬度設(shè)為 300 μ m的情況下的應(yīng)力分布，圖M (a)為將連接部的X軸方向上的寬度設(shè)為200 μ m的情況下的應(yīng)力分布，圖M (b)為將連接部的X軸方向上的寬度設(shè)為100 μ m的情況下的應(yīng)力分布。圖22(a)至圖22(b)、圖23(a)至圖23(b)、圖24(a)至圖24(b)圖示了以圖中的涂布有導(dǎo)電性粘合劑的貼裝部702的V軸側(cè)的表面上的圓的中心兩點(diǎn)作為基點(diǎn)，向壓電振動(dòng)片700施加壓縮應(yīng)力或牽拉應(yīng)力的情況下的應(yīng)力分布的模擬結(jié)果。該壓縮應(yīng)力或牽拉應(yīng)力(殘余應(yīng)力)是通過如下的應(yīng)力而產(chǎn)生的，所述應(yīng)力為，由于壓電振動(dòng)片、導(dǎo)電性粘合劑、以及基板的熱膨脹系數(shù)的不同，而被施加在壓電振動(dòng)片上的應(yīng)力。在圖22(a)至圖 22(b)、圖 23(a)至圖 23 (b)、圖 24(a)至圖 24(b)中，X 軸、Y' 軸、Z'軸設(shè)為相互正交，壓電振動(dòng)片700具有以平行于Y'軸的方向?yàn)榉ň€的主面，并具有在平行于Z'軸的方向及平行于X軸的方向上分別具有邊緣的板狀的外形。而且，作為貫穿壓電振動(dòng)片700的主面的貫穿孔而形成有槽704。由此，在壓電振動(dòng)片700上，成為貼裝部702、槽704、以及振動(dòng)部706以橫向排列的方式被配置的形狀。在圖22(a)至圖22(b) 中，壓電振動(dòng)片700具有如下的外形，S卩，貼裝部702、槽704、振動(dòng)部706排列方向(Z'軸方向)上的長度為1500 μ m，并且X軸方向上的寬度為IOOOym的外形。而且，槽704的X軸方向(長邊)上的長度為650 μ m。并且，從貼裝部702側(cè)的槽704的長邊起到貼裝部702 的端部為止的、Z'軸方向上的寬度，在圖22(a)中為350 μ m，在圖22(b)中為250 μ m。而且，槽704在Z'軸方向的寬度，在圖22(a)中為150 μ m，在圖22 (b)中為250μπι。S卩，在圖 22(a)和圖22(b)中，改變了槽704在Z'軸方向上的位置和寬度。并且，圖22 (a)至圖22 (b)、圖23 (a)至圖23 (b)、圖24 (a)至圖M(b)的圖中左側(cè)縱向排成一列的多個(gè)圖案分別表示壓電振動(dòng)片700所承受的應(yīng)力的強(qiáng)度，且表示圖案越往上應(yīng)力越大，而圖案越往下應(yīng)力越小。并且，利用上述的圖案來表示壓電振動(dòng)片700所承受的應(yīng)力的強(qiáng)度的分布。如圖22(a)至圖22(b)所示，可以明確如下內(nèi)容，即，即使如上文所述在較小的壓電振動(dòng)片700中設(shè)置槽704，甚至改變槽704的位置或?qū)挾?，也無法完全消除以在貼裝部 702處產(chǎn)生的應(yīng)力為起因的應(yīng)力，從而較強(qiáng)的應(yīng)力會(huì)到達(dá)至壓電振動(dòng)片700的振動(dòng)部706 處。由此，存在給壓電振動(dòng)片700的共振頻率的穩(wěn)定性等的電特性帶來惡劣影響的問題。在圖23 (a)至圖23 (b)、圖M (a)至圖M(b)中所示的壓電振動(dòng)片700采用如專利文獻(xiàn)6、7這種現(xiàn)有技術(shù)所涉及的所謂的切口結(jié)構(gòu)，所述切口結(jié)構(gòu)為，在貼裝部702和振動(dòng)部706之間且于壓電振動(dòng)片700的寬度方向上的兩端形成切口 708的結(jié)構(gòu)。在該結(jié)構(gòu)中， 通過縮小由于切口 708而形成的連接部710的寬度，從而可觀察到在貼裝部702處產(chǎn)生的應(yīng)力向振動(dòng)部706的傳播被緩和的狀態(tài)。但是，在只通過連接部710而對振動(dòng)部706進(jìn)行支承的結(jié)構(gòu)中，在耐下落沖擊等的強(qiáng)度方面有所欠缺，從而存在缺乏實(shí)用性等問題。
日本特開平9-326667號公報(bào)日本特開昭59-040715號公報(bào)日本實(shí)開昭61-187116號公報(bào)日本特開2004-165798號公報(bào)日本特開2009-158999號公報(bào)日本特開2005-136705號公報(bào)日本特許第4087186號公報(bào)日本特開2009-188483號公報(bào)日本特開2010-130123號公報(bào) 日本特開2000-332571號公報(bào) 日本特開2009-1648 號公報(bào) 日本特開2002-246869號公報(bào)專利文獻(xiàn)1
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專利文獻(xiàn)3
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專利文獻(xiàn)9
專利文獻(xiàn)10
專利文獻(xiàn)11
專利文獻(xiàn)1
發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明著眼于上述問題點(diǎn)，其目的在于，提供一種能夠充分地緩和從貼裝部向振動(dòng)區(qū)域的應(yīng)力的傳播的壓電振動(dòng)片、壓電模塊。本發(fā)明是為了解決上述課題中的至少一部分而完成的，并能夠作為以下的應(yīng)用例而實(shí)現(xiàn)。應(yīng)用例1一種壓電振動(dòng)片，其特征在于，具有振動(dòng)部，并且，在所述振動(dòng)部的邊緣部上，依次連接有緩沖部和貼裝部，所述緩沖部在所述貼裝部和所述邊緣部之間具有槽，所述貼裝部在相對于所述貼裝部和所述緩沖部以及所述邊緣部的排列方向正交的方向上的兩端部處， 具有切口。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，能夠通過槽而防止安裝時(shí)在貼裝部處產(chǎn)生的應(yīng)力向振動(dòng)部進(jìn)行直線傳播的情況。由此，來自貼裝部的應(yīng)力向槽的周圍及緩沖部傳播。而且，根據(jù)上述結(jié)構(gòu)， 由于貼裝部的寬度通過切口而變得窄于緩沖部的寬度，因而應(yīng)力在緩沖部的槽的周圍的位置處傳播的路徑變長，從而能夠使向邊緣部和振動(dòng)部傳遞的應(yīng)力緩和與該變長的部分相對應(yīng)的量。應(yīng)用例2在應(yīng)用例1中所述的壓電振動(dòng)片的特征在于，在所述緩沖部和所述邊緣部之間的連接部處具有切口。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，由于在壓電振動(dòng)片中，能夠通過切口而切斷傳播至槽的周圍以及緩沖部的應(yīng)力向振動(dòng)部進(jìn)行直線傳播的情況，因此能夠緩和應(yīng)力對振動(dòng)部的影響。應(yīng)用例3在應(yīng)用例1或2中所述的壓電振動(dòng)片的特征在于，所述邊緣部為，與所述振動(dòng)部的厚度相比較厚的厚壁部，在所述厚壁部上依次連接有緩沖部和貼裝部。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，由于在厚壁的邊緣部和振動(dòng)部之間的邊界處存在高低差，因此能夠在此高低差處可靠地緩和應(yīng)力。應(yīng)用例4在應(yīng)用例3中所述的壓電振動(dòng)片的特征在于，在相對于所述貼裝部和所述緩沖部以及所述厚壁部的排列方向正交的方向上，所述厚壁部的寬度被形成為，窄于所述緩沖部的寬度。根據(jù)上述構(gòu)成，能夠使壓電振動(dòng)片的自由端側(cè)輕量化從而提高安裝的穩(wěn)定性。應(yīng)用例5應(yīng)用例1至4中任一例所述的壓電振動(dòng)片的特征在于，由如下的AT切割水晶構(gòu)成，即，將由構(gòu)成水晶的結(jié)晶軸的、作為電軸的X軸、作為機(jī)械軸的Y軸、和作為光學(xué)軸的Z 軸形成的直角坐標(biāo)系中的X軸作為中心，而將所述Z軸向所述Y軸的-Y方向傾斜而成的軸設(shè)為Z'軸，并將所述Y軸向所述Z軸的+Z方向傾斜而成的軸設(shè)為Y'軸，所述AT切割水晶由與所述X軸和所述Z'軸平行的面構(gòu)成，且以與所述Y'軸平行的方向?yàn)楹穸确较颉８鶕?jù)上述構(gòu)成，從而獲得能夠有效地產(chǎn)生厚度切變振動(dòng)的壓電振動(dòng)片。