專利名稱：表面聲波器件、表面聲波振蕩器以及電子設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及表面聲波器件、搭載有該表面聲波器件的表面聲波振蕩器以及電子設(shè)備，尤其涉及頻率溫度特性良好的表面聲波器件、搭載有該表面聲波器件的表面聲波振蕩器以及電子設(shè)備。
背景技術(shù)：
在表面聲波(SAW:surface acoustic wave)器件(例如SAW諧振器)中，SAW的阻帶(stopband)、石英基板的切角以及IDT (interdigital transducer 叉指換能器)的形成方式等對(duì)頻率溫度特性的變化影響很大。例如，在專利文獻(xiàn)1中，公開了 SAW的阻帶的上端模式和下端模式各自的進(jìn)行激勵(lì)的結(jié)構(gòu)以及阻帶的上端模式和下端模式各自的駐波分布等。另外，在專利文獻(xiàn)2 5中記載了如下情況SAW的阻帶上端模式的頻率溫度特性優(yōu)于阻帶下端模式。并且，在專利文獻(xiàn)2、3中記載了如下情況在利用了瑞利波的SAW裝置中，為了獲得良好的頻率溫度特性，對(duì)石英基板的切角進(jìn)行調(diào)整，并且將電極的基準(zhǔn)化膜厚 (H/λ)增厚到0.1左右。并且，在專利文獻(xiàn)4中記載了如下情況在利用了瑞利波的SAW裝置中，對(duì)石英基板的切角進(jìn)行調(diào)整，并且使電極的基準(zhǔn)化膜厚(H/λ)加厚0. 045以上。此外，在專利文獻(xiàn)5中記載了如下情況通過(guò)采用旋轉(zhuǎn)Y切X傳播的石英基板并利用阻帶上端的諧振，由此，與利用阻帶下端的諧振的情況相比，頻率溫度特性提高。此外，在專利文獻(xiàn)6以及非專利文獻(xiàn)1中記載了如下情況在使用ST切石英基板的SAW器件中，在構(gòu)成IDT的電極指之間以及構(gòu)成反射器的導(dǎo)體帶(strip)之間設(shè)有槽 (Groove)。另外在非專利文獻(xiàn)1中，記載了頻率溫度特性隨槽的深度而變化的情況。另外，在專利文獻(xiàn)7中，記載了在采用LST切石英基板的SAW器件中用于使表示頻率溫度特性的曲線成為三次曲線的結(jié)構(gòu)，并且還記載了如下情況在使用瑞利波的SAW器件中，未發(fā)現(xiàn)具有由三次曲線表示的溫度特性的切角的基板。專利文獻(xiàn)1日本特開平11-214958號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2日本特開2006-148622號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3日本特開2007-208871號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)4日本特開2007-267033號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)5日本特開2002-100959號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)6日本特開昭57-5418號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)7日本特許第3851336號(hào)公報(bào)非專利文獻(xiàn)1—7形SAW共振器^製造條件i特性(電子通信學(xué)會(huì)技術(shù)研究報(bào)告麗82_59(1982))如上所述，用于改善頻率溫度特性的要素有很多，尤其在利用了瑞利波的SAW器件中，認(rèn)為增加構(gòu)成IDT的電極的膜厚是改善頻率溫度特性的要因之一。但是，本申請(qǐng)的發(fā)明人在實(shí)驗(yàn)中發(fā)現(xiàn)，當(dāng)增加了電極的膜厚時(shí)，老化特性及耐溫度沖擊特性等耐環(huán)境特性發(fā)生劣化。另外，在以改善頻率溫度特性為主要目的的情況下，如前所述必需增加電極膜厚， 與此相伴，無(wú)法避免老化特性及耐溫度沖擊特性等的劣化。這對(duì)于Q值也是適用的，因此很難在不增加電極膜厚的情況下實(shí)現(xiàn)高Q化。

發(fā)明內(nèi)容
因此，在本申請(qǐng)發(fā)明中，提供表面聲波器件、表面聲波振蕩器以及電子設(shè)備時(shí)的課題在于實(shí)現(xiàn)良好的頻率溫度特性。本發(fā)明正是為了解決上述課題中的至少一部分而完成的，可作為以下方式或應(yīng)用例來(lái)實(shí)現(xiàn)。[應(yīng)用例1]一種表面聲波器件，其特征在于，具有IDT，該IDT被設(shè)置在以下三種石英基板中的任意一者的主面上，激勵(lì)出阻帶上端模式的表面聲波，所述三種石英基板是第1石英基板，其歐拉角為(一60。含q^60。，
權(quán)利要求