應(yīng)用例6應(yīng)用例3至5中任一例所述的壓電振動(dòng)片的特征在于，所述厚壁部除了與所述緩沖部相連接的部分之外被形成為薄壁。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，能夠使壓電振動(dòng)片的自由端側(cè)輕量化從而提高安裝的穩(wěn)定性。應(yīng)用例7應(yīng)用例3至6中任一例所述的壓電振動(dòng)片的特征在于，在所述振動(dòng)部的兩面形成有使所述振動(dòng)部振動(dòng)的激勵(lì)電極，在所述貼裝部的安裝面上，形成有與各個(gè)激勵(lì)電極電連接的一對引出電極，所述薄壁部偏向所述安裝面的相反面?zhèn)惹遗c所述厚壁部相連接。根據(jù)上述構(gòu)成，在薄壁部和厚壁部之間的、安裝面?zhèn)鹊倪吔缣帲诤穸确较蛏闲纬捎懈叩筒?。由此，由于被涂布在引出電極上的導(dǎo)電性粘合劑和振動(dòng)部之間的距離增加了與所述的高低差相對應(yīng)的量，因而能夠進(jìn)一步緩和到達(dá)振動(dòng)部的應(yīng)力。應(yīng)用例8應(yīng)用例3至7中任一例所記載的壓電振動(dòng)片的特征在于，與所述薄壁部相比，所述振動(dòng)部被形成為厚壁。根據(jù)上述構(gòu)成，能夠?qū)⒑穸惹凶冋駝?dòng)封閉在振動(dòng)部內(nèi)，從而提高激勵(lì)效率。應(yīng)用例9一種壓電振子，其特征在于，通過使應(yīng)用例1至8中任一例所述的壓電振動(dòng)片的貼裝部的安裝面朝向基板側(cè)，并用導(dǎo)電性粘合劑將所述貼裝部和所述基板粘合在一起，從而安裝所述壓電振動(dòng)片而構(gòu)成。根據(jù)上述構(gòu)成，從而獲得使向振動(dòng)部的應(yīng)力得到緩和的壓電振子。應(yīng)用例10—種電子裝置，其特征在于，通過使應(yīng)用例1至8中任一例所述的壓電振動(dòng)片的貼裝部的安裝面朝向基板側(cè)，并用導(dǎo)電性粘合劑將所述貼裝部和所述基板粘合在一起，從而安裝所述壓電振動(dòng)片而構(gòu)成。
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根據(jù)上述構(gòu)成，從而獲得使向振動(dòng)部的應(yīng)力得到緩和的電子裝置。應(yīng)用例11在應(yīng)用例1或2中所述的壓電振動(dòng)片的特征在于，所述邊緣部為，與所述振動(dòng)部的厚度相比較薄的薄壁部、在所述薄壁部上依次連接有緩沖部和貼裝部。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，能夠通過槽而防止安裝時(shí)在貼裝部處產(chǎn)生的應(yīng)力向振動(dòng)部進(jìn)行直線傳播的情況。由此，來自貼裝部的應(yīng)力向槽的周圍和緩沖部傳播。而且，根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，由于貼裝部的寬度通過切口變得窄于緩沖部的寬度，因此應(yīng)力在緩沖部的槽的周圍的位置處傳播的路徑變長，從而能夠使向邊緣部和振動(dòng)部傳播的應(yīng)力緩和與該變長的部分相對應(yīng)的量。另一方面，本發(fā)明的壓電振動(dòng)片具有振動(dòng)部的厚度厚于邊緣部的厚度的臺(tái)型結(jié)構(gòu)。由此，雖然繞到緩沖部的槽的周圍的位置處的應(yīng)力可能經(jīng)由邊緣部而到達(dá)振動(dòng)部，但是由于在邊緣部的主面和振動(dòng)部的主面之間具有通過臺(tái)型結(jié)構(gòu)而產(chǎn)生的高低差，因此能夠在該高低差位置處緩和應(yīng)力。由此，應(yīng)力在傳播到振動(dòng)部之前被充分地緩和，從而能夠緩和應(yīng)力對振動(dòng)部的影響。


圖1 (a)至圖1 (c)為第一實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)片的模式圖，圖1 (a)為俯視圖，圖1(b)為仰視圖，圖1(c)為表示水晶基板的切割角的圖。圖2(a)至圖2(c)為第一實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)片的模式圖，圖2 (a)為主視圖，圖2(b)為后視圖，圖2(c)為沿圖1(a)中的A-A線的剖視圖，圖2(d)為沿圖1(a)中的 B-B線的剖視圖。圖3(a)至圖3(e)為表示壓電振動(dòng)片的制造工序(振動(dòng)部形成工序)的模式圖。圖4(a)至圖4(e)為壓電振動(dòng)片的制造工序(外形形成工序)的模式圖。圖5(a)至圖5(f)為壓電振動(dòng)片的制造工序(電極形成工序)的模式圖。圖6(a)至圖6(d)為第二實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)片的模式圖，圖6 (a)為俯視圖，圖6(b)為仰視圖，圖6(c)為沿圖6(a)中的A-A線的剖視圖，圖6(d)為沿圖6(a)中的 B-B線的剖視圖。圖7(a)至圖7(c)為第一實(shí)施方式的壓電振動(dòng)片的改變例，圖7 (a)為俯視圖，圖 7(b)為仰視圖，圖7(c)為側(cè)視圖。圖8(a)至圖8(c)為第二實(shí)施方式的壓電振動(dòng)片的第一改變例，圖8 (a)為俯視圖，圖8(b)為仰視圖，圖8(c)為側(cè)視圖。圖9(a)至圖9(d)為第二實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)片的第二改變例的模式圖， 0 9(a)為俯視圖，圖9(b)為仰視圖，圖9(c)為沿圖9(a)中的A-A線的剖視圖，圖9 (d)為沿圖9(a)中的B-B線的剖視圖。圖10(a)至圖10(d)為第三實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)片的模式圖，圖10 (a)為俯視圖，圖10(b)為仰視圖，圖10(c)為沿圖10(a)中的A-A線的剖視圖，圖10(d)為沿圖 10(a)中的B-B線的剖視圖。圖11為第三實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)片的側(cè)視圖。圖12(a)至圖12(d)為第四實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)片的模式圖，圖12 (a)為俯視圖，圖12(b)為仰視圖，圖12(c)為沿圖12(a)中的A-A線的剖視圖，圖12 (d)為沿圖12(a)中的B-B線的剖視圖。圖13為第四實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)片的側(cè)視圖。圖14為表示在向本實(shí)施方式的壓電振動(dòng)片的貼裝部施加了應(yīng)力的情況下的、應(yīng)力的強(qiáng)度分布的圖。圖15 (a)至圖15(b)圖示了搭載有本實(shí)施方式的壓電振動(dòng)片的壓電振子，圖15 (a) 為搭載有圖6(a)至圖6(d)所示的壓電振動(dòng)片60的情況下的壓電振子100的俯視圖，圖 15(b)為沿圖15(a)中的A-A線的剖視圖。圖16為搭載有圖6(a)至圖6(d)所示的壓電振動(dòng)片60的情況下的壓電模塊的分
解立體圖。圖17(a)至圖17(b)圖示了搭載有本實(shí)施方式的壓電振動(dòng)片的壓電模塊，圖17(a) 為沿圖16中的A-A線的剖視圖，圖17(b)為在圖16中搭載有圖9(a)至圖9(d)所示的壓電振動(dòng)片61的情況下的沿A-A線的剖視圖。圖18為表示本實(shí)施方式的壓電模塊的第一改變例的圖。圖19(a)至圖19(b)圖示了本實(shí)施方式的壓電模塊的第二改變例，圖19(a)為側(cè)視圖，圖19(b)為構(gòu)成壓電模塊的基板的俯視圖。圖20(a)至圖20(b)圖示了本實(shí)施方式的壓電模塊的第三改變例，圖20(a)為容器的截面為所謂的H型結(jié)構(gòu)的壓電模塊的模式圖，圖20(b)為單封型的壓電模塊的模式圖。圖21 (a)至圖21 (d)為專利文獻(xiàn)1所涉及的壓電振子的模式圖，圖21 (a)為構(gòu)成壓電振子的壓電振動(dòng)片的俯視圖，圖21(b)為構(gòu)成壓電振子的壓電振動(dòng)片的仰視圖，圖21 (c) 為構(gòu)成將壓電振動(dòng)片搭載在容器的內(nèi)部的壓電振子的俯視圖，圖21(d)為沿圖21 (c)中的 A-A'線的剖視圖。圖22(a)至圖22(b)圖示了在壓電振動(dòng)片的貼裝部和振動(dòng)部之間形成有槽的情況下的應(yīng)力分布，圖22(a)為將壓電振動(dòng)片的槽的寬度設(shè)為150 μ m的情況下的應(yīng)力分布，圖 22(b)為將壓電振動(dòng)片的槽的寬度設(shè)為250 μ m的情況下的應(yīng)力分布。圖23(a)至圖23(b)圖示了在壓電振動(dòng)片的寬度方向的兩側(cè)的、貼裝部和振動(dòng)部之間的位置處形成切口，從而形成了對貼裝部和振動(dòng)部之間進(jìn)行連接的連接部的情況下的應(yīng)力分布，圖23(a)為將連接部的寬度設(shè)為400 μ m的情況下的應(yīng)力分布，圖23(b)為將連接部的寬度設(shè)為300 μ m的情況下的應(yīng)力分布。圖至圖M(b)為表示在壓電振動(dòng)片的寬度方向的兩側(cè)的、貼裝部和振動(dòng)部之間的位置處形成切口，從而形成了對貼裝部和振動(dòng)部進(jìn)行連接的連接部的情況下的應(yīng)力分布，圖24(a)為將連接部的寬度設(shè)為200 μ m的情況下的應(yīng)力分布，圖M (b)為將連接部的寬度設(shè)為100 μ m的情況下的應(yīng)力分布。
具體實(shí)施例方式以下，利用圖示的實(shí)施方式，對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說明。但是，只要在該實(shí)施方式中所記載的結(jié)構(gòu)要素、種類、組合、形狀、其相對配置等沒有特定記載，則并不是將本發(fā)明的范圍限定于此，而只不過是單純的說明示例而已。而且，在以下的說明中所使用的附圖中， X軸、Y'軸、Z'軸相互正交。在圖1(a)至圖1(c)、圖2(a)至圖2(c)中圖示了第一實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)片。圖1(a)為俯視圖，圖1(b)為仰視圖，圖1(c)為表示水晶基板的切割角的圖，圖2(a) 為主視圖，圖2(b)為后視圖，圖2(c)為沿圖1(a)中的A-A線的剖視圖。本實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)片10采用如下的AT切割的水晶基板以作為壓電基板(壓電素板)，即，將由構(gòu)成水晶的結(jié)晶軸的、作為電軸的X軸、作為機(jī)械軸的Y軸、和作為光學(xué)軸的Z軸形成的直角坐標(biāo)系中的所述X軸作為中心，而將所述Z軸向所述Y軸的-Y方向傾斜而成的軸設(shè)為 Z'軸，并將所述Y軸向所述Z軸的+Z方向傾斜而成的軸設(shè)為Y'軸，所述AT切割的水晶基板由與所述X軸和所述Z'軸平行的面構(gòu)成，且以與所述Y'軸平行的方向?yàn)楹穸确较颉?并且，利用矩形形狀的AT切割的水晶基板，而形成如下的倒臺(tái)型的壓電振動(dòng)片10，即，通過在邊緣處存留邊緣部17(加固部)的濕刻蝕，而形成將外形形成為短邊方向成為所述X軸方向、長邊方向成為所述Z'軸方向，倒臺(tái)型的壓電振動(dòng)片10的外形，并形成與所述邊緣部 17(第一邊緣部17a)相比厚度較薄的薄壁的振動(dòng)部22。壓電振動(dòng)片10通過貼裝部12、具有槽16的緩沖部14、以及在中央部具有振動(dòng)部 22的邊緣部17成為一體，從而形成整體的外形，貼裝部12和邊緣部17分別被配置在壓電振動(dòng)片10的長邊方向(Z'軸方向)的端部，緩沖部14被配置在貼裝部12和邊緣部17之間。而且，壓電振動(dòng)片10具有以圖1(a)中的A-A線為中心線而線對稱的形狀。而且，壓電振動(dòng)片10將貼裝部12側(cè)作為固定端，并將振動(dòng)部22側(cè)作為自由端，從而以懸臂支承的狀態(tài)，通過導(dǎo)電性粘合劑32而被固定在作為安裝目的地的安裝基板34(圖2(a)至圖2(c)) 上。貼裝部12被配置在壓電振動(dòng)片10的Z'軸的負(fù)方向的端部上，并在X軸方向上的兩端處形成有切口 12a。切口 1 被配置成，將貼裝部12在X軸方向上的兩端以矩形的方式切除。通過該切口 12a，從而能夠縮小導(dǎo)電性粘合劑32的涂布位置的間隔，進(jìn)而能夠減小安裝時(shí)在貼裝部12處產(chǎn)生的應(yīng)力的產(chǎn)生區(qū)域變小。而且，在作為安裝面的貼裝部的一側(cè)主面(-Y'軸側(cè)的面)上，配置有與后文敘述的激勵(lì)電極24A、24B電連接的襯墊電極^A、 28B0而且，在襯墊電極^A、28B上涂布用于與安裝側(cè)的安裝基板34相粘合的導(dǎo)電性粘合劑32。因此，通過使用導(dǎo)電性粘合劑32而與安裝基板34相粘合，從而形成壓電振子。緩沖部14被形成在貼裝部12和邊緣部17之間，且具有使在貼裝部12處產(chǎn)生并向振動(dòng)部22側(cè)傳播的應(yīng)力(熱變形)緩和的作用。為了實(shí)現(xiàn)此作用，在緩沖部14上設(shè)有槽16，且在緩沖部14和邊緣部17之間形成有切口 18。而且，在緩沖部14上形成有后文敘述的引出電極26AJ6B。槽16形成為貫穿孔，該貫穿孔具有沿著壓電振動(dòng)片10的短邊方向(X軸方向)的長邊、和沿著壓電振動(dòng)片的長邊方向(Z'軸方向)的短邊，并以矩形形狀在壓電振動(dòng)片10 的厚度方向上貫穿。如后文所述，槽16切斷將壓電振動(dòng)片10向安裝基板34進(jìn)行安裝時(shí)，于貼裝部12處產(chǎn)生的應(yīng)力向Z軸方向(壓電振動(dòng)片10的長邊方向)的直線傳播，從而減少到達(dá)振動(dòng)部22的應(yīng)力。另一方面，安裝壓電振動(dòng)片10時(shí)的應(yīng)力(熱變形)的產(chǎn)生區(qū)域?yàn)椋?連接貼裝部12上的導(dǎo)電性粘合劑32的涂布位置彼此的線上。由此，通過將槽16的長邊方向上的寬度設(shè)為長于導(dǎo)電性粘合劑32的涂布位置彼此之間的間隔，并配置成與連接所述產(chǎn)生區(qū)域和振動(dòng)部22的直線相交叉，從而能夠切斷在上述的產(chǎn)生區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生的應(yīng)力向振動(dòng)部22側(cè)的直線傳播路徑。特別是，如圖1 (a)至圖1 (c)所示，通過將槽16的長邊方向上的寬度設(shè)為寬于貼裝部12的X軸方向上的寬度，并配置成從Z'軸方向觀察時(shí)，槽16的長邊的兩端部超出貼裝部12的X軸方向上的兩端部，從而能夠可靠地切斷在貼裝部12處產(chǎn)生的應(yīng)力向振動(dòng)部22側(cè)的傳播路徑。通過上述結(jié)構(gòu)，從而在上述的產(chǎn)生區(qū)域(貼裝部12) 內(nèi)產(chǎn)生的應(yīng)力向振動(dòng)部22直線傳播的路徑被槽16切斷，而繞到緩沖部14的槽16的周圍的位置。切口 18被配置在作為緩沖部14與邊緣部17之間的邊界(連接部)的位置處，并被配置成從壓電振動(dòng)片10的短邊方向(X軸方向)上的兩側(cè)切除緩沖部14和邊緣部17(第一邊緣部17a)。由此，緩沖部14及邊緣部17 (第一邊緣部17a)中的、被切口 18夾持的區(qū)域成為縮頸部20。切口 18是為了切斷傳播至緩沖部14的槽16的、長邊方向上的兩端邊緣的位置處的應(yīng)力向振動(dòng)部22的直線傳播路徑而配置的。由此，優(yōu)選為，通過切口 18而形成的縮頸部20在X軸方向上的寬度，與槽16的長邊方向(X軸方向)上的寬度在相同程度、 或在其以下。由此，傳遞至上述的位置的應(yīng)力向振動(dòng)部22的直線傳播通過被切口 18切斷， 而經(jīng)由縮頸部20向振動(dòng)部22側(cè)傳播。邊緣部17為構(gòu)成壓電振動(dòng)片10的+Z軸側(cè)并對振動(dòng)部22進(jìn)行支承的部件。邊緣部17具有第一邊緣部17a，其與緩沖部14相連接；第二邊緣部17b，其以圍繞振動(dòng)部22的周圍的方式而被配置，并與第一邊緣部17a相連接。這里，第一邊緣部17a具有與緩沖部14 相同的厚度，第二邊緣部17b具有與振動(dòng)部22相同的厚度。雖然在圖1(a)至圖1(c)中采用了第一邊緣部17a的+Z'軸側(cè)被切除，從而露出了第二邊緣部17b的+Z'軸側(cè)的端面的形狀，但是也可以采用在該部分處也配置第一邊緣部17a，從而將第二邊緣部17b的周圍完全用第一邊緣部17a圍繞起來的形狀。