1.一種表面聲波器件，其特征在于，具有叉指換能器，該叉指換能器被設(shè)置在以下三種石英基板中的任意一者的主面上，激勵(lì)出阻帶上端模式的表面聲波，所述三種石英基板是第1石英基板，其歐拉角為(一60。含q^60。，1.7845x10—9X I φ I 6 +2.2009x10—17χ I φ I 5 — 1.1608χ10—5χ I φ I 4一4.6486x10—13χ I φ I 3 + 1.8409x10—2χ Iφ I 2 — 3.1338x10—9χ I φ I +1.1803><102含θ含 1.7845><10一9>< I φ I 6 + 2.2009><10一17>< I φ I 5 — 1.1608x10 —5χ I φ I 4 — 4.6486χ 10 — 13χ I φ I 3 + 1.8409χ 10 — 2χ I φ I 2 — 3.1338x10 —9χ I φ I +1.4303><102，2.5961x10 —9χ I φ I 6+1.2224x10 —17χ I φ I 5 — 1.6416x10—5χ I φ I 4 —3.2260x10—13χ I φ I 3 + 2.5407><10—2χ I φ I 2-1.2131x10—9χ I φ I +4.2235x10芻ψ芻2.5961x10—9χ I φ I 6+1.2224><10一17>< I φ I 5 —1.6416x10—5χ I φ I 4 — 3.2260χ10 —13χ I φ I 3 + 2.5407x10 — 2 χ I φ I 2 — 1.2131x10 — 9 χ I φ I + 4.9905x10)；第 2 石英基板，其歐拉角為(一60。含q^60。，6.7778><10一7>< I φ I 6 — 1.2200x10—4χ I φ I 5 + 8.1111x10—3χ I φ I 4一2.4133x10—1X I φ I 3 + 3.0521χ I φ I 2 — 1.2247χ10χ I φ I + 1.1700 含 θ含 6.7778x10 — 7x I φ I 6 — 1.2200x10 — 4x I φ I 5 + 8.1111x10 —3x I φ I 4 — 2.4133xl0 —1X I φ I 3 + 3.0521x I φ I 2—1.2247><10x I φ I + 1.4200， 2.7816x10 —9x I φ I 6 + 2.7322x10 —17x I φ I 5 — 1.7524x10 —5x I φ I 4 — 1.1334x10 一 13χ I φ I 3 + 2.7035x10 一 2x I φ I 2 — 9.9045x10 一 10x I φ I + 1.3504χ102^ψ^2.7816χ10_9χ I φ I 6+2.7322><10一17>< I φ I 5 — 1.7524><10一5>< I φ I 4— 1.1334x10—13χ I φ I 3+2.7035><10—2x I φ I 2—9.9045><10—10x I φ I +1.427xl02)；以及 第 3 石英基板，其歐拉角(一60。含(()含60。，一2.5000x10—8x I φ I 6+4.5000><10一6>< I φ I 5 — 3.1667x10 —4χ I φ I 4 + 1.1000><10一2>< I φ I 3 — 1.8308χ 10一 1X I φ I 2 + 9.0500x10—1X I φ I +3.2000x10含θ含一2.5000><10一8>< I φ I 6+4.5000><10一6>< I φ I 5 — 3.1667x10—4χ I φ I 4+1.1000x10—2χ I φ I 3 —1.8308x10—1X I φ I 2 + 9.0500χ10_1χ I φ I +5.7000x10，一4.3602x10—9χ I φ I 6 — 1.2360><10—17χ I φ I 5+2.7151><10—5χ I φ I 4 + 3.2536x10 一 14χ I φ I 3 - 4.1462x10 ^ 2χ I φ I 2 — 9.4085x10 一 10χ I φ I + 8.9090x10芻ψ芻一4.3602x10—9χ I φ I 6—1.2360><10一17>< I φ I 5 + 2.7151><10一5>< I φ I 4 + 3.2536x10—14χ I φ I 3—4.1462χ 10—2χ I φ I 2—9.4085χ 10—10χ I φ I +9.6760x10)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面聲波器件，其特征在于，該表面聲波器件具有使位于構(gòu)成所述叉指換能器的電極指之間的基板凹陷而形成的電極指間槽。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面聲波器件，其特征在于，在使用了所述第1至第3石英基板中的任意一者的情況下，將所述叉指換能器的線占有率n設(shè)為0. 49 彡 η 彡 0. 70。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面聲波器件，其特征在于，在設(shè)所述電極指間槽的深度為G的情況下，設(shè)為0. 02 λ 彡 G 彡 0. 04 λ。
5.一種表面聲波振蕩器，其特征在于，該表面聲波振蕩器具有權(quán)利要求1至4中任意一項(xiàng)所述的表面聲波器件。
6.一種電子設(shè)備，其特征在于，該電子設(shè)備具有權(quán)利要求1至4中任意一項(xiàng)所述的表面聲波器件。
全文摘要
本發(fā)明提供表面聲波器件、表面聲波振蕩器以及電子設(shè)備，它們能夠?qū)崿F(xiàn)良好的頻率溫度特性。表面聲波器件的特征在于，具有石英基板(30)和激勵(lì)出阻帶上端模式的表面聲波的IDT(12)，石英基板(30)的歐拉角為
文檔編號(hào)H03H9/02GK102386880SQ20111024668
公開日2012年3月21日 申請(qǐng)日期2011年8月24日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月26日
發(fā)明者大脅卓彌, 山中國(guó)人 申請(qǐng)人:精工愛普生株式會(huì)社