在本實(shí)施方式中，第一邊緣部17a采用與緩沖部14 具有相同的厚度而沒有高低差的結(jié)構(gòu)，第二邊緣部17b采用與振動(dòng)部22具有相同的厚度而沒有高低差的結(jié)構(gòu)。而且，第二邊緣部17b以及振動(dòng)部22與第一邊緣部17a相比為薄壁， 并以從壓電振動(dòng)片10的-Y'軸方向挖入的狀態(tài)，與第一邊緣部17a相連接。振動(dòng)部22以被第二邊緣部17b圍繞的方式而配置，且為在壓電振動(dòng)片10中發(fā)生厚度切變振動(dòng)的部分。在振動(dòng)部22的中央的兩主面(正反面)上以互相對置的方式形成有激勵(lì)電極24A、24B。從被形成在+Y'軸側(cè)的面上的激勵(lì)電極24A引出有引出電極沈八。 引出電極26A以橫跨振動(dòng)部22、第二邊緣部17b、第一邊緣部17a、緩沖部14的方式而配置， 并在切口 18處被引出至壓電振動(dòng)片10的-Y'軸側(cè)的面上，并經(jīng)由緩沖部14、貼裝部12而與襯墊電極28A相連接。而且，從被形成在-Y'軸側(cè)的面上的激勵(lì)電極MB引出有引出電極沈丄引出電極^B以橫跨振動(dòng)部22、第二邊緣部17b、第一邊緣部17a、緩沖部14、貼裝部12的方式而配置，并與襯墊電極28B相連接。因此，能夠通過對襯墊電極^A、28B施加交流電壓，從而振動(dòng)部22能夠以預(yù)定的頻率進(jìn)行厚度切變振動(dòng)。另外，在使用了導(dǎo)電性粘合劑32的壓電振動(dòng)片10的粘合工序中，為了使導(dǎo)電性粘合劑32固化，而需要將壓電振動(dòng)片10暴露在高溫下。由此，當(dāng)粘合后溫度下降時(shí)，在貼裝部12中的連接涂布有導(dǎo)電性粘合劑32的兩點(diǎn)之間的區(qū)域處，由于壓電振動(dòng)片10、安裝基板 34、導(dǎo)電性粘合劑32的熱膨脹系數(shù)的不同，從而將產(chǎn)生上述的應(yīng)力(熱變形)，并且該應(yīng)力向壓電振動(dòng)片10整體傳播。另一方面，當(dāng)向振動(dòng)部22施加應(yīng)力時(shí)，由于振動(dòng)部22的表觀上的剛性將發(fā)生變化，因此共振頻率將發(fā)生變動(dòng)。而且，由于貼裝部12的貼裝狀態(tài)依賴于安裝狀態(tài)而各自不同，因而向振動(dòng)部22傳播的應(yīng)力也會(huì)產(chǎn)生不均，從而共振頻率將產(chǎn)生不均。
但是，在貼裝部12中，通過切口 1 而使導(dǎo)電性粘合劑32的粘合位置相接近。由此，使應(yīng)力的產(chǎn)生范圍集中在涂布有導(dǎo)電性粘合劑32的區(qū)域內(nèi)，從而能夠縮小應(yīng)力的產(chǎn)生區(qū)域，以抑制向該產(chǎn)生區(qū)域以外的區(qū)域傳播的應(yīng)力的成分。而且，雖然在導(dǎo)電性粘合劑32 的粘合位置處產(chǎn)生的應(yīng)力向緩沖部14側(cè)(Z'軸方向)直線傳播，但是通過槽16而使該直線傳播路徑被切斷，從而應(yīng)力沿著槽16的周圍傳播。由此，由于應(yīng)力在槽16的周圍傳播， 因而應(yīng)力傳播路徑變長。而且，由于通過切口 1 而使貼裝部12上的導(dǎo)電性粘合劑32的粘合位置接近于槽16的長邊的中央側(cè)，因而應(yīng)力繞過槽16的周圍的路徑變得更長。因此， 應(yīng)力在傳播至振動(dòng)部22之前被充分地緩和，從而能夠緩和應(yīng)力對振動(dòng)部22的影響。而且， 由于槽16不僅使應(yīng)力的傳播路徑變長，還能夠使傳播路徑彎曲，因此該部分能夠促進(jìn)應(yīng)力的緩和。而且，傳播到緩沖部14的X軸方向上的兩端的應(yīng)力向振動(dòng)部22的直線傳播路徑被切口 18切斷，從而向成為緩沖部14的槽16周圍的第一邊緣部17a側(cè)的位置以及縮頸部 20傳播。由此，與上述相同，由于應(yīng)力的傳播路徑被延長、且被彎曲，因此能夠緩和向振動(dòng)部 22傳播的應(yīng)力。而且，第二邊緣部17b以及振動(dòng)部22與第一邊緣部17a相比被形成為薄壁。由此，由于振動(dòng)部22只承受傳遞至第一邊緣部17a的應(yīng)力的一部分，所以能夠減少向振動(dòng)部 22傳播的應(yīng)力。而且，本實(shí)施方式的壓電振動(dòng)片10具有振動(dòng)部22(第二邊緣部17b)的厚度薄于第一邊緣部17a的厚度的、所謂的倒臺(tái)型結(jié)構(gòu)。由此，雖然傳遞至緩沖部14 (縮頸部 20)的應(yīng)力能夠經(jīng)由第一邊緣部17a以及第二邊緣部17b而到達(dá)振動(dòng)部22，但在第一邊緣部17a的主面和第二邊緣部17b的主面(振動(dòng)部22的主面)之間具有由于倒臺(tái)型結(jié)構(gòu)而產(chǎn)生的高低差，從而如后文所述(參考圖14)，能夠在該高低差位置處使應(yīng)力得到緩和。而且，如圖1(a)至圖1(c)所示，第二邊緣部17b以及振動(dòng)部22以通過半蝕刻而從邊緣部17 中的涂布有導(dǎo)電性粘合劑32的面?zhèn)?-Y'軸側(cè)的面?zhèn)?挖入的狀態(tài)被配置。由此，以使第一邊緣部17a和第二邊緣部17b (振動(dòng)部2 之間的連接位置偏向壓電振動(dòng)片10中的、配置有襯墊電極28A、28B的面(-Y'軸側(cè)的面)的相反側(cè)的面(+Y'軸側(cè)的面)的狀態(tài)，在振動(dòng)部22的主面和第一邊緣部17a的主面之間形成高低差。由此，由于被涂布在襯墊電極 28A、28B上的導(dǎo)電性粘合劑32和振動(dòng)部22之間的距離增大了與所述的高低差相對應(yīng)的量， 因此能夠更多地緩和向振動(dòng)部22傳播的應(yīng)力。以此種方式，在壓電振動(dòng)片10中，由于通過切口 1 而使貼裝部12的寬度變窄， 從而使貼裝部12處的應(yīng)力的產(chǎn)生區(qū)域變小，因此能夠減少產(chǎn)生的應(yīng)力本身。而且，由于通過槽16而切斷在貼裝部12處產(chǎn)生的應(yīng)力向振動(dòng)部22的直線傳播路徑，以使該應(yīng)力繞到緩沖部14的槽16的周圍的位置，從而使應(yīng)力的傳播路徑變長，并使應(yīng)力的路徑彎曲，由此促進(jìn)了應(yīng)力的緩和。而且，由于通過切口 18而切斷到達(dá)緩沖部14的槽16的長邊方向上的兩端周圍的應(yīng)力向振動(dòng)部22的直線傳播路徑，而使繞到緩沖部14的槽16的周圍的振動(dòng)部22 側(cè)、以及縮頸部20，從而使應(yīng)力的傳播路徑變長，并使應(yīng)力的路徑彎曲，由此促進(jìn)了應(yīng)力的緩和。最后，到達(dá)縮頸部20 (第一邊緣部17a)的應(yīng)力通過存在于第一邊緣部17a的主面和第二邊緣部17b的主面之間的高低差而被緩和。因此，對于可能在安裝壓電振動(dòng)片10時(shí)于貼裝部12處產(chǎn)生的應(yīng)力，通過切口 1 而減少其產(chǎn)生量，并使其在迂回到槽16的周圍以及縮頸部20處的同時(shí)被緩和，且使其在第一邊緣部17a和第二邊緣部17b之間的邊界處被緩和。由此，緩和向振動(dòng)部22傳播的應(yīng)力而抑制頻率變動(dòng)，從而能夠抑制使用了該壓電振動(dòng)片的壓電振子的共振頻率或Q值等特性的不均衡，而提高成品率。
接下來，對第一實(shí)施方式的壓電振動(dòng)片的制造工序進(jìn)行說明。在圖3(a)至圖3(e)中圖示了壓電振動(dòng)片的制造工序(振動(dòng)部形成工序)，在圖 4(a)至圖4(e)中圖示了壓電振動(dòng)片的制造工序(外形形成工序)，在圖5 (a)至圖5(f)中圖示了壓電振動(dòng)片的制造工序(電極形成工序)。作為大致的順序，在作為壓電振動(dòng)片10 的材料的水晶基板36上，對與振動(dòng)部22 (第二邊緣部17b)相對應(yīng)的位置進(jìn)行半蝕刻，且依照壓電振動(dòng)片10的外形而進(jìn)行蝕刻，并進(jìn)行激勵(lì)電極24A、24B，引出電極沈々、^^襯墊電極沘々、沘8的形成。如圖3(a)至圖3(e)所示，最初，形成構(gòu)成壓電振動(dòng)片10的振動(dòng)部22 (第二邊緣部17b)的外形。首先如圖3(a)所示，準(zhǔn)備AT切割的水晶基板36以作為壓電基板，并在水晶基板36上涂布抗蝕劑膜38。而且，如圖3(b)所示，使用與振動(dòng)部22 (第二邊緣部17b) 的形狀相對應(yīng)的光掩膜40，并對抗蝕劑膜38進(jìn)行曝光，且如圖3 (c)所示，除去感光了的抗蝕劑膜38a。然后，如圖3(d)所示，水晶基板36露出的部分被半蝕刻至成為振動(dòng)部22 (第二邊緣部17b)的厚度為止，并如圖3(e)所示，除去抗蝕劑膜38。此時(shí)，在水晶基板36上形成了與振動(dòng)部22以及第二邊緣部17b相對應(yīng)的凹部22a。接下來，形成壓電振動(dòng)片10的外形。如圖4(a)所示，在形成有凹部22a的水晶基板36上涂布抗蝕劑膜42。而且，如圖4(b)所示，使用與壓電振動(dòng)片10、槽16、切口 18的形狀相對應(yīng)的光掩膜44，并對抗蝕劑膜42進(jìn)行曝光，并且如圖4 (c)所示，除去感光了的抗蝕劑膜42a。而且，如圖4(d)所示，蝕刻至水晶基板36露出的部分貫穿為止，并且如圖4(e) 所示，除去抗蝕劑膜42。由此，形成具有壓電振動(dòng)片10的外形的壓電素板10a。然后，在壓電素板IOa上形成電極。首先如圖5(a)所示，通過陰極真空噴鍍等，而在壓電素板IOa的整個(gè)面上蒸鍍由Cr或Au等構(gòu)成的金屬膜46。此時(shí)，在壓電素板IOa的端面上也蒸鍍有金屬膜46。而且，如圖5(b)所示，在蒸鍍了金屬膜46的壓電素板IOa的整個(gè)面上涂布抗蝕劑膜48。此時(shí)，壓電素板IOa的端面上也涂布有抗蝕劑膜48。接下來，如圖5(c)所示，使用與壓電振動(dòng)片10的兩面的、激勵(lì)電極24A、24B，引出電極(在圖 5(a)至圖5(f)中未圖示)，襯墊電極^AJSB (在圖5(a)至圖5(f)中未圖示)的形狀相對應(yīng)的光掩膜50，并對抗蝕劑膜進(jìn)行曝光。此時(shí)，對引出電極^A中的穿過壓電振動(dòng)片10 的端面部分進(jìn)行覆蓋的抗蝕劑膜48未感光。接下來，如圖5(d)所示，除去感光了的抗蝕劑膜48a，并且如圖5(e)所示，使與激勵(lì)電極24A、24B，引出電極^AJ6B，襯墊電極相對應(yīng)的部分以外的金屬膜46露出，并進(jìn)行蝕刻。此時(shí)，在端面上蒸鍍的金屬膜46通過未感光而存留的抗蝕劑膜42而被保護(hù)。由此，引出電極^A中的穿過端面的部分處的金屬膜 46存留，從而維持了襯墊電極^A與位于其相反面的激勵(lì)電極24A之間的、經(jīng)由引出電極 26A的電連接。而且如圖5(f)所示，通過除去抗蝕劑膜48從而形成壓電振動(dòng)片10。在圖6(a)至圖6(d)中圖示了第二實(shí)施方式的壓電振動(dòng)片，圖6 (a)為俯視圖，圖 6(b)為仰視圖，圖6(c)為沿圖6(a)中的A-A線的剖視圖，圖6(d)為沿圖6(a)中的B-B 線的剖視圖。并且，在后文敘述的實(shí)施方式中，關(guān)于與第一實(shí)施方式共通的結(jié)構(gòu)要素標(biāo)注相同的符號，并且除了必要的情況之外省略其說明。雖然第二實(shí)施方式的壓電振動(dòng)片60基本上和第一實(shí)施方式相似，但在如下方面不同，即，在相對于所述貼裝部12和緩沖部14以及邊緣部62的排列方向(Z'軸方向)而正交的方向上，邊緣部62的寬度被形成為窄于緩沖部14的寬度(特征1)。而且，邊緣部62具有第一邊緣部62a，其與緩沖部14相連接；第二邊緣部62b，其被配置在振動(dòng)部22的周圍并與第一邊緣部6 相連接。但是，在第二邊緣部62b的厚度薄于振動(dòng)部22的厚度這一點(diǎn)上不同(特征幻。在第二實(shí)施方式中，激勵(lì)電極 24A、24B被配置在振動(dòng)部22的整個(gè)面上。振動(dòng)部22在+Y'軸側(cè)的面上形成與第二邊緣部 62b相同的平面，而在-V軸測的面上具有從第二邊緣部62b突出的形狀。雖然第二實(shí)施方式的壓電振動(dòng)片60的制造工序在如下方面在與第一實(shí)施方式不同，即，在半蝕刻工序中，除了形成振動(dòng)部22的工序以外，還具有形成與振動(dòng)部22相比成為薄壁的第二邊緣部62b的工序，但除此以外均與第一實(shí)施方式共通。而且，雖然邊緣部62在X軸方向上的寬度可以與貼裝部12在X軸方向上的寬度相同，也可以長于或短于貼裝部12在X軸方向上的寬度，但是優(yōu)選為，壓電振動(dòng)片60具有以圖6(a)中的A-A線為中心線的線對稱的形狀。而且，通過切口 18而被形成的縮頸部20 的X軸方向上的寬度，與第一邊緣部62a的X軸方向上的寬度相一致。通過具備上述的特征1，從而能夠使壓電振動(dòng)片60的自由端側(cè)輕量化而提高安裝的穩(wěn)定性。而且，通過具備特征2，從而將作為厚度切變振動(dòng)的主振動(dòng)能量封閉在振動(dòng)部22 中，由此能夠提高厚度切變振動(dòng)的激勵(lì)效率。在圖7(a)至圖7(c)中圖示了第一實(shí)施方式的改變例，在圖8 (a)至圖8(c)中圖示了第二實(shí)施方式的第一改變例。在此，圖7 (a)為俯視圖，圖7(b)為仰視圖，圖7(c)為側(cè)視圖。而且，圖8(a)為俯視圖，圖8(b)為仰視圖，圖8(c)為側(cè)視圖。如圖7(a)至圖7(c) 所示，在第一實(shí)施方式的改變例中，第一邊緣部17a中與振動(dòng)部22的士X軸側(cè)相連接的部分(第一邊緣部17a')被配置成，厚度薄于第一邊緣部17a、且具有與第二邊緣部17b (振動(dòng)部22)的主面成為相同的平面的主面。而且，如圖8(a)至圖8(c)所示，在第二實(shí)施方式的第一改變例中，第一邊緣部62a中與振動(dòng)部22的士X軸側(cè)相連接的部分(第一邊緣部 62a')被配置成，厚度薄于第一邊緣部62a、且具有與第二邊緣部62b的主面成為相同的平面的主面。通過上述結(jié)構(gòu)，能夠使壓電振動(dòng)片的自由端側(cè)輕量化而提高安裝的穩(wěn)定性，并且第二邊緣部17b、62b與第一邊緣部17a'、62a'形成相同的平面。因此，在第一實(shí)施方式的改變例中，能夠容易地在相同的工序中形成振動(dòng)部22、第二邊緣部17b、第一邊緣部17a'， 在第二實(shí)施方式的第一改變例中，能夠容易地在相同的工序中形成第二邊緣部62b、第一邊緣部6 '。在圖9(a)至圖9(d)中圖示了第二實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)片的第二改變例， 0 9(a)為俯視圖，圖9(b)為仰視圖，圖9(c)為沿圖9(a)中的A-A線的剖視圖，圖9 (d)為沿圖9(a)中的B-B線的剖視圖。如圖9(a)至圖9(d)所示，在第二實(shí)施方式的第二改變例中，將振動(dòng)部22配置成從第二邊緣部62b的兩主面突出。此時(shí)，振動(dòng)部22是通過從水晶基板的兩主面起以存留振動(dòng)部22的形狀的方式進(jìn)行半蝕刻而形成的。以此種方式，通過將振動(dòng)部22配置成從第二邊緣部62b的兩主面突出，從而能夠獲得與第二實(shí)施方式相比，提高了對厚度切變振動(dòng)的封閉效果的壓電振動(dòng)片61。另外，雖然在第二實(shí)施方式中，激勵(lì)電極 24A、24B在振動(dòng)部22的整個(gè)面上被形成為矩形，但無需配置成覆蓋振動(dòng)部22的整個(gè)面，而且可以對應(yīng)于振動(dòng)部22中的厚度切變振動(dòng)的實(shí)際振動(dòng)區(qū)域而采用例如圓形形狀、橢圓形形狀。由此，能夠?qū)⒆鳛楹穸惹凶冋駝?dòng)的主振動(dòng)的能量封閉在振動(dòng)部22中。在圖10(a)至圖10(d)中圖示了第三實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)片的模式圖，圖 10(a)為俯視圖，圖10(b)為仰視圖，圖10(c)為沿圖10(a)中的A-A線的剖視圖，圖10 (d) 為沿圖10(a)中的B-B線的剖視圖。而且，在圖11中圖示了第三實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)片的側(cè)視圖。雖然第三實(shí)施方式的壓電振動(dòng)片70基本上與第一實(shí)施方式和第二實(shí)施方式類似，但被配置成以短邊方向?yàn)閆'軸方向，且以長邊方向?yàn)閄軸方向。并且，在振動(dòng)部22 被配置成，與第一邊緣部72相比成為厚壁的這一點(diǎn)上不同。而且，振動(dòng)部22被配置成，其兩主面從第一邊緣部72的兩主面突出。根據(jù)上述構(gòu)成，能夠?qū)⒑穸惹凶冋駝?dòng)的振動(dòng)區(qū)域封閉在振動(dòng)部22上而提高激勵(lì)效率，并且如后文敘述，能夠緩和從貼裝部12向振動(dòng)部22傳播的應(yīng)力。而且，在本實(shí)施方式中，在貼裝部12處產(chǎn)生的應(yīng)力的傳播過程以及應(yīng)力的緩和過程，從貼裝部12至縮頸部20處為止，與第一實(shí)施方式等相同。而且，在本實(shí)施方式中， 振動(dòng)部22具有與第一邊緣部72相比成為厚壁的臺(tái)型結(jié)構(gòu)。由此，在振動(dòng)部22與第一邊緣部72之間的邊界處形成有高低差，從而能夠在該高低差處緩和于貼裝部12處產(chǎn)生并到達(dá)第一邊緣部72和振動(dòng)部22之間的邊界處的應(yīng)力，由此緩和了向振動(dòng)部22傳播的應(yīng)力。另外，第三實(shí)施方式的壓電振動(dòng)片的制造工序只需準(zhǔn)備與振動(dòng)部22相同厚度的水晶基板，并且以存留成為振動(dòng)部22的部分的方式對水晶基板的兩面實(shí)施半蝕刻，直至達(dá)到貼裝部12、緩沖部14、邊緣部72的厚度為止，再以存留成為貼裝部12、緩沖部14 (槽16)、 第一邊緣部72的部分的方式，實(shí)施挖出壓電振動(dòng)片70的外形的蝕刻即可。之后的電極形成工序與第一實(shí)施方式相同。在圖12 (a)至圖12 (d)中，圖示了第四實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)片的模式圖，圖 12(a)為俯視圖，圖12(b)為仰視圖，圖12(c)為沿圖12(a)中的A-A線的剖視圖，圖12 (d) 為沿圖12(a)中的B-B線的剖視圖。而且，在圖13中圖示了第四實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)片的側(cè)視圖。雖然第四實(shí)施方式的壓電振動(dòng)片71與第三實(shí)施方式類似，但在具有被配置在振動(dòng)部22的周圍并與第一邊緣部72相連接的第二邊緣部74這一點(diǎn)上不同，并且在該第二邊緣部74的厚度厚于第一邊緣部72的厚度這一點(diǎn)上不同。這里，第二邊緣部74被配置成其兩主面從第一邊緣部72的兩主面突出，振動(dòng)部22被配置成其兩主面從第二邊緣部74 的兩主面突出。而且，激勵(lì)電極24A、24B被配置成，不僅覆蓋振動(dòng)部22的主面，還覆蓋第二邊緣部74的主面。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，由于壓電振動(dòng)片71成為以振動(dòng)部22為中心的兩層臺(tái)型結(jié)構(gòu)，因此能夠有效地將厚度切變振動(dòng)封閉在振動(dòng)部22內(nèi)，從而提高激勵(lì)效率。尤其是，在本實(shí)施方式中，由于將激勵(lì)電極24A、24B配置成不僅覆蓋振動(dòng)部22還覆蓋第二邊緣部74， 因而能夠提高振動(dòng)部22的激勵(lì)效率，從而提高CI值。而且，由于本實(shí)施方式為二層臺(tái)型結(jié)構(gòu)，因而與第三實(shí)施方式相比壓電振動(dòng)片71在厚度方向上的高低差的數(shù)量增多，所以與第三實(shí)施方式相比，能夠進(jìn)一步緩和從貼裝部12向振動(dòng)部22傳播的應(yīng)力。而且，第四實(shí)施方式的壓電振動(dòng)片71的制造工序只需準(zhǔn)備與振動(dòng)部22相同厚度的水晶基板，并且以存留成為振動(dòng)部22的部分的方式對水晶基板的兩面實(shí)施半蝕刻，直至達(dá)到第二邊緣部74的厚度為止，再以存留振動(dòng)部22以及第二邊緣部74的方式實(shí)施半蝕亥IJ，直至達(dá)到貼裝部12、緩沖部14、以及第一邊緣部72的厚度為止，并以存留成為貼裝部 12、緩沖部14 (槽16)、第一邊緣部72的部分的方式，實(shí)施挖出壓電振動(dòng)片71的外形的蝕刻即可。之后的電極形成工序與第一實(shí)施方式相同。
在圖14中圖示了向本實(shí)施方式的壓電振動(dòng)片的貼裝部施加了應(yīng)力(熱變形)的情況下的、應(yīng)力的強(qiáng)度分布。本申請的發(fā)明者對向本實(shí)施方式的壓電振動(dòng)片的貼裝部施加了應(yīng)力的情況下的、應(yīng)力的強(qiáng)度分布進(jìn)行了模擬。作為模擬對象的壓電振動(dòng)片與圖6(a)至圖6(d)中所示的第二實(shí)施方式的壓電振動(dòng)片相比，雖然在振動(dòng)部22與第二邊緣部62b之間沒有高低差這一點(diǎn)上不同，但具有大致相同的形態(tài)。因此，在此模擬中，對應(yīng)于圖6(a)至圖6(d)中的壓電振動(dòng)片60和其結(jié)構(gòu)要素進(jìn)行說明。如圖14所示，實(shí)施了如下的模擬，S卩，對在貼裝部12的安裝面上描繪出的兩個(gè)圓的中心兩點(diǎn)的位置處，施加了在兩點(diǎn)之間相互牽拉的力或相互壓縮的力時(shí)的、在壓電振動(dòng)片60的表面上傳播的應(yīng)力的分布的模擬。而且，在圖14的左側(cè)縱向排列成一列的圖案表示根據(jù)在貼裝部12處發(fā)生的應(yīng)力，壓電振動(dòng)片60所承受的應(yīng)力的強(qiáng)度(等級1 等級9)。 這里，等級9表示承受最大的應(yīng)力的區(qū)域，隨著從等級9的區(qū)域到等級1的區(qū)域，所承受的應(yīng)力減小，等級1表示所承受的應(yīng)力最小或者達(dá)到應(yīng)力的檢測界限以下的區(qū)域。而且，這些圖案在壓電振動(dòng)片60上對應(yīng)于壓電振動(dòng)片60的應(yīng)力的強(qiáng)度分布而被描繪出。如圖14所示，明確了在貼裝部12整體以及緩沖部14的貼裝部12側(cè)產(chǎn)生有較強(qiáng)的應(yīng)力(等級9)。而且，在貼裝部12側(cè)產(chǎn)生的應(yīng)力(等級9)，在槽16的第一邊緣部62a 側(cè)被緩和到等級4或等級5的程度。認(rèn)為其原因在于，在緩沖部14的槽16周圍的位置處傳播的應(yīng)力在其傳播中途以較大的比例被緩和。而且，認(rèn)為傳播至緩沖部14的槽16的、長邊方向上的兩端的位置處的應(yīng)力向振動(dòng)部22的直線傳播路徑通過切口 18而被切斷，從而該應(yīng)力的傳播路徑被彎曲成朝向縮頸部20的中央，由此應(yīng)力在該傳播路徑的傳播中途也以較大的比例被緩和。并且，雖然在第一邊緣部6 和第二邊緣部62b的-Z ‘軸側(cè)之間的邊界處，于第一邊緣部6 側(cè)處應(yīng)力主要為等級5，但在第二邊緣部62b側(cè)主要為等級2，從而應(yīng)力的強(qiáng)度在該邊界處具有不連續(xù)的變化。其原因在于，由于第二邊緣部62b與第一邊緣部6 相比被形成為薄壁，因此對于在第一邊緣部6 的內(nèi)部傳播的應(yīng)力，第二邊緣部62b只承受其中一部分。而且，其原因在于，由于在第二邊緣部62b與第一邊緣部6 之間存在高低差，因此在該高低差處應(yīng)力的傳播路徑被彎折向壓電振動(dòng)片60的厚度方向，通過這路徑的彎折，從而在壓電振動(dòng)片60的表面上傳播的應(yīng)力被緩和。而且，第二邊緣部62b (振動(dòng)部22)以從貼裝部12中的涂布有導(dǎo)電性粘合劑32的面挖入的狀態(tài)而形成。而且，其原因在于，由于應(yīng)力在壓電振動(dòng)片60的厚度方向上也被緩和，因而第二邊緣部62b只承受在第一邊緣部62a 的厚度方向上被緩和的應(yīng)力的一部分。并且，可以說應(yīng)力基本上未從縮頸部20傳播至第一邊緣部6 中、與第二邊緣部62b從士X軸側(cè)相連接的部分處，從而從這部分向第二邊緣部 62b的應(yīng)力的傳播基本上不存在。而且，在第二邊緣部62b中，隨著向+Z'軸方向遠(yuǎn)離與第一邊緣部6 之間的邊界，應(yīng)力的等級降低，且在配置有振動(dòng)部22的第二邊緣部62b的中央部處主要為等級1。在本實(shí)施方式的壓電振動(dòng)片60中，由于振動(dòng)部22(激勵(lì)電極24A、24B)被配置在成為第二邊緣部62b的中央的位置處，因此認(rèn)為振動(dòng)部22基本不會(huì)受到應(yīng)力的影響，從而可獲得良好的頻率特性。而且，在第二實(shí)施方式中，由于在第二邊緣部62b與振動(dòng)部22之間于厚度方向上存在高低差，因而通過該高低差進(jìn)一步緩和了向振動(dòng)部22傳播的應(yīng)力。上述的模擬是針對與邊緣部62 (第一邊緣部62a)相比振動(dòng)部22為薄壁的情況而實(shí)施的。但是，即使如圖10(a)至圖10(d)中所示的第三實(shí)施方式那樣，與第一邊緣部72 相比振動(dòng)部22為厚壁，也由于在振動(dòng)部22與第一邊緣部72之間的邊界處存在高低差，因而通過此高低差而緩和了向振動(dòng)部22傳播的應(yīng)力。而且，如在圖11中所示的第四實(shí)施方式那樣，通過采用兩層臺(tái)型結(jié)構(gòu)，從而由于高低差進(jìn)一步增多，因此能夠進(jìn)一步緩和向振動(dòng)部22傳播的應(yīng)力。第一實(shí)施方式及第二實(shí)施方式的壓電振動(dòng)片采用短邊方向成為X軸方向，而長邊方向成為Z'軸方向的倒臺(tái)型的壓電振動(dòng)片。而且，第三實(shí)施方式及第四實(shí)施方式的壓電振動(dòng)片采用短邊方向成為Z'軸方向，而長邊方向成為X軸方向的臺(tái)型的壓電振動(dòng)片。但是， 本發(fā)明并不限定于此，在倒臺(tái)型的壓電振動(dòng)片中，也可以構(gòu)成為短邊方向成為Z'軸方向， 而長邊方向成為X軸方向，并且在臺(tái)型的壓電振動(dòng)片中，還可以構(gòu)成為短邊方向成為X軸方向，而長邊方向?yàn)閆'軸方向。在圖15(a)至圖15(b)中圖示了搭載有本實(shí)施方式的壓電振動(dòng)片的壓電振子。圖 15(a)圖示了搭載有圖6 (a)至圖6(d)所示的壓電振動(dòng)片60的情況下的壓電振子100的俯視圖，圖15(b)為沿圖15(a)中的A-A線的剖視圖。壓電振子100由具有用于收納壓電振動(dòng)片60的凹部104的封裝件102、和對凹部104進(jìn)行密封的蓋體112形成。而且，在封裝件102的底部(安裝基板102a)的下表面上形成有外部電極106，并且在安裝基板10 的上表面上配置有通過貫通電極108而與外部電極106電連接的連接電極110。而且，該連接電極110與貼裝部12上的襯墊電極^A、28B通過導(dǎo)電性粘合劑32而被接合。由此，壓電振動(dòng)片60將貼裝部12作為固定端而以懸臂支承狀態(tài)被連接在封裝件102上。通過上述結(jié)構(gòu)，從而獲得使壓電振動(dòng)片60的向振動(dòng)部22的應(yīng)力緩和的壓電振子100。而且，根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，通過用導(dǎo)電性粘合劑32將襯墊電極^AJSB (引出電極與連接電極110粘合在一起，并對襯墊電極^A、28B和連接電極110進(jìn)行機(jī)械連接以及電連接，從而能夠獲得所謂的倒焊型的安裝方式。因此，能夠?qū)崿F(xiàn)具有由壓電振動(dòng)片60和安裝基板10 構(gòu)成的模塊結(jié)構(gòu)的壓電振子100的扁平化。在圖16、圖17(a)至圖17(b)中圖示了搭載有本實(shí)施方式的壓電振動(dòng)片的壓電模塊。圖16圖示了搭載有圖6(a)至圖6(d)所示的壓電振動(dòng)片60的情況下的壓電模塊的分解立體圖，而且圖17(a)為沿圖16中的A-A線的剖視圖，圖17(b)為在圖16中搭載有圖 9(a)至圖9(d)所示的壓電振動(dòng)片61的情況下的沿A-A線的剖視圖。本實(shí)施方式的壓電模塊200由封裝件202 (安裝基板)、壓電振動(dòng)片60、61、對壓電振動(dòng)片60、61 (參照圖9 (a)至圖9(d))進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的集成電路(IC210)、蓋體構(gòu)成。如圖17(a)至圖17(b)中的虛線所示， 封裝件202由三層結(jié)構(gòu)形成。在封裝件202的下表面上形成有外部電極214。而且，在封裝件202的凹部204的下層部206上配置有多個(gè)連接電極216。而且，在封裝件202的凹部 204的上層部208上形成有連接電極218，所述連接電極218與IC210的襯墊電極220電連接且經(jīng)由導(dǎo)電性粘合劑32而與壓電振動(dòng)片60、61的襯墊電極參照圖6(a)至圖 6(d)、圖7(a)至圖7 (C)、圖17(a)至圖17(b))相連接。連接電極216對應(yīng)于IC210的襯墊電極220而配置有多個(gè)，雖然其通過導(dǎo)電性粘合劑而與襯墊電極220電連接，但其一部分與連接電極218或外部電極214電連接。在本實(shí)施方式的壓電模塊200中，具有壓電振動(dòng)片60、61與IC210均在凹部204中被蓋體212密封的結(jié)構(gòu)。通過上述結(jié)構(gòu)，從而獲得使向壓電振動(dòng)片中的振動(dòng)部的應(yīng)力緩和的壓電模塊200。
在圖18中圖示了本實(shí)施方式的壓電模塊的第一改變例。在圖18中，形成具有如下結(jié)構(gòu)的壓電模塊300，即，在封裝件302(安裝基板)的兩面上形成有凹部304、306，在一側(cè)凹部304中搭載有壓電振動(dòng)片60并用蓋體308密封，而在另一側(cè)凹部306中安裝有集成電路(IC316)的結(jié)構(gòu)。并且，在封裝件302的下端形成有外部電極310，而且在凹部306中配置有連接電極312，所述連接電極312與外部電極310或被配置在凹部304中的連接電極 320電連接，且經(jīng)由導(dǎo)線314而與IC316的襯墊電極318電連接。被配置在一側(cè)凹部304中的連接電極320經(jīng)由導(dǎo)電性粘合劑32而與壓電振動(dòng)片60的襯墊電極^A、28B相連接。由此，壓電振動(dòng)片60將貼裝部12作為固定端而以懸臂支承狀態(tài)與封裝件相連接。以此種方式，通過將壓電振動(dòng)片60與IC316隔離，從而能夠降低壓電振動(dòng)片60受到的來自IC316的熱量的影響。在圖19(a)至圖19(b)中圖示了本實(shí)施方式的壓電模塊的第二改變例。圖19(a) 為側(cè)視圖，圖19(b)為構(gòu)成壓電模塊的基板的俯視圖。在第二改變例中，利用例如在圖11中所示的壓電振子100而形成壓電模塊400。即，在第二實(shí)施方式中，在搭載有用于對壓電振子100進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的集成電路(IC404)的基板402上，配置有與IC404(襯墊電極406)電連接的電極球412，并通過該電極球412對壓電振子100進(jìn)行支承，且將電極球412和壓電振子100的外部電極106電連接，并由樹脂等制模劑416而一體形成基板402、IC404、電極球 412、壓電振子100。這里，在基板402的下表面上形成有外部電極410，而在基板402的上表面上形成有經(jīng)由貫通電極418而與外部電極410電連接的連接電極408。而且，在IC404 上形成的襯墊電極406中，一部分經(jīng)由導(dǎo)線414而與電極球412相連接，剩下的部分經(jīng)由導(dǎo)線414而與連接電極408相連接。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，由于能夠?qū)?yīng)于已有的壓電振子100的規(guī)格來進(jìn)行對基板402、 IC404、電極球412等的配置而形成壓電模塊400，因此能夠抑制成本。而且，在任意的實(shí)施方式中，IC與各電極之間的連接均可以是倒焊。而且，在任意的壓電振子、壓電模塊的實(shí)施方式中，均能夠?qū)⒃摳淖兝龖?yīng)用于在上述的任意實(shí)施方式的壓電振動(dòng)片中。在圖20(a)至圖20(b)中圖示了本實(shí)施方式的壓電模塊的第三改變例，圖20 (a) 為容器的斷面是所謂的H型結(jié)構(gòu)的壓電模塊的模式圖，圖20(b)圖示了單封型的壓電模塊的模式圖。在第三改變例中，使用第三實(shí)施方式的壓電振動(dòng)片70(也可以是其他的實(shí)施方式)，且在壓電模塊500中搭載有用于發(fā)揮作為溫度傳感器的功能的、對溫度進(jìn)行檢測的感溫元件(熱敏電阻512)。在圖20(a)中，通過將壓電振動(dòng)片70的貼裝部12的安裝面朝向安裝基板502側(cè)，并用導(dǎo)電性粘合劑32而將貼裝部12與被配置在安裝基板502上的連接電極504粘合在一起，從而形成安裝了壓電振動(dòng)片70的壓電模塊500。而且，在安裝基板502 上配置有覆蓋壓電振動(dòng)片70的遮蓋體(側(cè)壁部506、蓋體508)。而且，在安裝基板502中的與壓電振動(dòng)片70對置的面的相反面上配置有凹部510。而且，采用在凹部510中配置有能夠?qū)Π惭b基板502的溫度進(jìn)行測定的熱敏電阻512。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，關(guān)于壓電振動(dòng)片70 的周圍的溫度，即通過安裝基板502以及遮蓋體(側(cè)壁部506、蓋體508)而被封閉，從而將壓電振動(dòng)片70密封在其中的內(nèi)部空間的溫度，能夠通過測定安裝基板502的凹部510的底部的溫度，從而對所述內(nèi)部空間的溫度進(jìn)行測定，因此獲得能夠高精度地實(shí)施對從壓電振動(dòng)片70振蕩的振蕩信號的溫度補(bǔ)償?shù)膲弘娔K500。而且，根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，能夠在將壓電振動(dòng)片70安裝在安裝基板502之后，且安裝感溫元件(熱敏電阻512)之前，實(shí)施對壓電振動(dòng)片70的電特性或動(dòng)作狀態(tài)的檢查。由此，能夠依據(jù)壓電振動(dòng)片70的檢查結(jié)果，而在壓電振動(dòng)片70中篩選出合格品與不合格品。因此， 由于能夠只在安裝有去除了不合格品的、合格的壓電振動(dòng)片的安裝基板502上安裝所述感溫元件，因此不會(huì)浪費(fèi)熱敏元件，從而能夠抑制成本而實(shí)現(xiàn)低成本化。雖然在圖20(b)中所示的壓電模塊501為與圖20(a)類似的壓電模塊501，但在安裝基板502中的與壓電振動(dòng)片70對置的面上配置有凹部514。而且，在凹部514中配置有感溫元件(熱敏電阻51 ，所述感溫元件(熱敏電阻51 能夠?qū)νㄟ^安裝基板502及遮蓋體(側(cè)壁部506、蓋體508)而被封閉，從而將壓電振動(dòng)片70封閉在其中的內(nèi)部空間的溫度進(jìn)行檢測。而且，雖然在圖20(a)、(b)中采用搭載了熱敏電阻512的結(jié)構(gòu)，但也可以采用上述的集成電路(IC404)，且優(yōu)選在該集成電路中內(nèi)裝有熱敏電阻等的感溫元件。符號說明10 壓電振動(dòng)片；IOa 壓電素板；12 貼裝部；12a 切口 ；14 緩沖部；16 槽；17 邊緣部；17a 第一邊緣部；17b 第二邊緣部；18 切口 ；20 縮頸部；22 振動(dòng)部；2 凹部； 24A、24B 激勵(lì)電極；26A.26B 引出電極；28A.28B 襯墊電極；32 導(dǎo)電性粘合劑；34 安裝基板；36 水晶基板；38 抗蝕劑膜；38a 抗蝕劑膜；40 光掩膜；42 抗蝕劑膜；4 抗蝕劑膜；44 光掩膜；46 金屬膜；48 抗蝕劑膜；48a 抗蝕劑膜；50 光掩膜；60 壓電振動(dòng)片； 61 壓電振動(dòng)片；62 邊緣部；6 第一邊緣部；62b 第二邊緣部；70 壓電振動(dòng)片；71 壓電振動(dòng)片；72 第一邊緣部；74 第二邊緣部；100 壓電振子；102 封裝件；102a 安裝基板；104 凹部；106 外部電極；108 貫通電極；110 連接電極；112 蓋體；200 壓電模塊； 202 封裝件；204 凹部；206 下層部；208 上層部；210 =IC ；212 蓋體；214 外部電極； 216 連接電極；218 連接電極；220 襯墊電極；300 壓電模塊；302 封裝件；304 凹部； 306 凹部；308 蓋體；310 外部電極；312 連接電極；314 導(dǎo)線；316 =IC ；318 襯墊電極； 320 連接電極；400 壓電模塊；402 基板；404 =IC ；406 襯墊電極；408 連接電極；410 夕卜部電極；412 電極球；414 導(dǎo)線；416 制模劑；418 貫通電極；500 壓電模塊；501 壓電模塊；502 安裝基板；504 連接電極；506 側(cè)壁部；508 蓋體；510 凹部；512 熱敏電阻； 514 凹部；600 壓電振子；602 支承部；604 振動(dòng)部；606A 激勵(lì)電極；606B 激勵(lì)電極； 608A 輸入輸出端子部；608B 輸入輸出端子部；610 槽；612 容器；614 底部；616 粘合劑；700 壓電振動(dòng)片；702 貼裝部；704 槽；706 振動(dòng)部；708 切口 ；710 連接部。
權(quán)利要求
1.一種壓電振動(dòng)片，其特征在于， 具有振動(dòng)部，在所述振動(dòng)部的邊緣部上，依次連接有緩沖部和貼裝部， 所述緩沖部在所述貼裝部和所述邊緣部之間具有槽，所述貼裝部在相對于所述貼裝部和所述緩沖部以及所述邊緣部的排列方向正交的方向上的兩端部處，具有切口。
2.如權(quán)利要求1所述的壓電振動(dòng)片，其特征在于，在所述緩沖部和所述邊緣部之間的連接部處具有切口。
3.如權(quán)利要求1或2所述的壓電振動(dòng)片，其特征在于， 所述邊緣部為，與所述振動(dòng)部的厚度相比較厚的厚壁部， 在所述厚壁部上依次連接有緩沖部和貼裝部。
4.如權(quán)利要求3所述的壓電振動(dòng)片，其特征在于，在相對于所述貼裝部和所述緩沖部以及所述厚壁部的排列方向正交的方向上，所述厚壁部的寬度被形成為，窄于所述緩沖部的寬度。
5.如權(quán)利要求1或2所述的壓電振動(dòng)片，其特征在于，由如下的AT切割水晶構(gòu)成，即，將由構(gòu)成水晶的結(jié)晶軸的、作為電軸的X軸、作為機(jī)械軸的Y軸、和作為光學(xué)軸的Z軸形成的直角坐標(biāo)系中的所述X軸作為中心，而將所述Z軸向所述Y軸的-Y方向傾斜而成的軸設(shè)為Z'軸，并將所述Y軸向所述Z軸的+Z方向傾斜而成的軸設(shè)為Y'軸，所述AT切割水晶由與所述X軸和所述Z'軸平行的面構(gòu)成，且以與所述 Y'軸平行的方向?yàn)楹穸确较颉?br> 6.如權(quán)利要求3所述的壓電振動(dòng)片，其特征在于，所述厚壁部中，除了與所述緩沖部連接的部分之外被設(shè)置成厚度較薄的薄壁部。
7.如權(quán)利要求3所述的壓電振動(dòng)片，其特征在于，在所述振動(dòng)部的兩面形成有使所述振動(dòng)部振動(dòng)的激勵(lì)電極，在所述貼裝部的安裝面上，形成有與各個(gè)激勵(lì)電極電連接的一對引出電極，所述振動(dòng)部偏向所述安裝面的相反面?zhèn)惹遗c所述厚壁部相連接。
8.如權(quán)利要求6所述的壓電振動(dòng)片，其特征在于， 與所述薄壁部相比，所述振動(dòng)部被形成為厚壁。
9.一種壓電振子，其特征在于，通過使權(quán)利要求1或2所述的壓電振動(dòng)片的貼裝部的安裝面朝向基板側(cè)，并用導(dǎo)電性粘合劑將所述貼裝部和所述基板粘合在一起，從而安裝所述壓電振動(dòng)片而構(gòu)成。
10.一種電子裝置，其特征在于，通過使權(quán)利要求1或2所述的壓電振動(dòng)片的貼裝部的安裝面朝向基板側(cè)，并用導(dǎo)電性粘合劑將所述貼裝部和所述基板粘合在一起，從而安裝所述壓電振動(dòng)片而構(gòu)成。
11.如權(quán)利要求1或2所述的壓電振動(dòng)片，其特征在于， 所述邊緣部為，與所述振動(dòng)部的厚度相比較薄的薄壁部， 在所述薄壁部上依次連接有緩沖部和貼裝部。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種壓電振動(dòng)片、壓電模塊以及電子裝置，所述壓電振動(dòng)片使安裝時(shí)向振動(dòng)部傳播的應(yīng)力得到緩和。壓電振動(dòng)片(10)的特征在于，在壓電基板上設(shè)置有振動(dòng)部(22)，其激勵(lì)厚度切變振動(dòng)；邊緣部(17)，其位于所述振動(dòng)部(22)的邊緣，且其厚度薄于所述振動(dòng)部(22)的厚度，在所述邊緣部(17)上依次連接有緩沖部(14)和貼裝部(12)，所述緩沖部(14)在所述貼裝部(12)和所述邊緣部(17)之間具有槽(16)，所述貼裝部(12)在相對于所述貼裝部(12)和所述緩沖部(14)以及所述邊緣部(17)的排列方向正交的方向上的兩端部處，具有切口(12a)。
文檔編號H03H3/02GK102571024SQ20111039960
公開日2012年7月11日 申請日期2011年11月30日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月30日
發(fā)明者草野淳 申請人:精工愛普生株式會(huì)社